元廣友美 MOTOHIRO Tomoyoshi

研究者番号	20394421
その他のID
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2019年度 – 2022年度: 名古屋大学, 未来社会創造機構, 客員教授 2016年度: 名古屋大学, 未来社会創造機構, 教授 2014年度 – 2015年度: 名古屋大学, グリーンモビリティ連携研究センター, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 電力工学・電力変換・電気機器
キーワード	研究代表者超電導磁気エネルギー貯蔵 / 超電導 / コイル / 蓄電 / 極低温冷凍機 / 銅めっき / シリコンウェハ / MEMS / 小型化 / Si微細加工技術 … もっと見る / Siウェハ / めっき / 超電導蓄電コイル / シリコン微細加工プロセス / 銅酸化物高温超電導薄膜 / MOD法 / トレンチ / 電力貯蔵 / 超電導コイル / 磁場計算 / 化学機械研磨(CMP) / MOD成膜技術 / スパッタ成膜技術 / シリコン微細加工技術（MEMS） / Li二次電池 / 電力機器 / SMES / 薄膜 / 超伝導 / 電気エネルギー貯蔵 / 電気エネルギー工学 / 極低温 / 電気エネルギー / 磁気エネルギー / シリコン / 化学機械研磨（CMP） / 超電導薄膜・ / 螺旋コイル / 超電導磁気エネルギー貯蔵（SMES）隠す

Si微細加工プロセスによる量産型コンパクト超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  元廣友美
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  名古屋大学
MEMS技術を用いた超小型超電導磁気エネルギー貯蔵素子研究代表者
- 研究代表者
  
  元廣友美
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電力工学・電力変換・電気機器
- 研究機関
  名古屋大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2017 2016 2015

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] 超電導電力貯蔵装置を小型化するコイル向け全長100 m級スパイラル溝形成2022
- 著者名/発表者名
  Sasaki Minoru、Noh Joo-Hyong、Takai Osamu、Motohiro Tomoyoshi
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 142 号: 5 ページ: 78-84
- DOI
  10.1541/ieejsmas.142.78
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2022-05-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[雑誌論文] Estimation of the Electricity Storage Volume Density of Compact SMESs of a New Concept Based on Si Microfabrication Technologies2021
- 著者名/発表者名
  Motohiro Tomoyoshi、Sasaki Minoru、Noh Joo-hyong、Takai Osamu
- 雑誌名
  
  Magnetochemistry
  
  巻: 7 号: 3 ページ: 44-44
- DOI
  10.3390/magnetochemistry7030044
- NAID
  120007180197
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[雑誌論文] 微細加工技術を用いた超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発における表面処理技術2020
- 著者名/発表者名
  元廣友美、佐々木実、盧柱亨
- 雑誌名
  
  工業材料
  
  巻: 68(2) ページ: 66-74
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[雑誌論文] Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si-wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraints of the Critical Magnetic Flux Density2020
- 著者名/発表者名
  Motohiro T、Sasaki M、Noh J-H、Takai O、Honma H
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 1590 号: 1 ページ: 012045-012045
- DOI
  10.1088/1742-6596/1590/1/012045
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[雑誌論文] 微細加工技術を用いた超小型超電導磁気エネルギー貯蔵技術の開発2019
- 著者名/発表者名
  元廣友美
- 雑誌名
  
  ケミカルエンジニアリング
  
  巻: 64(6) ページ: 412-422
- NAID
  40021931352
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[雑誌論文] Estimation of electricity storage capacity of compact SMESs composed of stacks of Si-wafers loaded with superconducting thin film coils in spiral trenches formed by MEMS process2019
- 著者名/発表者名
  Ichiki Y、Ichiki A、Hioki T、Sasaki M、Noh J-H、Takai O、Honma H、Motohiro T
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 1293 号: 1 ページ: 012058-012058
- DOI
  10.1088/1742-6596/1293/1/012058
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[雑誌論文] Compact SMES with a superconducting film in a spiral groove on a Si wafer formed by MEMS technology with possible high-energy storage volume density comparable to that of rechargeable batteries2017
- 著者名/発表者名
  N. Sugimoto, N. Iguchi, Y. Kusano, T. Fukano, T. Hioki, A. Ichiki,　T. Bessho, T, Motohiro
- 雑誌名
  
