中村圭二 NAKAMURA Keiji

研究者番号	20227888
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所属 (現在)	2025年度: 中部大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2008年度 – 2013年度: 中部大学, 工学部, 教授 1999年度 – 2005年度: 中部大学, 工学部, 助教授 1997年度 – 1998年度: 名古屋大学, 工学研究科, 講師 1997年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, 講師 1996年度: 名古屋大学, 工学部, 講師 1992年度 – 1995年度: 名古屋大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者プラズマ理工学 / プラズマ科学研究代表者以外プラズマ理工学
キーワード	研究代表者電子密度 / プラズマプロセス / シース / 表面波 / 分散関係 / プラズマ吸収プローブ / 堆積膜 / 膜堆積 / 電子温度 / 静電結合 … もっと見る / 誘導結合プラズマ / sheath / surface wave / dispersion relation / plasma absorption probe / deposition film / electron density / plasma processing / pulse modulated discharge / VUV / vacuum ultraviolet / SEEC / secondary electron / PIII / ion implantation / plasma / 二次電子放出係数 / 半導体検出器 / 表面モニタ / 注入深さ / 二次電子放出率 / 二次電子 / プラズマイオン注入 / Fluorocarbon plasma / Debye length / Dispersion relation / Sheath / Dielectric tube / Surface wave resonance / Plasma absorption probe / パワー吸収スペクトル / フロンプラズマ / Radical desorption / Wall control / Ion bombardment / RF bias / plasma-wall interaction / Silicon dioxide / Etching / Plasma Process / ラジカル脱離 / 壁制御 / RFバイアス / プラズマ・壁相互作用 / シリコン酸化膜 / エッチング / 経時変化 / 中性ラジカル / クリーニング / イオン衝撃 / ネットワークアナライザ / パルス放電 / プローブ / モニタリング / 電子状態 / 小型化 / 電磁界解析 / マイクロ波共振器プローブ / 周波数シフトプローブ / 内部アンテナ / 磁気絶縁 / 高密度プラズマ / 低圧力プラズマ / ドライエッチング / ITO / 高周波電磁界 / 静電シールド / 高周波プラズマ … もっと見る研究代表者以外 hydrogen recycling / 水素リサイクリング / XPS / CVD / 低温形成 / 多結晶シリコン / 誘導結合プラズマ / inductively coupled plasma / 高密度プラズマ / プラズマプロセス / oxygen gettering / decaborane / boron coating / 酸素ゲッタリング / デカボラン / ボロンコーティング / silicon / ion beam / neutral radical / surface reaction / etching / plaasma processing / プロズマプロセス / シリコン / イオンビーム / 中性ラジカル / 表面反応 / エッチング / large area deposition / high speed deposition / high-density plasma / lower temperature deposition / inductively-coupled plasma / poly-crystalline silicon / 大面積堆積 / 高速堆積 / low temperature deposition / ultraviolet transmission spectroscopy / radical diagnostics / polycrystalline silicon / appearance mass spectrometry / amorphus silicon / 水素化アモルファスシリコン / シランプラズマ / ラジカル計測 / 紫外透過分光法 / 出現質量分析法 / アモルファスシリコン / lithium hydroxide / lithium hydride / tritium / hydrogen desorption / wall pumping / low-Zmaterial coating / lithium / プラズマ・壁相互作用 / 水酸化リチウム / 水素化リチウム / 昇温脱離 / 水素脱離 / 壁排気 / 低Z材コーティング / リチウム / ECR plasma / impurity control / rithium coating / first wall conditioning / ECRプラズマ / 不純物制御 / リチウムコーティング / 第一壁コンディショニング / indium-tin-oxide film / Faraday shield / surface magnetic field / plasma etching / helicon plasma / high density plasma / plasma process / 電子ビーム不安定 / 電子密度測定 / 誘導型RF放電 / 多極磁場 / シリコン・エッチング / 大口径プラズマ / 高周波プラズマ / 誘導型RF / 永久磁石 / アンテナ電磁界 / ラジカル / ファラデシールド / ITO薄膜 / 選択ドライエッチング / ヘリコン波プラズマ / ITO膜 / ファラデーシールド / 表面磁場 / プラズマエッチング / ヘリコンプラズマ / 誘導結合型プラズマ / plasma CVD / nuclear fusion / diborane / boronization / 不純物 / シボラン / デガボラン / プラズマCVD / 核融合 / ジボラン / ボロニゼーション隠す

