竹中充 Takenaka Mitsuru

研究者番号	20451792
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2020年度 – 2024年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 2016年度 – 2018年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 2016年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授 2011年度 – 2016年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2013年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授 … もっと見る 2013年度: 東京大学, 工学系研究科, 准教授 2010年度: 東京大学, 工学系研究科, 准教授 2007年度 – 2010年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 2007年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・電子機器 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 電子デバイス・電子機器 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連研究代表者以外電子・電気材料工学 / 薄膜・表面界面物性 / 工学 / 理工系 / 理工系
キーワード	研究代表者光集積回路 / 化合物半導体 / センシング / ゲルマニウム / 中赤外光 / 光変調器 / CMOSフォトニクス / III-V族半導体 / 量子井戸混合 / コンピューティング … もっと見る / 光通信 / 光デバイス / 光電子融合集積回路 / ウェハボンディング / シリコンフォトニクス / トランジスタ / III-V MOSFET / CMOS photonics / 基板貼り合わせ / MOSトランジスタ / 光スイッチ / III-V-OI基板 / 基板貼り合せ / InGaAs MOSFET / 受光器 / 細線導波路 / 光電子集積回路 / InAlAs酸化膜 / 半導体物性 / 電子デバイス・機器 / ウェット酸化 / InP / InGaAs / InAlAs / MOSFET … もっと見る研究代表者以外移動度 / MOSFET / ゲルマニウム / サブバンド / 反転層 / 結晶成長 / エネルギーバンド / IV族半導体 / Ⅳ族半導体 / 集積回路 / ゲルマニウム錫 / 表面・界面物性 / 結晶工学 / 半導体物性 / LSI / 欠陥 / 高キャリア移動度 / ひずみ / スズ / ゲートスタック / スズ(錫) / 表面・界面 / CMOS / エピタキシャル成長 / 歪 / 錫 / 酸化膜信頼性 / 界面準位 / クーロン散乱 / 表面ラフネス / ひずみSi / 強磁性 / スピン / 面方位 / GOI 隠す

量子井戸混合を用いたIII-V族半導体薄膜光集積回路の基盤技術構築研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中充
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分21:電気電子工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
ゲルマニウム中赤外光回路を用いたオンチップ分子センシングの基盤構築研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中充
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  東京大学
Ｇｅ中赤外集積フォトニクスを用いた光センシングチップ研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中充
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2018
- 研究種目
  
  特別研究員奨励費
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
多機能融合・省電力エレクトロニクスのためのSn系Ⅳ族半導体の工学基盤構築
- 研究代表者
  
  財満鎭明
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  名古屋大学
III-V CMOSフォトニクスによる光電子融合集積回路基盤技術の構築研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中充
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2017
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
Ge-On-Insulator CMOSのキャリア輸送特性解明と性能向上手法確立
- 研究代表者
  
  高木信一
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学
ゲルマニウムＭＯＳ界面電気伝導機構の解明と高移動度化手法の確立
- 研究代表者
  
  高木信一
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学
省電力／超高速ナノＣＭＯＳのための電子物性設計と高移動度チャネル技術の創生
- 研究代表者
  
  財満鎭明
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2013
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  名古屋大学
III－V　ＣＭＯＳ　Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓの創生研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中充
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2013
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
結晶ひずみを利用したSiMOS反転層移動度決定機構の解明と高移動度化指針の確立
- 研究代表者
  
  高木信一
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学
InAlAs酸化膜によるIII-V-OI MOS構造の作製および界面準位に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  竹中充
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  若手研究(スタートアップ)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
ナノ機能化ゲルマニウム系チャネル
- 研究代表者
  
  高木信一
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2009
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東京大学

[雑誌論文] Numerical evaluation of bandwidth and optical loss in InP-organic hybrid optical modulator with doping optimization2024
- 著者名/発表者名
  Sakumoto Hiroya、Nakayama Taketoshi、Miyatake Yuto、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 63 号: 2 ページ: 02SP52-02SP52
- DOI
  10.35848/1347-4065/ad189b
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[雑誌論文] Proposal of Low-Loss Non-Volatile Mid-Infrared Optical Phase Shifter Based on Ge2Sb2Te3S22023
- 著者名/発表者名
 Miyatake Yuto、Makino Kotaro、Tominaga Junji、Miyata Noriyuki、Nakano Takashi、Okano Makoto、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
 
 IEEE Transactions on Electron Devices
 
 巻: 70 号: 4 ページ: 2106-2112
- DOI
 10.1109/ted.2023.3235865
- 査読あり
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-20H02198, KAKENHI-PROJECT-22KJ0549
[雑誌論文] Design of compact and low-loss S-bends by CMA-ES2023
- 著者名/発表者名
  Miyatake Yuto、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 31 号: 26 ページ: 43850-43850
- DOI
  10.1364/oe.504866
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22KJ0549, KAKENHI-PROJECT-23H00172
[雑誌論文] Efficient optical phase modulator based on an III?V metal-oxide-semiconductor structure with a doped graphene transparent electrode2022
- 著者名/発表者名
  Piyapatarakul Tipat、Tang Hanzhi、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 62 号: SC ページ: SC1008-SC1008
- DOI
  10.35848/1347-4065/aca59c
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[雑誌論文] Ge-on-insulator Platform for Mid-infrared Photonic Integrated Circuits2022
- 著者名/発表者名
  Takenaka Mitsuru、Zhao Ziqiang、Ho Chong Pei、Fujigaki Takumi、Piyapatarakul Tipat、Miyatake Yuto、Tang Rui、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 109 号: 4 ページ: 47-58
- DOI
  10.1149/10904.0047ecst
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[雑誌論文] Non-volatile compact optical phase shifter based on Ge2Sb2Te5 operating at 2.3 μm2022
- 著者名/発表者名
 Miyatake Yuto、Ho Chong Pei、Pitchappa Prakash、Singh Ranjan、Makino Kotaro、Tominaga Junji、Miyata Noriyuki、Nakano Takashi、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
 
 Optical Materials Express
 
 巻: 12 号: 12 ページ: 4582-4582
- DOI
 10.1364/ome.473987
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-20H02198, KAKENHI-PROJECT-22KJ0549
[雑誌論文] Numerical analysis of optical phase modulator operating at 2 μm wavelength using graphene/III?V hybrid metal-oxide-semiconductor capacitor2022
- 著者名/発表者名
  Piyapatarakul Tipat、Tang Hanzhi、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 61 号: SC ページ: SC1031-SC1031
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac4443
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[雑誌論文] Low-loss Ge waveguide at the 2-μm band on an n-type Ge-on-insulator wafer2021
- 著者名/発表者名
  Zhao Ziqiang、Lim Cheol-Min、Ho Chongpei、Sumita Kei、Miyatake Yuto、Toprasertpong Kasidit、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
  
  Optical Materials Express
  
  巻: 11 号: 12 ページ: 4097-4097
- DOI
  10.1364/ome.444071
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[雑誌論文] Ge-on-insulatorを用いた近赤外・中赤外集積フォトニクス2020
- 著者名/発表者名
  竹中充，高木信一
- 雑誌名
  
  レーザー研究
  
  巻: 48 ページ: 535-539
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[雑誌論文] High-efficiency Ge thermo-optic phase shifter on Ge-on-insulator platform2019
- 著者名/発表者名
  T. Fujigaki, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 27 号: 5 ページ: 6451-6458
- DOI
  10.1364/oe.27.006451
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Numerical analysis of Ge/Si hybrid MOS optical modulator operating at mid-infrared wavelength2019
- 著者名/発表者名
  Y. Taguchi, S. Takagi, and, M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 58 号: SB ページ: SBBE03-SBBE03
- DOI
  10.7567/1347-4065/aafb52
- NAID
  210000135336
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Tunable germanium-on-insulator band-stop optical filter using thermo-optic effect2019
- 著者名/発表者名
  C. P. Ho, Z. Zhao, Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  IEEE Photonics Journal
  
  巻: 印刷中号: 2 ページ: 1-1
- DOI
  10.1109/jphot.2019.2904050
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605, KAKENHI-PROJECT-17F17071
[雑誌論文] III-V/Si Hybrid MOS Optical Phase Shifter for Si Photonic Integrated Circuits2019
- 著者名/発表者名
  Takenaka Mitsuru、Han Jae-Hoon、Boeuf Frederic、Park Jin-Kwon、Li Qiang、Ho Chong Pei、Lyu Dongsheng、Ohno Shuhei、Fujikata Junichi、Takahashi Shigeki、Takagi Shinichi
- 雑誌名
  
  Journal of Lightwave Technology
  
  巻: 37 号: 5 ページ: 1474-1483
- DOI
  10.1109/jlt.2019.2892752
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[雑誌論文] Design and characterization of Ge passive waveguide components on Ge-on-insulator wafer for mid-infrared photonics2018
- 著者名/発表者名
  J. Kang, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 57 号: 4 ページ: 042202-042202
- DOI
  10.7567/jjap.57.042202
- NAID
  210000148818
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] InGaAsP Mach-Zehnder interferometer optical modulator monolithically integrated with InGaAs driver MOSFET on a III-V CMOS photonics platform2018
- 著者名/発表者名
  J.-K. Park, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 26 号: 4 ページ: 4842-4852
- DOI
  10.1364/oe.26.004842
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Ge photodetector monolithically integrated with amorphous Si waveguide on wafer-bonded Ge-on-insulator substrate2018
- 著者名/発表者名
  J. Kang, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 26 号: 23 ページ: 30546-30555
- DOI
  10.1364/oe.26.030546
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Mid-infrared high-Q germanium microring resonator2018
- 著者名/発表者名
  T. H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, C. Y. Chang, S. Y. Set, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 43 号: 12 ページ: 2885-2888
- DOI
  10.1364/ol.43.002885
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] High-Q germanium optical nanocavity2018
- 著者名/発表者名
  Xiao Ting-Hui、Zhao Ziqiang、Zhou Wen、Takenaka Mitsuru、Tsang Hon Ki、Cheng Zhenzhou、Goda Keisuke
- 雑誌名
  
  Photonics Research
  
  巻: 6 号: 9 ページ: 925-925
- DOI
  10.1364/prj.6.000925
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K13798, KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Ultra-power-efficient 2 × 2 Si Mach-Zehnder interferometer optical switch based on III-V/Si hybrid MOS phase shifter2018
- 著者名/発表者名
  Li Q.、Han J.-H.、Ho C. P.、Takagi S.、Takenaka M.
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 26 号: 26 ページ: 35003-35003
- DOI
  10.1364/oe.26.035003
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[雑誌論文] Tunable Grating Coupler by Thermal Actuation and Thermo-Optic Effect2018
- 著者名/発表者名
  Ho Chong Pei、Zhao Ziqiang、Li Qiang、Takagi Shinichi、Takenaka Mitsuru
- 雑誌名
  
  IEEE Photonics Technology Letters
  
  巻: 30 号: 17 ページ: 1503-1506
- DOI
  10.1109/lpt.2018.2857469
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[雑誌論文] Low-loss graphene-based optical phase modulator operating at mid-infrared wavelength2018
- 著者名/発表者名
  Y. Yamaguchi, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 57 号: 4S ページ: 04FH06-04FH06
- DOI
  10.7567/jjap.57.04fh06
- NAID
  210000148944
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Numerical analysis of carrier-depletion InGaAsP optical modulator with lateral PN junction formed on III-V-on-insulator wafer2017
- 著者名/発表者名
  N. Sekine, J.-H. Jan, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 56 号: 4S ページ: 04CH09-04CH09
- DOI
  10.7567/jjap.56.04ch09
- NAID
  210000147623
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Focusing subwavelength grating coupler for mid-infrared suspended membrane germanium waveguides2017
- 著者名/発表者名
  J. Kang, Z. Cheng, W. Zhou, T.-H. Xiao, K.-L. Gopalakrisna, M. Takenaka, H. K. Tsang, and K. Goda
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 42 号: 11 ページ: 2094-2097
- DOI
  10.1364/ol.42.002094
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] InP-based photonic integrated circuit platform on SiC wafer2017
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 25 号: 24 ページ: 29993-30000
- DOI
  10.1364/oe.25.029993
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Heterogeneous CMOS Photonics Based on SiGe/Ge and III-V Semiconductors Integrated on Si Platform2017
- 著者名/発表者名
  Mitsuru Takenaka,Younghyun Kim, Jaehoon Han, Jian Kang, Yuki Ikku, Yongpeng Cheng, Jinkwon Park, Misa Yoshida, Seiya Takashima, Shinich Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics
  
  巻: 23 号: 3 ページ: 8200713-8200713
- DOI
  10.1109/jstqe.2017.2660884
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J08956, KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Efficient low-loss InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator2017
- 著者名/発表者名
  J.-H. Han, F. Boeuf, J. Fujikata, S. Takahashi, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Nature Photonics
  
  巻: 11 号: 8 ページ: 486-490
- DOI
  10.1038/nphoton.2017.122
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Mid-infrared germanium photonic crystal cavity2017
- 著者名/発表者名
  T. H. Xiao, Z. Zhao, W. Zhou, M. Takenaka, H. K. Tsang, Z. Cheng, and K. Goda
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 42 号: 15 ページ: 2882-2885
- DOI
  10.1364/ol.42.002882
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Benchmarking Si, SiGe and III-V/Si hybrid SIS Optical Modulators for Datacenter Applications2017
- 著者名/発表者名
  F. Boeuf, J.-H. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  J. Light. Technol.
  
  巻: 35 号: 18 ページ: 4047-4055
- DOI
  10.1109/jlt.2017.2728365
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Evaluation of mobility degradation factors and performance improvement of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GOI) MOSFETs by GOI thinning using plasma oxidation2016
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices,
  
  巻: 64 号: 4 ページ: 1418-1425
- DOI
  10.1109/ted.2017.2662217
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Challenges and opportunities of near and mid-infrared photonics based on SiGe and Ge2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 75 号: 8 ページ: 447-459
- DOI
  10.1149/07508.0447ecst
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605, KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Properties of slow traps of ALD Al2O3/GeOx/Ge nMOSFETs with plasma post oxidation2016
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, C. Chang, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 109 号: 3 ページ: 032101-032101
- DOI
  10.1063/1.4958890
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Characterization of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GeOI) structures and MOSFETs on flipped Smart-Cut GeOI substrates2016
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, R. Zhang, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Solid-State Electronics
  
  巻: 115 ページ: 120-125
- DOI
  10.1016/j.sse.2015.08.021
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] InGaAsP variable optical attenuator with lateral P-I-N junction formed by Ni-InGaAsP and Zn diffusion on III-V on insulator wafer2016
- 著者名/発表者名
  J.-K. Park, J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  MRS Advances
  
  巻: 48 号: 48 ページ: 3295-3300
- DOI
  10.1557/adv.2016.339
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Analysis of interface trap density of plasma post-nitrided Al2O3/SiGe MOS interface with high Ge content using high-temperature conductance method2016
- 著者名/発表者名
  J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys.
  
  巻: 120 号: 12 ページ: 125707-125707
- DOI
  10.1063/1.4963877
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605, KAKENHI-PROJECT-14J09221
[雑誌論文] III-V/Ge MOS Device Technologies for Low Power Integrated Systems2016
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Noguchi, M. Kim, S.-H. Kim, C.-Y. Chang, M. Yokoyama, K. Nishi, R. Zhang, M. Ke and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Solid State Electron.
  
