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井内 徹  IUCHI Tohru

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20232142
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東洋大学, 大学共同利用機関等の部局等 , 客員研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2013年度: 東洋大学, 工業技術研究所, 客員研究員
2009年度 – 2012年度: 東洋大学, 理工学部, 教授
2008年度: 東洋大学, 工学部, 教授
2001年度 – 2006年度: 東洋大学, 工学部, 教授
1998年度 – 1999年度: 東洋大学, 工学部, 教授
1994年度 – 1995年度: 東洋大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
計測工学 / 計測工学 / 計測・制御工学
キーワード
研究代表者
放射率 / 偏光 / 薄膜 / 酸化膜 / 放射測温 / 温度計測 / 半導体 / polarization / radiation thermometry / emissivity … もっと見る / 酸化 / temperature measurement / thin film / シリコン / 光学定数 / 透過率 / シリコンウエハ / thermal time constant / heat transfer / semiconductor / photophysics of solid / 熱伝達 / 熱時定数 / 熱接触抵抗 / 光物性 / oxide film / silicon / semiconductor materials / 放射測温法 / 半導体材料 / optical constants / modeling / oxidation / silicon wafer / ウエハー / 薄膜成長 / シリコン半導体 / ABSORPTION / SCATTERING / SURFACE ROUGHNESS / OXIDE FILM / THIN FILM / OPTICAL CONSTANT / POLARIZATION / EMISSIVITY / 温度 / 干渉 / 表面粗さ / 吸収 / 散乱 / Metal / Infrared / Optical sensor / stray radiation / Blackbody radiation / Temperature measurement / Emissivity / Radiation thermometry / 金属 / 赤外線 / 光センサ / 迷光雑音 / 黒体放射 / 背光放射雑音 / 放射輝度 / 反射率 / 非平衡温度場 / 背光放射 / 背光雑音 / in-situ計測 / バンドギャップ / 窒化膜 隠す
  • 研究課題

    (7件)
  • 研究成果

    (202件)
  •  極端な非平衡温度場における放射測温システムの設計構築研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2013
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東洋大学
  •  半導体材料のin-situ放射測温とキャリブレーションシステムの構築研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東洋大学
  •  半導体ウエハのin-situ温度計測システムの研究研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東洋大学
  •  半導体材料の放射率と温度の計測法研究研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東洋大学
  •  Si半導体ウエハーの温度計測法の研究研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東洋大学
  •  金属・半導体の放射率挙動のモデル構築研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      東洋大学
  •  常温付近の放射測温法の研究研究代表者

    • 研究代表者
      井内 徹
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1995
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      計測・制御工学
    • 研究機関
      東洋大学

すべて 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004 2003 2002 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 放射測温法の問題点と実用化へのアプローチ、温度計測基礎講座2013

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 出版者
      計測自動制御学会温度計測部会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [図書] SiウエハのIn-situ温度測定技術2013

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 総ページ数
      54
    • 出版者
      電子ジャーナル
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [図書] 放射測温法の問題点と実用化へのアプローチ 温度計測基礎講座2013

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 出版者
      計測自動制御学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [図書] Siウェーハのin-situ温度測定技術徹底解説2013

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 総ページ数
      54
    • 出版者
      電子ジャーナル
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [図書] SiウエーハのIn-situ温度測定技術 徹底解説2012

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 総ページ数
      86
    • 出版者
      電子ジャーナル
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [図書] Radiometric Temperature Measurements(edited by Z. M. Zhang, B.K. Tsai and G. Machin)(Thermomettry in Steel Production, in Chapter 4, Experimental Methods in the Physical Sciences, Vol.43)2010

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, Y.Yamada, M.Sugiura, A.Torao
    • 出版者
      The Netherlands, Academic Press
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [図書] Thermomettry in Steel Production, in Chapter 4, Experimental Methods in the Physical Sciences, Vol. 43, Radiometric Temperature Measurements2009

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, Y.Yamada, M.Sugiura, A.Torao
    • 総ページ数
      61
    • 出版者
      Academic Press
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Non-contact temperature measurement of silicon wafers based on the combined use of transmittance and radiance2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda, T. Seo and T. Iuchi
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: vol. 51 ページ: 393-399

    • DOI

      10.1016/j.measurement.2014.02.023

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [雑誌論文] A method of reducing background radiance for emissivity-compensated radiation thermometry of silicon wafers2013

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi, Y. Toyoda and T. Seo
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: vol. 84 号: 2 ページ: 249041-1249047

    • DOI

      10.1063/1.4791793

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [雑誌論文] Emissivity properties of silicon wafers and application to radiation thermometry2013

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi and T. Seo
    • 雑誌名

      Temperature : Its Measurement and Control in Science and Industry

      巻: vol. 8 ページ: 710-715

    • DOI

      10.1063/1.4819629

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of silicon wafers based on emissivity-invariant condition2011

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Seo
    • 雑誌名

      Applied Optics Vol.50, No.3

      ページ: 323-328

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of silicon wafers based on emissivity-invariant condition2011