材料プロセス用高気圧プラズマの電子状態計測研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  中部大学
周波数シフトプローブの高性能化に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  中部大学
プラズマ吸収プローブを用いた電子密度・電子温度の同時計測と堆積性プラズマへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  中部大学
プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  中部大学
膜堆積に強い電子密度の新測定法と超精密プラズマ制御への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  中部大学
高性能ビーム装置を用いる表面反応過程の研究
- 研究代表者
  
  菅井秀郎
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  中部大学
   名古屋大学
高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
- 研究代表者
  
  豊田浩孝
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
オール・メタル・アンテナ型誘導RFプラズマの開発と水素負イオン源への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
リチウム膜による水素の選択排気法の開発
- 研究代表者
  
  菅井秀郎
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
- 研究代表者
  
  豊田浩孝
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
静動シールドアンテナを用いた誘導RFプラズマ源の開発と応用研究代表者
- 研究代表者
  
  中村圭二
- 研究期間 (年度)
  1994
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
定常化研究における第一壁のコンディショニング法
- 研究代表者
  
  菅井秀郎
- 研究期間 (年度)
  1994 – 1995
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
ボロニゼーションによる粒子制御の最適化
- 研究代表者
  
  菅井秀郎
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学
表面磁場を用いる大口径RFプラズマの開発
- 研究代表者
  
  菅井秀郎
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1994
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ理工学
- 研究機関
  名古屋大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Curling probe measurement of electron density in pulse-modulated plasma2014
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, W. Sakakibara and , H. Matsuoka, K. Nakamura and H. Sugai
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett
  
  巻: Vol. 104
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[雑誌論文] Curling probe measurement of electron density in pulse-modulated plasma2014
- 著者名/発表者名
  Anil Pandey, Wataru Sakakibara, Hiroyuki Matsuoka, Keiji Nakamura, Hideo Sugai
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett. Vol. 104
  
  巻: 104
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[雑誌論文] Opto-Curling Probe for Simultaneous Monitoring of Optical Emission and Electron Density in Reactive Plasmas2013
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Nakamura and H. Sugai
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: Vol. 6 ページ: 56202-1
- NAID
  10031174342
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[雑誌論文] Temperature dependence of coercivity behavior in Fe films on fractal rough ceramic surfaces2013
- 著者名/発表者名
  M. Chen, Z. Jiao and , S. Yu, M. Yu, F. Bao and K. Nakamura
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: Vol. 52
- NAID
  210000141761
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[雑誌論文] Temperature Dependence of Coercivity Behavior in Fe Films on Fractal Rough Ceramics Surfaces2013
- 著者名/発表者名
  Miao-Gen Chen, Zhi-Wei Jiao, Sen-Jiang Yu, Ming-Zhou Yu, Fu-Bing Bao, and Keiji Nakamura
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 52 (2013) 01AC13-1~4
  
  巻: 52
- NAID
  210000141761
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[雑誌論文] Opto-Curling Probe for Simultaneous Monitoring of Optical Emission and Electron Density in Reactive Plasmas2013
- 著者名/発表者名
  Anil Pandey, Keiji Nakamura, Hideo Sugai
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: 6
- NAID
  10031174342
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[雑誌論文] Observation of Optical Fluorescence of GaN Thin Fims in an Inductively Coupled Plasma Containing High Energy Electrons2010
- 著者名/発表者名
  Y.Guo, K.Nakamura, J.Zhang, Y.Nakano, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys.
  
  巻: 50
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Advanced high-pressure plasma diagnostics with hairpin resonator probe surrounded by film and sheath2010
- 著者名/発表者名
  J.Xu, J.Shi, J.Zhang, Q.Zhang, K.Nakamura, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Chinese Physics B 29
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Observation of Optical Fluorescence of GaN Thin Films in an Inductively-Coupled Plasma Containing High Energy Electrons2010
- 著者名/発表者名
  Y.Guo, K.Nakamura, J.Zhang, Y.Nakano, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 50
- NAID
  210000138234
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果2010
- 著者名/発表者名
  中村圭二, 張祺, 菅井秀郎
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌A
  