  巻: 125 ページ: 82-102
- DOI
  10.1016/j.sse.2016.07.002
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Impact of Postdeposition Annealing Ambient on the Mobility of Ge nMOSFETs with 1-nm EOT Al2O3/GeOx/Ge Gate-Stacks2016
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: 63 号: 2 ページ: 558-564
- DOI
  10.1109/ted.2015.2509961
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Low temperature formation of higher-k cubic phase HfO2 by atomic layer deposition on GeOx/Ge structures fabricated by in-situ thermal oxidation2016
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, P. C. Huang, N. Taoka, M. Yokoyama, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 108 号: 5 ページ: 052903-052903
- DOI
  10.1063/1.4941538
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Effect of III-V on insulator structure on quantum well intermixing2016
- 著者名/発表者名
  S. Takashima, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 55 号: 4S ページ: 04EH13-04EH13
- DOI
  10.7567/jjap.55.04eh13
- NAID
  210000146360
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] III-V/Ge MOS Device Technologies for Low Power Integrated Systems2016
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Noguchi, M. Kim, S.-H. Kim, C.-Y. Chang, M. Yokoyama, K. Nishi, R. Zhang, M. Ke and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Solid-State Electronics
  
  巻: 108
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Novel Ge waveguide platform on Ge-on-insulator wafer for mid-infrared photonic integrated circuits2016
- 著者名/発表者名
  J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 24 号: 11 ページ: 11855-11864
- DOI
  10.1364/oe.24.011855
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Low resistivity lateral P-I-N junction formed by Ni-InGaAsP alloy for carrier injection InGaAsP photonic devices2016
- 著者名/発表者名
  Jin-Kwon Park, Mitsuru Takenaka and Shinichi Takagi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 4S ページ: 04EH04-04EH04
- DOI
  10.7567/jjap.55.04eh04
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15J08956, KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Impact of thermal annealing on Ge-on-Insulator substrate fabricated by wafer bonding2016
- 著者名/発表者名
  J. Kang, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Materials Science in Semiconductor Processing
  
  巻: 42 ページ: 259-263
- DOI
  10.1016/j.mssp.2015.07.021
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Low-dark-current waveguide InGaAs metal-semiconductor-metal photodetector monolithically integrated with InP grating coupler on III–V CMOS photonics platform2016
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 55 号: 4S ページ: 04EH01-04EH01
- DOI
  10.7567/jjap.55.04eh01
- NAID
  210000146348
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Quantitative evaluation of slow traps near Ge MOS interfaces by using time response of MOS capacitance2015
- 著者名/発表者名
  K. Tanaka, R. Zhang, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 54
- NAID
  210000144949
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Tunneling FET Technologies Using III-V and Ge Materials2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Kim, M. Noguchi, K. Nishi, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 69 (10) 号: 10 ページ: 99-108
- DOI
  10.1149/06910.0099ecst
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Properties of ultrathin-body condensation Ge-On-Insulator films thinned by additional thermal oxidation2015
- 著者名/発表者名
  W.-K. Kim, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 54 号: 4S ページ: 04DA05-04DA05
- DOI
  10.7567/jjap.54.04da05
- NAID
  210000144952
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] III-V/Ge Channel MOS Device Technologies in Nano CMOS era2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang, J. Suh, S.-H. Kim, M. Yokoyama, K. Nishi and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 54 号: 6S1 ページ: 06FA01-06FA01
- DOI
  10.7567/jjap.54.06fa01
- NAID
  210000145217
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] MOS Interface Control Technologies for Advanced III-V/ Ge Devices2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, C. Y. Chang, M. Yokoyama, K. Nishi, R. Zhang, M. Ke, J. H. Han, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 69(5) 号: 5 ページ: 37-51
- DOI
  10.1149/06905.0037ecst
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Ultrathin body Germanium-on-insulator (GeOI) Pseudo-MOSFETs fabricated　by transfer of epitaxial Ge films on III-V substrates2015
- 著者名/発表者名
  X. Yu, R. Zhang, J. Kang, T. Maeda, T. Itatani, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  ECS Solid State Letters
  
  巻: 4 号: 2 ページ: P15-P18
- DOI
  10.1149/2.0031502ssl
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] “Impact of back interface passivation on electrical properties of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs2015
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, R. Zhang, W.-L. Cai, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 147 ページ: 196-200
- DOI
  10.1016/j.mee.2015.04.063
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Surface leakage reduction in MSM InGaAs photodetector on III-V CMOS photonics platform2015
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi,
- 雑誌名
  
  IEEE Photonics Technology Letters
  
  巻: 27 号: 14 ページ: 120-125
- DOI
  10.1109/lpt.2015.2432052
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Fabrication and MOS interface properties of ALD AlYO3/GeOx/Ge gate stacks with plasma post oxidation2015
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, R. Zhang, J. Kang, C. Chang, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Microelectron. Eng.
  
  巻: 147 ページ: 244-248
- DOI
  10.1016/j.mee.2015.04.079
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Suppression of dark current in GeOx-passivated germanium metal-semiconductor-metal photodetector by plasma post-oxidation2015
- 著者名/発表者名
  J. Kang, R. Zhang, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Optics Express Letters
  
  巻: 23 号: 13 ページ: 16967-16976
- DOI
  10.1364/oe.23.016967
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[雑誌論文] Effects of additional oxidation after Ge condensation on electrical properties of germanium-on-insulator p-channel MOSFETs2015
- 著者名/発表者名
  J.-K. Suh, N. Taoka, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Solid-State Electronics
  
  巻: 117 ページ: 77-87
- DOI
  10.1016/j.sse.2015.11.014
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Fabrication and MOS interface properties of ALD AlYO3/GeOx/Ge gate stacks with plasma post oxidation2015
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, R. Zhang, J. Kang, C. Chang, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Microelectronic Engineering
  
  巻: 147
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Direct wafer bonding technology for large-scale InGaAs-on-insulator transistors2014
- 著者名/発表者名
  S.H. Kim., Y. Ikku, M. Yokoyama, R. Nakane, J. Li, Y.-C. Kao, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett
  
  巻: 105 号: 4 ページ: 043504-043504
- DOI
  10.1063/1.4891493
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] Impact of Channel Orientation on Electrical Properties of Ge p- and n-MOSFETs with 1-nm EOT Al2O3/GeOx/Ge Gate-Stacks Fabricated by Plasma Postoxidation2014
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: 61 号: 11 ページ: 3668-3675
- DOI
  10.1109/ted.2014.2359678
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Material Challenges and Opportunities in Ge/III-V channel MOSFETs2014
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, S.-H. Kim, M. Yokoyama, K. Nishi, R. Zhang and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transaction
  
  巻: 64 号: 11 ページ: 99-110
- DOI
  10.1149/06411.0099ecst
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Sb-Doped S/D Ultrathin body Ge-On-insulator nMOSFET fabricated by improved Ge condensation process2014
- 著者名/発表者名
  W.-K. Kim, K. Kuroda, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: 61 号: 10 ページ: 3379-3385
- DOI
  10.1109/ted.2014.2350457
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] Impact of plasma postoxidation temperature on the electrical properties of Al_2O_3/GeO_X/Ge pMOSFETs and nMOSFETs2014
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, J-C. Lin, X. Yu, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Transaction on Electron Devices
  
  巻: 61 号: 2 ページ: 416-422
- DOI
  10.1109/ted.2013.2295822
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J09309, KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Physical Origins of High Normal Field Mobility Degradation in Ge p- and n-MOSFETs with GeOx/Ge MOS Interfaces Fabricated by Plasma Post Oxidation2014
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: 61 号: 7 ページ: 2316-2323
- DOI
  10.1109/ted.2014.2325604
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[雑誌論文] InGaAs MSM photodetector monolithically integrated with InP photonic-wire waveguide on III-V CMOS photonics platform2014
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEICE Electronics Express
  
  巻: 11 号: 16 ページ: 20140609-20140609
- DOI
  10.1587/elex.11.20140609
- NAID
  130004678211
- ISSN
  1349-2543
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[雑誌論文] III-V CMOS フォトニクスを用いた光電子融合集積回路プラットフォーム技術2014
- 著者名/発表者名
  竹中充, 一宮佑希, 程勇鵬, 金相賢, 高木信一
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会和文論文誌C
  
  巻: vol.J97-C, No.3 ページ: 95-103
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] III-V CMOSフォトニクスを用いた光電子融合集積回路プラットフォーム技術2014
- 著者名/発表者名
  竹中充，一宮佑希，程勇鵬，金相賢，高木　信一
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会和文論文誌C
  
  巻: J97-C ページ: 95-103
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Physical understanding of electron mobility in asymmetrically strained InGaAs-on-insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistors fabricated by lateral strain relaxation2014
- 著者名/発表者名
  S. H. Kim, M. Yokoyama, N. Taoka, R. Nakane, T. Yasuda, H. Yamada, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 104 号: 11 ページ: 113509-113509
- DOI
  10.1063/1.4869221
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J07612, KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] III-V/Ge MOS Transistor Technologies for Future ULSI (invited)2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 54 (1) ページ: 39-54
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Impact of Fermi level pinning due to interface traps inside conduction band on the inversion-layer mobility in InxG_a_<1-x> As metal-oxide-semiconductor field effect transistors2013
- 著者名/発表者名
 N. Taoka, M. Yokoyama, S. -H. Kim, R. Suzuki, S. Lee, R. Iida, T. Hoshii, W. Jevasuwan, T. Maeda, T. Yasuda, O. Ichikawa, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
 
 IEEE Transactions on device and materials reliability
 
 巻: 13 号: 4 ページ: 456-462
- DOI
 10.1109/tdmr.2013.2289330
- 査読あり
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-12J07612, KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Performance Enhancement Technologies in III-V/Ge MOSFETs (invited)2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Yokoyama, S.-H. Kim, R. Zhang and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 58(9) ページ: 137-148
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Impact of Fermi level pinning inside conduction band on electron mobility in InGaAs metal-oxide-semiconductor field-effect transistors2013
- 著者名/発表者名
  N. Taoka, M. Yokoyama, S. -H. Kim, R. Suzuki, S. Lee, R. Iida, T. Hoshii, W. Jevasuwan, T. Maeda, T. Yasuda, O. Ichikawa, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 103 号: 14 ページ: 143509-143509
- DOI
  10.1063/1.4824474
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J07612, KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] III-V/Ge CMOS device technologies for high performance logic applications (invited)2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Yokoyama, S.-H. Kim, R. Suzuki, R. Zhang, N. Taoka, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 53 (3) ページ: 85-96
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] High Mobility Ge p- and n-MOSFETs with 0.7 nm EOT using HfO2/Al2O3/GeOx/Ge gate stacks fabricated by plasma post oxidation2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, P.-C. Huang, J.-C. Lin, N. Taoka, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: 60 ページ: 927-934
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[雑誌論文] Ge gate stacks based on Ge oxide interfacial layers and the impact on MOS device properties2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  Micoroelectron. Eng.
  
  巻: 109 ページ: 389-395
- DOI
  10.1016/j.mee.2013.04.034
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] III-V/Ge CMOS device technologies for high performance logic applications2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Yokoyama, S.-H.Kim, R.Suzuki, R.Zhang, N.Taoka and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 53(3) 号: 3 ページ: 85-96
- DOI
  10.1149/05303.0085ecst
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Invited : III-V/Ge MOS transistor technologies for future ULSI future IC technology and novel devices2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: VOL. 54 号: 1 ページ: 39-54
- DOI
  10.1149/05401.0039ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-22686034, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] High Mobility Ge p- and n-MOSFETs with 0.7 nm Ultrathin EOT using HfO2/Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks Fabricated by Plasma Post Oxidation2013
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, P.-C.Huang, J.-C.Lin, N.Taoka, M.Takenaka and S.Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: vol.60, no.3 号: 2 ページ: 927-934
- DOI
  10.1109/ted.2011.2176495
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] ductor-compatible IIInGaAsP grating couplers fabricated using complementary-metal-oxide-semiconI-V-on-insulator on Si2013
- 著者名/発表者名
  Mitsuru Takenaka, Masafumi Yokoyama, Masakazu Sugiyama, Yoshiaki Nakano, and Shinichi Takagi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: vol. 6 号: 4 ページ: 42501-42501
- DOI
  10.7567/apex.6.042501
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20226008, KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Limiting factors of channel mobility in III-V/Ge MOSFETs2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.S.-H.Kim, R.Zhang, N.Taoka, Yokoyama and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 53(3) 号: 3 ページ: 97-105
- DOI
  10.1149/05303.0003ecst
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] High Mobility CMOS Technologies using III-V/Ge Channels on Si platform2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, S. -H. Kim, M. Yokoyama, R. Zhang, N. Taoka, Y. Urabe, T. Yasuda, H. Yamada, O. Ichikawa, N. Fukuhara, M. Hata and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  Solid Stale Electronics
  
  巻: 88 ページ: 2-8
- DOI
  10.1016/j.sse.2013.04.020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J07612, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Impact of plasma post oxidation temperature on interface trap density and roughness at GeOx/Ge interfaces2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, J. C. Lin, X. Yu, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  Microelectron. Eng.
  
  巻: 109 ページ: 97-100
- DOI
  10.1016/j.mee.2013.03.034
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J09309, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Biaxially strained Extremely-thin Body I_<n0.53>G_<a0.47>As-On-Insulator MOSFETs on Si substrates and Physical Understanding on their electron mobility2013
- 著者名/発表者名
 S. -H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
 
 Journal of Applied Physics
 
 巻: 114 号: 16 ページ: 164512-164512
- DOI
 10.1063/1.4828481
- 査読あり
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-12J07612, KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Limiting factors of channel mobility in III-V/Ge MOSFETs2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. S.-H. Kim, R. Zhang, N. Taoka, Yokoyama and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions
  
  巻: 53 (3) ページ: 97-105
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Atomic layer-by-layer oxidation of Ge (100) and (111) surfaces by plasma post oxidation of Al2O3/Ge structures2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, P.-C. Huang, J.-C. Lin, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 102 号: 8 ページ: 81603-81603
- DOI
  10.1063/1.4794013
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Invited : Performance enhancement technologies in III-V/Ge MOSFETs Ge-based and III-V technologies2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, Rui Zhang, S. -H. Kim, M. Yokoyama, and M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: VOL. 59 号: 9 ページ: 137-148
- DOI
  10.1149/05809.0137ecst
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-22686034, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] MOS interface control of high mobility channel materials for realizing ultrathin EOT gate stacks2012
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, R.Suzuki N.Taoka, M.Yokoyama and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 50(4) 号: 4 ページ: 107-122
- DOI
  10.1149/05004.0107ecst
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] High-mobility Ge pMOSFET with 1-nm EOT Al2O3/GeOx/Ge gate stack fabricated by plasma post oxidation2012
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, T. Iwasaki, N. Taoka, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices
  
  巻: 59 ページ: 335-341
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[雑誌論文] Electron mobility enhancement of extremely thin body In_<0.7>Ga_<0.3>As-on-insulator metal-oxide-semiconductor field-effect transistors on Si substrates by metal-oxide-semiconductor interface buffer layers2012
- 著者名/発表者名
 S. H. Kim, M. Yokoyama, N. Taoka, R. Iida, S. Lee, R. Nakane, Y. Urabe, N. Miyata, T. Yasuda, H. Yamada, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
 
 Appl. Phys. Express
 
 巻: Vol.5 号: 1 ページ: 14201-14201
- DOI
 10.1143/apex.5.014201
- NAID
 10030154895
- 査読あり
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Low-driving-current InGaAsP photonic-wire optical switches using III-V CMOS photonics platform2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Optics Express Letters
  
  巻: vol.20, no.26 号: 26 ページ: B357-B357
- DOI
  10.1364/oe.20.00b357
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Evidence of layer-by-layer oxidation of Ge surfaces by plasma oxidation through Al2O32012
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, P.-C.Huang, M.Takenaka and S.Takagi
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 50(9) 号: 9 ページ: 699-706
- DOI
  10.1149/05009.0699ecst
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Impact of GeOx interfacial layer thickness on Al2O3/Ge MOS interface properties2011
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, T. Iwasaki, N. Taoka, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  Microelecton. Engineering
  
  巻: 88 号: 7 ページ: 1533-1536
- DOI
  10.1016/j.mee.2011.03.130
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Suppression of ALD-induced degradation of Ge MOS interface properties by low power plasma nitridation of GeO22011
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, T. Iwasaki, N. Taoka, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  J. Electrochem. Soc.
  