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi and T. Seo
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: vol. 50 号: 3 ページ: 323-328

    • DOI

      10.1364/ao.50.000323

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of silicon wafers based on emissivity-invariant condition2011

    • 著者名/発表者名
      Tohru Iuchi, Tomohiro Seo
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 50 ページ: 323-328

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Simultaneous measurement of emissivity and temperature of silicon wafers based upon a polarization technique2010

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, A.Gogami
    • 雑誌名

      Measurement (in print)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Simultaneous measurement of emissivity and temperature of silicon wafers using a polarization technique2010

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, A.Gogami
    • 雑誌名

      Measurement Vol.43, No.5

      ページ: 645-651

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Temperature measurement of semitransparent silicon wafer based upon absorption edge wavelength shift2010

    • 著者名/発表者名
      Tohru Iuchi, Tomohiro Seo
    • 雑誌名

      International Journal of Thermophysics

      巻: 31 ページ: 1533-1544

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Temperature measurement of semitransparent silicon wafer based upon absorption edge wavelength shift2010

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Seo
    • 雑誌名

      International Journal of Thermodynamics Vol.31, No.8

      ページ: 1533-1544

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Simultaneous measurement of emissivity and temperature of silicon wafers using a polarization technique2010

    • 著者名/発表者名
      Tohru Iuchi, Atsushi Gogami
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: 43 ページ: 645-651

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Uncertainty of a hybrid surface temperature sensor for silicon wafers and its comparison with an embedded thermocouple2009

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, A.Gogami
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 12

      ページ: 1261091-1261093

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Uncertainty of a hybrid surface temperature sensor for silicon thermocouple2009

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, A.Gogami
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments Vol.80, No.12

      ページ: 1261091-1261093

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] シリコン半導体ウエハのin situ温度計測2008

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 雑誌名

      計測と制御 Vol.47, No.5

      ページ: 395-402

    • NAID

      10021115066

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Rapid-response hybrid-type surface temperature sensor2008

    • 著者名/発表者名
      K. Hiraka, R. Shinagawa, A. Gogami, T. Iuchi
    • 雑誌名

      International Journal of Thermophysics 29

      ページ: 1166-1173

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] シリコン半導体ウエハのin situ温度計測2008

    • 著者名/発表者名
      井内 徹
    • 雑誌名

      計測と制御 47

      ページ: 395-402

    • NAID

      10021115066

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Rapid response hybrid-type surface temperature sensor2008

    • 著者名/発表者名
      K.Hiraka, R.Shinagawa, A.Gogami, T.Iuchi
    • 雑誌名

      International Journal of Thermophysics Vol.29, No.2

      ページ: 1166-1173

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [雑誌論文] Rapid response hybrid-type surface temperature sensor,2007

    • 著者名/発表者名
      A.GOGAMI, K, HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 54^<th> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, March, Sagamihara No. 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Optical temperature measurement of silicon wafers using band gap shift,2007

    • 著者名/発表者名
      R.SHINAGAWA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 54^<th> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, March, Sagamihara No. 1

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 高速ハイブリッド型表面温度センサ2007

    • 著者名/発表者名
      後上敦史, 平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第54回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1, 28Pb-11

      ページ: 218-218

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] バンドギャップを利用したシリコンウエハの光学的測温法2007

    • 著者名/発表者名
      品川亮, 井内徹
    • 雑誌名

      第54回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1, 28Pb-10

      ページ: 218-218

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 透過特性を利用したSiウエハの温度計測法の測温精度2006

    • 著者名/発表者名
      品川亮, 井内徹
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1, 31p-G-3

      ページ: 189-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Temperature measurement of silicon wafers by transmissivity sensing2006

    • 著者名/発表者名
      R.SHINAGAWA, T.IWASAKI, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE-ICCAS

      ページ: 3346-3350

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ハイブリッド型表面温度センサー2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第23回計測自動制御学会センシングフォーラム

      ページ: 234-239

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 高温域におけるSi半導体ウエハの透過率測定2006

    • 著者名/発表者名
      品川亮, 井内徹
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1, 22p-K-4

      ページ: 193-193

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers by use of polarized radiances2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Optical Engineering (In print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for semitransparent silicon wafers at middle temperature,2006

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 67^<th> Autumn Meeting, The Japan Society of Applied Physics, August, Kusatsu No. 1, 31p-G-2

      ページ: 189-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Temperature measurement of silicon wafers using characteristics o transmissivity,2006

    • 著者名/発表者名
      R.SHINAGAWA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      23th Sensing Forum, October, Tsukuba

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ハイブリッド型放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内 徹
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会 No.1(In print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Non-contact temperature measurement of semitrasparent silicon wafers2006

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE-ICCAS

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ハイブリッド型表面温度センサー2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第23回センシングフォーラム

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ハイブリッド型放射温度計の測温精度2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会 NO.1, 31p-G-1

      ページ: 189-189

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ウエハの偏光反射率の測定と偏光放射率モデルの関係2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1, 9p-ZM-13

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ハイブリッド型放射温度計の測温精度2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1, 31p-G-1

