プレムパル PREM Pal

… 別表記

PREM Pal プレムパル

研究者番号	20444416
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2009年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, COE研究員(当時) 2007年度: 名古屋大学, 大学院・工学研究科, COE研究員
審査区分/研究分野	研究代表者以外マイクロ・ナノデバイス
キーワード	研究代表者以外 FTIR / 固液界面 / 界面活性剤 / 不純物イオン / 異方性エッチング / 結晶 / シリコン

シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究
- 研究代表者
  
  佐藤一雄
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  名古屋大学

すべて 2010 2009 2008 2007

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Fabrication methods based on wet etching process for the realization of silicon MEMS structures with new shapes2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies, (DOI 10.1007/s00542-009-0956-5) (in press, Online published)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching (Study of micromachining of single crystal silicon)2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集C2編「マイクロ・ナノ工学シンポジウム小特集」 (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide : Etching mechanism and advanced application2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, M.A.Gosalvez, K.Sato
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics, accepted Feb. '10 (in press)
- NAID
  40017116129
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide: Etching mechanism and advanced application2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, M.A. Gosalvez, K. Sato
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (in press, accepted Feb.)
- NAID
  40017116129
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching (Study of micromachining of single crystal silicon)2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集C2編「マイクロ・ナノ工学シンポジウム小特集」 (in press, accepted Feb.)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Fabrication methods based on wet etching process for the realization of silicon MEMS structures with new shapes2010
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 雑誌名
  
  Microsystem Technologies 0956-5(in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, Prem.Pal, B.Tang, K.Sato
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 157
  
  ページ: 91-95
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, Prem. Pal, B. Tang, K. Sato
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 157
  
  ページ: 91-95
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009
- 著者名/発表者名
  B. Tang, Prem Pal, M.A. Gosalvez, M. Shikida, K. Sato, et. al.
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A 156-2(Physical)
  
  ページ: 334-341
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Various shapes of silicon freestanding microfluidic channels and microstructures in one step lithography2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40682
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 154-2
  
  ページ: 192-203
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Complex three-dimensional structures in Si{1 0 0} using wet bulk micromachining2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40835
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Various shapes of silicon freestanding microfluidic channels and microstructures in one step lithography2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 19-5
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution : Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, K.Ishibashi, et al.
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems 18-6
  
  ページ: 1345-1356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A 154-2(Physical)
  
  ページ: 192-203
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Orientation and concentration dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions: Explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for MEMS applications2009
- 著者名/発表者名
  M.A. Gosalvez, B. Tang, Prem Pal, K. Sato, Y. Kimura, K. Ishibashi
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40896
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009
- 著者名/発表者名
  B.Tang, Prem Pal, M.A.Gosalvez, M.Shikida, K.Sato, et al.
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A, Physical 156-2
  
  ページ: 334-341
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Suspended Si microstructures over controlled depth micromachined cavities for MEMS based sensing devices2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 雑誌名
  
  Sensor Letters 7-1
  
  ページ: 11-16
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Orientation and concentration dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions : Explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for MEMS applications2009
- 著者名/発表者名
  M.A.Gosalvez, B.Tang, Prem Pal, K.Sato, Y.Kimura, K.Ishibashi
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 19-12
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Suspended Si microstructures over controlled depth micromachined cavities for MEMS based sensing devices2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 雑誌名
  
  Sensor Letters 40725
  
  ページ: 11-16
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Complex three-dimensional structures in Si{100} using wet bulk micromachining2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 19-10
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution: Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, K. Ishibashi, et al.
- 雑誌名
  
  J. Microelectromechanical Systems 40712
  
  ページ: 1345-1356
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. Shikida
- 雑誌名
  
  ECS Transactions 40771
  
  ページ: 133-140
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.Shikida
- 雑誌名
  
  ECS Transactions 16-8
  
  ページ: 133-140
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering vol.17
  
  ページ: 2299-2307
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Fabrication techniques of convex comers in a(100)-silicon wafer using bulk micromachining: a review2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato and Sudhir Chandra
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering vol.17
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Fabrication techniques of convex comers in a (100)-silicon wafer using bulk micromachining: a review2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, Sudhir Chandra
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40833
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[雑誌論文] Study of rounded concave and sharp edge convex corners undercutting in CMOS compatible anisotropic etchants2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 雑誌名
  