  巻: 158 号: 8 ページ: G178-G178
- DOI
  10.1149/1.3599065
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] High performance extremely thin body InGaAs-on-insulator metal-oxide semiconductor field-effect transistors on Si substrates with Ni-InGaAs metal source/drain2011
- 著者名/発表者名
  S. H. Kim, M. Yokoyama, N. Taoka, R. Iida, S. Lee, R. Nakane, Y. Urabe, N. Miyata, T. Yasuda, H. Yamada, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: Vol.4 号: 11 ページ: 114201-114201
- DOI
  10.1143/apex.4.114201
- NAID
  10030153611
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[雑誌論文] Suppression of Interface State Generation in Si MOSFETs with Biaxially-Tensile Strain2011
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  in Electron Device Letters 32(accepted)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] Prospective and critical issues of III-V/Ge CMOS on Si platform2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 35(3) 号: 3 ページ: 279-298
- DOI
  10.1149/1.3569921
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] High Mobility Ge-based CMOS Device Technologies2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, S.Dissanayake and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  Key Engineering Materials
  
  巻: Vol.470 ページ: 1-7
- DOI
  10.4028/www.scientific.net/kem.470.1
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Device and integration technologies of III-V/Ge channel CMOS2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Yokoyama, Y.-H.Kim and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 41(7) 号: 7 ページ: 203-218
- DOI
  10.1149/1.3633300
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Al_2O_3/GeO_x/Ge gate stacks with low interface trap density fabricated by electron cyclotron resonance plasma postoxidation2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Lett.
  
  巻: 98
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[雑誌論文] Highly strained-SiGe-on-insulator p-channel metal-oxide-semiconductor field-effective transistors fabricated by applying Ge condensation technique to strained-Si-on-insulator substrates2011
- 著者名/発表者名
  J. Suh, R. Nakane, N. Taoka, M. Takenaka, and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 99 号: 14 ページ: 142108-142108
- DOI
  10.1063/1.3647631
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011, KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks with Low Interface Trap Density Fabricated by Electron Cyclotron Resonance Plasma Post Oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka and S.Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: vol.98 号: 11 ページ: 112902-112902
- DOI
  10.1063/1.3564902
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] MOS interface control technologies for III-V/Ge channel MOSFETs2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, T.Hoshii and M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans.
  
  巻: 41(3) 号: 3 ページ: 3-20
- DOI
  10.1149/1.3633015
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[雑誌論文] Novel Characterization Scheme of Si/SiO_2 Interface Roughness for Surface Roughness Scattering-limited Mobilities of Electrons and Holes in Unstrained-and Strained-Si MOSFETs2010
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, H.Matsumoto, T.Sato, S.Koyama, M.Takenaka, S.Takani
- 雑誌名
  
  IEEE Trans.Electron Devices
  
  巻: 57 ページ: 2057-2066
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] A Novel Characterization Scheme of Si/SiO2 Interface Roughness for Surface Roughness Scattering-limited Mobilities of Electrons and Holes in Unstrained- and Strained-Si MOSFETs2010
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, H.Matsumoto T.Sato, S.Koyama, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans.Electron Devices 57
  
  ページ: 2057-2066
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] High Performance Ultrathin(110)-Oriented Ge-On-Insulator pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation Technique2010
- 著者名/発表者名
  S.Dissanayake, S.Sugahara, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express 3
  
  ページ: 41302-41302
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Experimental Determination of Shear Stress induced Electron Mobility Enhancements in Si and Biaxially Strained-Si Metal-Oxide-Semiconductor Field-Fffect Transistors2010
- 著者名/発表者名
  O.Weber, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Rhys.
  
  巻: 49 ページ: 74101-74101
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] Experimental Determination of Shear Stress induced Electron Mobility Enhancements in Si and Biaxially Strained-Si Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistors2010
- 著者名/発表者名
  O.Weber, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 49
  
  ページ: 74101-74101
- NAID
  40017216105
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] Ge/III-V Channel Engineering for future CMOS2009
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Sugiyama, T.Yasuda, M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions 19
  
  ページ: 9-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Evaluation of Electron and Hole Mobility at Identical Metal-Oxide-Semiconductor Interfaces by using Metal Source/Drain Ge-On-Insulator Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors2009
- 著者名/発表者名
  K.Morii, S.Dissanayake, S.Tanabe, R.Nakane, M.Takenaka, S.Sugahara, S.Takagi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 48
- NAID
  210000066561
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Interfacial Control and Electrical Properties of Ge MOS structures2009
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, N. Taoka, M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans. vol.19,no.2
  
  ページ: 67-85
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Ge/III-V Channel Engineering for future CMOS2009
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Sugiyama, T. Yasuda, M. Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Trans. vol.19,no.5
  
  ページ: 9-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Investigation of InAlAs oxide/InP metal-oxide-semiconductor structures formed by wet thermal oxidation2009
- 著者名/発表者名
  S. Nakagawa, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Tanaka, M. Takenaka. S. Takagi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 48(掲載確定in press)
- NAID
  210000066604
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[雑誌論文] On Surface Roughness Scattering-limited Mobilities of Electrons and Holes in Biaxially-tensile Strained Si MOSFETs2009
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Electron Device Letters 30
  
  ページ: 987-989
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] Investigation of InAlAs oxide/InP metal-oxide-semiconductor structures formed bywet thermal oxidation2009
- 著者名/発表者名
  S. Nakagawa, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M.Hata, M. Tanaka, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal ofApplied Physics (JJAP) vol.48, No.2
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[雑誌論文] Surface Orientation Dependence of Interface Properties of GeO2/Ge metal-oxide-semiconductor Structures Fabricated by Thermal Oxidation2009
- 著者名/発表者名
  T.Sasada, Y.Nakakita, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics 106
  
  ページ: 73716-73716
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] On Surface Roughness Scatteringlimited Mobilities of Electrons and Holes in Biaxially-tensile Strained Si MOSFETs2009
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Electron Device Letters 30
  
  ページ: 987-989
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] Evaluation of Electron and Hole Mobility at Identical Metal-Oxide-Semiconductor Interfaces by using Metal Source/Drain Ge-On-Insulator Metal-Oxide- Semiconductor Field-Effect Transistors2009
- 著者名/発表者名
  K. Morii, S. Dissanayake, S. Tanabe, R. Nakane, M. Takenaka, S. Sugahara, S. Takagi
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. vol.48,no.4
- NAID
  210000066561
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Surface Orientation Dependence of Interface Properties of GeO2/Ge metal-oxide-semiconductor Structures Fabricated by Thermal Oxidation2009
- 著者名/発表者名
  T. Sasada, Y. Nakakita, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  J. Appl. Phys. vol.106
  
  ページ: 73716-73716
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Interfacial Control and Electrical Properties of Ge MOS structures2009
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, N.Taoka, M.Takenaka
- 雑誌名
  
  ECS Transactions 19
  
  ページ: 67-85
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Comprehensive Understanding of Coulomb Scattering Mobility in Biaxially-Strained Si MOSFETs2009
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S.Takagi
- 雑誌名
  
  IEEE Trans.Electron Devices 56
  
  ページ: 1152-1156
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[雑誌論文] (110) Ultra-thin GOI Layers Fabricated by Ge Condensation Method2008
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, Y. Shuto, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol.517,Issue1
  
  ページ: 178-180
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Carrier-transport-enhanced channel CMOS for improved power consumption and performance2008
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. Irisawa, T. Tezuka, T. Numata, S. Nakaharai, N. Hirashita, Y. Moriyama, K. Usuda, E. Toyoda, S. Dissanayake, M. Shichijo, R. Nakane, S. Sugahara, M. Takenaka and N. Sugiyama
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices(Invited Paper) Vol. 55, No. 1
  
  ページ: 21-39
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] (110) Ultra-thin GOI Layers Fabricated by Ge Condensation Method2008
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, Y. Shuto, S. Sugahara, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol. 517, Issue 1
  
  ページ: 178-180
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Evidence of low interface trap density in GeO2/Ge Metal-Oxide-Semiconductor structures fabricated by thermal oxidation2008
- 著者名/発表者名
  H. Matsubara, T. Sasada, M. Takenaka and S. Takaai
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett 93
  
  ページ: 32104-32104
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Evidence of low interface trap density in GeO2/Ge Metal-Oxide-Semiconductor structures fabricated by thermal oxidation2008
- 著者名/発表者名
  H. Matsubara, T. Sasada, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett. Vol. 93, Issue. 3
  
  ページ: 32104-32104
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Carrier-transport-enhanced channel CMOS for improved power consumption and performance (lnvited Paper)2008
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. lrisawa, T. Tezuka, T.Numata, S. Nakaharai, N. Hirashita, Y. Moriyama, K. Usuda, E. Toyoda, S. Dissanayake, M. Shichijo, R. Nakane, S. Sugahara, M. Takenaka and N. Sugiyama
- 雑誌名
  
  IEEE Transaction on Electron Devices 55
  
  ページ: 21-39
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Carrier-transport-enhanced channel CMOS for improved power consumption and performance2008
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. Irisawa, T. Tezuka, T. Numata, S. Nakaharai, N. Hirashita, Y. Moriyama, K. Usuda, E. Toyoda, S. Dissanayake, M. Shichijo, R. Nakane, S. Sugahara, M. Takenaka, N. Sugiyama
- 雑誌名
  
  IEEE Trans. Electron Devices Vol.55,No.1
  
  ページ: 21-39
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] Evidence of low interface trap density in GeO2/Ge Metal-Oxide- Semiconductor structures fabricated by thermal oxidation2008
- 著者名/発表者名
  H. Matsubara, T. Sasada, M. Takenaka, S. Takagi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett. Vol.93,Issue.3
  
  ページ: 32104-32104
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[雑誌論文] (110)Ultra-thin GOI Layers Fabricated by Ge Condensation Method2008
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, Y. Shuto, S. Sugahara, M. Takenaka and S. Takagi
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 517
  
