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綾 信博  AYA Nobuhiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20356380
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2004年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 先進製造プロセス研究部門, グループ長
2003年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, マイクロ・ナノ機能広域発現研究センター, 副センター長
審査区分/研究分野
研究代表者以外
熱工学
キーワード
研究代表者以外
Stagnation Flow / Cleaning of Semiconductor Wafer / Gas Over Saturated Water / Minute Particle Contamination / Ultrasonic Cavitation / Surface Tension Effect / Cleaning Effect / Nano-Bubbles / 高気泡内圧力 / 純水 … もっと見る / 超音波付与 / 溶存空気量 / 微小空気泡 / 衣類洗浄 / 衝突噴流 / ウエハ洗浄 / 過飽和溶存気体 / 微粒子汚れ / 超音波キャビテーション / 表面張力効果 / 洗浄効果 / ナノバブル 隠す
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  ナノバブルの生成特性に及ぼす温度場影響の解明と高機能低環境負荷洗浄技術への応用

    • 研究代表者
      矢部 彰
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2004
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      熱工学
    • 研究機関
      独立行政法人産業技術総合研究所
  • 1.  矢部 彰 (40358221)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  竹村 文男 (20313041)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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