  巻: 130 ページ: 930-934
- NAID
  10026693463
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] 反応性プロセシングプラズマにおける電子密度測定用平板型マイクロ波共振器プローブとシース効果2010
- 著者名/発表者名
  中村圭二,張祺,菅井秀郎
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌A 130
  
  ページ: 930-934
- NAID
  10026693463
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Advanced high-pressure plasma diagnostics with hairpin resonator probesurrounded by film and sheath2010
- 著者名/発表者名
  J.Xu, J.Shi J.Zhang, Q.Zhang, K.Nakamura, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Chinese Physics B
  
  巻: 19
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Simulation of Resistive Microwave Resonant Probe for High Pressure Plasma Diagnostics2009
- 著者名/発表者名
  J.Xu, K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Plasma Sources Science and Technology 28
  
  ページ: 45009-45018
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Application of Droplet-Free Metal Ion Source to Formation of Gas Barrier Thin Films2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura
- 雑誌名
  
  Physica status Solidi c 5
  
  ページ: 887-892
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Extension of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Temperature2008
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Proc.30th international symposium on dry process
  
  ページ: 181-182
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Extension of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Temperature2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, Q. Zhang, H. Sugai
- 雑誌名
  
  Proc. 30th international symposium on dry process
  
  ページ: 181-182
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Application of Droplet-Free Metal Ion Source to Formation of Gas Barrier Thin Films2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura
- 雑誌名
  
  Physica Status Solidi c 5
  
  ページ: 887-892
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[雑誌論文] Investigation on Surface Wave Probe for Measurements of Electron Density and Electron Temperature2006
- 著者名/発表者名
  O.Hirano, K.Nakamura, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Proc.6th Int.Conf.Reactive Plasmas (ICRP-6)/ 23rd Symp.Plasma Processing, (January 2006, Japan), P-3B-14
  
  ページ: 727-728
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Droplet-Free High-Density Metal Ion Source for Plasma Immersion Ion Implantation2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, H.Yoshinaga, K.Yukimura
- 雑誌名
  
  Nuclear Instruments and Methods in Physics research B 242
  
  ページ: 315-317
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Ionization Enhancement of Zirconium Atoms in Inductively Coupled Discharge2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, H.Yoshinaga, K.Yukimura
- 雑誌名
  
  Surf.Coat.Technol. Vol.196, No.1-3
  
  ページ: 188-191
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Ionization Enhancement of Zirconium Atoms in Inductively Coupled Discharge2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura ほか 2名
- 雑誌名
  
  Surface and Coating Technology Vol. 196 No. 1-3
  
  ページ: 188-191
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Ionization Fraction in Sputter-Based Copper Ion Sources for Plasma Immersion Ion Implantation2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, H.Suzuki
- 雑誌名
  
  Surf.Coat.Technol. 196
  
  ページ: 180-183
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Electron Density Measurements with Surface Wave Probes in Magnetized Plasmas2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura ほか 2名
- 雑誌名
  
  American Vacuum Society 52nd Int. Symp. & Exhibition
  
  ページ: 107-107
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Ionization Enhancement of Zirconium Atoms in Inductively Coupled Discharge2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, H.Yoshinaga, K.Yukimura
- 雑誌名
  
  Surf.Coat.Technol. 196
  
  ページ: 188-191
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Electron Density Measurements with Surface Wave Probes in Magnetized Plasmas2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, S.Yajima, H.Sugai
- 雑誌名
  
  American Vacuum Society 52nd Int.Symp.& Exhibition(October 2005, U.S.A) PS-TuP22
  
  ページ: 107-107
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Stabilization of Radical Density in Fluorocarbon Plasmas2005
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura ほか 3名
- 雑誌名
  
  Proc. Int. Symp. Dry Process(DPS2005) (November 2005, Korea)
  
  ページ: 99-100
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Distributions of electron density and deposition rate of a narrow-gap plasma polymerization system2005
- 著者名/発表者名
  K.Kinoshita, K.Nakamura, J.Kawahara, O.Kiso, N.Toyoda, H.Sugai, T.Kikkawa
- 雑誌名
  
  XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, (July 17-22, Netherlands), 10-200 CD-ROM
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Measurements of Electron Density in Low-Density/High-Pressure Plasmas with Surface Wave Probe2004
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura ほか5名
- 雑誌名
  