  Superconductor Science and Technology
  
  巻: 30 号: 1 ページ: 015014-015014
- DOI
  10.1088/0953-2048/30/1/015014
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[産業財産権] 超伝導コイル2017
- 発明者名
  元廣友美、別所毅、杉本憲昭
- 権利者名
  元廣友美、別所毅、杉本憲昭
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-073869
- 出願年月日
  2017-04-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[産業財産権] 超電導エネルギー貯蔵装置2015
- 発明者名
  杉本憲昭、深野達雄、元廣友美
- 権利者名
  ㈱豊田中央研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-198866
- 出願年月日
  2015-10-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[学会発表] めっき法を用いた小型SMESのための超電導体材料上への銅膜形成2021
- 著者名/発表者名
  信夫勇佑, 荒川太郎，盧柱亨，高井治, 本間英雄, 元廣友美, 佐々木実
- 学会等名
  日本材料科学学会2021年度学術講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[学会発表] Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density2019
- 著者名/発表者名
  T. Motohiro, M. Sasaki, J.-H. Noh
- 学会等名
  The 32nd International Symposium on Superconductivity (ISS2019), December 3rd-5th, Kyoto, Japan
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[学会発表] Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage2019
- 著者名/発表者名
  M. Sasaki, Y. Suzuki, T. Hioki, T. Motohiro,
- 学会等名
  2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[学会発表] Over 100m Length Single Spiral Silicon Micro-Trench with 3-Step Smooth Sidewalls to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage2019
- 著者名/発表者名
  M. Sasaki, Y. Suzuki, K. Adachi, T. Hioki, T. Motohiro
- 学会等名
  International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[学会発表] Copper thin film formation on superconductor material for compact SMES using plating method2019
- 著者名/発表者名
  Kaito Seki, Joo-Hyoung Noh, Yoshio Horiuchi, Osamu Takai, Hideo Honma, Tomoyoshi Motohiro, Tatsumi Hioki, Minoru Sasaki and Taro Arakawa
- 学会等名
  The 8th International Symposium on Materials Science and Surface Technology (MSST2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H02195
[学会発表] Stress control of NbN film on the Si wafer for SMES2017
- 著者名/発表者名
  Yushi Ichiki, Yasuhiro Suzuki, Nobuhiro Iguchi, Tatsumi Hioki, Akihisa Ichiki and Tomoyoshi Motohiro
- 学会等名
  The 1st Seminar on JSPS Core-to-Core Program ( B. Asia-Africa Sxience Platforms) "Establishment of Reaearch Hub for Compact Mobility in the ASEAN Region"
- 発表場所
  Hanoi University of Science and Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[学会発表] Fabrication of a Traversable Thick NbN Film Superconducting Coil of 42m in Length in a Spiral Three-Storied Trench Engraved in a Si Wafer of 76.2 mm in Diameter Formed by MEMS Technology for a Compact Electric Power Storage as a Magnetic Field with High Energy Storage Volume Density2017
- 著者名/発表者名
  T. Motohiro
- 学会等名
  The 1st Seminar on JSPS Core-to-Core Program ( B. Asia-Africa Sxience Platforms) "Establishment of Reaearch Hub for Compact Mobility in the ASEAN Region"
- 発表場所
  Hanoi University of Science and Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[学会発表] Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench　on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries2016
- 著者名/発表者名
  N. Iguchi, Y. Suzuki, K. Adachi, T. Hioki, A. Ichiki, T. Motohiro, N. Sugimoto, C.-H Hsu, R. Sato, S. Kumagai, M. Sasaki, J.-H. Noh, Y. Sakurahara, K. Okabe,O. Takai, H. Honma, H. Watanabe, H.Sakoda, H. Sasagawa, H. Doy, S. Zhou,T. Nozaki, H. Hori, S. Nishikawa
- 学会等名
  1st Asian Int’l Cryogenic Mater. Conf.-50th Anniversary Conf. of Cryogenics and Superconductivity Soc. Jpn
- 発表場所
  Kanazawa-Kagekiza, Kanazawa, Japan
- 年月日
  2016-11-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[学会発表] Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Groove on a Si-Wafer Formed by MEMS Technol.with Possible Energy Storage Volume-Density Surpassing that of Li-Ion Batteries (II)2015
- 著者名/発表者名
  N. Iguchi, N. Sugimoto, Y. Kusano, T. Fukano, T. Hioki, A. Ichiki, T. Bessho, T.Motohiro
- 学会等名
  The 28th International Symposium on Superconductivity
- 発表場所
  Tower Hall Funabori, Funabori, Tokyo
- 年月日
  2015-11-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074
[学会発表] Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Groove on a Si-Wafer Formed by MEMS Technol.with Possible Energy Storage Volume-Density Surpassing that of Li-Ion Batteries (I)2015
- 著者名/発表者名
  N. Sugimoto, N. Iguchi, Y. Kusano, T. Fukano, T. Hioki, A. Ichiki, T. Bessho, T. Motohiro
- 学会等名
  The 28th International　Symposium on Superconductivity
- 発表場所
  Tower Hall Funabori, Funabori, Tokyo
- 年月日
  2015-11-16
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26289074

