神田健介 Kanda Kensuke

研究者番号	20446735
その他のID	https://orcid.org/0000-0002-2395-120X
所属 (現在)	2025年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2019年度 – 2024年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 2016年度 – 2019年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 2014年度 – 2015年度: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2012年度: 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 助教 2012年度: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2011年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 2008年度 – 2009年度: 首都大学東京, システムデザイン研究科, 客員研究員
審査区分/研究分野	研究代表者知能機械学・機械システム / 小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連 / 流体工学研究代表者以外小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連 / 小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / 小区分26030:複合材料および界面関連
キーワード	研究代表者 MEMS / 圧電薄膜 / 薄膜 / マイクロマシン / マイクロ・ナノシステム / センサ / アクチュエータ / PZT / 磁性体薄膜 / 微細加工 … もっと見る / 強磁性体 / 強誘電体 / 半導体製造プロセス / ハーベスタ / 自律センサ / エナジーハーベスタ / 非線形振動 / 振動発電 / 磁石 / 圧電 / 非線形効果 / 振動発電素子 / 磁石薄膜 / 無線電力伝送 / エナジーハーベスティング / フレキシブル / 触覚デバイス / インターフェース / ハプティックス / 触覚ディスプレイ / MEMS・マイクロマシン / IoT / 触覚アクチュエータ / チタン酸ジルコン酸鉛 / 多層積層 / 多層成膜 / バイモルフ / ナノメカトロニクス / マイクロ / マイクロチャネル / 量子ドット / マイクロチャンネル / 生体物質位置測定 / 全反射蛍光法 / 粒子追跡 … もっと見る研究代表者以外 MEMS / ひずみゲージ / マイクロヒータ / 温冷覚センサ / 振動覚センサ / 触覚センサ / 二酸化バナジウム / 荷重分布計測 / 圧電センサ / 電力伝送 / エナジーハーベスタ / 圧電体薄膜 / NiCr / PZT / カンチレバー / 圧電素子 / マルチモーダル / 界面構造 / 電気磁気効果 / マルチフェロイック複合体 / マイクロピラー型 / 複合体 / 交差相関 / 強磁性 / 強誘電性 / マイクロピラー型構造 / MOCVD法 / マルチフェロイクス / 電気磁気結合現象 / 電気磁気電圧係数 / ピラー型複合体薄膜 / 有機金属化学気相堆積法 / 反応性イオンエッチング / 高温スパッタ法 / マルチフェロイック材料隠す

医療・介護IoTデバイスのためのMEMS振動型エナジーハーベスタによる電力伝送
- 研究代表者
  
  藤田孝之
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ
- 研究代表者
  
  寒川雅之
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
- 研究機関
  新潟大学
圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子研究代表者
- 研究代表者
  
  神田健介
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発
- 研究代表者
  
  寒川雅之
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
- 研究機関
  新潟大学
微細加工技術を利用したナノピラー型マルチフェロイック複合体材料の開発
- 研究代表者
  
  小舟正文
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26030:複合材料および界面関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
圧電薄膜によるMEMSハプティックデバイスの創製研究代表者
- 研究代表者
  
  神田健介
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  兵庫県立大学
圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  神田健介
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  兵庫県立大学
PZT/PZT薄膜バイモルフ構造の評価と応用研究代表者
- 研究代表者
  
  神田健介
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  兵庫県立大学
表面近傍における生体物質の三次元・直接追跡研究代表者
- 研究代表者
  
  神田健介
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  流体工学
- 研究機関
  首都大学東京

[図書] ＶＲ／ＡＲ技術の開発動向と最新応用事例　第3章第3節2018
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 総ページ数
  8
- 出版者
  技術情報協会
- ISBN
  9784861046940
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[図書] Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel2009
- 著者名/発表者名
  T. Mizukoshi, K. Kanda, S. Ogata, M. Yang
- 出版者
  (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[図書] マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御2009
- 著者名/発表者名
  水越拓真、神田健介、楊明
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[図書] Near-wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured by using an Evanescent Illumination2009
- 著者名/発表者名
  Y. Kono, K. Kanda, S. Ogata, M. Yang
- 出版者
  (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[図書] エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測2009
- 著者名/発表者名
  河野雄飛、神田健介、小方聡、楊明
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[雑誌論文] 初期ひずみを持つMEMSダイアフラムにおける非線形周波数特性の簡易的予測2023
- 著者名/発表者名
  Kanda Kensuke、Kajiyama Yoshitaka、Hirata Yoshiaki、Shimakura Yasuhisa、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 143 号: 6 ページ: 137-142
- DOI
  10.1541/ieejsmas.143.137
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2023-06-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[雑誌論文] 片持ちはり振動型エナジーハーベスタのための応力集中緩和構造2023
- 著者名/発表者名
  Yokota Takahito、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 143 号: 8 ページ: 256-261
- DOI
  10.1541/ieejsmas.143.256
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2023-08-01
- 言語
  日本語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[雑誌論文] 振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZTヘテロ集積2022
- 著者名/発表者名
  Takeda Kohei、Shichiri Ai、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 142 号: 4 ページ: 56-62
- DOI
  10.1541/ieejsmas.142.56
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2022-04-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[雑誌論文] Piezoelectric MEMS Energy Harvester from Airflow at Low Flow Velocities2022
- 著者名/発表者名
  Kanda Kensuke、Aiba Takashi、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 34 号: 5 ページ: 1879
- DOI
  10.18494/SAM3867
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 年月日
  2022-05-24
- 言語
  英語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[雑誌論文] Characteristics of Sputtered Lead Zirconate Titanate Thin Films With Different Layer Configurations and Large Thickness2021
- 著者名/発表者名
  Kanda Kensuke、Koyama Tsukasa、Yoshimura Takeshi、Murakami Shinichi、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
  