  Proc Int.Symp.Dry Process
  
  ページ: 169-174
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Polymer Deposition and Radical Composition in Fluorocarbon Plasma Source2004
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura ほか4名
- 雑誌名
  
  Proc Int.Symp.Dry Process
  
  ページ: 163-168
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Decay Characteristics of Radical Densities under Ion Bombardment in Fluorocarbon Plasmas
- 著者名/発表者名
  K.Kumagai, T.Tatsumi, K.Oshima, k.Nagahata, K.Nakamura
- 雑誌名
  
  Proc.6th Int.Conf.Reactive Plasmas (ICRP-6)/23rd Symp.Plasma Processing (January 2006, Japan) P-2A-43
  
  ページ: 477-478
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Electron Density Measurements with Surface Wave Probes in Magnetized Plasmas
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, S.Yajima, H.Sugai
- 雑誌名
  
  American Vacuum Society 52nd Int.Symp. & Exhibition (October 2005, U.S.A) PS-TuP22
  
  ページ: 107-107
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Investigation on Surface Wave Probe for Measurements of Electron Density and Electron Temperature
- 著者名/発表者名
  O.Hirano, K.Nakamura, H.Sugai
- 雑誌名
  
  Proc.6th Int.Conf.Reactive Plasmas (ICRP-6)/23rd Symp.Plasma Processing (January 2006, Japan) P-3B-14
  
  ページ: 727-728
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Stabilization of Radical Density in Fluorocarbon Plasmas
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, K.Kumagai, T.Tatsumi, K.Oshima
- 雑誌名
  
  Proc.Int.Symp.Dry Process (DPS2005);(November 2005, Korea) 5-36
  
  ページ: 99-100
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[雑誌論文] Distributions of electron density and deposition rate of a narrow-gap plasma polymerization system
- 著者名/発表者名
  K.Kinoshita, K.Nakamura, J.Kawahara, O.Kiso, N.Toyoda, H.Sugai, T.Kikkawa
- 雑誌名
  
