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宮脇 淳  Miyawaki Jun

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 20358138
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2015年度 – 2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, ナノ材料研究部門, 主任研究員
審査区分/研究分野
研究代表者
ナノ材料工学
キーワード
研究代表者
エッチング / プラズマ / 二次元層状物質
  • 研究課題

    (1件)
  • 研究成果

    (17件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  吸引プラズマによる層状化合物のデジタルエッチング技術の確立研究代表者

    • 研究代表者
      宮脇 淳
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      ナノ材料工学
    • 研究機関
      国立研究開発法人産業技術総合研究所

すべて 2017 2016 2015

すべて 学会発表 産業財産権

  • [産業財産権] プラズマエッチング装置2016

    • 発明者名
      清水哲夫、宮脇 淳、他6名
    • 権利者名
      産業技術総合研究所、三友製作所
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2016-050793
    • 出願年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] Morphology and electrical studies on defect-induced transition metal dichalcogenide nanosheet by O2 plasma treatment2017

    • 著者名/発表者名
      安藤淳、宮脇淳、堀川昌代、清水哲夫、久保利隆
    • 学会等名
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      中部大学(愛知県春日井市)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] Etching morphology of HOPG and Molybdenum Disulfide (MoS2) treated with inward-plasma2017

    • 著者名/発表者名
      久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • 学会等名
      ISPlasma2017/IC-PLANTS2017
    • 発表場所
      中部大学(愛知県春日井市)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 吸引プラズマの精密エッチングレート制御2016

    • 著者名/発表者名
      狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、宮脇淳、久保利隆、安藤淳、清水哲夫
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ(新潟県新潟市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] Single Layer Etching of MoS2 using Inward-Plasma2016

    • 著者名/発表者名
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • 学会等名
      日本化学会第96春季年会
    • 発表場所
      同志社大学(京都府京田部市)
    • 年月日
      2016-03-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] STMとモンテカルロシミュレーションによる二次元層状物質の単層プラズマエッチング形状2016

    • 著者名/発表者名
      久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • 学会等名
      ナノ学会
    • 発表場所
      北九州国際会議場(福岡県北九州市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 吸引プラズマを用いたMoS2表面の層状エッチング形状2016

    • 著者名/発表者名
      久保利隆、宮脇淳、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • 学会等名
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 酸素プラズマ処理を用いた欠陥導入に伴う層状半導体の電気特性変化2016

    • 著者名/発表者名
      安藤淳、久保利隆、堀川昌代、宮脇淳、清水哲夫、森貴洋
    • 学会等名
      ナノ学会
    • 発表場所
      北九州国際会議場(福岡県北九州市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 吸引プラズマによるSi基板の高速局所エッチング加工2016

    • 著者名/発表者名
      宮脇 淳、狩野 諒、菅 洋志、久保 利隆、安藤 淳、新堀俊一郎、高橋 賢、清水 哲夫
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学(東京都目黒区)
    • 年月日
      2016-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 吸引プラズマエッチング法を用いたSiO2ダイヤフラム構造作製技術の開発2016

    • 著者名/発表者名
      狩野諒、菅洋志、新堀俊一郎、高橋賢、久保利隆、安藤淳、清水哲夫、宮脇淳
    • 学会等名
      2016年真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] STM observation and Monte Carlo simulation of Molybdenum Disulfide (MoS2) Treated with Inward-Plasma Etching2016

    • 著者名/発表者名
      宮脇淳、久保利隆、清水哲夫、新堀俊一郎、高橋賢、安藤淳
    • 学会等名
      ICSPM24
    • 発表場所
      ハワイコンベンションセンター(米国ハワイ州)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] Fast local etching of Si substrates using inward plasma2016

    • 著者名/発表者名
      宮脇 淳、狩野 諒、菅 洋志、久保 利隆、安藤 淳、新堀俊一郎、高橋 賢、清水 哲夫
    • 学会等名
      ISPlasma2016
    • 発表場所
      名古屋大学(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2016-03-09
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の単層エッチング2015

    • 著者名/発表者名
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • 学会等名
      ナノ学会第13回大会
    • 発表場所
      東北大学(宮城県仙台市)
    • 年月日
      2015-05-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 2D Network-like Nanostructure of Molybdenum Disulfide (MoS2) Formed by Inward-Plasma Etching2015

    • 著者名/発表者名
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • 学会等名
      International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM23)
    • 発表場所
      ニセコプリンスホテル(北海道虻田郡ニセコ町)
    • 年月日
      2015-12-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] Morphology and Electrical Studies on Defect-induced MoS2 Nanosheet by O2 Plasma Treatment2015

    • 著者名/発表者名
      安藤 淳、堀川 昌代、宮脇 淳、清水 哲夫、久保 利隆
    • 学会等名
      23rd International Colloquium on Scanning Probe Microscopy (ICSPM23)
    • 発表場所
      ニセコプリンスホテル(北海道虻田郡ニセコ町)
    • 年月日
      2015-12-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 吸引型プラズマによる二次元層状物質の広範囲単層エッチング2015

    • 著者名/発表者名
      宮脇 淳、久保 利隆、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • [学会発表] 二次元原子薄膜材料の単層剥離技術の開発2015

    • 著者名/発表者名
      久保 利隆、宮脇 淳、清水 哲夫、新堀俊一郎、高橋 賢、安藤 淳
    • 学会等名
      真空・表面科学合同講演会
    • 発表場所
      茨城県つくば市
    • 年月日
      2015-12-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13310
  • 1.  久保 利隆 (70344124)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 16件

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