  巻: 68 号: 5 ページ: 1988-1993
- DOI
  10.1109/tuffc.2020.3039230
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[雑誌論文] Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-Based Ferroelectric Thin Films2020
- 著者名/発表者名
  T. Obayashi, M. Kobune, T. Matsunaga, R. Ito, T. Migita, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- 雑誌名
  
  Trans. Mat. Res. Soc. Japan
  
  巻: 45 ページ: 31-34
- NAID
  130007826043
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[雑誌論文] Fabrication and Physical Properties of Microrod-Type Multiferroic Composite Thin Films by Metal Organic Decomposition2020
- 著者名/発表者名
  M. Kobune, M. Yoshii, H. Takasaki, R. Ito, T. Migita, K. Kanda, K. Maenaka, and Y. Hayashi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 59 号: SP ページ: SPPB06-SPPB06
- DOI
  10.35848/1347-4065/aba553
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[雑誌論文] Effects of Substrate Temperature on Physical Properties of Microrod-Type Multiferroic Composite Thin Films Fabricated by Metal Organic Chemical Vapor Deposition2020
- 著者名/発表者名
  T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, H. Takasaki, R. Ito, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, and Y. Hayashi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 59 号: SP ページ: SPPB08-SPPB08
- DOI
  10.35848/1347-4065/aba9b4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[雑誌論文] Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-based Ferroelectric Thin Films2020
- 著者名/発表者名
  T. Obayashi, M. Kobune, T. Matsunaga, R. Ito, T. Migita, T.　Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- 雑誌名
  
  Trans. Mat. Res. Soc. Japan
  
  巻: 45
- NAID
  130007826043
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[雑誌論文] Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films by Non-aqueous Sol-gel Method Using Ferroelectric Pillars2020
- 著者名/発表者名
  R. Ito, M. Kobune, M. Yoshii, R. Ito, Y. Haruna, T. Obayashi, T. Migita, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 59 号: SC ページ: SCCB08-SCCB08
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab4aa1
- NAID
  210000157269
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[雑誌論文] Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS 2<sup>nd</sup> Report: Structural Improvements2019
- 著者名/発表者名
  Kanda Kensuke、Toyama So、Takahara Kosuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 139 号: 11 ページ: 369-374
- DOI
  10.1541/ieejsmas.139.369
- NAID
  130007740440
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2019-11-01
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[雑誌論文] Influence of design parameters on performance of piezoelectric MEMS energy harvesting2019
- 著者名/発表者名
  Hirai Shota、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 58 号: SL ページ: SLLD07-SLLD07
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab362f
- NAID
  210000156827
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[雑誌論文] Fabrication and characterization of micropillar-type multiferroic composite thin films by metal organic chemical vapor deposition using a ferroelectric microplate structure2019
- 著者名/発表者名
  T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, K. Maenaka, H. Nishioka, N. Fukumuro, and Shinji Yae
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys.
  
  巻: 59 号: SC ページ: 1-5
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab4a98
- NAID
  210000157266
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K12383, KAKENHI-PROJECT-18H01724
[雑誌論文] Piezoelectric MEMS with Tactile Stimulation and Displacement Sensing Functions2018
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, K. Takahara, S. Toyama, T. Fujita, K. Maenaka
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 11S ページ: 11UF14-11UF14
- DOI
  10.7567/jjap.57.11uf14
- NAID
  210000149823
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[雑誌論文] Piezoelectric MEMS with Multilayered Pb(Zr,Ti)O3 Thin films for Energy Harvesting2018
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, S. Hirai, T. Fujita, K. Maenaka
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A
  