  Proc.27th Int.Conf Phenomena in Ionized Gases(ICPIG-2005);(July 2005, The Netherlands) 10-200
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15340200
[学会発表] Curling probe analysis and simulation for collisional plasma2014
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP2014) /31st Symposium on Plasma Processing(SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka Convention Center, Japan
- 年月日
  2014-02-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Development of curling probe for monitoring of reactive plasmas2014
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP2014) /31st Symposium on Plasma Processing(SPP-31)
- 発表場所
  Fukuoka Convention Center, Japan
- 年月日
  2014-02-07
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Simplified analysis and FDTD simulation of curling probe2014
- 著者名/発表者名
  A. PANDEY, K. NAKAMURA and H. SUGAI
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014) / 7th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2014)
- 発表場所
  Meijo University, Japan
- 年月日
  2014-03-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Simplified analysis and FDTD simulation of curling probe2014
- 著者名/発表者名
  A. PANDEY, K. NAKAMURA and H. SUGAI
- 学会等名
  6th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2014)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Curling probe analysis and simulation for collisional plasma2014
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP2013) /31st Symposium on Plasma Processing(SPP-31) (February 2014, Japan) 7C-AM-I5
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Development of curling probe for monitoring of reactive plasmas2014
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP2013) /31st Symposium on Plasma Processing(SPP-31) (February 2014, Japan) 7C-AM-I5
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Opto-curling probe Monitoring of local density of electron and radicals2013
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Kato. , S. Ikezawa, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC2013)
- 発表場所
  Cairns, Australia
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Opto-curling Probe Method for Space-resolved Measurement of Electron and Radical Densities in Plasma2013
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  35th Int. Symp. Dry Process (DPS2013)
- 発表場所
  Korea
- 年月日
  2013-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Opto-curling probe Monitoring of local density of electron and radicals2013
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Kato. , S. Ikezawa, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  21st International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC2013)
- 発表場所
  Australia
- 年月日
  2013-08-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Opto-curling Probe Method for Space-resolved Measurement of Electron and Radical Densities in Plasma2013
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  35th Int. Symp. Dry Process (DPS2013)
- 発表場所
  Jeju, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Miniaturization of Plane-Type Microwave Resonator Probe with Multi-Resonant Frequencies2012
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, H. Kumazaki and N. Sugai
- 学会等名
  5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2012) P-01
- 発表場所
  Japan/ Meitetsu Inuyama Hotel
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Miniaturization of Plane-Type Microwave Resonator Probe with Multi-Resonant Frequencies2012
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, H. Kumazaki and H. Sugai
- 学会等名
  5th International Conference on Plasma-Nano Technology & Science (IC-PLANTS2012)
- 発表場所
  Meitetsu Inuyama Hotel, Japan
- 年月日
  2012-03-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Novel diagnostic tool, curling probe, for monitoring electron density during plasma processing2012
- 著者名/発表者名
  Anil Pandey, Kimitaka Kato, Shunjiro Ikezawa, Keiji Nakamura, Hideo Sugai
- 学会等名
  65th Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Austin, Texas, U. S. A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Monitoring of electron density and wall deposit by curling probe during plasma process2012
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, M. Imai, H. Kanematsu, S. Ikezawa, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  2012 International Symposium on Dry Process
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Monitoring of electron density and wall deposit by curling probe during plasma process2012
- 著者名/発表者名
  A. Pandey, M. Imai, H. Kanematsu, S. Ikezawa, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  34th Int. Symp. Dry Process (DPS2012)
- 発表場所
  Univ. Tokyo, Japan
- 年月日
  2012-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Miniaturization of plane-type microwave resonator probe2012
- 著者名/発表者名
  E. Kumazaki, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)　P2005A
- 発表場所
  Japan/ Chubu University
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] In-situ Monitoring of Surface Modification of GaN Films Exposed to Inductively-Coupled Plasmas2012
- 著者名/発表者名
  Keiji Nakamura, Mio-Gen Chen, Yoshitaka Nakano, Hideo Sugai
- 学会等名
  65th Gaseous Electronics Conference
- 発表場所
  Austin, Texas, U. S. A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] スパイラルアンテナを用いたマルチ共振型マイクロ波共振器プローブの小型化2012
- 著者名/発表者名
  中村圭二, 熊崎恵未, 菅井秀郎
- 学会等名
  第５９回応用物理学関係連合講演会17p-B8-3
- 発表場所
  東京・早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] In-situ Photoluminescence Measurements of GaN Films Exposed to Inductively-Coupled Plasmas2012
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura M. G. Chen, Y. Nakano and H. Sugai
- 学会等名
  2012 International Symposium on Dry Process
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Novel diagnostic tool, curling probe, for monitoring electron density during plasma processing2012
- 著者名/発表者名
  A. PANDEY, Y. LIANG. , S. IKEZAWA, K. NAKAMURA and H. SUGAI
- 学会等名
  65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)
- 発表場所
  U. S. A.
- 年月日
  2012-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] In-situ Monitoring of Surface Modification of GaN Films Exposed to Inductively-Coupled Plasmas2012
- 著者名/発表者名
  K. NAKAMURA, M. CHEN, Y. NAKANO and H. SUGAI
- 学会等名
  65th Annual Gaseous Electronics Conference (GEC)
- 発表場所
  U. S. A.
- 年月日
  2012-10-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] In-situ Photoluminescence Measurements of GaN Films Exposed to Inductively-Coupled Plasmas2012
- 著者名/発表者名
  K. NAKAMURA, M. CHEN, Y. NAKANO and H. SUGAI
- 学会等名
  34th Int. Symp. Dry Process (DPS2012)
- 発表場所
  Univ. Tokyo, Japan
- 年月日
  2012-11-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Miniaturization of plane-type microwave resonator probe2012
- 著者名/発表者名
  E. Kumazaki, K. Nakamura and H. Sugai
- 学会等名
  4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma2012)