  ページ: 178-180
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[産業財産権] ＭＯＳ型光変調器及びその製造方法2016
- 発明者名
  竹中充、韓在勲、高木信一
- 権利者名
  竹中充、韓在勲、高木信一
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2016-160229
- 出願年月日
  2016-08-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[産業財産権] 半導体基板、半導体基板の製造方法および半導体装置2008
- 発明者名
  竹中充、高木信一、秦雅彦、市川磨
- 権利者名
  国立大学法人東京大学、住友化学株式会社
- 出願年月日
  2008-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[産業財産権] 半導体基板, 半導体基板の製造方法および半導体装置2008
- 発明者名
  竹中充, 高木信一, 秦雅彦, 市川磨
- 権利者名
  東京大学, 住友化学株式会社
- 出願年月日
  2008-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[学会発表] AI用シリコンプログラマブル光回路2024
- 著者名/発表者名
  竹中充
- 学会等名
  電子情報通信学会総合大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] 低損失光位相シフタに向けたSb2S3の最適成膜条件の探索2024
- 著者名/発表者名
  按田智大, 宮武悠人, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 岡野誠, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] 相変化材料Ge2Sb2Te3S2を用いたプログラマブル光回路2024
- 著者名/発表者名
  竹中充, 宮武悠人, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 中野隆志, 岡野誠, トープラサートポンカシディット, 高木信一
- 学会等名
  レーザー学会第44回年次大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Photonic tensor core with low-insertion-loss, non-volatile Ge2Sb2Te3S2 intensity modulators2023
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, R. Tang, K. Makino, J. Tominaga, N. Miyata, M. Okano, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Photonic matrix multiplication with Ge2Sb2Te3S2 intensity modulators,2023
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, R. Tang, K. Makino, J. Tominaga, N. Miyata, M. Okano, K. Toprasertpong, S Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  13th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Transparent in-line optical power monitor integrated with MOS optical phase shifter using InP/Si hybrid integration2023
- 著者名/発表者名
  T. Akazawa, K. Sumita, S. Monfray, F. Boeuf, K. Toprasertpong, S. Takagi, M. Takenaka
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Ge2Sb2Te3S2を用いた不揮発性相変化中赤外光位相シフタ2023
- 著者名/発表者名
  宮武悠人, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 中野隆志, 岡野　誠, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中　充
- 学会等名
  電気学会ナノエレクトロニクス機能化・応用技術調査専門委員会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] InP/Siハイブリッド光パワーモニタとMOS型光位相シフタの一体集積2023
- 著者名/発表者名
  赤澤智熙, 隅田圭, モンフレステファン, ブフフレデリック, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Numerical evaluation of modulation bandwidth and insertion loss in InP-EO polymer hybrid optical modulator with doping optimization2023
- 著者名/発表者名
  H. Sakumoto, T. Nakayama, Y. Miyatake, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] FeFET 駆動型不揮発性ハイブリッドMOS 位相シフタの Endurance・Retention 特性2023
- 著者名/発表者名
  藤田将大, 唐睿, 湯涵智, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] III-V CMOS photonics platform for universal photonics applications2023
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, N. Sekine, K. Sumita, H. Sakumoto, S. Fu, K. Toprasertpong, and S. Takag
- 学会等名
  th International Conference on Optics, Photonics, and Lasers (OPL2023)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Optical power monitor for photonic integrated circuit using waveguide phototransistor2023
- 著者名/発表者名
  T. Akazawa, K. Sumita, S. Monfray, F. Boeuf, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  Photonic Device Workshop 2023 (PDW2023)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] 異種材料集積シリコン光回路を用いた深層学習アクセラレータ2023
- 著者名/発表者名
  竹中充
- 学会等名
  微小光学研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Ge2Sb2Te3S2を用いた不揮発性相変化中赤外光位相シフタ2023
- 著者名/発表者名
  宮武悠人, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 中野隆志, 岡野　誠, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中　充
- 学会等名
  電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究会（SDM）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Memory characteristics of FeFET-driven hybrid MOS optical phase shifter2023
- 著者名/発表者名
  M. Fujita, R. Tang, H. Tang, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  13th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Heterogeneous integration of III-V and phase change material for Si programmable photonic integrated circuits2023
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka
- 学会等名
  13th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] 低挿入損失・不揮発性Ge2Sb2Te3S2強度変調器を用いた光行列演算2023
- 著者名/発表者名
  宮武悠人, 唐睿, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 岡野誠, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Low-power add-drop microring resonator switch with positive/negative phase tuning using InGaAsP/Si hybrid MOS phase shifter2023
- 著者名/発表者名
  Y. Wakita, R. Tang, H. Tang, S. Ohno, T. Akazawa, Y. Miyatake, S. Monfray, F. Boeuf, K. Toprasertpong, S Takagi, M. Takenaka
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] Demonstration of add-drop ring resonator switch using InGaAsP/Si hybrid MOS phase shifter2023
- 著者名/発表者名
  Y. Wakita, R. Tang, H. Tang, S. Ohno, T. Akazawa, S. Monfray, F. Boeuf, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  13th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00172
[学会発表] ウェハ接合を用いた光集積回路およびコンピューティング応用2022
- 著者名/発表者名
  竹中　充
- 学会等名
  電子実装工学研究所（IMSI）第3回会員会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] CAM-ESに基づく小型低損失2×2カプラの設計2022
- 著者名/発表者名
  宮武悠人, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Record-low loss non-volatile mid-infrared PCM optical phase shifter based on Ge2Sb2Te3S22022
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, K. Makino, J. Tominaga, N. Miyata, T. Nakano, M. Okano, K. Toprasertpong, S. Takagi, M. Takenaka
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Compact, low-loss, fabrication-tolerant, and thermally stable 2x2 Si optical coupler designed by CMA-ES2022
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Ge-on-insulator platform for mid-infrared photonic integrated circuits2022
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Z. Zhao, T. Piyapatarakul, Y. Miyatake, K. Toprasertpong, and S. Takagi
- 学会等名
  242th ECS Meeting
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] 極薄III-V族半導体を用いたSiハイブリッド光集積回路および光コンピューティング応用2022
- 著者名/発表者名
  竹中充
- 学会等名
  学振R025産学協力委員会第11回研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Optimization of Compact and Low-loss 2×2 Si Optical Coupler based on CMA-ES2022
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  12th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Numerical analysis of III-V MOS optical modulator with graphene transparent electrode for efficient phase modulation2022
- 著者名/発表者名
  Tipat Piyapatarakul, Hanzhi Tang, Kasidit Toprasertpong, Shinichi Takagi, Mitsuru Takenaka
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Design of the III-V MOS optical modulator with doped graphene electrode for efficient, high-speed phase modulation2022
- 著者名/発表者名
  T. Piyapatarakul, H. Tang, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  12th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Analysis of III-V MOS optical modulator with transparent doped graphene gate electrode2022
- 著者名/発表者名
  T. Piyapataraku, H. Tang, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] III-V/Si hybrid integration for scalable optical switching and computing2022
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, H. Tang, K. Watanabe, T. Ochiai, T. Akazawa, Y. Miyatake, S. Ohno, K. Sumita, S. Monfray, F. Boeuf, R. Tang, K. Toprasertpong, and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Photonics in Switching and Computing (PSC2022)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Ge ring modulator based on carrier-injection phaser shifter operating at two micrometer band2021
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C.-P. Ho, Q. Li, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] 波長2.4μmで動作する相変化材料を用いた中赤外光位相シフタ2021
- 著者名/発表者名
  宮武悠人, 何鐘培, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 中野隆志, 関根尚希, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Materials drive Si photonics2021
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, K. Toprasertpong, and S. Takagi
- 学会等名
  34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2021)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Germanium mid-infrared integrated photonics on GeOI platform2021
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Z. Zhao, C.-P. Ho, T. Fujigaki, K. Toprasertpong, and S. Takagi
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2021)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Reduction of optical loss of phase-change phase shifter based on Ge2Sb2Te5 operating at mid-infrared wavelength2021
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, C.-P. Ho, K. Makino, J. Tominaga, N. Miyata, T. Nakano, N. Sekine, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  11th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Enhancement of the Ge sub-bandgap photo-response at 2-μm band by photo-gating effect2021
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Investigation of Optical Phase-shift by Free-carrier effect in Germanium Waveguides for Mid-infrared Photonics2020
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C. Ho, Q. Li, Z. Lin, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Experimental evaluation of the free-carrier plasma dispersion effect in germanium2020
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C.-P. Ho, Q. Li, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  10th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Mid-infrared non-volatile compact optical phase shifter based on Ge2Sb2Te52020
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, C.-P. Ho, P. Pitchappa, R. Singh, K. Makino, J. Tominaga, N. Miyata, T. Nakano, N. Sekine, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC 2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Two-micrometer monolithic germanium waveguide photodetector integrated with lateral PIN junction2020
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C.-P. Ho, Q. Li, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  10th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] 相変化材料を用いた中赤外光位相シフタの提案2020
- 著者名/発表者名
  宮武悠人, 何鐘培, 牧野孝太郎, 富永淳二, 宮田典幸, 中野隆志, 関根尚希, トープラサートポンカシディット, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Non-volatile compact optical phase shifter based on Ge2Sb2Te5 operating at mid-infrared wavelength2020
- 著者名/発表者名
  Y. Miyatake, C. P. Ho, P. Pitchappa, R. Singh, K. Makino, J. Tominaga, N. Miyata, T. Nakano, N. Sekine, K. Toprasertpong, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  10th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02198
[学会発表] Investigation of Franz-Keldysh effect and carrier depletion effect in III-V/Si hybrid MOS optical modulator2019
- 著者名/発表者名
  Q. Li, C.-H. Ho, S. Takagi, and, M. Takenaka
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Efficient Optical Modulator by Reverse-biased III-V/Si Hybrid MOS Capacitor based on FK Effect and Carrier Depletion2019
- 著者名/発表者名
  Q. Li, C. P. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference (OFC2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] フォトニクス応用に向けたIII-V on SiCプラットフォームの検討2018
- 著者名/発表者名
  三條嵩明, 関根尚希, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V/Si hybrid MOS optical phase modulator for Si photonic integrated circuits2018
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, J. Han, F. Boeuf, J.-K. Park, Q. Li, C. P. Ho, D. Lyu, S. Ohno, J. Fujikata, S. Takahashi, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC 2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Fabrication of Si racetrack optical modulator with III-V/Si hybrid MOS phase shifter2018
- 著者名/発表者名
  Q. Li, C.-P. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Fabrication of High-Q Ring Resonator using n-type GeOI wafer2018
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Investigation of a germanium-on-insulator band-stop filter2018
- 著者名/発表者名
  C. P. Ho, Z. Zhao, Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Fabrication of high-Q ring resonator using low loss GeOI wafer2018
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C. P. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Low-power Ge thermo-optic phase shifter on Ge-on-Insulator platform2018
- 著者名/発表者名
  T. Fujigaki, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Electronic-photonic integrated circuits based on heterogeneous integration of III-V, Ge, and 2D materials on Si2018
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka
- 学会等名
  Korean Institute of Science and Technology (KIST)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] 中赤外フォトニクスのためのGe/Si ハイブリッド MOS型光変調器の提案2018
- 著者名/発表者名
  田口富隆, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Low-crosstalk, low-power Mach-Zehnder interferometer optical switch based on III-V/Si hybrid MOS phase shifter2018
- 著者名/発表者名
  Q. Li, J.-H. Han, C. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Low-crosstalk, low-power Mach-Zehnder interferometer optical switch based on III-V/Si hybrid MOS phase shifter2018
- 著者名/発表者名
  Q. Li, J.-H. Han, C. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Demonstration of Mach-Zehnder interferometer optical switch with InGaAsP/Si hybrid MOS optical phase shifter2018
- 著者名/発表者名
  Q. Li, S. Takagi, M. Takenaka
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Demonstration of Si racetrack resonator based on III-V/Si hybrid MOS phase shifter2018
- 著者名/発表者名
  Q. Li, C. P. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Efficient low-loss InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator2018
- 著者名/発表者名
  韓在勲, Boeuf Frederic, 藤方潤一, 高橋重樹, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Ge-on-insulator platform for mid-infrared integrated photonics2018
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  IEEE Summer Topicals Meeting Series
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Si hybrid MOS optical phase shifter for switching and computing2018
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, J. Han, Q. Li, C.P. Ho, D. Lyu, S. Ohno, and S. Takagi
- 学会等名
  Photonics in Switching and Computing (PSC 2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] Proposal of Ge/Si hybrid MOS optical modulator operating at mid-infrared wavelengths2018
- 著者名/発表者名
  Y. Taguchi, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Investigation of Low-loss Mid-infrared Waveguide Using n-type Ge2018
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Fabrication of high-Q ring resonator using low loss GeOI wafer2018
- 著者名/発表者名
  Z. Zhao, C. P. Ho, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] ゲルマニウムを用いた中赤外集積フォトニクスへの展開2018
- 著者名/発表者名
  竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] High-efficiency, low-loss optical phase modulator based on III-V/Si hybrid MOS capacitor2018
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, J.-H. Han, J.-K. Park, F. Boeuf, J. Fujikata, S. Takahashi, and S. Takagi
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Investigation of a germanium-on-insulator band-stop filter2018
- 著者名/発表者名
  C. P. Ho, Z. Zhao, Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  8th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] 酸化物半導体/IV族半導体を用いた超低消費電力トンネルトランジスタ2018
- 著者名/発表者名
  藤垣匠, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Design Optimization of Ultralow Capacitance InGaAs Waveguide Photodetector on III-V CMOS photonics platform2018
- 著者名/発表者名
  P. Cheng, S. Takagi, M. Takenaka
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Heterogeneous integration of III-V/Ge on Si for photonic integrated circuits2018
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Progress In Electromagnetics Research Symposium (PIERS2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Monolithic integration of InGaAsP MZI modulator and InGaAs driver MOSFET using III-V CMOS photonics2017
- 著者名/発表者名
  J. Park, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference
- 発表場所
  Los Angeles Convention Center, Los Angeles, USA
- 年月日
  2017-03-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] 異種半導体集積Siフォトニクスを用いた高効率光変調器への展開2017
- 著者名/発表者名
  竹中充, 高木　信一
- 学会等名
  電子情報通信学会ソサイエティ大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V/Si hybrid MOS optical phase shifter toward low-crosstalk switching2017
- 著者名/発表者名
  Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Low-optical-loss graphene-based phase modulator operating at mid-infrared wavelength2017
- 著者名/発表者名
  Y. Yamaguchi, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] III-V/Ge MOSFETs and TFETs for Ultra-Low Power Logic LSIs2017
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  2017 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications (2017 VLSI-TSA)
- 発表場所
  Ambassador Hotel Hsinchu, Hsinchu, Taiwan
- 年月日
  2017-04-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Near-infrared and mid-infrared integrated photonics based on Ge-on-insulator platform2017
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, J. Kang, T. Fujigaki, and S. Takagi
- 学会等名
  IEEE Photonics Conference (IPC 2017)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Investigation of a bandpass filter on Germanium-on-Insulator photonic platform2017
- 著者名/発表者名
  C. P. Ho, Z. Zhao, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] III-V-based low power CMOS devices on Si platform2017
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, D. H. Ahn, T. Gotow, M. Noguchi, K. Nishi, S.-H. Kim, M. Yokoyama, C.-Y. Chang, S.-H. Yoon, C. Yokoyama and M. Takenaka
- 学会等名
  IEEE International Conference on Integrated Circuit Design & Technology (ICICDT)
- 発表場所
  Avaya Auditorium, Austin, USA
- 年月日
  2017-05-23
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] 酸化濃縮プロセスにおける冷却方法がGeOI中の圧縮ひずみに及ぼす効果2017
- 著者名/発表者名
  金佑彊, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Pure phase modulation based on graphene operating at wavelength of 3000 nm2017
- 著者名/発表者名
  Y. Yamaguchi, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  24th Congress of the international Commission for Optics (ICO-24)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] 貼り合わせ法を用いた高性能InGaAsP/Si hybrid MOS型光変調器2017
- 著者名/発表者名
  韓在勲, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] High-Efficiency O-Band Mach-Zehnder modulator based on InGaAsP/Si hybrid MOS capacitor2017
- 著者名/発表者名
  J. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference
- 発表場所
  Los Angeles Convention Center, Los Angeles, USA
- 年月日
  2017-03-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Electronic-photonic integrated circuits based on heterogeneous integration of Ge/III-V on Si2017
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka
- 学会等名
  Silicon Photonic Workshop, European Conference on Optical Communication
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Influence of ALD High-k film deposition on plasma oxidation GeOx/Ge gate stacks2017
- 著者名/発表者名
  M. Ke, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  10th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar, "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2017-02-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Wavelength dependence of Ge thermo-optic switch operating at mid-infrared wavelength range2017
- 著者名/発表者名