  巻: 281 ページ: 229-235
- DOI
  10.1016/j.sna.2018.09.018
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[雑誌論文] Tactile Device Based on Piezoelectric MEMS by Using a PZT/Polymer Laminated Structure2017
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, T. Okubo, M. Shima, T. Fujita, K. Maenaka
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌E
  
  巻: 137
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[雑誌論文] 超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜2017
- 著者名/発表者名
  中本翔満，佐野良，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌E
  
  巻: 137
- NAID
  130006110314
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[雑誌論文] Three-dimensional piezoelectric MEMS actuator by using sputtering deposition of Pb(Zr,Ti)O3 on microstructure sidewalls2017
- 著者名/発表者名
  Kensuke Kanda, Shingo Moriue, Takayuki Fujita and Kazusuke Maenaka
- 雑誌名
  
  Smart Matrials and Structures
  
  巻: 26 号: 4 ページ: 045019-045019
- DOI
  10.1088/1361-665x/aa61eb
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[雑誌論文] Fabrication of Multilayer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film Structure Using Sputtering Deposition for MEMS Actuator Applications2015
- 著者名/発表者名
  R. Sano, J-I. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka,
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 54 号: 10S ページ: 10ND03-10ND03
- DOI
  10.7567/jjap.54.10nd03
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[雑誌論文] Thin-Film Piezoelectric Bimorph Actuators with Increased Thickness Using Double Pb[Zr,Ti]O3 Layers2015
- 著者名/発表者名
  J-I. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering
  
  巻: 25 号: 5 ページ: 055001-055001
- DOI
  10.1088/0960-1317/25/5/055001
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[雑誌論文] Influence of Parasitic Capacitance on Output Voltage for Series-Connected Thin-Film Piezoelectric Devices2012
- 著者名/発表者名
  Kensuke Kanda
- 雑誌名
  
  Sensors
  
  巻: 12 号: 12 ページ: 16673-16684
- DOI
  10.3390/s121216673
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[雑誌論文] Fabrication and Characterization of Double Layer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films for Micro-Electromechanical Systems2012
- 著者名/発表者名
  Kensuke Kanda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 51 号: 9S1 ページ: 09LD12-09LD12
- DOI
  10.1143/jjap.51.09ld12
- NAID
  210000141262
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[雑誌論文] エバネッセント光による壁面極近傍の流動測定に関する研究(高分子添加がマイクロチャンネル内流れに及ぼす影響)2008
- 著者名/発表者名
  小方聡, 神田健介, 小野塚琢也, 楊明
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集B編 74
  