      ページ: 189-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers by use of polarized radiances2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Optical Engineering 45-9

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 半透明体Si半導体ウエハのin-situ放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1, 22p-K-5

      ページ: 193-193

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers by use of polarized radiances2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Optical Engineering 45・9

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for semitransparent silicon wafers near room temperature,2006

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 53^<rd> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, March, Tokyo No. 1, 22p-K-5

      ページ: 193-193

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid-type sensor for in situ temperature measurement,2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments Vol. 77, No. 11

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 透過率特性を利用したSiウエハの温度計測法の測温精度2006

    • 著者名/発表者名
      品川亮, 井内徹
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会 NO.1, 31p-G-3

      ページ: 189-189

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ハイブリッド型放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1 22p-K-3

      ページ: 192-192

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 半透明体Siウエハの中温域における放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会 NO.1, 31p-G-2

      ページ: 189-189

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 半透明体Siウエハの中温域における放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第67回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1, 31p-G-2

      ページ: 189-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Transmissivity measurement of Si semiconductor wafers at high temperature,2006

    • 著者名/発表者名
      R.SHINAGAWA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 53^<rd> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, March, Tokyo No. 1, 22p-K-4

      ページ: 193-193

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers by use of polarized radiances,2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Optical Engineering Vol. 45, No. 9

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Temperature measurement of silicon wafers by transmissivity sensing,2006

    • 著者名/発表者名
      R.SHINAGAWA, T.IWASAKI, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE-ICCAS, October, Busan

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of semitransparent silicon wafers near room temperature,2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, Y.IKEDA
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE (Thermosense XXVIII), April, Orlando

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 半透明体Siウエハのin-situ放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内 徹
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会 No.1(In print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Non-contact temperature measurement of semitransparent silicon wafers,2006

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE-ICCAS, October, Busan

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Non-contact temperature measurement of semitransparent silicon wafers2006

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE-ICCAS

      ページ: 5277-5282

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of semitransparent silicon wafers near room temperature2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, Y.IKEDA
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE 6205 (28^<th> Thermosense)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid-type surface thermometer2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Proc. of 18^<th> IMEKO WORLD CONGRESS

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Accuracy of temperature measurement for silicon wafers using transmissivity characteristic,2006

    • 著者名/発表者名
      R.SHINAGAWA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 67^<th> Autumn Meeting, The Japan Society of Applied Physics, August, Kusatsu No. 1, 31p-G-2

      ページ: 189-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid type surface thermometer2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Proc. of 18th IMEKO WORLD CONGRESS

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Accuracy of temperature measurement by hybrid-type radiation thermometer,2006

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 67^<th> Autumn Meeting, The Japan Society of Applied Physics, August, Kusatsu No. 1, 31p-G-1

      ページ: 189-189

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Development of hybrid-type thermometer,2006

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      23th Sensing Forum, October, Tsukuba

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 酸化膜付半透明体Siウエハの放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第23回センシングフォーラム

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid type surface thermometer,2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Proc. of 18^<th> IMEKO WORLD CONGRESS, September, Rio de Janeiro

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 高温域におけるSi半導体ウエハの透過率測定2006

    • 著者名/発表者名
      品川 亮, 井内 徹
    • 雑誌名

      第53回応用物理学関係連合講演会 No.1(In print)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 酸化膜付半透明体Siウエハの放射測温法2006

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第23回計測自動制御学会センシングフォーラム

      ページ: 230-233

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid-type temperature sensor for in situ measurement2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 77・11

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid-type temperature sensor for in situ measurement2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 77-11

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid type radiation thermometry,2006

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 53^<rd> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, March, Tokyo No. 1, 22p-K-3

      ページ: 192-192

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Hybrid-type surface thermometer at high temperature2006

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE-ICCAS

      ページ: 3330-3335

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 透過特性を利用したシリコンウエハの温度測定法2006

    • 著者名/発表者名
      品川亮, 井内徹
    • 雑誌名

      第23回センシングフォーラム

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry o semitransparent silicon wafers with oxide surface layer,2006

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      23th Sensing Forum, October, Tsukuba

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 透過特性を利用したシリコンウエハの温度計測法2006

    • 著者名/発表者名
      品川亮, 井内徹
    • 雑誌名

      第23回計測自動制御学会センシングフォーラム

      ページ: 225-229

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of semitransparent silicon wafers near room temperature2006

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, Y.IKEDA
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE6205 (28th Thermosense)

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Emissivity behaviors of silicon wafers with different resistivity,2005

    • 著者名/発表者名
      T.OHKUBO, K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 52^<nd> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, April, Saiama No. 1, lp-M-5

      ページ: 209-209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Emissivity behaviors of silicon wafers with different resistivity.2005

    • 著者名/発表者名
      K.Hiraka, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 52^<nd> Spring Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1, 1p-M-5

      ページ: 209-209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Study on emissivity behaviors of silicon wafers near room temperature.2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Ikeda, T.Nojima, K.Hashimoto, T.Yamasaki, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of the 1st Symposium on Sensor Photonics, Sensor Photonics Research Center, Toyo Univ.February