1. 梶野勉 (10394636)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
2. 竹田康彦 (10394660)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 杉本憲昭 (60394714)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 盧柱亨 (50313474)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
5. 佐々木実 (70282100)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件

元廣 友美 MOTOHIRO Tomoyoshi

研究課題

研究成果

共同研究者

Si微細加工プロセスによる量産型コンパクト超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

MEMS技術を用いた超小型超電導磁気エネルギー貯蔵素子研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] 超電導電力貯蔵装置を小型化するコイル向け全長100 m級スパイラル溝形成2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Estimation of the Electricity Storage Volume Density of Compact SMESs of a New Concept Based on Si Microfabrication Technologies2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] 微細加工技術を用いた超電導磁気エネルギー貯蔵デバイスの開発における表面処理技術2020

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si-wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraints of the Critical Magnetic Flux Density2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] 微細加工技術を用いた超小型超電導磁気エネルギー貯蔵技術の開発2019

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Estimation of electricity storage capacity of compact SMESs composed of stacks of Si-wafers loaded with superconducting thin film coils in spiral trenches formed by MEMS process2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Compact SMES with a superconducting film in a spiral groove on a Si wafer formed by MEMS technology with possible high-energy storage volume density comparable to that of rechargeable batteries2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[産業財産権] 超伝導コイル2017

発明者名

権利者名

産業財産権種類

産業財産権番号

出願年月日

データソース

[産業財産権] 超電導エネルギー貯蔵装置2015

発明者名

権利者名

産業財産権種類

産業財産権番号

出願年月日

データソース

[学会発表] めっき法を用いた小型SMESのための超電導体材料上への銅膜形成2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Estimation of Electricity Storage Density of Compact SMESs Composed of Si wafer Stacks Loaded with Superconducting Thin Film Coils in Spiral Trenches under the Constraint of Critical Magnetic Flux Density2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Stacking 4” Si Wafer with Parallel 3-Stepped Micro-Trenches to Deposit Superconducting Material for Magnetic Energy Storage2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

元廣友美 MOTOHIRO Tomoyoshi

[学会発表] Compact SMES with a Superconducting Film in a Spiral Trench　on a Si-Wafer Formed by MEMS Technology with Possible High Energy Storage Volume-Density Comparable to Those of Rechargeable Batteries2016