- 発表場所
  Chubu Univ. Japan
- 年月日
  2012-03-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] マイクロ波共振器プローブを用いた密度計測における精度向上2011
- 著者名/発表者名
  熊崎恵未, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会 31a-ZJ-3
- 発表場所
  山形・山形大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] Miniaturization of Plane-Type Microwave Resonator Probe2011
- 著者名/発表者名
  E.Kumazaki, K.Nakamura, H.Sugai
- 学会等名
  3rd Int.Symp.Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2011-03-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 周波数プローブによる電子密度計測2011
- 著者名/発表者名
  中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  Plasma Conference 2011 (PLASMA2011) S-O1-1(招待講演)
- 発表場所
  金沢・石川県立音楽堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23540581
[学会発表] E結合コンパクト周波数シフトプローブによる電子密度測定II2011
- 著者名/発表者名
  梁以資, 加藤公孝, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(厚木市)(講演会は中止)
- 年月日
  2011-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] マイクロ波共振器プローブを用いた電子密度計測における測定精度向上';,;第58回応用物理学関係連合講演会2011
- 著者名/発表者名
  熊崎恵未, 土屋貴, 中村博, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(厚木市)(講演会は中止)
- 年月日
  2011-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Electron Density Measurement by Novel Frequency Shift Probe2011
- 著者名/発表者名
  I.Liang, K.Kato, K.Nakamura, H.Sugai
- 学会等名
  3rd Int.Symp.Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2011-03-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Investigation on Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Conditions in Nano-Materials Processing Plasmas2010
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura
- 学会等名
  Int.Symp.Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation, and Advanced Materials Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials in conjunction with Symposium on the research Activities of Joint Usage/Research Center on Joining and Welding (Visual-JW2010)
- 発表場所
  Osaka, Japan(招待講演)
- 年月日
  2010-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] コンパクト周波数シフトプローブによる電子密度測定2010
- 著者名/発表者名
  梁以資, 加藤公孝, 熊崎恵未, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] マイクロ波共振プローブの高次モードによる電子密度計測2010
- 著者名/発表者名
  保田将宏, 梁以資, 太田習, 加藤公孝, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  中部大学(春日井市)
- 年月日
  2010-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Plasma Electron Monitoring with Multi-Resonator Frequency Shift Probe2010
- 著者名/発表者名
  Q.Zhang, K.Nakamura, H.Sugai
- 学会等名
  2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Application for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Expansion to Higher Mode in Electron Density Measurement by Microwave resonator Probe2010
- 著者名/発表者名
  I.Liang, S.Ohta, K.Kato, K.Nakamura, H.Sugai
- 学会等名
  63rd Gaseous Electronica Conference (GEC2010)/7th Int.Conf.Reactive Plasmas (ICRP-7)/28th Syp.Plasma Processing (SPP-28)
- 発表場所
  Paris, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 電界結合型周波数シフトプローブによる電子密度計測2010
- 著者名/発表者名
  梁以資, 加藤公孝, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  中部大学(春日井市)
- 年月日
  2010-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] スパイラルアンテナを用いた小型マイクロ波共振器プローブによる電子密度測定2010
- 著者名/発表者名
  中村博, 新海康史, 土屋貴, 熊崎恵未, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  中部大学(春日井市)
- 年月日
  2010-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 電子密度測定用マイクロ波共振プローブの高次モードへの拡張2010
- 著者名/発表者名
  梁以資, 太田習, 加藤公孝, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Investigation on Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Conditions in Nano-Materials Processing Plasmas'2010
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura
- 学会等名
  Int.Symp.Visualization in Joining & Welding Science through Advanced Measurements and Simulation, and Advanced Materiala Development and Integration of Novel Structured Metallic and Inorganic Materials in conjunction with Symposiumon the research Activities of Joint Usage/Research Center on Joining and Welding (Visual-JW2010)
- 発表場所
  Osaka, Japan(Invited)
- 年月日
  2010-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] マルチ共振型周波数シフトプローブを用いた電子密度および電子温度の計測2010
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  第27回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  横浜市開港記念会館
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] スパイラルアンテナを用いたマイクロ波共振器プローブの小型化2010
- 著者名/発表者名
  熊崎恵未, 新海康史, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成22年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  中部大学(春日井市)
- 年月日
  2010-08-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Mircrowave Resonance Probes for Diagnostics of High Pressure Plasmas2009
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  31st Int.Symp.Dry Process
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Monitoring of Electron Density with Frequency Shift Probes in Reactive Processing Plasmas2009
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 学会等名
  2nd Int.Conf.Plasma-Nano Technol.& Sci.(IC-PLANTS2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-01-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Application of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Temperature2009
- 著者名/発表者名
  Q. Zhang, K. Nakamura, H. Sugai
- 学会等名
  8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
- 発表場所
  Gifu, Japan
- 年月日
  2009-01-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Influence of Polymer Depositon on Electron Monitoring with Frequency Shift Probes2009
- 著者名/発表者名
  Q. Zhang, K. Nakamura, H. Sugai
- 学会等名
  1st Int. Symp. Advanced Plasma Science& its Applications (ISPlasma 2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Influence of Sheath on Measurement of Electron Density in Frequency Shift Probe and its Application to Measurement of Electron Temperature2009
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 学会等名
  American Vaccuum Society 56th Int.Symp.and Exhibition (AVS-56)
- 発表場所
  San Jose, U.S.A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Monitoring of Electron Density with Frequency Shift Probes in Reactive Processing Plasmas2009
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, Q. Zhang, H. Sugai
- 学会等名
  2nd Int. Conf. Plasma-Nano Technol. &Sci. (IC-PLANTS2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-01-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Development of Electron-Based Plasma Monitoring for Precise Control of Plasma Process2009
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, H. Sugai
- 学会等名
  1st Int. Symp. Advanced Plasma Science& its Applications (ISPlasma 2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Development of Electron-Based Plasma Monitoring for Precise Control of Plasma Process2009
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, H.Sugai
- 学会等名
  1st Int.Symp.Advanced Plasma Science & its Applications (ISPlasma 2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Numerical Studies on Mircrowave Resonator Probes for Diagnostics of High Pressure Plasmas2009