      ページ: 95-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Transmissivity measurement of silicon wafers with different resistivity and application to radiation thermometry.2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Ikeda, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 52^<nd> Spring Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1, 1p-M-6

      ページ: 210-210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温域におけるSiウエハの放射率挙動の研究2005

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第1回先端光応用計測研究センター成果報告会要旨集 2月

      ページ: 91-92

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity-compensated radiation thermometry of silicon wafers at high temperature2005

    • 著者名/発表者名
      K.Hiraka, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc. of SICE

      ページ: 1381-1385

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Study on emissivity behaviors of silicon wafers at high temperature.2005

    • 著者名/発表者名
      K.Hiraka, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of the 1st Symposium on Sensor Photonics, Sensor Photonics Research Center, Toyo Univ.February

      ページ: 91-92

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 半透明体Si半導体ウエハの常温付近の放射測温法2005

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内 徹
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会 9p-ZM-14

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 高温域におけるSiウエハの放射率補正放射測温法2005

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第22回計測自動制御学会センシングフォーラム

      ページ: 387-392

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 半透明体Si半導体ウエハの常温付近の放射測温法2005

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1, 9p-ZM-14

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Emissivity-compensated radiation thermometry of silicon wafers at high temperature,2005

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.OHKUBO, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE, August, Okayama

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of semitransparent silicon wafers2005

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, H.SUGAWARA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE

      ページ: 2630-2634

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Transmissivity measurement of silicon wafers with different resistivity and application to radiation thermometry,2005

    • 著者名/発表者名
      H.SUGAWARA, Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 52^<nd> Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies, April, Saiama No. 1, lp-M-6

      ページ: 210-210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of semitransparent silicon wafers2005

    • 著者名/発表者名
      Y.Ikeda, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc. of SICE

      ページ: 2630-2634

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 電気抵抗率の違いによるSiウエハの放射率変化2005

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第52回応用物理学関係連合講演会 3月,No.1 1p-M-5

      ページ: 209-209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 電気抵抗率の違いによるSiウエハの放射率変化2005

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第52回応用物理学関係連合講演会

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers2005

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, Y.Ikeda, K.Hiraka
    • 雑誌名

      Proc. Of SPIE 587819

      ページ: 1-10

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for semitransparent silicon wafers near room temperature,2005

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 66^<th> Autumn Meeting, The Japan Society of Applied Physics, September, Tokushima No. 1, 9p-ZM-14

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 電気抵抗率の違いによるSiウエハの透過率測定と常温域放射測温法への応用2005

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第52回応用物理学関係連合講演会

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 常温域におけるSiウエハの放射率挙動の研究2005

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 野島孝, 橋本克己, 山崎徹, 菅原弘司, 井内徹
    • 雑誌名

      第1回先端光応用計測研究センター成果報告会要旨集 2月

      ページ: 93-94

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers,2005

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, Y.IKEDA, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE(Optics & Photonics), August, San Diego

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry o semitransparent silicon wafers near room temperature,2005

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      22^<nd> Sensing Forum, September, Osaka

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 電気抵抗率の違いによるSiウエハの透過率測定と常温域放射測温法への応用2005

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第52回応用物理学関係連合講演会 3月,No.1 1p-M-6

      ページ: 210-210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 常温付近の半透明体Siウエハの放射測温法2005

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内 徹
    • 雑誌名

      第22回センシングフォーラム

      ページ: 387-392

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Radiation thermometry for silicon wafers2005

    • 著者名/発表者名
      T.IUCHI, Y.IKEDA, K.HIRAKA
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 常温付近の半透明体Siウエハの放射測温法2005

    • 著者名/発表者名
      池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第22回計測自動制御学会センシングフォーラム

      ページ: 393-397

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 電気抵抗率の違いによるSiウエハの放射率変化2005

    • 著者名/発表者名
      大久保智裕, 平加健介, 井内徹
    • 雑誌名

      第52回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1, 1p-M-5

      ページ: 209-209

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Emissivity-compensated radiation thermometry of silicon wafers at high temperature2005

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.OHKUBO, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE

      ページ: 1381-1385

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Development of a measurement apparatus of specular reflectivity and its application to silicon wafers.2005

    • 著者名/発表者名
      T.Suzuki, T.Miyazaki, T.Tadaki, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of the 1st Symposium on Sensor Photonics, Sensor Photonics Research Center, Toyo Univ.February

      ページ: 95-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of semitransparent silicon wafers,2005

    • 著者名/発表者名
      Y.IKEDA, H.SUGAWARA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      Proc. of SICE, August, Okayama

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] ウエハの偏光反射率の測定と偏光放射率モデルの関係2005

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内 徹
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会 9p-ZM-13

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 双方向角度制御した反射率測定装置の開発とSiウエハへの応用2005

    • 著者名/発表者名
      鈴木健仁, 宮崎孝行, 但木徹, 井内徹
    • 雑誌名

      第1回先端光応用計測研究センター成果報告会要旨集 2月

      ページ: 95-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 電気抵抗率の違いによるSiウエハの透過率測定と常温域放射測温法への応用2005