  ページ: 2452-2458
- NAID
  110007008050
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[学会発表] PZT薄膜の厚膜化によるエナジーハーベスタ2024
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  電子セラミック・プロセス研究会第199回研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 振動型MEMSハーベスタを用いた低周波磁界結合による無線電力伝送2024
- 著者名/発表者名
  野村明弘，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 振動型MEMSハーベスタを用いた低周波磁界結合による無線電力伝送2024
- 著者名/発表者名
  野村明弘, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- 学会等名
  交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K04897
[学会発表] ヒトのように検知可能なひずみゲージ圧電体複合集積化触覚センサの時間応答特性評価2024
- 著者名/発表者名
  耿至カイ, 水戸部龍介, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
- 学会等名
  令和6年電気学会全国大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[学会発表] MEMS両持ちはりの共振特性2023
- 著者名/発表者名
  赤松儀優, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  2023年応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 共振振動による圧電MEMS触覚デバイス2023
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  令和5年度電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[学会発表] ハーモニカリード型MEMS 発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響2023
- 著者名/発表者名
  吉田智郎, 志水駿文, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作2023
- 著者名/発表者名
  田中雄樹, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  令和5年度電気学会全国大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] MEMS Cantilevered Energy Harvester with Tapered Thickness for Stress Control2023
- 著者名/発表者名
  Takahito Yokota; Kensuke Kanda; Takayuki Fujita; Kazusuke Maenaka
- 学会等名
  2023 IEEE 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K04897
[学会発表] 圧電薄膜の微細加工によるインピーダンス変換とMEMS応用2023
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第160回フロンティア材料研究所学術講演会/第27回未来技術研究所生体医歯工公開セミナー
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 固有値解析によるMEMS 構造での非線形周波数応答予測2023
- 著者名/発表者名
  赤松儀優, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 落下液滴による圧電振動型ハーベスタ2023
- 著者名/発表者名
  成田裕樹, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回集積化MEMS シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 滴下衝突を利用した圧電MEMSエナジーハーベスタ2023
- 著者名/発表者名
  成田裕樹，神田健介，前中一介
- 学会等名
  令和5年度電気学会E部門総合研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] MEMS CANTILEVERED ENERGY HARVESTER WITH TAPERED THICKNESS FOR STRESS CONTROL2023
- 著者名/発表者名
  T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  IEEE MEMS 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 機械的弱結合によるハーベスタの出力向上とその等価回路モデル2023
- 著者名/発表者名
  野村明弘, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回集積化MEMS シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] ハーモニカリード型MEMS発電素子の振動特性2023
- 著者名/発表者名
  志水駿文, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  2023年応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] バタフライ形状を持つ圧電MEMS振動ハーベスタ2023
- 著者名/発表者名
  野村明弘，神田健介，横田隆人，前中一介
- 学会等名
  令和5年度電気学会E部門総合研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 固有値解析によるMEMS 構造での非線形周波数応答予測2023
- 著者名/発表者名
  赤松儀優, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[学会発表] 共振振動による圧電MEMS触覚デバイス2023
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形周波数特性の簡易的予測2022
- 著者名/発表者名
  神田健介，梶山佳敬、平田善明，島倉泰久，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 片持ちはり振動型エナジーハーベスタのためのマイクロローディング効果を利用した応力集中緩和構造2022
- 著者名/発表者名
  横田隆人，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] タイヤトレッドの固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2022
- 著者名/発表者名
  横田隆人，前中一介，神田健介，藤田孝之
- 学会等名
  応用物理学会第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] Mechanical and Process Design for Piezoelectric MEMS Energy Harvesters2022
- 著者名/発表者名
  K. Kanda and K. Maenaka
- 学会等名
  IWPMA 2022
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 自律センサのためのMEMSエナジーハーベスティング2022
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  令和4年度電気関係学会関西連合大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] Thickness Control of Cantilever Beam for Robust and High-Power Mems Energy Harvester2022
- 著者名/発表者名
  Takahito Yokota; Kensuke Kanda; Takayuki Fujita; Kazusuke Maenaka
- 学会等名
  2022 21st International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K04897
[学会発表] THICKNESS CONTROL OF CANTILEVER BEAM FOR ROBUST AND HIGH-POWER MEMS ENERGY HARVESTER2022
- 著者名/発表者名
  T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  PowerMEMS 2022
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] ハーモニカリード型圧電MEMSによる気流からの振動発電2022
- 著者名/発表者名
  神田健介，饗庭岳，前中一介
- 学会等名
  弾性波素子コンソーシアム第7回研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 風から発電する圧電MEMS振動発電素子2022
- 著者名/発表者名
  神田健介，饗庭岳，前中一介
- 学会等名
  電気学会E部門総合研究会MSS研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2022
- 著者名/発表者名
  横田隆人，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  電気学会E部門総合研究会MSS研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] ひずみゲージ・圧電体薄膜を集積した検知素子を持つ触覚センサの作製および複数検知素子の同時計測評価2022
- 著者名/発表者名
  水戸部龍介、佐藤淳喜、安部隆、神田健介、寒川雅之
- 学会等名
  第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K22713
[学会発表] タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2021
- 著者名/発表者名
  横田隆人，前中一介，神田健介，藤田孝之
- 学会等名
  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] Si基板上における強磁性NdFeBと圧電PZTのヘテロ集積2021
- 著者名/発表者名
  武田光平，七里愛，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] Piezoelectric MEMS Energy Harvesting from Tire Tread Acceleration2021
- 著者名/発表者名
  T. Yokota, K. Maenaka, K. Kanda, T. Fujita
- 学会等名
  8th Int. Workshop PiezoMEMS
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] 多層PZT薄膜とその応用2021
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第11回集積化MEMSワークショップ
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] Piezoelectric MEMS Mirror for Endoscope and Its Driving Integrated Circuit2021
- 著者名/発表者名