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering(AEPSE2009)
- 発表場所
  Busan, Korea
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Influence of Polymer Depositon on Electron Monitoring with Frequency Shift Probes2009
- 著者名/発表者名
  Q.Zhang, K.Nakamura, H.Sugai
- 学会等名
  1st Int.Symp.Advanced Plasma Science & its Applications (ISPlasma2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 高圧力プラズマ診断用マイクロ波共振プローブの開発2009
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Sheath Effects on Electron Density Measurements in Frequency Shift Probe and their Application to Electron Temperature Measurements2009
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  62nd Gaseous Electronics Conference(GEC2009)
- 発表場所
  Saratoga, U.S.A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 周波数シフトプローブを用いた大気圧プラズマのモニタリングの検討2009
- 著者名/発表者名
  金徐州, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第56回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  つくば市・筑波大学
- 年月日
  2009-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Influence of Sheath on Measurement of Electron Density in Frequency Shift Probe and its Application to Measurement of Electron Temperature2009
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  American Vaccuum Society 56th Int.Symp.and Exhibition(AVS-56)
- 発表場所
  San Jose, U.S.A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Simulation-Based Analysis and Experimental Verification of Inductively-Coupled Fluorocarbon Plasmas2009
- 著者名/発表者名
  板津史明, 梅本祥平, 中村圭二, 田中正明
- 学会等名
  プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  名古屋市・名古屋大学
- 年月日
  2009-02-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Microwave Plasma Control with use of Multi-Hollow Dielectric Plate2009
- 著者名/発表者名
  S. Ohta, T. Sano, Y. Liang, K. Nakamura, H. Sugai
- 学会等名
  1st Int. Symp. Advanced Plasma Science& its Applications (ISPlasma 2009)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2009-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Sheath Effects on Electron Density Measurements in Frequency Shift Probe and their Application to Electron Temperature Measurements2009
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 学会等名
  62nd Gaseous Electronics Conference (GEC2009)
- 発表場所
  Saratoga, U.S.A.
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 周波数シフトプローブを用いた電子状態のモニタリング2009
- 著者名/発表者名
  中村圭二
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  同志社大学(京都市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Influence of Polymer Deposition on Frequency Shift Probe2009
- 著者名/発表者名
  張祺, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会
- 発表場所
  名古屋市・名古屋大学
- 年月日
  2009-02-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 周波数シフトプローブによるSiウェハーを介した電子密度計測の基礎的検討2008
- 著者名/発表者名
  式地祐麻, 井上雄介, 張祺, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成20年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  愛知県・愛知県立大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Development of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Density in Reactive Nano-Materials Processing Plasmas2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, Q. Zhang, H. Sugai
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia2008 (IUMRS-ICA 2008)
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- 年月日
  2008-12-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Development of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Density in Reactive Nano-Materials Processing Plasmas2008
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 学会等名
  IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
- 発表場所
  Nagoya, Japan(招待講演)
- 年月日
  2008-12-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] マイクロ波マルチホロー放電におけるプラズマ制御 ; (2008年9月愛知県立大学)0-0086, p.2008
- 著者名/発表者名
  太田習, 佐野貴憲, 塩出悠喜, 加藤公孝, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成20年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  愛知県・愛知県立大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Effects of probe shape on electron density measurements with frequency shift2008
- 著者名/発表者名
  probesK. Nakamura, Q. Zhang, H. Sugai
- 学会等名
  14th International Congress on Plasma Physics 2008
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Extension of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electron Temperature2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura, Q. Zhang, H. Sugai
- 学会等名
  30th international symposium on dry process
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2008-11-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] フロン系プラズマのシミュレーションと実験的検証2008
- 著者名/発表者名
  中村圭二, 板津史明, 田中正明
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  京都・同志社大学
- 年月日
  2008-12-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 周波数シフトプローブの電子温度計測への応用2008
- 著者名/発表者名
  中村圭二, 張祺, 菅井秀郎
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  仙台市・東北大学
- 年月日
  2008-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] シミュレーションを用いた誘導結合型フロロカーボンプラズマの解析と検証2008
- 著者名/発表者名
  梅本祥平, 板津史明, 中村圭二, 田中正明
- 学会等名
  平成20年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  愛知県・愛知県立大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Effects of probe shape on electron density measurements with frequency shift2008
- 著者名/発表者名
  K.Nakamura, Q.Zhang, H.Sugai
- 学会等名
  14th International Congress on Plasma Physics
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Plasma diagnostics for etching process - Influence of wall conditions on fluorocarbon radicals -2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura
- 学会等名
  Tokai Region Knowledge Cluster Workshop on Plasma Etch Technologies
- 発表場所
  Nagoya University
- 年月日
  2008-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] スリット形状による周波数シフトプローブにおける電子密度測定の精度改善2008
- 著者名/発表者名
  張祺, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛知県・中部大学
- 年月日
  2008-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 誘導結合型フロロカーボンプラズマにおけるガス組成の効果2008
- 著者名/発表者名
  石原慎也, 張祺, 臼井政志, 中村圭二
- 学会等名
  平成20年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  愛知県・愛知県立大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] 周波数シフトプローブを用いた電子密度計測におけるプローブ形状の効果' ;, ; (2008年5月名古屋) PST-08-26, pp. 1-62008
- 著者名/発表者名
  張祺, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  電気学会プラズマ研究会
- 発表場所
  名古屋市・名古屋工業大学
- 年月日
  2008-05-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] マイクロ波マルチホロー放電におけるプラズマ制御2008
- 著者名/発表者名
  太田習, 佐野貴憲, 塩出悠喜, 加藤公孝, 中村圭二, 菅井秀郎
- 学会等名
  平成20年度電気関係学会東海支部連合大会
- 発表場所
  愛知県・愛知県立大学
- 年月日
  2008-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487
[学会発表] Development of Frequency Shift Probes for Monitoring of Electrons in Reactive Processing Plasmas2008
- 著者名/発表者名
  K. Nakamura
- 学会等名
  7th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 年月日
  2008-07-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20540487