  T. Fujigaki, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] III-V/SiハイブリッドMOS構造を用いた高効率光位相変調およびユニバーサル光集積回路への展開2017
- 著者名/発表者名
  竹中充
- 学会等名
  第27回シリコンフォトニクス研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] プラズマ酸化により形成したAl2O3/GeOx/Ge MOS界面の遅い準位の起源2017
- 著者名/発表者名
  柯夢南, シャオ・ユウ, 張志宇, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第22回電子デバイス界面テクノロジー研究会―材料・プロセス・デバイス特性の物理―
- 発表場所
  東レ研修センター（静岡県三島市）
- 年月日
  2017-01-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] MOS Interface Defect Control in Ge/IIIV Gate Stacks2017
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Ke, C. Y. Chang, C. Yokoyama, M. Yokoyama, T. Gotow, K. Nishi, and M. Takenaka
- 学会等名
  232nd Electrochemical Society (ECS) Meeting, D01: Semiconductors, Dielectrics, and Metals for Nanoelectronics 15: In Memory of Samares Kar
- 発表場所
  Gaylord National Resort and Convention Center, National Harbor, USA
- 年月日
  2017-10-01
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Reduction of slow trap density of Al2O3/GeOx/n-Ge MOS interfaces by inserting ultrathin Y2O3 interfacial layers2017
- 著者名/発表者名
  M. Ke, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  20th Conference on Insulating Films on Semiconductors (INFOS 2017)
- 発表場所
  Seminaris SeeHotel Potsdam, Potsdam, Germany
- 年月日
  2017-06-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] High-efficiency phase modulation based on Si hybrid MOS structure2017
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Progress In Electromagnetics Research Symposium
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Structure optimization of InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator for high-efficiency phase modulation2017
- 著者名/発表者名
  Q. Li, J.-H. Han, F. Boeuf, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  24th Congress of the international Commission for Optics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Ultra-low Power MOSFETs and Tunneling FETs using III-V and Ge2017
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  International Workshop on Nanodevice Technologies 2017 (IWNT 2017)
- 発表場所
  広島大学（広島県東広島市）
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Investigation on Mg ion implantation for carrier-depletion InGaAsP optical modulator with vertical PN junction2017
- 著者名/発表者名
  N. Sekine, J.-H. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  24th Congress of the international Commission for Optics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] High Performance 4.5-nm-Thick Compressively-Strained Ge-on-Insulator pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation with Optimized Temperature Control2017
- 著者名/発表者名
  W.-K. Kim, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Symposium on VLSI technology
- 発表場所
  京都リーガローヤルホテル（京都府京都市）
- 年月日
  2017-06-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Investigation of a bandpass filter on Germanium-on-Insulator photonic platform2017
- 著者名/発表者名
  C.-P. Ho, Z. Zhao, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17F17071
[学会発表] 低損失グラフェン中赤外光変調器の検討2017
- 著者名/発表者名
  山口夕貴, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Si photonics based on heterogeneous integration2017
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka
- 学会等名
  Tsinghua University-the University of Tokyo Joint Symposium
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] プラズマ後酸化によるALD Al2O3/Y2O3/GeOx/Geゲートスタックの電気特性2017
- 著者名/発表者名
  柯夢南, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Performance benchmarking of InGaAsP, Si0.8Ge0.2 and Si-based photonics homojunction and heterojunction PN modulators2017
- 著者名/発表者名
  F. Boeuf, N. Sekine, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] 異種材料集積を用いたSiフォトニクス2017
- 著者名/発表者名
  竹中充
- 学会等名
  第9回フォトニクス・イノベーションセミナー（シリコンフォトニクスの進展と展望）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Low-crosstalk optical switch with InGaAsP/Si hybrid MOS optical phase shifter2017
- 著者名/発表者名
  Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V CMOSフォトニクス・プラットフォーム上L字接合をもつキャリア空乏型InGaAsP光変調器の検討2017
- 著者名/発表者名
  関根尚希, 高木信一, 竹中充
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Numerical investigation of ultralow-capacitance InGaAs photodetector on III-V/a-Si hybrid platform2017
- 著者名/発表者名
  P. Cheng, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  7th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Optimization of modulation efficiency of InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator2017
- 著者名/発表者名
  Q. Li, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] 温度サイクルを減らした酸化濃縮法による高圧縮ひずみ極薄膜Ge-OI 構造の実現2016
- 著者名/発表者名
  金佑彊, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] CMOS photonics technologies based on heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, Y. Ikku, Y. Cheng, J. Park, and S. Takagi
- 学会等名
  SPIE Photonics Europe
- 発表場所
  SQUARE Brussels Meeting Center, Brussels, Belgium
- 年月日
  2016-04-04
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] 極低電力LSIのための先端Ge MOSデバイス技術2016
- 著者名/発表者名
  高木信一, シャオ・ユウ, 張睿, 柯夢南, 竹中充
- 学会等名
  第80回半導体・集積路技術シンポジウム
- 発表場所
  東京理科大学森戸記念館（東京都新宿区）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Challenges and opportunities of near and mid-infrared photonics based on SiGe and Ge2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, and S. Takagi
- 学会等名
  230th ECS Meeting
- 発表場所
  Hawaii, USA
- 年月日
  2016-10-04
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Control of slow traps of ALD Al2O3/Ge-based gate stacks with post plasma process2016
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  9th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics and JSPS Core-to-Core Program Joint Seminar, "Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration”
- 発表場所
  東北大学（宮城県仙台市）
- 年月日
  2016-01-11
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si for CMOS photonics2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
- 発表場所
  Avanti Kyoto Hall, Ryukoku Univeristy, Kyoto
- 年月日
  2016-06-23
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Numerical analysis of InGaAsP carrier-depletion optical modulator on III-V CMOS photonics platform2016
- 著者名/発表者名
  N. Sekine, J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba International Congress Center, Tsukuba, Ibaragi
- 年月日
  2016-09-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Al2O3/GeOx/Ge MOS界面の遅い準位密度に与える界面構造の影響2016
- 著者名/発表者名
  柯夢南, ユウ・シャオ, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si for CMOS photonics2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  International Meeting for Future of Electron Devices
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2016-06-23
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-Vs on Si for electronic-photonic integrated circuit2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  JSPS-OSA joing session
- 発表場所
  Toki Messe, Niigata, Niigata
- 年月日
  2016-09-16
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Estimation of modulation efficiency enhancement using an InGaAsP/Si hybrid MOS optical modulator2016
- 著者名/発表者名
  J.-H. Han, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  Eneos Hall, The University of Tokyo, Meguro-ku, Komaba, Tokyo
- 年月日
  2016-11-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Design and characterization of Ge passive waveguide components on Ge-on-Insulator for mid-infrared photonics2016
- 著者名/発表者名
  J. Kang, X. Yu, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference (OFC2016)
- 発表場所
  Tu3E.4, Anahaim
- 年月日
  2016-03-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] 極薄膜Ge-On-Insulator(GOI) p-MOSFETのキャリア輸送特性2016
- 著者名/発表者名
  ユウ・シャオ, 亢健, 竹中充,　高木信―
- 学会等名
  電子情報通信学会SDM研究会・応用物理学会シリコンテクノロジー分科会共催研究集会「先端CMOSデバイス・プロセス技術（IEDM特集）」
- 発表場所
  機械振興会館（東京都港区）
- 年月日
  2016-01-28
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Extremely high modulation efficiency III-V/Si hybrid MOS optical modulator fabricated by direct wafer bonding2016
- 著者名/発表者名
  J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting
- 発表場所
  Hilton San Francisco Union Square, San Francisco, USA
- 年月日
  2016-12-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Ge-on-insulator platform for near and mid-infrared integrated photonics2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka
- 学会等名
  6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2016)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-11-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] CMOS photonics technologies based on heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, Y. Ikku, Y. Cheng, J. Park, and S. Takagi
- 学会等名
  SPIE Photonics Europe
- 発表場所
  Brussels, Belgium
- 年月日
  2016-04-04
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Si/III-V CMOS photonics for low-power electronic-photonic integrated circuits on Si platform2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2016)
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2016-06-10
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] CMOS photonics based on SiGe and Ge for near and mid-infrared photonic integrated circuits2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2016)
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- 年月日
  2016-09-28
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Design and characterization of Ge passive waveguide components at 2-μm band for mid-infrared integrated photonics2016
- 著者名/発表者名
  J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2016)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-11-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Carrier Transport Properties in Extremely-Thin Body GOI p-MOSFETs2016
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, X. Yu, J. Kang and M. Takenaka
- 学会等名
  Workshop on Atomically Controlled Processing for Ultra-large Scale Integration
- 発表場所
  Forschungszentrum Julich, Julich, Germany
- 年月日
  2016-11-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] 貼り合わせInGaAsP/Si ハイブリッド MOS 型光変調器に関する検討2016
- 著者名/発表者名
  韓在勲, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Feasibility study of III-V/Si hybrid MOS optical modulators consisting of n-InGaAsP/Al2O3/p-Si MOS capacitor formed by wafer bonding2016
- 著者名/発表者名
  J. Han, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Group IV Photonics
- 発表場所
  Grand Kempinski Hotel, Shanghai, China
- 年月日
  2016-08-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-Vs on Si for electronic-photonic integrated circtuis2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  JSPS-OSA joing session
- 発表場所
  Niigata, Japan
- 年月日
  2016-10-16
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Si上異種半導体集積によるCMOSフォトニクス2016
- 著者名/発表者名
  竹中　充, 金　栄現, 韓　在勲, 亢　健, 一宮佑希, 程　勇鵬, 朴　珍權, 金　相賢, 高木信一
- 学会等名
  電子情報通信学会SDM研究会・応用物理学会シリコンテクノロジー分科会共催研究集会
- 発表場所
  機会振興会館（東京都港区）
- 年月日
  2016-01-28
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V CMOSフォトニクス・プラットフォーム上キャリア注入型InGaAsP可変光減衰器2016
- 著者名/発表者名
  朴　珍權, 韓在勲, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Si上異種半導体集積による光電子集積回路技術2016
- 著者名/発表者名
  竹中充, 高木信一
- 学会等名
  プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第150回研究会
- 発表場所
  名古屋大学ES総合館ESホール（名古屋市千種区）
- 年月日
  2016-06-20
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Investigation of Ge thermo-optic switch on the Ge CMOS Photonics platform2016
- 著者名/発表者名
  T. Fujigaki, J. Kang, S. Takagi, and M. Takenaka
- 学会等名
  6th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2016)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2016-11-29
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Si/III-V CMOS photonics for low-power electronic-photonic integrated circuits on Si platform2016
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics
- 発表場所
  San Jose Convention Center, San Jose, USA
- 年月日
  2016-06-05
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Ge waveguide photodetector on wafer-bonded Ge-on-insulator substrate monolithically integrated with amorphous Si waveguide2016
- 著者名/発表者名
  J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC 2016)
- 発表場所
  Düsseldorf, Germany
- 年月日
  2016-09-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] GeOxNy 層の挿入によるAl2O3/n-Ge MOS界面の遅い準位密度低減2016
- 著者名/発表者名
  柯夢南, シャオ・ユウ, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Fabrication and MOS interface properties of ALD AlYO3/GeOx/Ge gate stacks with plasma post oxidation2015
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, R. Zhang, J. Kang, C. Chang, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Experimental Study on Carrier Transport Properties in Extremely-Thin Body Ge-on-Insulator (GOI) p-MOSFETs with GOI Thickness down to 2 nm2015
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting (IEDM)
- 発表場所
  Hilton Washington, Washington DC., USA
- 年月日
  2015-12-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] MOS Interface Control Technologies for Advanced III-V/ Ge Devices2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, C. Y. Chang, M. Yokoyama, K. Nishi, R. Zhang, M. Ke, J. H. Han, and M. Takenaka
- 学会等名
  228th Fall meeting of the Electrochemical Society, D04 - Semiconductors, Dielectrics, and Metals for Nanoelectronics 13
- 発表場所
  Hyatt Regency Hotel, Pheonix, Arizona, USA
- 年月日
  2015-10-11
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Low Power MOS Device Technologies based on Heterogeneous Integration2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  2015 International Electron Devices and Materials Symposia (IEDMS)
- 発表場所
  Kun Shan University, Tainan, Taiwan
- 年月日
  2015-11-19
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Tunneling FET Technologies Using III-V and Ge Materials2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Kim, M. Noguchi, K. Nishi, and M. Takenaka
- 学会等名
  228th Fall meeting of the Electrochemical Society, G04 - ULSI Process Integration 9
- 発表場所
  Hyatt Regency Hotel, Pheonix, Arizona, USA
- 年月日
  2015-10-11
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Fabrication and MOS interface properties of ALD AlYO3/GeOx/Ge gate stacks with plasma post oxidation2015
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, R. Zhang, J. Kang, C. Chang, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  19th Conference on "Insulating Films on Semiconductors" (INFOS)
- 発表場所
  University of Udine, Udine, Italy
- 年月日
  2015-06-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] First demonstration of Ge waveguide platform on Ge-on-Insulator for mid-infrared integrated photonics2015
- 著者名/発表者名
  J. Kang, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC 2015)
- 発表場所
  Barcelona, P.2.10
- 年月日
  2015-09-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Impact of Thermal Annealing on Ge-on-Insulator Substrate Fabricated by Wafer Bonding2015
- 著者名/発表者名
  J. Kan, X. Yu, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  E-MRS Spring Meeting
- 発表場所
  Symposium Z.5, Lille, France
- 年月日
  2015-05-14
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] III-V CMOS photonics on Si for high-performance electronic-photonic integrated circuits2015
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  8th International Conference on Materials for Advanced Technologies
- 発表場所
  Suntech, Singapore
- 年月日
  2015-07-02
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Impact of back interface passivation on electrical properties of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs2015
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, R. Zhang, W.-L. Cai, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  19th Conference on "Insulating Films on Semiconductors" (INFOS)
- 発表場所
  University of Udine, Udine, Italy
- 年月日
  2015-06-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Impact of GeOx passivation on dark current for wafer-bonded Ge-on-Insulator metal-semiconductor-metal photodetector2015
- 著者名/発表者名
  J. Kang, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Group IV Photonics (GFP2015)
- 発表場所
  WP18, Vancouver, Canada
- 年月日
  2015-08-26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] 低消費LSIのためのIII-V族半導体およびGe/ひずみSOIトンネルFETテクノロジー2015
- 著者名/発表者名
  高木信一, 金閔洙, 野口宗隆, ジ・サンミン, 西康一, 竹中充
- 学会等名
  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会共催研究集会第184回研究集会「先端CMOSデバイス・プロセス技術（VLSIシンポジウム特集）」
- 発表場所
  甲南大学ネットワークキャンパス東京（東京都千代田区）
- 年月日
  2015-08-17
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Ni-InGaAsP alloy for low-resistivity lateral PIN junction formation in carrier-injected InGaAsP photonic devices2015
- 著者名/発表者名
  J.-K. Park, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  5th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  Ito Hall, The University of Tokyo, Bunkyo-ku, Hongo, Tokyo
- 年月日
  2015-12-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] A novel Ge waveguide platform on Ge-on-Insulator substrate for mid-infrared photonics2015
- 著者名/発表者名
  J. Kang, X. Yu, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  5th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2015)
- 発表場所
  Tokyo
- 年月日
  2015-12-01
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Impact of back interface passivation on electrical properties of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs2015
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, R. Zhang, W.-L. Cai, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Ge/SiGe CMOS device technology for future logic LSIs2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, W.-K. Kim, X. Yu, J.-h. Han, R. Zhang and M. Takenaka
- 学会等名
  E-MRS Spring meeting 2015, Symposium K, "Transport and photonics in group IV-based nanodevices"
- 発表場所
  Lille Grand Palace, Lille, France
- 年月日
  2015-05-11
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Properties of slow traps of ALD Al2O3/GeOx/Ge gate stacks with plasma post oxidation2015
- 著者名/発表者名
  M. Ke, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  46th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC)
- 発表場所
  Key Bridge Marriott, Arlington, USA
- 年月日
  2015-12-03
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] III-V-OI基板上における量子井戸インターミキシングの検討2015
- 著者名/発表者名
  高島成也、一宮佑希、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V/Ge MOSFETs and Tunneling FETs on Si platform for Low Power Logic Applications2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  13th International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK)
- 発表場所
  龍谷大学アバンティ京都ホール（京都府京都市）
- 年月日
  2015-06-04
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Advanced Nano CMOS using Ge/III-V semiconductors for Low Power Logic LSIs2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  15th IEEE International Conference on Nanotechnology
- 発表場所
  Angelicum Congress Centre, Rome, Italy
- 年月日
  2015-07-27
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Ge/III-V MOS Device Technologies for Low Power Integrated Systems2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  45th European Solid-State Device Conference (ESSDERC)
- 発表場所
  Messe Congress Graz Betriebsgesellschaft, Graz, Austria
- 年月日
  2015-09-14
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Gate stack technologies for high mobility channel MOSFETs2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang, C.-Y. Chang, J.-H. Han, M. Yokoyama and M. Takenaka
- 学会等名