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 池田義和, 井内徹
    • 雑誌名

      第52回応用物理学関係連合講演会予稿集 No.1, 1p-M-6

      ページ: 210-210

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Relation between polarized reflectivity measurement and polarized emissivity modeling of wafers,2005

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      The 66^<th> Autumn Meeting, The Japan Society of Applied Physics, September, Tokushima No. 1, 9p-ZM-13

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] 高温域におけるSiウエハの放射率補正放射測温法2005

    • 著者名/発表者名
      平加健介, 井内 徹
    • 雑誌名

      第22回センシングフォーラム

      ページ: 393-397

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Emissivity compensated radiation thermometry of silicon wafers at high temperature,2005

    • 著者名/発表者名
      K.HIRAKA, T.IUCHI
    • 雑誌名

      22^<nd> Sensing Forum, September, Osaka, pp

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [雑誌論文] Polarized radiation thermometry of silicon wafers at high temperature2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE2004

      ページ: 654-657

    • NAID

      130005441152

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] ブリュースター角を利用した常温付近におけるSi半導体ウエハの放射測温法2004

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1

      ページ: 134-134

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Some considerations for a method that simultaneously measure the temperature and emissivity of a metal in a high temperature furnace.2004

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 75-12

      ページ: 5326-5332

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Polarized radiation thermometry of silicon wafers at high temperature2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE2004 August Sapporo

      ページ: 654-657

    • NAID

      130005441152

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] ブリュースター角を利用した常温付近におけるSi半導体ウエハの放射測温怯2004

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会予稿集 9月,No.1 3p-ZQ-10

      ページ: 134-134

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Measurement of optical properties of Si wafers and their applications to radiation thermometry.2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      21^<st> Sensing Forum, Tokyo

      ページ: 123-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Polarized transmissivity measurements of a Si semiconductor wafer at high temperature.2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ohkubo, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 51^<st> Spring Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1, 29a-YB-10

      ページ: 174-174

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Si半導体ウエハの光学的特牲の測定と放射測温法への応用2004

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第21回センシングフォーラム 9月 東京

      ページ: 123-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Polarized radiation thermometry of silicon wafers near room temperature2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE2004

      ページ: 646-649

    • NAID

      130006960396

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Measurement of emissivity and transmissivity of Si silicon wafers at high temperature.2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 51^<st> Spring Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1, 29p-YB-9

      ページ: 177-177

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温下におけるSiウエハの偏光透過率測定2004

    • 著者名/発表者名
      大久保智裕, 菅原弘司, 井内徹
    • 雑誌名

      第51回応用物理学関係連合講演会 3月,No.1 29a-YB-10

      ページ: 174-174

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] A method for the measurement of surface temperature of a metal in a high temperature furnace.2004

    • 著者名/発表者名
      T.Furukawa, N.Sato, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 51^<st> Spring Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.3, 29p-R-5

      ページ: 1106-1106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Polarized radiation thermometry of silicon wafers near room temperature2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE2004 August Sapporo

      ページ: 646-649

    • NAID

      130006960396

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 常温域におけるSiウエハの放射率・透過率測定2004

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第51回応用物理学関係連合講演会 3月,No.1 29p-YB-9

      ページ: 177-177

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Measurements of emissivity and transmissivity of silicon wafers at high temperature2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Chimata, N.Shimamura, H.Endo, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of the 3^<rd> Conference of Research Institute of Industrial Technology, Toyo Univ.February

      ページ: 17-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 偏光輝度を利用したSiウエハの放射測温法2004

    • 著者名/発表者名
      大久保智裕, 菅原弘司, 井内徹
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会予稿集 9月,No.1 3p-ZQ-9

      ページ: 133-133

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of a steel sheet in a high temperature furnace.2004

    • 著者名/発表者名
      T.Furukawa, N.Sato, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Trans.of the Society of Instruments and Control Engineers 40-4

      ページ: 376-381

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Measurements of emissivity and transmissivity of temperature by use of Brewster angle.2004

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 65^<th> Autumn Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics No.1, 3p-ZQ-10

      ページ: 134-134

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 常温付近におけるSi半導体ウエハの放射率・透過率測定2004

    • 著者名/発表者名
      山本拡樹, 笹原吉弘, 菅原弘司, 井内徹
    • 雑誌名

      第3回東洋大学工業技術研究所講演会予稿集 2月

      ページ: 19-20

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Some considerations for a method that simultaneously measures the temperature and emissivity of a metal in a high temperature furnace2004

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 75・12

      ページ: 5326-5332

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry of silicon wafers by use of polarized radiation.2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ohkubo, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 65^<th> Autumn Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics No.1, 3p-ZQ-9

      ページ: 133-133

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Polarized radiation thermometry of silicon wafers at high temperature.2004

    • 著者名/発表者名
      T.Ohkubo, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE 2004, Sapporo