  R. Shimada, Y. Kitada, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  8th Int. Workshop PiezoMEMS
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K20252
[学会発表] c軸配向強誘電体マイクロロッド薄膜を用いるMOCVD-マルチフェロイック複合体薄膜の作製と特性評価2020
- 著者名/発表者名
  久保田耕平, 小舟正文, 大林泰貴, 高﨑英幸, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 藤沢浩訓, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  2020年日本セラミックス協会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] Effects of Pt Sacrificial Layer on Microfabrication in Layered Bismuth-Based Ferroelectric Thin Films2020
- 著者名/発表者名
  右田翼、小舟正文、高﨑英幸、伊藤稜、菊池丈幸、藤沢浩訓、神田健介、前中一介
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] 有機金属化学気相堆積法を用いて作製したマイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の諸特性に及ぼす基板温度の影響2020
- 著者名/発表者名
  右田翼、小舟正文、伊藤涼雅、大林泰貴、高﨑英幸、伊藤稜、菊池丈幸、藤沢浩訓、神田健介、前中一介
- 学会等名
  第37回強誘電体応用会議(FMA-37)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] 有機金属分解法によるマイクロロッド型マルチフェロイック複合体薄膜の作製とその諸特性2020
- 著者名/発表者名
  小舟正文、高﨑英幸、吉井正光、伊藤稜、右田翼、菊池丈幸、神田健介、前中一介
- 学会等名
  第37回強誘電体応用会議(FMA-37)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] a軸配向強誘電体マイクロロッド薄膜を用いるMOCVD-マルチフェロイック複合体薄膜の作製と特性評価2020
- 著者名/発表者名
  小湊大輝, 小舟正文, 伊藤涼雅, 高﨑英幸, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 藤沢浩訓, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  2020年日本セラミックス協会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] ひずみゲージ・圧電体薄膜集積触覚センサの検知部形状の設計・評価2020
- 著者名/発表者名
  GONG LIQIANG, 高橋春暁, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
- 学会等名
  第11回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04290
[学会発表] 内視鏡を指向した2軸小型圧電MEMSミラー2020
- 著者名/発表者名
  嶋田倫太郎，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 樹脂/薄膜PZT構造体を用いたMEMS1Dアレイ触覚ディスプレイ2019
- 著者名/発表者名
  髙原光將，ハズワニ B. M. ナシル，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 自律センサを指向した電圧増倍による圧電MEMSハーベスタ2019
- 著者名/発表者名
  饗庭岳，平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 圧電MEMSエナジーハーベスタの高出力化と設計パラメータに関する考察2019
- 著者名/発表者名
  平井翔太，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第36回強誘電体応用会議
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 反応性イオンエッチング法によるビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工及び特性評価2019
- 著者名/発表者名
  大林泰貴, 小舟正文, 松永拓也, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  第29回日本MRS年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] Series-connected piezoelectric MEMS Energy harvester for voltage multiplication2019
- 著者名/発表者名
  T. Aiba, S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, and K. Maenaka
- 学会等名
  The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films Produced by Non-aqueous Sol-gel Method Using a Ferroelectric Microrod Structure2019
- 著者名/発表者名
  R. Ito, M. Kobune, M. Yoshii, R. Ito, Y. Haruna, T. Migita, T. Obayashi, T. Kikuchi, K. Kanda, and K. Maenaka
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] ひずみ・圧電触覚センサのためのPDMS封止カンチレバーによる荷重・振動検知2019
- 著者名/発表者名
  高橋春暁, 安部隆, 神田健介, 寒川雅之
- 学会等名
  第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04290
[学会発表] 反応性イオンエッチング法によるビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工2019
- 著者名/発表者名
  伊藤稜, 小舟正文, 松永拓也, 右田翼, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  2019年日本セラミックス協会年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] Fabrication and Characterization of Micropillar-type Multiferroic Composite Thin Films Produced by Metal Organic Chemical Vapor Deposition Using a Ferroelectric Microplate Structure2019
- 著者名/発表者名
  T. Migita, M. Kobune, R. Ito, T. Obayashi, T. Kikuchi, H. Fujisawa, K. Kanda, and K. Maenaka
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] ビスマス層状構造強誘電体薄膜の微細加工に及ぼすPt犠牲層の影響2019
- 著者名/発表者名
  高﨑英幸, 小舟正文, 宅和知隼, 大林泰貴, 松永拓也, 伊藤稜, 右田翼, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  化学工学会姫路大会2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] 反応性イオンエッチング法による非鉛強誘電体薄膜の微細加工技術の開発2018
- 著者名/発表者名
  松永拓也, 小舟正文, 菊池丈幸, 神田健介, 前中一介
- 学会等名
  第13回日本セラミックス協会関西支部学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01724
[学会発表] 多層PZT薄膜を用いた圧電エナジーハーベスタおよび回路シミュレータモデル2018
- 著者名/発表者名
  平井翔太, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- 学会等名
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 多層PZT薄膜によるMEMSエナジーハーベスタ試作2018
- 著者名/発表者名
  平井翔太，神田健介，佐野良，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] MEMS Tactile Device by Using Multilayerd Piezoelectric Thin Film2018
- 著者名/発表者名
  S. Toyama, K. Kanda, K. Takahara, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] センサ付き圧電MEMS触覚提示デバイスによる接触実験およびそのモデル化2018
- 著者名/発表者名
  髙原光將, 遠山蒼, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- 学会等名
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] PZT/PI積層構造を用いた圧電MEMS触覚デバイス2018
- 著者名/発表者名
  遠山蒼, 髙原光將, 神田健介, 藤田孝之, 前中一介
- 学会等名
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] Validation of Output Voltage Multiplication by Using Series-Connected Piezoelectric Elements for Physical Sensors2018
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, T. Ushita, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  The 31st IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] MEMS ENERGY HARVESTING BASED ON UNIFORM-STRESS CANTILEVER WITH MULTILAYER PZT THIN FILMS2018
- 著者名/発表者名
  S. Hirai, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  The 18th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMEMS 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 多層PZT薄膜および圧電MEMSファブリケーション2018
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第16回圧電MEMS研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] MEMS Tactile Device Based on Polymer/Thin-Film PZT Structure -Sensor and Actuator Integration2018
- 著者名/発表者名
  K. Takahara, S. Toyama, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  2018 ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] MEMSセンサのためのPZT微細加工とその周辺技術2017