  J. Micromechanics and Microengineering 40864
  
  ページ: 2299-2307
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[産業財産権] シリコン微細構造体の製造方法2010
- 発明者名
  佐藤一雄, Prem Pal
- 権利者名
  名古屋大学
- 産業財産権番号
  2009-172553
- 出願年月日
  2010-07-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[産業財産権] シリコン微細構造体の製造方法2009
- 発明者名
  佐藤一雄, Prem Pal
- 権利者名
  名古屋大学
- 産業財産権番号
  2009-172553
- 出願年月日
  2009-07-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[産業財産権] シリコン微細構造体の製造方法及び微細流路デバイスの製造方法2009
- 発明者名
  佐藤一雄, Prem Pal
- 権利者名
  名古屋大学
- 産業財産権番号
  2008-312338
- 出願年月日
  2009-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[産業財産権] シリコン微細構造体の製造方法及び微細流路デバイスの製造方法2008
- 発明者名
  佐藤一雄, Prem Pal
- 権利者名
  名古屋大学
- 産業財産権番号
  2008-312338
- 出願年月日
  2008-12-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Micro/Nano science uncovering the mysteries of silicon wet etching for the fabrication of MEMS structures(invited)2009
- 著者名/発表者名
  K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez, Prem Pal
- 学会等名
  Intl.Conf.on Materials for Advanced Technologies
- 発表場所
  Singapore
- 年月日
  2009-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Silicon microfluidic channels and microstructures by one step photolithography2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  Symp. on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
- 発表場所
  Rome
- 年月日
  2009-04-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Wet etched complex three dimensional MEMS structures2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Surfactant in TMAH for new shapes of silicon MEMS components ; its orientation dependent adsorption detected by infrared spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem.Pal, K.Sato, H.Hida, M.A.Gosalvez, Y.Kimura, et al.
- 学会等名
  15th Intl.Conf.on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems(Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA
- 年月日
  2009-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Anisotropic nature of Si surface during wet alkaline etching ; Effects of cations and surfactants2009
- 著者名/発表者名
  K.Sato, M.Shikida, M.A.Gosalvez, Prem Pal, Y.Kimura
- 学会等名
  The 5th International Colloquium, Micro-Tribology
- 発表場所
  Milowka, Poland
- 年月日
  2009-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議第1回シンポジウム
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Silicon microfluidic channels and microstructures by one step photolithography2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, 佐藤一雄
- 学会等名
  Symp.on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS(DTIP)
- 発表場所
  Rome, Italy
- 年月日
  2009-04-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Experimental verification and theoretical explanation of the effect of surfactant addition to TMAH based etchants for advanced applications in MEMS2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato, M.A.Gosalvez, H.Hida, B.Tang, S.Ito, Y.Kimura, K.Ishibashi, M.Niwano
- 学会等名
  第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  東京タワーホール船堀
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution2009
- 著者名/発表者名
  B.Tang, M.A.Gosalvez, Prem Pal, S.Itoh, H.Hida, M.Shikida, K.Sato
- 学会等名
  Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 学会等名
  日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議第1回シンポジウム
- 発表場所
  東京タワーホール船堀
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Experimental verification and theoretical explanation of the effect of surfactant addition to TMAH based etchants for advanced applications in MEMS2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, H. Hida, B. Tang, S. Ito, Y. Kimura, K. Ishibashi, M. Niwano
- 学会等名
  第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2009-10-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Advanced wet etch bulk micromachining in {100} silicon wafers2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 学会等名
  2009 MRS Fall Meeting
- 発表場所
  Boston, USA
- 年月日
  2009-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Fabrication Methods Based on Wet Bulk Micromachining for the Realization of Advanced MEMS Structures2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  15th Intl. Workshop on the Physics of Semiconductor Devices
- 発表場所
  New Delhi, India
- 年月日
  2009-12-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Micro/Nano science uncovering the mysteries of silicon wet etching for the fabrication of MEMS structures2009
- 著者名/発表者名
  K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez, Prem Pal
- 学会等名
  Intl. Conf. on Materials for Advanced Technologies
- 発表場所
  Singapore
- 年月日
  2009-06-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Wet etched complex three dimensional MEMS structures2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K.Sato
- 学会等名
  Intl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] dvanced wet etch bulk micromachining in {100} silicon wafers2009
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  2009 MRS Fall Meeting
- 発表場所
  Boston, USA
- 年月日
  2009-11-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Anisotropic nature of Si surface during wet alkaline etching; Effects of cations and surfactants2009
- 著者名/発表者名
  K. Sato, M. Shikida, M.A. Gosalvez, Prem Pal, Y. Kimura
- 学会等名
  The 5th International Colloquium, Micro-Tribology
- 発表場所
  Milowka, Poland
- 年月日
  2009-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Surfactant in TMAH for new shapes of silicon MEMS components; its orientation dependent adsorption detected by infrared spectroscopy2009
- 著者名/発表者名
  Prem. Pal, K. Sato, H. Hida, M.A. Gosalvez, Y. Kimura, et. al.
- 学会等名
  15th Intl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuator and Microsystems
- 発表場所
  Denver, USA(Transducers)
- 年月日
  2009-06-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Adsorbed surfactant thickness on a Si wafer dominating etching properties of TMAH solution2009
- 著者名/発表者名
  B. Tang, M.A. Gosalvez, Prem Pal, S. Itoh, H. Hida, M. Shikida, K. Sato
- 学会等名
  ntl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2009-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] A comparative study of non-ionic surfactants in TMAH for conformal wet anisotropic etching on(100)-Si wafers2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, 佐藤一雄
- 学会等名
  第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  宜野湾市沖縄コンベンションセンター
- 年月日
  2008-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Micromachined sealed cavities by silicon wafer bonding for the formation of microstructures of desired thickness using TMAH etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, 佐藤一雄
- 学会等名
  Intl.Symp.on Micro-NanoMechatronics and Human Science(MHS)
- 発表場所
  名古屋市名古屋大学
- 年月日
  2008-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Micromachined sealed cavities by silicon wafer bonding for the formation of microstructures of desired thickness using TMAH etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  ntl. Symp. on Micro-NanoMechatronics and Human Science (MHS)
- 発表場所
  名古屋市
- 年月日
  2008-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, 佐藤一雄, 式田光宏
- 学会等名
  PRiME'08 214th ECS Meeting
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- 年月日
  2008-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  稲垣徳幸, 佐々木光, Prem Pal, 式田光宏, 佐藤一雄
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門研究会
- 発表場所
  仙台市
- 年月日
  2008-06-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] A comparative study of non-ionic surfactants in TMAH for conformal wet anisotropic etching on (100)-Si wafers2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato
- 学会等名
  第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  那覇市
- 年月日
  2008-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] An improved anisotropic wet etching progress for the fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MEMS08, p327-330
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] An improved anisotropic wet etching progress for the fabrication of silicon MEMS structures using a single etching mask2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MEMS08
- 発表場所
  Tucson, USA
- 年月日
  2008-01-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Gosalvez and M. Shikida, Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 学会等名
  SPIE MOEMS-MEMS (Proc. SPIE Vol. 6882)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2008-01-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Suspended Si microstructures with rounded concave and sharp convex corners using wafer bonding and wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. Shikida
- 学会等名
  PRiME'08 214th ECS Meeting
- 発表場所
  Honolulu
- 年月日
  2008-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] 結晶異方性ウェットエッチングによるスキャロッピングの選択除去に関する研究2008
- 著者名/発表者名
  稲垣徳幸, 佐々木光, Prem Pal, 式田光宏, 佐藤一雄
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門研究会
- 発表場所
  仙台市戦災復興記念館
- 年月日
  2008-06-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Microstructures with rounded concave and sharp-edged convex corners in a single step wet anisotropic etching2008
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 学会等名
  SPIE MOEMS-MEMS(Proc. SPIE Vol.6882)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2008-01-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Novel wet anisotropic etching process for the realization of new shapesof silicon MEMS structures2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M. A. Gosalvez and M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MHS07 & Micro-Nano COE, p499-504
- 発表場所
  Nagoya
- 年月日
  2007-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026
[学会発表] Novel wet anisotropic etching process for the realization of new shapes of silicon MEMS structures2007
- 著者名/発表者名
  Prem Pal, K. Sato, M.A. Gosalvez, M. Shikida
- 学会等名
  IEEE Intl. Conf. MHS07 & Micro-Nano COE
- 発表場所
  Nagoya
- 年月日
  2007-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19201026