      ページ: 654-657

    • NAID

      130005441152

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Si半導体ウエハの光学的特性の測定と放射測温法への応用2004

    • 著者名/発表者名
      菅原弘司, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第21回センシングフォーラム

      ページ: 123-127

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温炉内鋼板の放射測温法2004

    • 著者名/発表者名
      古川徹, 井内徹
    • 雑誌名

      計測自動制御学会論文集 40・4

      ページ: 376-381

    • NAID

      10012855017

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温炉内鋼板の放射測温法2004

    • 著者名/発表者名
      古川徹, 佐藤伸治, 井内徹
    • 雑誌名

      計測自動制御学会論文集 40-4

      ページ: 376-381

    • NAID

      10012855017

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Some considerations for a method that simultaneously measure the temperature and emissivity of a metal in a high temperature furnace2004

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments 75-12

      ページ: 5326-5332

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温下におけるSi半導体ウエハの放射率・透過率測定2004

    • 著者名/発表者名
      街寧, 島村直樹, 遠藤宏子, 大久保智裕, 井内徹
    • 雑誌名

      第3回東洋大学工業技術研究所講演会予稿集 2月

      ページ: 17-18

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Measurements of emissivity and transmissivity of silicon wafers near room temperature2004

    • 著者名/発表者名
      H.Yamamoto, Y.Sasahara, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of the 3^<rd> Conference of Research Institute of Industrial Technology, Toyo Univ.February

      ページ: 19-20

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温炉内における金属表面温度計測法2004

    • 著者名/発表者名
      古川徹, 佐藤伸治, 井内徹
    • 雑誌名

      第51回応用物理学関係連合講演会 3月,No.3 29p-R-5

      ページ: 1106-1106

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 偏光輝度を利用したSiウエハの放射測温法2004

    • 著者名/発表者名
      大久保智裕, 菅原弘司, 井内徹
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会予稿集 No.1

      ページ: 133-133

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity modeling of metals during the growth of oxide film and comparison of the model with experimental results.2003

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa, S.Wada
    • 雑誌名

      Applied Optics 42-13

      ページ: 2317-2326

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry in high temperature2003

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa
    • 雑誌名

      Proc.of 17^<th> IMEKO WORLD CONGRESS

      ページ: 1632-1637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温炉内ステンレス鋼板の放射測温法2003

    • 著者名/発表者名
      古川徹, 井内徹
    • 雑誌名

      第20回センシングフォーラム 9月 東京

      ページ: 95-100

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation pyrometry of stainless steel in a high temperature furnace.2003

    • 著者名/発表者名
      T.Furukawa, T.Iuchi
    • 雑誌名

      20^<th> Sensing Forum, Tokyo

      ページ: 95-100

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity measurement of silicon semiconductor wafer near room temperature2003

    • 著者名/発表者名
      S.Sugawara, T.Ohkubo, T.Fukushima, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE2003 August Fukui

      ページ: 580-583

    • NAID

      130005440376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity-compensated radiation thermometry of metals by the use of polarization in a high temperature furnace and near room temperature2003

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi
    • 雑誌名

      International workshop on radiation measurements of the bodies with unknown emissivity November Moscow

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity-compensated radiation thermometry of metals by the use of polarization in a high temperature and near room temperature.2003

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi
    • 雑誌名

      International workshop on radiation measurements of the bodies with unknown emissivity, November, Moscow

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] 高温下におけるSiウエハの放射率変化2003

    • 著者名/発表者名
      大久保智裕, 菅原弘司, 井内徹
    • 雑誌名

      第64回応用物理学会学術講演会予稿集 8月,No.1 2a-ZH-9

      ページ: 127-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity modeling of metals during the growth of oxide film and comparison of the model with experimental results2003

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa, S.Wada
    • 雑誌名

      Applied Optics 42-13

      ページ: 2317-2326

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity behaviors of a Si semiconductor wafer at high temperature2003

    • 著者名/発表者名
      T.Ohkubo, H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      The 64^<th> Autumn Meeting, Extended Abstracts, The Japan Society of Applied Physics No.1, 2a-ZH-9

      ページ: 127-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Emissivity measurement of silicon semiconductor wafer near room temperature.2003

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Ohkubo, T.Fukushima, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE 200., Fukui

      ページ: 580-583

    • NAID

      130005440376

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Radiation thermometry in high temperature furnace2003

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Furukawa
    • 雑誌名

      Proc.of 17^<th> IMEKO WORLD CONGRESS June Dubrovnik

      ページ: 1632-1637

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [雑誌論文] Polarized radiation thermometry of silicon wafers near room temperature.2002

    • 著者名/発表者名
      H.Sugawara, T.Iuchi
    • 雑誌名

      Proc.of SICE 2004, Sapporo

      ページ: 646-649

    • NAID

      130006960396

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15560364
  • [産業財産権] Radiation thermometry and radiation thermometry system2010

    • 発明者名
      井内徹、平加健介
    • 権利者名
      学校法人東洋大学
    • 出願年月日
      2010-06-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [産業財産権] Radiation Thermometry and Radiation Thermometry System2010