  2015 MRS Spring Meeting & Exhibit, Sympoium AA, “Materials for Beyond the Roadmap Devices in Logic, Power and Memory”
- 発表場所
  Moscone West Convention Cener, San Francisco, USA
- 年月日
  2015-04-06
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] CMOS photonics technologies based on heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si2015
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, Y. Ikku, Y. Cheng, J.-K. Park, S.-H Kim, and S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting
- 発表場所
  Washington Hilton, Washington D.C, USA
- 年月日
  2015-12-09
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] CMOS photonics technologies based on heterogeneous integration of SiGe/Ge and III-V on Si2015
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Kim, J. Han, J. Kang, Y. Ikku, Y. Cheng, J.-K. Park, S.-H Kim, and S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM’15)
- 発表場所
  31.5, Washington D.C.
- 年月日
  2015-12-09
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] III-V and Ge tunneling FET technologies for low power LSIs2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M.-S. Kim, M. Noguchi, S.-M. Ji, K. Nishi and M. Takenaka
- 学会等名
  Symposia on VLSI Technology
- 発表場所
  京都リーガローヤルホテル（京都府京都市）
- 年月日
  2015-06-16
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] III-V on SiC基板を用いた光集積回路プラットフォームの提案2015
- 著者名/発表者名
  竹中充，高木信一
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市熱田区）
- 年月日
  2015-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Tunneling FET Device Technologies Using III-V and Ge Materials2015
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Kim, M. Noguchi, K. Nishi, M. Takenaka
- 学会等名
  4th Berkeley Symposium on Energy Efficient Electronic Systems (E3S)
- 発表場所
  University of California, Berkeley, California, USA
- 年月日
  2015-10-02
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] High Mobility Ge CMOS Devices with Ultrathin EOT Gate Stacks Fabricated by Plasma Post Oxidation2015
- 著者名/発表者名
  Rui Zhang, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] II-V-OI基板のパターニングによるボイド低減の検討2015
- 著者名/発表者名
  高島成也, 一宮佑希, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市熱田区）
- 年月日
  2015-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V CMOS device technologies on Si platform2014
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  E-MRS Fall Meeting
- 発表場所
  Warsaw University of Technology, Warsaw, Poland
- 年月日
  2014-09-16
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] nチャネルGel-xSnx MOSFETの電流-電圧特性へのSn組成依存性2014
- 著者名/発表者名
  浅野孝典, 田岡紀之, 加藤公彦, 坂下満男, 張睿, 横山正史, 竹中充, 高木信一、財満鎭明
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- 年月日
  2014-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] 容量値の時間応答を利用したGe MOS界面における遅い準位の定量的評価2014
- 著者名/発表者名
  田中克久，張睿，竹中充，高木信一
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] 小型低クロストークInGaAsP細線導波路光スイッチの作製2014
- 著者名/発表者名
  一宮佑希，横山正史，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Ge-on-Insulator Substrate Fabrication for Ge CMOS Photonics Platform2014
- 著者名/発表者名
  J. Kang, X. Yu, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  4th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2014)
- 発表場所
  ENEOS hall, The University of Tokyo
- 年月日
  2014-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] InGaAs MSM photodetector with InAlAs and InP cap layers on III-V CMOS photonics platform for low dark current operation2014
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  4th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  ENEOS hall, The University of Tokyo, Meguro, Tokyo
- 年月日
  2014-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V/Ge CMOS Device Technologies for Future Logic LSIs2014
- 著者名/発表者名
  S.Takagi and M.Takenaka
- 学会等名
  7th International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM)
- 発表場所
  Swissotel Merchant Court, Singapore, Singapore
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ge-on-Insulator fabrication by smartcut technology for Ge CMOS photonics platform2014
- 著者名/発表者名
  亢健，玉虓，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] Ultrathin body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs fabricated by transfer of epitaxial Ge films on III-V substrates2014
- 著者名/発表者名
  X.Yu, R.Zhang, J.Kang, T.Osada, M.Hata, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  21st International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications (VLSI-TSA)
- 発表場所
  Ambassador Hotel Hsinchu, Hsinchu, Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ultrathin body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs fabricated by transfer of epitaxial Ge films on III-V substrates2014
- 著者名/発表者名
  X. Yu, R. Zhang, J. Kang, T. Maeda, T. Itatani, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ultra-small, low-crosstalk, electrically-driven InGaAsP photonic-wire optical switches on III-V CMOS photonics platform2014
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M.Yokoyama, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference (OFC2014)
- 発表場所
  San Francisco
- 年月日
  2014-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High Mobility Strained-Ge pMOSFETs with 0.7-nm Ultrathin EOT using Plasma Post Oxidation HfO2/Al2O3/GeOx Gate Stacks2014
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, W. Chern, X. Yu, M. Takenaka, J. L. Hoyt and S. Takagi
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Low-crosstalk carrier-injection Mach-Zehnder interferometer optical switches with 50-μm-long phase shifters on III-V CMOS photonics platform2014
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  4th International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  ENEOS hall, The University of Tokyo, Meguro, Tokyo
- 年月日
  2014-11-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] ark current reduction of waveguide InGaAs MSM photodetector on III-V CMOS photonics platform by InAlAs cap layer2014
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng，一宮佑希，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- 年月日
  2014-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Sb拡散ソース・ドレインを有する酸化濃縮基板上反転型極薄膜Ge-on-Insulator nMOSFET2014
- 著者名/発表者名
  金佑彊, 金栄現, 金相賢, 長田剛規, 秦雅彦, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  2014年第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V CMOS photonics platform for low-power and low-crosstalk photonic-wire switches and modulators2014
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, Y. Ikku, and S. Takagi
- 学会等名
  Advanced Photonics for Communications
- 発表場所
  Hilton San Diego, San Dieog, USA
- 年月日
  2014-07-15
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Low-resistance lateral junction formation for laser diodes on III-V CMOS photonics platform2014
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, and M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  24th IEEE International Semiconductor Laser Conference
- 発表場所
  Meliá Palas Atenea, Palma de Mallorca, Spain
- 年月日
  2014-09-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] III-V-OI 基板の耐熱性向上技術および低抵抗横型PIN 接合形成技術2014
- 著者名/発表者名
  一宮佑希, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
- 発表場所
  機会振興会館（東京都港区）
- 年月日
  2014-12-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Performance Enhancement Technologies in III-V/Ge MOSFETs2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Yokoyama, S.-H. Kim, R. Zhang and M. Takenaka
- 学会等名
  224th Fall meeting of the Electrochemical Society, ULSI Process Integration 8
- 発表場所
  The Hilton San Francisco Hotel, San Francisco, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] MOS interface engineering for high-mobility Ge CMOS2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, R. Zhang, S. Takagi
- 学会等名
  IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS'13)
- 発表場所
  Monterey, USA(招待講演)
- 年月日
  2013-04-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Examination of physical origins limiting effective mobility of Ge MOSFETs and the improvement by atomic deuterium annealing2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, J-C. Lin, X. Yu, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium
- 発表場所
  Rihga Royal Hotel, Kyoto
- 年月日
  2013-06-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] III-V/Ge MOS Transistor Technologies for Future ULSI2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors
- 発表場所
  Grand Hôtel de Paris, Villard de Lans, France
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Examination of Physical Origins Limiting Effective Mobility of Ge MOSFETs and the Improvement by Atomic Deuterium Annealing2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, J-C. Lin, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  2013 Symposia on VLSI Technology
- 発表場所
  リーガロイヤルホテル京都（京都府京都市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge MOS Transistor Technologies for Future ULSI2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi and M.Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors
- 発表場所
  Grand Hotel de Paris, Villard de Lans, France
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V CMOSフォトニクスプラットフォームと光インターコネクションへの展開2013
- 著者名/発表者名
  竹中充，一宮佑希，キムサンヒョン，横山正史，高木信一
- 学会等名
  電子情報通信学会総合大会
- 発表場所
  岐阜大学、岐阜
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] MOS interface engineering for high-mobility Ge CMOS2013
- 著者名/発表者名
  M.Takenaka, R.Zhang, and S.Takagi
- 学会等名
  International Reliability Physics Symposium (IRPS)
- 発表場所
  Hyatt Regency Monterey, Monterey, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High Mobility Strained-Ge pMOSFETs with 0.7-nm Ultrathin EOT using Plasma Post Oxidation HfO2/Al2O3/GeOx Gate Stacks and Strain Modulation2013
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, W.Chern, X.Yu, M.Takenaka, J.L.Hoyt and S.Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting (IEDM)
- 発表場所
  Washington Hilton, Washington, DC, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High mobility strained-Ge pMOSFETs with 0.7-nm ultrathin EOT using plasma post oxidation Hf02/Al203/GeOx gate stacks and strain modulation2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, W. Chern, X. Yu, M. Takenaka, J. L. Hoyt, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM' 13)
- 発表場所
  Wasnington Hilton, Washington D. C., U.S.A.
- 年月日
  2013-12-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Limiting factors of channel mobility in III-V/Ge MOSFETs2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. S.-H. Kim, R. Zhang, N. Taoka, Yokoyama and M. Takenaka
- 学会等名
  223rd Spring Meeting of Electrochemical Society, E5 Symposium on Silicon compatible materials, processes and technologies for Advanced Integrated Circuits and Emerging Applications 3
- 発表場所
  The Sheraton Centre Toronto Hotel, Toronto, Canada
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge device engineering for CMOS photonics2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  8th international conference on processing and manufacturing of advanced materials (THERMEC2013)
- 発表場所
  Rio Hotel, Las Vegas, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge CMOS device technologies2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi and M.Takenaka
- 学会等名
  20th Symposium on Nano Device Technology (SNDT)
- 発表場所
  International Conference Hall of Nano Device Laboratory, Hsinchu, Taiwan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] MOS interface control in III-V/Ge gate stacks and the impact on MOSFET performance2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang, N. Taoka, R. Suzuki, S.-H. Kim, M. Yokoyama, and M. Takenaka
- 学会等名
  2013 MRS (Material Research Society) Spring Meeting, Symposium CC “Gate Stack Technology for End-of-Roadmap Devices in Logic, Power, and Memory”
- 発表場所
  Moscone Center, San Francisco, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High Quality Ge Gate Stacks Technologies by Using Plasma Oxidation2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang and M. Takenaka
- 学会等名
  JSPS Core-to-Core Program Seminar, “Atomically Controlled Processing for Ultralarge Scale Integration”
- 発表場所
  九州大学医学部百年講堂（福岡県福岡市）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High Mobility CMOS Technologies using III-V/Ge Channels2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi and M.Takenaka
- 学会等名
  IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC)
- 発表場所
  National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ge gate stacks based on Ge oxide interfacial layers and the impact on MOS device properties2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang and M.Takenaka
- 学会等名
  18th Conference of "Insulating Films on Semiconductors" (INFOS)
- 発表場所
  The Jagiellonian University, Cracow, Poland (plenary)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Characterization of Interface Properties of Au/Al2O3/GeOx/Ge MOS Structures2013
- 著者名/発表者名
  J.-C. Lin, R. Zhang, N. Taoka, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  6th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI)
- 発表場所
  九州大学医学部百年講堂（福岡県福岡市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ultra-thin body MOS device technologies using high mobility channel materials2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, S.-H. Kim, M. Yokoyama, W.-K. Kim, R. Zhang and M. Takenaka, “Ultra-thin body MOS device technologies using high mobility channel materials
- 学会等名
  IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference
- 発表場所
  Hyatt Regency Monterey Hotel, Monterey, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Heterogeneous integration for CMOS photonics2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2013)
- 発表場所
  Tokyo
- 年月日
  2013-11-20
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Impact of Plasma Post Oxidation Temperature on Interface Trap Density and Roughness at GeOx/Ge Interfaces2013
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, Ju-Chin Lin, X.Yu, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  18th Conference of "Insulating Films on Semiconductors" (INFOS)
- 発表場所
  The Jagiellonian University, Cracow, Poland
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Characterization of Interface Traps in Au/Al2O3/GeOx/Ge MOS Structures2013
- 著者名/発表者名
  J.-C. Lin, R. Zhang, N. Taoka, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス（京都府京田辺市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] 酸化濃縮基板へのSbドーピングにより作製した極薄膜Ge-on-Insulator nMOSFETs2013
- 著者名/発表者名
  金佑彊, 忻宇飛, 金栄現, 金相賢, 長田剛規, 秦雅彦, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス（京都府京田辺市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] 原子層平坦GeOx/Ge界面によるGe MOSFETsの高電界領域移動度の向上2013
- 著者名/発表者名
  張睿，黄博勤，林汝静，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] MOS interface engineering for high-mobility Ge CMOS2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, R. Zhang, S. Takagi
- 学会等名
  IEEE International Reliability Physcis Symposium (IRPS' 13)
- 発表場所
  Hyatt Regency Monterey Hotel and Spa, Monterey, U.S.A.
- 年月日
  2013-04-17
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Waveguide InGaAs MSM photodetector for chip-scale optical interconnects on III-V CMOS photonics platform2013
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Asia Communications and Photonics Conference (ACP2013)
- 発表場所
  Beijin
- 年月日
  2013-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] MOS interface control in III-V/Ge gate stacks and the impact on MOSFET performance2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, N.Taoka, R.Suzuki, S.-H.Kim, M.Yokoyama, and M.Takenaka
- 学会等名
  2013 MRS (Material Research Society) Spring Meeting, Symposium CC "Gate Stack Technology for End-of-Roadmap Devices in Logic, Power, and Memory"
- 発表場所
  Moscone Center, San Francisco, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V CMOSフォトニクスを用いたInGaAsP細線導波路光スイッチ2013
- 著者名/発表者名
  一宮佑希，横山正史，市川磨，秦雅彦，竹中充，高木信一
- 学会等名
  電子情報通信学会総合大会
- 発表場所
  岐阜大学、岐阜
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V/Ge CMOSフォトニクス実現に向けたデバイス技術2013
- 著者名/発表者名
  竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第77回半導体・集積回路技術シンポジウム
- 発表場所
  東京工業大学蔵前会館（東京都目黒区）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Low-crosstalk 2 × 2 InGaAsP photonic-wire optical switches using III-V CMOS photonics platform2013
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, N. Noguchi, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC'13)
- 発表場所
  London
- 年月日
  2013-09-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] 0.7 nm超薄EOT HfO2/Al2O3/GeOx/Geゲートスタックを用いた高移動度Ge CMOS2013
- 著者名/発表者名
  張睿，林汝静，黄博勤，田岡紀之，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Sb-diffused source/drain ultra-thin body Ge-on insulator nMOSFETs fabricated by Ge condensation2013
- 著者名/発表者名
  W. K. Kim, Y. Kin, Y. H. Kim, S. H. Kim, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2013)
- 発表場所
  Hilton Fukuoka Sea Hawk, Fukuoka city, Fnkuoka
- 年月日
  2013-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] High performance sub-20-nm-channel-length extremely-thin body InAs-on-Insulator tri-gate MOSFETs with high short channel effect immunity and Vth tunability2013
- 著者名/発表者名
  S.-H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, M. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM'13)
- 発表場所
  Washington D. C
- 年月日
  2013-12-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Ge oxide growth by plasma oxidation of Ge substrates through Al2O3 Layers2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, J.-C. Lin, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  5th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] III-V CMOSフォトニクスを用いた低電流駆動光スイッチ2013
- 著者名/発表者名
  一宮佑希，横山正史，市川磨，秦雅彦，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学、神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V/Ge CMOS device technologies for high performance logic applications2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Yokoyama, S.-H. Kim, R. Suzuki, R. Zhang, N. Taoka, and M. Takenaka
- 学会等名
  223rd Spring Meeting of Electrochemical Society, E5 Symposium on Silicon compatible materials, processes and technologies for Advanced Integrated Circuits and Emerging Applications 3
- 発表場所
  The Sheraton Centre Toronto Hotel, Toronto, Canada
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge MOS Interface Control Using and High k Films2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, R.Suzuki, C.-Y.Chang, N.Taoka, S.-H.Kim, M.Yokoyama and M.Takenaka
- 学会等名
  15th Asian Chemical Congress (15ACC)
- 発表場所
  Resorts World Sentosa, Singapore, Singapore
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge device engineering for CMOS photonics2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC2013)
- 発表場所
  Las Vegas
- 年月日
  2013-12-03
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V/Ge device engineering for CMOS photonics2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Processing Manufacturing of Advanced Materials (THERMEC2013)
- 発表場所
  Rio Hotel, Las Vegas, U.S.A.
- 年月日
  2013-11-20
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] MOS interface control of high mobility channel materials for advanced CMOS applications2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, R.Suzuki, N.Taoka, M.Yokoyama and M.Takenaka
- 学会等名
  3rd Molecular Materials Meeting (M3)