1. ゴサルベスミゲル (10377814)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 60件
2. 佐藤一雄 (30262851)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 61件
3. 式田光宏 (80273291)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 24件
4. 木村康男 (40312673)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 10件
5. ヒュンニネンテーム

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. フェルランドネストル

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

プレム パル PREM Pal

PREM Pal プレム パル

研究課題

研究成果

共同研究者

シリコンの結晶異方性エッチングモデルと溶液組成イオン効果の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Fabrication methods based on wet etching process for the realization of silicon MEMS structures with new shapes2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching (Study of micromachining of single crystal silicon)2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide : Etching mechanism and advanced application2010

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Silicon micromachining based on surfactant-added tetramethyl ammonium hydroxide: Etching mechanism and advanced application2010

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Extension of 3D Shapes of MEMS Structures Realized by Wet Etching (Study of micromachining of single crystal silicon)2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Fabrication methods based on wet etching process for the realization of silicon MEMS structures with new shapes2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Atomistic mechanism for the macroscopic effects induced by small additions of surfactants to alkaline etching solutions2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Various shapes of silicon freestanding microfluidic channels and microstructures in one step lithography2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Complex three-dimensional structures in Si{1 0 0} using wet bulk micromachining2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Various shapes of silicon freestanding microfluidic channels and microstructures in one step lithography2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Surfactant adsorption on single crystal silicon surfaces in TMAH solution : Orientation-dependent adsorption detected by in-situ infra-red spectroscopy2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Study of corner compensating structures and fabrication of various shapes of MEMS structures in pure and surfactant added TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Orientation and concentration dependent surfactant adsorption on silicon in aqueous alkaline solutions: Explaining the changes in the etch rate, roughness and undercutting for MEMS applications2009

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Ellipsometry study of the adsorbed surfactant thickness on Si{110} and Si{100} and the effect of pre-adsorbed surfactant layer on etching characteristics in TMAH2009

著者名/発表者名

雑誌名

プレムパル PREM Pal

PREM Pal プレムパル