    • 発明者名
      T.Iuchi, K.Hiraka
    • 権利者名
      東洋大学
    • 出願年月日
      2010-06-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [産業財産権] ハイブリッド型表面温度計,温度分布測定装置及び測定方法2006

    • 発明者名
      井内 徹
    • 権利者名
      東洋大学
    • 産業財産権番号
      2006-036137
    • 出願年月日
      2006-02-14
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17560377
  • [学会発表] 一研究者による放射測温実用化研究のあしあと2014

    • 著者名/発表者名
      井内徹、資料
    • 学会等名
      日本学術振興会産業計測第36委員会第60回研究会
    • 発表場所
      弘済会館、東京
    • 年月日
      2014-02-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] 放射測温法における背光放射の定量評価2013

    • 著者名/発表者名
      岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      京都 同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Influence of background radiance and the reduction method for radiation thermometry2013

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi, Y. Toyoda and T. Iwasaki
    • 学会等名
      TEMPMEKO2013
    • 発表場所
      Madeira, Portugal
    • 年月日
      2013-10-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Emissivity properties of silicon wafers and application to radiation thermometry2013

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi and T. Seo
    • 学会等名
      9^<th> International Temperature Symposium
    • 発表場所
      Anaheim, USA
    • 年月日
      2013-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] 放射測温法における背光放射の定量評価2013

    • 著者名/発表者名
      岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会同志社大学
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2013-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Influence of background radiance and the reduction method for radiation thermometry2013

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi, Y. Toyoda and T. Iwasaki
    • 学会等名
      TEMPMEKO 2013 (Symposium on Temperature and Thermal Measurements in Industry and Science)
    • 発表場所
      Madeira, Portugal
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] シリコンウエハの光学的特性を利用した非接触測温法2012

    • 著者名/発表者名
      豊田祐樹、井内徹
    • 学会等名
      第37回光学シンポジウム
    • 発表場所
      Tokyo University
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] A combined method of noncontact temperature measurement for silicon wafers2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda, T. Seo and T. Iuchi
    • 学会等名
      20^<th> IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • 年月日
      2012-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] シリコンウエハの光学的特性を利用した非接触測温法2012

    • 著者名/発表者名
      豊田侑樹、井内徹
    • 学会等名
      第37回光学シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学、東京
    • 年月日
      2012-06-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] A combined method of noncontact temperature measurement for silicon wafers2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda, T. Seo and T. Iuchi
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Non-contact temperature measurement for silicon wafers under 600 degrees Celsius2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda and T. Iuchi
    • 学会等名
      SICE 2012
    • 発表場所
      Akita University
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Emissivity properties of silicon wafers and application to radiation thermometry2012

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi and T. Seo
    • 学会等名
      9th International Temperature Symposium
    • 発表場所
      Anaheim, CA. USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Non-contact temperature measurement for silicon wafers under 600˚C2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda and T. Iuchi
    • 学会等名
      SICE2012
    • 発表場所
      Akita Akita University
    • 年月日
      2012-08-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] 背光雑音を分離したシリコンウエハのin-situ放射測温の検討2011

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学(神奈川県)
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] シリコンウエハのin-situ放射測温における背光雑音の遮蔽2011

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学、山形
    • 年月日
      2011-08-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Temperature dependence of p-polarized transmittance of a semitransparent silicon wafer and its application to non-contact temperature measurement2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda and T. Iuchi
    • 学会等名
      SICE Annual Conference 2011
    • 発表場所
      早稲田大学(東京都)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] シリコンウエハのin-situ放射測温法における背光雑音の遮蔽2011

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第72回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      山形大学(山形県)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] Temperature dependence of p-polarized transmittance of a semitransparent silicon wafer and its application to non-contact temperature measurement2011

    • 著者名/発表者名
      Y. Toyoda and T. Iuchi
    • 学会等名
      SICE2011
    • 発表場所
      Waseda University, Tokyo
    • 年月日
      2011-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] 背光雑音を分離したシリコンウエハのin-situ放射測温の検討2011

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第58回応用物理学連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 背光雑音を分離したシリコンウエハのin-situ放射測温の検討2011

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、岩崎友幸、井内徹
    • 学会等名
      第58回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学、神奈川
    • 年月日
      2011-03-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511
  • [学会発表] シリコンウエハのin-situ放射測温法の考察2010

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、井内徹
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Temperature measurement of semitransparent silicon wafers based upon absorption edge wavelength shift2010

    • 著者名/発表者名
      井内徹, 瀬尾朋博
    • 学会等名
      TEMPMEKO $ ISHM 2010, Portrose (Slovenia)
    • 発表場所
      Portoroz, Slovenia
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] シリコンウエハのin-situ放射測温法の考察2010

    • 著者名/発表者名
      瀬尾朋博、井内徹
    • 学会等名
      第71回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      長崎大学(長崎県)
    • 年月日
      2010-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Temperature measurement of semitransparent silicon wafers based upon absorption edge wavelength shift2010