- 発表場所
  Singapore, Singapore
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Heterogeneous integration for CMOS photonics2013
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence (ISPEC2013)
- 発表場所
  Eneos Hall, Meguro-ku, Tokyo
- 年月日
  2013-11-20
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Examination of Physical Origins Limiting Effective Mobility of Ge MOSFETs and the Improvement by Atomic Deuterium Annealing2013
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, J-C.Lin, X.Yu, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  2013 Symposia on VLSI Technology
- 発表場所
  リーガロイヤルホテル京都(京都府京都市)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ultra-thin body MOS device technologies using high mobility channel materials2013
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, S.-H.Kim, M.Yokoyama, W.-K.Kim, R.Zhang and M.Takenaka
- 学会等名
  IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference
- 発表場所
  Hyatt Regency Monterey Hotel and Spa, Monterey, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ge p- and n-MOSFETの高電界領域での移動度劣化機構の解析2013
- 著者名/発表者名
  張睿，黄博勤，林汝静，竹中充，高木信一
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Suppression of Surface States inside Conduction Band and Effective Mobility Improvement of Ge nMOSFETs by Atomic Deuterium Annealing2013
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, J-C. Lin, X. Yu, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス（京都府京田辺市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Ge gate stacks based on Ge oxide interfacial layers and the impact on MOS device properties2013
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang and M. Takenaka
- 学会等名
  18th Conference of "Insulating Films on Semiconductors" (INFOS)
- 発表場所
  The Jagiellonian University, Cracow, Poland
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] InPとAl2O3パッシベーションによるInGaAsP細線導波路の損失改善2012
- 著者名/発表者名
  一宮佑希、横山正史、市川磨、秦雅彦、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学、愛媛
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Propagation-loss reduction in InGaAsP photonic-wire waveguides by InP and Al_2O_3 passivation layers2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  16th European Conference on Integrated Optics (ECIO'12)
- 発表場所
  Barcelona
- 年月日
  2012-04-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High Mobility Ge n- and p-MOSFETs with ～1nm EOT Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks2012
- 著者名/発表者名
  張睿、田岡紀之、黄博勤、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Low-driving-current InGaAsP photonic-wire optical switches using III-V CMOS photonics platform2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication
- 発表場所
  Amsterdam, Netherland
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Physical mechanism determining Ge p- and n-MOSFETs mobility in high ns region and mobility improvement by atomically flat GeOx/Ge interfaces2012
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, P.C. Huang, J.C. Lin, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM’12)
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] InGaAsP photonic-wire Mach-Zehnder interferometer switches fabricated on III-V CMOS photonics platform2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  2nd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  The University of Tokyo, Tokyo
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V/Ge integration on Si platform for electronic-photonic integrated circuits2012
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
- 発表場所
  Okinawa Seinen-kaikan, Okinawa
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Propagation-loss reduction in InGaAsP photonic-wire waveguides by InP and Al2O3 passivation layers2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Integrated Optics
- 発表場所
  Barcelona, Spain
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High Mobility CMOS Technologies using III-V/Ge Channels on Si platform2012
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Takenaka
- 学会等名
  13th International Conference on Ultimate Integration on Silicon (ULIS 2012)
- 発表場所
  Grenoble, France(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High mobility Ge pMOSFETs with 0.7 nm ultrathin EOT using HfO2/Al2O3/GeOx/Ge gate stacks fabricated by plasma post oxidation2012
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, P.-C. Huang, N. Taoka, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium
- 発表場所
  Honolulu, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] III-V/Ge integration on Si platform for electronic-photonic integrated circuits2012
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD'12)
- 発表場所
  Naha
- 年月日
  2012-06-29
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] 高性能光電子集積回路に向けたIII-V CMOSフォトニクスプラットフォーム技術2012
- 著者名/発表者名
  竹中充、一宮佑希、キムサンヒョン、横山正史、高木信一
- 学会等名
  電子情報通信学会ソサイエティ大会
- 発表場所
  富山大学、富山
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Advanced Nano CMOS Platform using High Mobility Channel Materials2012
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Takenaka
- 学会等名
  International Symposium on Secure-Life Electronics-Advanced Electronics and Information Systems for Quality Life and Society-
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge Channel MOS Transistor Technologies for Advanced CMOS2012
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, S,-H, Kim, R.Zhang, M.Yokoyama, N.Taoka and M.Takenaka
- 学会等名
  2011 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2011)
- 発表場所
  国立京都国際会館、京都府
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V/Ge integration on Si platform for electronic-photonic integrated circuits2012
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka
- 学会等名
  Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD)
- 発表場所
  沖縄青年会館、沖縄県
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Evidence of layer-by-layer oxidation of Ge surfaces by plasma oxidation through Al2O32012
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, P. Huang, J. Lin, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  The PRiME 2012 Joint International (222nd) ECS Meeting
- 発表場所
  Honolulu, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] High Mobility Ge n- and p-MOSFETs with 1nm EOT Al2O3/GeOx/Ge Gate stacks2012
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, N.Taoka, P.-C.Huang, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京(受賞講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] MOS interface and channel engineering for high-mobility Ge/III-V CMOS2012
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, S.-H Kim, N.Taoka, M.Yokoyama, J.-K.Suh, R.Suzuki, Y.Asakura, C.Zota and M.Takenaka
- 学会等名
  2012 International Electron Devices Meeting (IEDM)
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Physical Mechanism Determining Ge p- and n-MOSFETs Mobility in High Ns Region and Mobility Improvement by Atomically Flat GeOx/Ge Interfaces2012
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, P.-C.Huang, J.-C.Lin, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  2012 International Electron Devices Meeting (IEDM)
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] 0.7 nm超薄EOT HfO2/Al2O3/GeOx/Geゲートスタックを用いた高移動度Ge pMOSFETs2012
- 著者名/発表者名
  張睿、林汝静、黄博勤、田岡紀之、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] High Mobility CMOS Technologies using III-V/Ge Channels on Si platform2012
- 著者名/発表者名
  S.Takagi and M.Takenaka
- 学会等名
  13th International Conference on Ultimate Integration on Silicon (ULIS 2012)
- 発表場所
  Grenoble, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Low-driving-current InGaAsP photonic-wire optical switches using III-V CMOS photonics platform2012
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication (ECOC'12)
- 発表場所
  Amsterdam
- 年月日
  2012-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Evidence of layer-by-layer oxidation of Ge surfaces by plasma oxidation through Al2O32012
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, P.-C.Huang, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  Symposium on 5th International SiGe, Ge, & Related Compounds : Materials, Processing, and Devices, Symposium E of the 222nd Electrochemical Society (ECS) Meeting
- 発表場所
  Honolulu, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Sub-60 nm deeply-scaled channel length extremely-thin body InxGa1-xAs-on-insulator MOSFETs on a Si with Ni-InGaAs metal S/D and MOS interface buffer Engineering2012
- 著者名/発表者名
  S. H. Kim, M. Yokoyama, N. Taoka, R. Nakane, T. Yasuda, O. Ichikawa, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium
- 発表場所
  Honolulu, United Sates of America
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High Mobility Ge pMOSFETs with 0.7 nm Ultrathin EOT using HfO2/Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks Fabricated by Plasma Post Oxidation2012
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, P.C.Huang, N.Taoka, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  Symposium on VLSI technology
- 発表場所
  Honolulu, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Advanced CMOS Technologies using III-V/Ge Channels2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Takenaka
- 学会等名
  11th International Symposium on VLSI Technology, System and Applications (VLSI-TSA)
- 発表場所
  Hsinchu, Taiwan(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] 1-nm-thick EOT High Mobility Ge n- and p-MOSFETs with Ultrathin GeOx/Ge MOS Interfaces Fabricated by Plasma Post Oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, N.Taoka, P.Huang, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM)
- 発表場所
  Washington DC., USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] MOS Interface Properties of Ge Gate Stacks based on Ge oxides and the Impact on MOS Device Performance2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, N.Taoka and M.Takenaka
- 学会等名
  41th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC 2011)
- 発表場所
  Arlington, VA, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] プラスマ後酸化法による1 nm EOT Al2O3/GeOx/Geゲートスタックを用いた高移動度Ge pMOSFETs2011
- 著者名/発表者名
  張睿、田岡紀之、岩崎敬志、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Impact of GeOx Interfacial Layer Thickness of Al2O3/Ge HOS interface Properties2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  7th Conference on Insulating Films on Semiconductor
- 発表場所
  Grenoble, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Impact of GeOx Interfacial Layer Thickness of Al2O3/Ge MOS interface Properties2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(神奈川県)
- 年月日
  2011-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] メタルS/D 構造及びMOS interface buffer 層の導入による極薄膜 InGaAs-OI MOSFET の高性能化2011
- 著者名/発表者名
  金相賢、横山正史、田岡紀之、飯田亮、李成薫、中根了昌、卜部友二、宮田典幸、安田哲二、山田永、福原昇、秦雅彦、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形大学、山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Mobility Enhancement of Strained-SGOI p-Channel MOSFETs by Applying Ge Condensation Technique to Strained-SOI Substrates2011
- 著者名/発表者名
  J.Suh, R.Nakane, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  第72回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] ALD Al2O3 activated direct wafer bonding for III-V CMOS photonics platform2011
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, R. Iida, M. Sugiyama, Y. Nakano, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials
- 発表場所
  Berlin, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Impact of GeOx Interfacial Layer Thickness of Al2O3/Ge MOS interface Properties2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  17th Conference on "Insulating Films on Semiconductors"
- 発表場所
  Grenoble, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High Mobility Ge pMOSFETs with 1nm Thin EOT using Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks Fabricated by Plasma Post Oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  Symposium on VLSI technology
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Non-Si Channel MOS Device Technologies in Nano-CMOS era2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Takenaka
- 学会等名
  2011 Tsukuba Nanotechnology Symposium (TNS' 11)
- 発表場所
  つくば、茨城(invited)
- 年月日
  2011-12-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Mobility enhancement of strained-SGOI p-channel MOSFETs by applying Ge condensation technique to strained-SOI substrates2011
- 著者名/発表者名
  徐準教、中根了昌、田岡紀之、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] 1-nm-thick EOT high mobility Ge n- and p-MOSFETs with ultrathin GeOx/Ge MOS interfaces fabricated by plasma post oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, N. Taoka, P. Huang, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM2011)
- 発表場所
  Washington D.C., USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] III-V on Silicon for high-speed electronics and CMOS photonics2011
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials (IPRM'11)
- 発表場所
  Berlin
- 年月日
  2011-05-23
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Device and integration technologies of III-V/Ge channel CMOS2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Yokoyama, Y.-H.Kim, M.Takenaka
- 学会等名
  Symposium on ULSI Process Integration 7, Symposium E4 of the 220th Electrochemical Society (ECS) Meeting
- 発表場所
  Boston, Massachusetts, USA(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] プラスマ後酸化法による1 nm EOT Al2O3/GeOx/Geゲートスタックを用いた高移動度Ge pMOSFET2011
- 著者名/発表者名
  張睿, 岩崎敬志, 田岡紀之, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第139回研究集会
- 発表場所
  東京(招待講演)
- 年月日
  2011-07-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Enhancement technologies and physical understanding of electron mobility in III-V n-MOSFETs with strain and MOS interface buffer engineering2011
- 著者名/発表者名
  S.H. Kim, M. Yokoyama, N. Taoka, R. Nakane, T. Yasuda, M. Ichikawa, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting
- 発表場所
  Washington D.C., United States of America
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Highly-Strained SGOI p-Channel MOSFETs Fabricated by Applying Ge Condensation Technique to Strained-SOI Substrates2011
- 著者名/発表者名
  J.-K.Suh, R.Nakane, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  37th Device Research Conference (DRC)
- 発表場所
  Santa Barbara, CA, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High Nobility Ge pMOSFETs with 1nm Thin EOT Al2O3/GeOx/Ge Gate stacks2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, N.Taoka, T.Iwasaki, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  第72回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  山形
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Highly-Strained SGOI p-Channel MOSFETs Fabricated by Applying Ge Condensation Technique to Strained-SOI Substrates2011
- 著者名/発表者名
  J.-K.Suh, R.Nakane, N.Taoka, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  37th Device Research Conference (DRC)
- 発表場所
  Santa Barbara, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] 1-nm-thick EOT High Mobility Ge n- and p-MOSFETs with Ultrathin GeOx/Ge MOS Interfaces Fabricated by Plasma Post Oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, N.Taoka, P.Huang, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting (IEDM)
- 発表場所
  Washington DC, DSA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High performance extremely-thin body III-V-on-insulator MOSFETs on a Si substrate with Ni-InGaAs metal S/D and MOS interface buffer engineering2011
- 著者名/発表者名
  S.H. Kim, M. Yokoyama, N. Taoka, R. Iida, S. Lee, R. Nakane, Y. Urabe, N. Miyata, T. Yasuda, H. Yamada, N. Fukuhara, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium
- 発表場所
  Rihga Royal Hotel Kyoto, Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Prospective and critical issues of III-V/Ge CMOS on Si platform2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Takenaka
- 学会等名
  219th Electrochemical Society Meeting, Symposium E3 : International Symposiu on Graphene, Ge/III-V, Nanowires and Emerging Materials for Post-CMOS Applications -3
- 発表場所
  Montreal, Canada(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Non-Si材料チャネルMOSトランジスタの研究開発動向2011
- 著者名/発表者名
  高木信一, 竹中充
- 学会等名
  日本学術振興会ナノプローブテクノロジー第167委員会第63回研究会
- 発表場所
  神奈川(招待講演)
- 年月日
  2011-07-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Highly-strained SGOI p-channel MOSFETs fabricated by applying Ge condensation technique to strained-SOI substrates2011
- 著者名/発表者名
  J. Suh, R. Nakane, N. Taoka, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Device Research Conference (DRC 2011)
- 発表場所
  Santa Barbara, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] MOS Interface Properties of Ge Gate Stacks based on Ge oxides and the Impact on MOS Device Performance2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, N.Taoka, M.Takenaka
- 学会等名
  41th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference (SISC 2011)
- 発表場所
  Arlington, VA, USA(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] High Mobility Material Channel CMOS Technologies based on Heterogeneous Integration (Keynote Speech)2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Takenaka
- 学会等名
  11th International Workshop on Junction Technology (IWJT2011)
- 発表場所
  Kyoto, Japan(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] MOS interface control technologies for III-V/Ge channel MOSFETs2011
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, R.Zhang, T.Hoshii, M.Takenaka
- 学会等名
  Symposium on High Dielectric Constant and other Dielectric Materials for Nanoeleectronics and Photonics 9, Symposium E4 of the 220th Electrochemical Society (ECS) Meeting
- 発表場所
  Boston, Massachusetts, USA(invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] Impact of GeOx interfacial layer thickness of Al2O3/Ge MOS interface Properties2011
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, T. Iwasaki, N. Taoka, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  17th Conference on Insulating Films on Semiconductors (INFOS' 11)
- 発表場所
  Grenoble, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] ALD Al2O3を用いたIII-V CMOS Photonics用貼り合わせ基板の特性改善2011
- 著者名/発表者名
  一宮佑希、横山正史、飯田亮、杉山正和、中野義昭、竹中充、高木信一
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V CMOS technologies on Si platform2011
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco, United States of America
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High Mobility Ge pMOSFETs with ~ 1nm Thin EOT using Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks Fabricated by Plasma Post Oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  VLSI symp.
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23246058
[学会発表] III-V CMOS technologies on Si platform2011
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  MRS Spring Meeting
- 発表場所
  San Francisco
- 年月日
  2011-04-27
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V on Silicon for high-speed electronics and CMOS photonics2011
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials
- 発表場所
  Berlin, Germany
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High mobility Ge pMOSFETs with ~ 1nm thin EOT using Al2O3/GeOx/Ge Gate Stacks fabricated by plasma post oxidation2011
- 著者名/発表者名
  R. Zhang, T. Iwasaki, N. Taoka, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium., 4A-1, , June 2011