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  電子情報通信学会機能集積情報システム(FIIS)研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 圧電MEMSによる触覚デバイス試作2017
- 著者名/発表者名
  遠山蒼，神田健介，大久保昂，髙原光將，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] Multilayer Piezoelectric MEMS Energy Harvester Based on Longitudinal Effect2017
- 著者名/発表者名
  R. Nakanishi, K. Kanda, T. Fujita, I. Kanno, and K. Maenaka
- 学会等名
  PowerMEMS 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 圧電MEMSのDRIEによるデバイス構造作製と3次元化への試み2017
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  JKA人材育成等補助事業技術セミナー
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 多層圧電膜によるMEMS触覚デバイス2017
- 著者名/発表者名
  遠山蒼，神田健介，大久保昂，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 低消費電力な人体活動モニタリングシステムのための圧電MEMSトリガ2017
- 著者名/発表者名
  神田健介, 牛田大樹，横松得滋，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  電気学会PHS/BMS合同研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] 多層PZT薄膜による圧電MEMSエナジーハーベスタの提案,2017
- 著者名/発表者名
  中西亮介，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06269
[学会発表] Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films Integrated with Epoxy Polymer: Applications to Low Energy Haptics Device2016
- 著者名/発表者名
  T. Okubo, K. Kanda, M. Shima, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  IEEE ISAF 2016
- 発表場所
  Darmstadt, Germany
- 年月日
  2016-08-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜2016
- 著者名/発表者名
  中本翔満，佐野良，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  平戸
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] PZT薄膜/樹脂積層構造による圧電MEMSハプティックデバイス2016
- 著者名/発表者名
  大久保昂，嶋真弥，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第33回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  平戸
- 年月日
  2016-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 圧電PZT薄膜の多層積層のための電極成膜条件の検討2016
- 著者名/発表者名
  中本翔満，佐野良，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  平成28年度電気学会全国大会
- 発表場所
  東北大学（仙台市）
- 年月日
  2016-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] スタンダードPZT-MEMSプロセスとその拡張2016
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  電気学会圧電MEMSデバイス調査専門委員会
- 発表場所
  姫路
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] Sputtering Deposition of Multi-Layer Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films for Low Voltage Actuators2016
- 著者名/発表者名
  R. Sano, K. Kanda, J.I. Inoue, T. Fujita, and K. Maenaka
- 学会等名
  IEEE MEMS2016
- 発表場所
  上海（中国）
- 年月日
  2016-01-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] Omnidirectional Acceleration Sensor for Trigger of Human Monitoring System2016
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, T. Fujita, M. Yoshimoto, K. Maenaka
- 学会等名
  IEEE NEMS 2016
- 発表場所
  松島
- 年月日
  2016-04-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 加工した基板上へのPb(Zr,Ti)O3薄膜のスパッタ成膜と特性評価2015
- 著者名/発表者名
  森上慎悟，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟市）
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 【講演奨励賞受賞記念講演】樹脂材料とPb(Zr,Ti)O3薄膜を用いた圧電構造体の特性評価2015
- 著者名/発表者名
  大久保昂，佐野良，嶋真弥，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] Pb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層によるMEMSマルチモルフ構造2015
- 著者名/発表者名
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会
- 発表場所
  イーグレ姫路（姫路市）
- 年月日
  2015-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] RFマグネトロンスパッタ法によるPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層とその評価2015
- 著者名/発表者名
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟市）
- 年月日
  2015-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] Integration of Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films with Photo-Sensitive Polymer2015
- 著者名/発表者名
  Takashi Okubo, Ryo Sano, Kensuke Kanda, Takayuki Fujita, Kazusuke Maenaka
- 学会等名
  IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics 2015
- 発表場所
  シンガポール（シンガポール）
- 年月日
  2015-05-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 多自由度なMEMSを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の加工済みウエハへの成膜加工2015
- 著者名/発表者名
  森上慎悟，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会
- 発表場所
  イーグレ姫路（姫路市）
- 年月日
  2015-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 柔軟かつロバストなPb(Zr,Ti)O3-MEMSアクチュエータ2015
- 著者名/発表者名
  大久保昂，佐野良，嶋真弥，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  平成27年度第1回応用物理学会関西支部講演会
- 発表場所
  イーグレ姫路（姫路市）
- 年月日
  2015-06-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] スパッタ積層Pb[Zr,Ti]O3薄膜構造の作製2015
- 著者名/発表者名
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第32回強誘電体応用会議
- 発表場所
  コープイン京都（京都市）
- 年月日
  2015-05-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] PZTの微細加工とセンサへの応用2013
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  マイクロシステム融合研究会
- 発表場所
  東北大学（宮城県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] PZTの微細加工とセンサへの応用2013
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第67回次世代センサ協議会
- 発表場所
  兵庫県立大学（兵庫県）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] PZT の微細加工とセンサへの応用2013
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第67回次世代センサ協議会
- 発表場所
  兵庫県立大学(兵庫県)
- 年月日
  2013-03-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造2013
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学（神奈川県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] PZT の微細加工とセンサへの応用2013
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  マイクロシステム融合研究会
- 発表場所
  東北大学(宮城県)
- 年月日
  2013-01-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] MEMS デバイス向け厚膜 PZT/PZT バイモルフ構造2013
- 著者名/発表者名
  井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大(神奈川県)
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] Fabrication and Evaluation of Bimorph Comprising of Double Pb[Zr,Ti]O3 Thick Films2013
- 著者名/発表者名
  K. Kanda
- 学会等名