1. 菅井秀郎 (40005517)

共同の研究課題数: 13件

共同の研究成果数: 79件
2. 豊田浩孝 (70207653)

共同の研究課題数: 9件

共同の研究成果数: 0件
3. 池澤俊治郎 (60065282)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
4. 佐々木浩一 (50235248)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 石島達夫 (00324450)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 松岡良輔 (10308819)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 山口作太郎 (10249964)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 北川雅俊

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 高須賀誠一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. TOYODA Naoki

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 豊田直樹

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 木下啓蔵

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

中村 圭二 NAKAMURA Keiji

研究課題

研究成果

共同研究者

材料プロセス用高気圧プラズマの電子状態計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

周波数シフトプローブの高性能化に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマ吸収プローブを用いた電子密度・電子温度の同時計測と堆積性プラズマへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラズマイオン注入における表面改質とイオン・中性ラジカルの挙動研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

膜堆積に強い電子密度の新測定法と超精密プラズマ制御への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高性能ビーム装置を用いる表面反応過程の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

オール・メタル・アンテナ型誘導RFプラズマの開発と水素負イオン源への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

リチウム膜による水素の選択排気法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

静動シールドアンテナを用いた誘導RFプラズマ源の開発と応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

定常化研究における第一壁のコンディショニング法

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

中村圭二 NAKAMURA Keiji