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Applied Physics Letters
巻: 115 ページ: 151602-151602
10.1063/1.5116170
巻: 116 ページ: 171602-171602
10.1063/5.0002944
120007132633
巻: 116 ページ: 071604-071604
10.1063/1.5143555
120007003559
Journal of Applied Physics
巻: 127 ページ: 145301-145301
10.1063/1.5134648
120007132646
巻: 125 ページ: 065302-065302
10.1063/1.5066356
120007133646
巻: 113 ページ: 061605-061605
10.1063/1.5041059
120007127942
巻: 112
10.1063/1.4994241
120007133812
ECS Transactions
巻: 80 ページ: 147-153
10.1149/08001.0147ecst
Appl. Phys. Express
巻: 10 号: 4 ページ: 046601-046601
10.7567/apex.10.046601
210000135827
Japanese Journal of Applied Physics
巻: 56 号: 4S ページ: 04CR08-04CR08
10.7567/jjap.56.04cr08
Materials Science Forum
巻: 778-780 ページ: 975-978
巻: 778-780 ページ: 414-417
シリコンテクノロジー(応用物理学会分科会)
巻: 161 ページ: 98-102
巻: 58 ページ: 55-60