  2013 Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium
- 発表場所
  Prague (Czech Republic)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] Fabrication and Evaluation of Bimorph Comprising of Double Pb[Zr,Ti]O_3 Thick Films2013
- 著者名/発表者名
  J. Inoue, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  2013 IEEE Joint UFFC, EFTF, and PFM Symposium
- 発表場所
  プラハ,チェコ共和国
- 年月日
  2013-07-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] 低アスペクト比構造体の PZT 薄膜による側面方向駆動2012
- 著者名/発表者名
  神田健介,明石優,藤田孝之,前中一介
- 学会等名
  第59回春季応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学(東京都)
- 年月日
  2012-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] Miniaturization of Vibratory Beam Accelerometer by using PZT2012
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, K. Nagata, T. Yamakawa, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  26th European Conference on Solid-State Transducers
- 発表場所
  クラクフ,ポーランド
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] MEMSのための薄膜PZT/PZTバイモルフ2012
- 著者名/発表者名
  神田健介
- 学会等名
  第29回強誘電体応用会議
- 発表場所
  コープイン京都（京都府）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] Miniaturization of Vibratory Beam Accelerometer bu Using PZT2012
- 著者名/発表者名
  K. Kanda
- 学会等名
  26th European Conference on Solid-State Transducers, Eurosensors 2012
- 発表場所
  Krakow (Poland)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] Fabrication and Characterization of Lateral-Directional Actuator Using Pb(Zr,Ti)O_3 Thin Films2012
- 著者名/発表者名
  K. Kanda, Y. Akashi, T. Fujita, K. Maenaka
- 学会等名
  2012 Fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology
- 発表場所
  イーグレ姫路(兵庫県)
- 年月日
  2012-11-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] MEMS のための薄膜 PZT/PZTバイモルフ2012
- 著者名/発表者名
  神田健介,永田和幸,山川隆洋,藤田孝之,前中一介
- 学会等名
  第29回強誘電体応用会議
- 発表場所
  コープイン京都(京都府)
- 年月日
  2012-05-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] 低アスペクト比構造体のPZT薄膜による側面方向駆動2012
- 著者名/発表者名
  神田健介，明石優，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学(東京都)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] Fabrication and Characterization of Lateral-Directional Actuator Using Pb(Zr,Ti)O3 Thin Films2012
- 著者名/発表者名
  K. Kanda
- 学会等名
  2012 fifth International Conference on Emerging Trends in Engineering and Technology
- 発表場所
  イーグレ姫路（兵庫県）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ2011
- 著者名/発表者名
  塩野祥平,濱田浩幸,蒋永剛,樋口行平,神田健介,藤田孝之,前中一介
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会
- 発表場所
  東京工業大学(東京都)
- 年月日
  2011-06-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] 構造上での演算機能を有する3軸加速度センサ2011
- 著者名/発表者名
  齋藤誉司,神田健介,伊賀友樹,樋口行平,前中一介
- 学会等名
  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  船堀タワーホール(東京都)
- 年月日
  2011-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] 構造体上での演算機能を有する3軸加速度センサ2011
- 著者名/発表者名
  齋藤誉司，神田健介，伊賀友樹，樋口行平，前中一介
- 学会等名
  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  船堀タワーホール(東京都)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ2011
- 著者名/発表者名
  塩野祥平，濱田浩幸，蒋永剛，樋口行平，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会フィジカルセンサ研究会
- 発表場所
  東京工業大学(東京都)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760233
[学会発表] エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測2009
- 著者名/発表者名
  河野雄飛, 神田健介, 小方聡, 楊明
- 学会等名
  日本機械学会2009年度年次大会
- 発表場所
  盛岡市(岩手大学)
- 年月日
  2009-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[学会発表] マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御2009
- 著者名/発表者名
  水越拓真, 神田健介, 小方聡, 楊明
- 学会等名
  日本機械学会2009年度年次大会
- 発表場所
  盛岡市(岩手大学)
- 年月日
  2009-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[学会発表] Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel2009
- 著者名/発表者名
  T.Mizukoshi, K.Kanda, S.Ogata, M.Yang
- 学会等名
  The 4^<th> International Conference on Experimental Mechanics
- 発表場所
  シンガポール
- 年月日
  2009-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[学会発表] Near-Wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured by Using on Evanescent Illumination2009
- 著者名/発表者名
  Y.Kono, K.Kanda, S.Ogata, M.Yang
- 学会等名
  The 4^<th> International Conference on Experimental Mechanics
- 発表場所
  シンガポール
- 年月日
  2009-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[学会発表] 3D-TIRFMによるナノ粒子密度分布測定と溶液の電気的影響の評価2008
- 著者名/発表者名
  小方聡, 神宮一斐, 神田健介, 楊明
- 学会等名
  日本機械学会年次大会
- 発表場所
  横浜国立大(横浜市)
- 年月日
  2008-08-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760113
[学会発表] Estimation of d31 constant for microfabricated and free-standing thin-film bimorph structure of Pb[Zr,Ti]O3
- 著者名/発表者名
  K. Kanda
- 学会等名
  4th international workshop on Piezoelectric MEMS
- 発表場所
  Kobe University (Port Island Campus), Kobe, Japan
- 年月日
  2014-10-28 – 2014-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] Pb(Zr,Ti)O3薄膜と感光性樹脂の積層構造体作製とその評価
- 著者名/発表者名
  大久保昂，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス，平塚市
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 薄膜PZT-MEMSバイモルフ構造を用いた自励発振システム
- 著者名/発表者名
  井上純一，松田貴文，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学，札幌市
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] スタンダードPZT-MEMSプロセスの提案とデバイス評価
- 著者名/発表者名
  佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ，松江市
- 年月日
  2014-10-20 – 2014-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] Fusion of PZT Thin Film in MEMS Technology
- 著者名/発表者名
  K. Maenaka and K. Kanda
- 学会等名
  The 10th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
- 発表場所
  International Conference Center Hiroshima , Hiroshima, Japan
- 年月日
  2014-08-17 – 2014-08-20
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204
[学会発表] 三次元Si加工基板上へのPZT成膜と評価
- 著者名/発表者名
  森上慎悟，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学，札幌市
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420204