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, T.Seo
    • 学会等名
      TEMPMEKO & ISHM 2010
    • 発表場所
      Portrose(Slovenia)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 鉄鋼プロセスにおける放射測温技術の温故知新2009

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会
    • 発表場所
      加古川(兵庫)
    • 年月日
      2009-11-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 偏光放射率不変条件を利用したシリコンウエハの放射測温法2009

    • 著者名/発表者名
      岩崎友幸, 角谷聡, 井内徹
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] An emissivity-invariant condition of silicon wafers and its application to radiation thermometry2009

    • 著者名/発表者名
      井内徹, 後上敦史
    • 学会等名
      ICROS-SICE International Joint Conference 2009
    • 発表場所
      Fukuoka International Congress Center
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Uncertainty in the temperature of silicon wafers measured by radiation thermometry based upon a polarization technique2009

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, A.Gogami
    • 学会等名
      XIX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Lisbon
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 鉄鋼プロセスにおける放射測温技術の温故知新2009

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会
    • 発表場所
      加古川
    • 年月日
      2009-11-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] An emissivity-invariant condition of silicon wafers and its application to radiation thermometry2009

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, A.Gogami
    • 学会等名
      ICROS-SICE International Joint Conference 2009
    • 発表場所
      Fukuoka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Uncertainty in the temperature of silicon wafers measured by radiation thermometry based upon a polarization technique2009

    • 著者名/発表者名
      井内徹, 後上敦史
    • 学会等名
      XIX IMEKO WORLD CONGRESS
    • 発表場所
      Lisbon (Portugal)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 偏光放射率不変条件を利用したシリコンウエハの放射測温法2009

    • 著者名/発表者名
      岩崎友幸、角谷聡、井内徹
    • 学会等名
      第70回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2009-09-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Comparison of surface temperature readings between an embedded thermocouple in a silicon wafer and a hybrid-typetemperature sensor2008

    • 著者名/発表者名
      A. Gogami, T. Iuchi
    • 学会等名
      International Conference on Instrumentation, Control and Information Technology
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2008-08-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] シリコンウエハの放射率自動補正による非接触測温法2008

    • 著者名/発表者名
      後上敦史、井内徹
    • 学会等名
      第25回センシングフォーラム
    • 発表場所
      佐賀大学
    • 年月日
      2008-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] A hybrid-type surface temperature sensor and its application to the development of emissivity compensated radiation therm ometry2008

    • 著者名/発表者名
      A. Gogami, T. Iuchi
    • 学会等名
      International Conference on Control, Automation and Systems
    • 発表場所
      Seoul
    • 年月日
      2008-10-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 真空加熱炉内におけるハイブリッド型表面温度センサの適用2008

    • 著者名/発表者名
      後上敦史、井内徹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学(春日井キャンパス)
    • 年月日
      2008-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] A non-contact temperature measurement of semitransparent silicon wafers with absorption edge wavelength2008

    • 著者名/発表者名
      T.Iuchi, R. Shinagawa
    • 学会等名
      ICCAS 2008
    • 発表場所
      Seoul (Korea)
    • 年月日
      2008-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] A non-contact temperature measurement of semitransparent silicon wafers with absorption edge wavelength2008

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi, R. Shinagawa
    • 学会等名
      International Conference on Control, Automation and Systems
    • 発表場所
      Seoul
    • 年月日
      2008-10-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 偏光放射率補正シリコンウエハの温度計測法2008

    • 著者名/発表者名
      後上敦史、井内徹
    • 学会等名
      第33回光学シンポジウム
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2008-07-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Comparison of surface temperature readings between an embedded thermocouple in a silicon wafer and a hybrid-type temperature sensor2008

    • 著者名/発表者名
      後上敦史, 井内徹
    • 学会等名
      SICE 2008
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2008-08-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 真空加熱炉内におけるハイブリッド型表面温度センサの適用2008

    • 著者名/発表者名
      後上敦史, 井内徹
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2008-09-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] A hybrid-type surface temperature sensor and its application to the development of emissivity compensated radiation thermometry2008

    • 著者名/発表者名
      後上敦史, 井内徹
    • 学会等名
      ICCAS 2008
    • 発表場所
      Seoul (Korea)
    • 年月日
      2008-10-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Emissivity compensated radiation thermometry of silicon wafers during the growth of oxide film2008

    • 著者名/発表者名
      井内徹, 後上敦史
    • 学会等名
      International Conference on Temperature and Thermal Measurements
    • 発表場所
      Beijing (China)
    • 年月日
      2008-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] Emissivity compensated radiation thermometry of silicon wafers during the growth of oxide film2008

    • 著者名/発表者名
      T. Iuchi, A. Gogami
    • 学会等名
      International Conference on Temperature and Thermal Measurements
    • 発表場所
      Beijing
    • 年月日
      2008-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20560403
  • [学会発表] 一研究者による放射測温実用化研究のあしあと

    • 著者名/発表者名
      井内徹
    • 学会等名
      日本学術振興会 産業計測第36委員会
    • 発表場所
      弘済会館(東京)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23560511

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