1. 前中一介 (70173721)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 48件
2. 寒川雅之 (70403128)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 4件
3. 小舟正文 (90240960)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 16件
4. 菊池丈幸 (50316048)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 15件
5. 藤田孝之 (50336830)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
6. 月山陽介 (00533639)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 西岡洋

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

神田 健介 Kanda Kensuke

研究課題

研究成果

共同研究者

医療・介護IoTデバイスのためのMEMS振動型エナジーハーベスタによる電力伝送

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ヒト受容器の周波数・空間特性を再現した機械刺激・温冷複合マイクロ触覚センサチップ

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

圧覚・振動覚・温冷覚を包含したマイクロ触覚センサチップの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

微細加工技術を利用したナノピラー型マルチフェロイック複合体材料の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

圧電薄膜によるMEMSハプティックデバイスの創製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

圧電PZT薄膜の超多層積層成膜およびMEMSデバイスへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

PZT/PZT薄膜バイモルフ構造の評価と応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

表面近傍における生体物質の三次元・直接追跡研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] ＶＲ／ＡＲ技術の 開発動向と最新応用事例 第3章第3節2018

著者名/発表者名

総ページ数

出版者

ISBN

データソース

[図書] Measurement and Control of Motion of Nanoparticles in Microchannel2009

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] マイクロ流路中におけるナノ粒子挙動の測定と制御2009

著者名/発表者名

データソース

[図書] Near-wall Nanoparticles Perpendicular Distribution Measured by using an Evanescent Illumination2009

著者名/発表者名

出版者

データソース

[図書] エバネッセント光を用いた壁面近傍におけるナノ粒子の濃度分布の計測2009

著者名/発表者名

データソース

[雑誌論文] 初期ひずみを持つMEMSダイアフラムにおける非線形周波数特性の簡易的予測2023

著者名/発表者名

神田健介 Kanda Kensuke

[図書] ＶＲ／ＡＲ技術の開発動向と最新応用事例　第3章第3節2018