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] 気相拡散によるソース・ドレイン接合を用いた高性能GeO2/Ge nMOSFET2010
- 著者名/発表者名
  森井清仁, 岩崎敬志, 中根了昌, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学、神奈川県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] High Mobility CMOS Technologies using Ge-based Channels2010
- 著者名/発表者名
  高木信一, 竹中充
- 学会等名
  5th international SiGe Technology and Device Meeting(ISTDM)
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Evidence of Correlation between Surtace Roughness and Intertace States Generationin Unstrained and Strained-Si MOSFETs2010
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  2010 Symposium on VLSI Technology
- 発表場所
  Horwlulu, Hawaii, USA
- 年月日
  2010-06-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] 気相拡散により形成したソース・ドレイン接合を用いた高性能GeO2/Ge nMOSFET2010
- 著者名/発表者名
  森井清仁, 岩崎敬志, 中根了昌, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  電気学会「グリーンITにおける化合物半導体電子デバイス」調査専門委員会
- 発表場所
  大岡山、東京
- 年月日
  2010-03-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] 二軸引張りひずみSi MOS電子・正孔反転層における界面電荷・基板不純物によるクーロン散乱に与える影響の統一的な物理機構2010
- 著者名/発表者名
  趙毅, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第57回応物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学、神奈川県
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] MOVPEを用いた気相ドーピングによる高品質Ge n+/p接合の形成およびGe nMOSFETへの応用2010
- 著者名/発表者名
  竹中充, 森井清仁, 高木信一
- 学会等名
  電気学会シリコンナノデバイス集積化技術調査専門委員会・化合物半導体電子デバイス調査専門委員会合同委員会「高移動度化技術」
- 発表場所
  早稲田、東京
- 年月日
  2010-03-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] 高精度TEMと新しいデータ分析方法によるMOS界面ラフネス移動度及びその引張り歪みの影響の定量評価2010
- 著者名/発表者名
  趙毅, 松本弘昭, 佐藤岳志, 小山晋, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京大学、神奈川県
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] 酸化濃縮法により生成したSGOI中の圧縮ひずみと酸化前基板構造の関係2010
- 著者名/発表者名
  富山健太郎, Dissanayake Sanjeewa, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第57回応用物理学関係迎合講演会
- 発表場所
  東海大学、神奈川県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] III-V CMOS photonicsプラットフォーム実現に向けたグレーティングカプラの作製2010
- 著者名/発表者名
  竹中充、横山正史、杉山正和、中野義昭、高木信一
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] 二軸引張りひずみSi MOS電子・正孔反転層における界面電荷・基板不純物によるクーロン散乱に与える影響の統一的な物理機構2010
- 著者名/発表者名
  趙毅, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学、神奈川県
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] 高性能光電子集積回路実現に向けたIII-V CMOSプラットフォーム技術2010
- 著者名/発表者名
  竹中充、横山正史、杉山正和、中野義昭、高木信一
- 学会等名
  電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
- 発表場所
  千歳アルカディアプラザ
- 年月日
  2010-08-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Evidence of Correlation between Surface Roughness and Interface States Generation in Unstrained and Strained-Si MOSFETs2010
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  2010 Symposium on VLSI Technology
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii, USA
- 年月日
  2010-06-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] Suppression of ALD-induced degradation of Ge MOS interface properties by low power plasma nitridation of GeO_22010
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM'10)
- 発表場所
  東京大学(東京都)
- 年月日
  2010-09-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Si MOS界面ラフネス散乱による移動度とひずみの効果(招待講演)2010
- 著者名/発表者名
  高木信一, 趙毅, 竹中充, 松本弘昭, 佐藤岳志, 小山晋
- 学会等名
  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第121回研究集会「半導体シリコン単結晶ウェーハを特徴づける評価技術」
- 発表場所
  学習院大学、東京
- 年月日
  2010-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] High Mobility Ge CMOS Technologies2010
- 著者名/発表者名
  高木信一, 竹中充
- 学会等名
  5th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
- 発表場所
  Sendai, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Si MOS界面ラフネス散乱による移動度とひずみの効果2010
- 著者名/発表者名
  高木信一, 趙毅, 竹中充, 松本弘昭, 佐藤岳志, 小山晋
- 学会等名
  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第121回研究集会「半導体シリコン単結晶ウェーハを特徴づける評価技術」
- 発表場所
  学習院大学、東京(招待講演)
- 年月日
  2010-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] A Plasma Assisted Top-to-Bottom Assembly of Ge/GeOx/Al2O3 Gate Stack with Superior Electrical Properties2010
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎県)
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Suppression of ALD-Induced Degradation on ultra thin GeO2 using Low Power Plasma Nitridation2010
- 著者名/発表者名
  R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学(長崎県)
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] Thin EOT and low D_<it>Al_2O_3/GeO_x/Ge Gate stacks fabricated by novel post-oxidation method2010
- 著者名/発表者名
 R.Zhang, T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
 IEEE Semiconductor Interface Specialists conference (SISC'10)
- 発表場所
 Washington D.C., USA
- 年月日
 2010-12-03
- データソース
 KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] III-V/Ge CMOS technologies on Si platform2010
- 著者名/発表者名
  高木信一, 竹中充
- 学会等名
  Symposium on VLSI Technology
- 発表場所
  Honolulu, Hawaii
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] 高精度TEMと新しいデータ分析方法によるMOS界面ラフネス移動度及びその引張り歪みの影響の定量評価2010
- 著者名/発表者名
  趙毅, 松本弘昭, 佐藤岳志, 小山晋, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第57回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東海大学、神奈川県
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] Electrical Properties of(110)-oriented Ultra-thin GOI p-MOSFETs Fabricated by Ge Condensation Technique2009
- 著者名/発表者名
  S.Dissanayake, Y.Shuto, S.Sugahara, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学、富山県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] High Performance(110)-oriented GOI pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation Technique2009
- 著者名/発表者名
  S.Dissanayake, S.Sugahara, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid Sate Devices and Materials(SSDM2009)
- 発表場所
  Sendai, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] 高精度TEMと新しいデータ分析方法によるMOS界面ラフネス移動度の定量評価及び引張り歪からの影響2009
- 著者名/発表者名
  趙毅, 松本弘昭, 佐藤岳志, 小山晋, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第73回半導体・集積回路技術シンポジウム
- 発表場所
  東京農工大学、東京
- 年月日
  2009-07-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] Fabrication of III-V MOS structureby using selective oxidation of InAlAs2009
- 著者名/発表者名
  S. Nakagawa, M. Yokoyama, O. Ichikawa,M. Hata, M. Tanaka, M. Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid StateDevices and Materials (SSDM'08)
- 発表場所
  G-9-4,Tsukuba
- 年月日
  2009-09-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[学会発表] Interfacial Control and Electrical Properties of Ge MOS structures2009
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, N.Taoka, M.Takenaka
- 学会等名
  10th International Symposium on Silicon Nitride, Silicon Dioxide, and Alternate Emerging Dielectrics, 215th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2009-05-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Advanced Nano CMOS Platform using Ge/III-V Channels2009
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Sugiyama and M. Takenaka
- 学会等名
  First International Symposium on Atomically Controlied Fabrication Technology-Surface and Thin Film Processing-
- 発表場所
  Osaka, Japan(invited)
- 年月日
  2009-02-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Ge/III-V Channel Engineering for future CMOS (invited)2009
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, M. Sugiyama, T. Yasuda, M. Takenaka
- 学会等名
  1st International Symposium on Graphene and Emerging Materials for Post-CMOS Applications, 215 th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Impact of plasma nitridation of thermally-grown GeO2/Ge MIS structures on the GeO2 film and interface properties2009
- 著者名/発表者名
  T.Iwasaki, N.Taoka, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  40th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference(SISC)
- 発表場所
  Washington D.C., USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] High Performance (110)-oriented GOI pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation Technique2009
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  SSDM
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] High Performance GeO2/Ge nMOSFETs with Source/Drain Junctions Formed by Gas Phase Doping2009
- 著者名/発表者名
  森井清仁, 岩崎敬志, 中根了昌, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  International Electron Device Meeting(IEDM)
- 発表場所
  Baltimore, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Interfacial Control and Electrical Properties of Ge MOS structures (invited)2009
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, N. Taoka, M. Takenaka
- 学会等名
  10th International Symposium on Silicon Nitride, Silicon Dioxide, and Alternate Emerging Dielectrics, 215 th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] High Performance GeO2/Ge nMOSFETs with Source/Drain Junctions Formed by Gas Phase Doping2009
- 著者名/発表者名
  K. Morii, T. Iwasaki, R. Nakane, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting
- 発表場所
  Baltimore, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Comprehensive Understanding of Surface Roughness Limited Mobility in Unstrained-and Strained-Si MOSFETs by Novel Characterization Scheme of Si/SiO2 Interface Roughness2009
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, H.Matsumoto, T.Sato, S.Koyama, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  Symposium on VLSI Technology
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2009-06-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] Ge/III-V Channel Engineering for future CMOS2009
- 著者名/発表者名
  S.Takagi, M.Sugiyama, T.Yasuda, M.Takenaka
- 学会等名
  1st International Symposium on Graphene and Emerging Materials for Post-CMOS Applications, 215th Meeting of The Electrochemical Society
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2009-05-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Comprehensive Understanding of Surface Roughness Limited Mobility in Unstrained- and Strained-Si MOSFETs by Novel Characterization Scheme of Si/SiO2 Interface Roughness2009
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, H.Matsumoto, T.Sato, S.Koyama, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  Symposium on VLSI Technology
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2009-06-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] Gas phase doping of arsenic into germanium by using MOVPE system for source/drain formation of high performance Ge nMOSFETs2009
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka, M. Sugiyama, Y. Nakano, S. Takagi
- 学会等名
  Symposium I: Silicon and Germanium issues for future CMOS devices, E-MRS 2009
- 発表場所
  Strasbourg (France)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Impact of plasma nitridation of thermally-grown GeO2/Ge MIS structures on the GeO2 film and interface properties2009
- 著者名/発表者名
  T. Iwasaki, N. Taoka, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  40th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference
- 発表場所
  Washington D.C., USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Gas phase doping of arsenic into germanium by using MOVPE system for source/drain formation of high performance Ge nMOSFETs2009
- 著者名/発表者名
  M.Takenaka, M.Sugiyama, Y.Nakano, S.Takagi
- 学会等名
  Symposium I : Silicon and Germanium issues for future CMOS devices, E-MRS 2009
- 発表場所
  Strasbourg, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Interface-controlled Self-Align Source/Drain Ge pMOSFETs Using Thermally-Oxidized GeO2 Interfacial Layers2008
- 著者名/発表者名
  Y. Nakakita, R. Nakane, T. Sasada, H. Matsubara, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting (IEDM)
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Fabrication of III-V MOS structure by using selective oxidation of InAlAs2008
- 著者名/発表者名
  S. Nakagawa, M. Yokoyama, O. Ichikawa, M. Hata, M. Tanaka, M. Takenaka. S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  つくば
- 年月日
  2008-09-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[学会発表] Evaluation of Electron and Hole Mobility at Identical MOS Interfaces by using Metal Source/Drain GOI MOSFETs2008
- 著者名/発表者名
  K. Morii, S. Dissanayake, S. Tanabe, R. Nakane, M. Takenaka, S. Sugahara and S. Takaai
- 学会等名
  2008 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Improvement of Interface Properties of GeO2/Ge MOS Structures Fabricated by Thermal Oxidation2008
- 著者名/発表者名
  T. Sasada, H. Matsubara, M. Takenaka and S. Takaai
- 学会等名
  2008 International Conference on Solid State Devi ces and Materials (SSDM)
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Interface-controlled Self-Align Source/Drain Ge pMOSFETs Using Thermally-Oxidized GeO2 Interfacial Layers2008
- 著者名/発表者名
  Yosuke Nakakita, Ryosho Nakane, Takashi Sasada, Hiroshi Matsubara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting
- 発表場所
  San Fracisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Improvement of Interface Properties of GeO2/Ge MOS Structures Fabricated by Thermal Oxidation2008
- 著者名/発表者名
  T. Sasada, H. Matsubara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  2008 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Comprehensive understanding of surface roughness and Coulomb scattering mobility in biaxially-strained Si MOSFETs2008
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka and S.Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting(IEDM)
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] Evaluation of Electron and Hole Mobility at Identical MOS Interfaces by using Metal Source/Drain GOI MOSFETs2008
- 著者名/発表者名
  Kiyohito Morii, Sanjeewa Dissanayake, Satoshi Tanabe, Ryosho Nakane, Mitsuru Takenaka, Satoshi Sugahara, Shinichi Takagi
- 学会等名
  2008 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Surface Orientation Dependence of Interface Properties of GeO2/Ge MOS Structures Fabricated by Thermal Oxidation2008
- 著者名/発表者名
  Takashi Sasada, Yosuke Nakakita, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi
- 学会等名
  39th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Comprehensive understanding of surface roughness and Coulomb scattering mobility in biaxiallystrained Si MOSFETs2008
- 著者名/発表者名
  Y.Zhao, M.Takenaka, S.Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting (IEDM)
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2008-12-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246055
[学会発表] InAlAs選択酸化によるIII-V MOS界面構造の形成2008
- 著者名/発表者名
  中川翔太, 横山正史, 市川磨, 秦雅彦, 田中雅明, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第55回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学理工学部
- 年月日
  2008-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19860024
[学会発表] Interface-controlled Self-Align Source/Drain Ge pMOSFETs Using Thermally-Oxidized GeO2 Interfacial Layers2008
- 著者名/発表者名
  Y. Nakakita, R. Nakane, T. Sasada, H. Matsubara, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting, pp. 877-880
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Electrical Characteristics of (110)-oriented Ultra-thin GOI p-MOSFETs Fabricated by Ge Condensation Method2008
- 著者名/発表者名
  Sanjeewa Dissanayake, Yusuke Shuto, Satoshi Sugahara, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  於中部大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Superior MOS Interface Properties of GeO2/Ge Structures Fabricated by Ozone Oxidation2007
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, H. Matsubara, M. Nishikawa, T. Sasada, R. Nakane, S. Sugahara, M. Takenaka
- 学会等名
  5th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-V)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Superior MOS Interface Properties of GeO2/Ge Structures Fabricated by Ozone Oxidation2007
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, H. Matsubara, M. Nishikawa, T. Sasada, R. Nakane, S. Sugahara and M. Takenaka
- 学会等名
  5th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces-for Next Generation ULSI Process Integrations- (ISCSI-V)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2007-11-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Fabrication of(110)GOI Layers by Ge Condensation of SiGe/(110)SOI Structure and Application to pMOSFET Devices2007
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, S. Sugahara, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  2nd International Conference on Industrial and Information Systems(ICIIS 2007)
- 発表場所
  University of Peradeniya, Sri Lanka
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Effect of Annealing on (100) and (110) Oriented pseudo-GOI pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation Method2007
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, S. Tanabe, S. Sugahara, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  5th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-V), pp. 233-234
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Effects of Atomic Hydrogen Annealing on Reduction of Leakage Current in Ultrathin Si/Ge/Si-On-Insulator Metal Source/Drain p-Channel MOSFETs2007
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. Uehara, S. Tanabe, H. Matsubara, R. Nakane, M. Takenaka and S. Sugahara
- 学会等名
  34th International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS2007)
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2007-10-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Carrier-Transport-Enhanced CMOS using New Channel Materials and Structures (invited)2007
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. Irisawa, T. Tezuka, S. Nakaharai, K. Usuda, N. Hirashita, M. Takenaka and N. Sugiyama
- 学会等名
  International Semiconductor Device Research Symposium (ISDRS)
- 発表場所
  Maryland, USA
- 年月日
  2007-12-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Fabrication of (110) GOI Layers by Ge Condensation of SiGe/ (110) SOI Structure and Application to pMOSFET Devices2007
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  2nd International Conference on Industrial and Information Systems (ICIIS 2007)
- 発表場所
  Sri Lanka
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Evaluation of SiO2/GeO2/Ge MIS Interface Properties by Low Temperature Conductance Method2007
- 著者名/発表者名
  H. Matsubara, H. Kumagai, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  Ext. Abs. SSDM
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Understanding and Control of Ge MIS Interface Properties (invited)2007
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. Maeda, N. Taoka, M. Nishizawa, Y. Morita, K. Ikeda, Y. Yamashita, M. Harada, T. Yamamoto, N. Sugiyama, M. Nishikawa, H. Kumagai, H. Matsubara, R. Nakane, M. Takenaka and S. Sugahara
- 学会等名
  4th International Symposium on Advanced Gate Stack Technology
- 発表場所
  Dallas, USA
- 年月日
  2007-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Examination of Additive Mobility Enhancements for Uniaxial Stress Combined with Biaxially Strained Si, Biaxially Strained SiGe and Ge Channel MOSFETs2007
- 著者名/発表者名
  O. Weber, T. Irisawa, T. Numata, M. Harada, N. Taoka, Y. Yamashita, T. Yamamoto, N. Sugiyama, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Device Meeting
- 発表場所
  Washington DC., USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Effects of Atomic Hydrogen Annealing on Reduction of Leakage Current in Ultrathin Si/Ge/Si-On-Insulator Metal Source/Drain p-Channel MOSFETs2007
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, T. Uehara, S. Tanabe, H. Matsubara, R. Nakane, M. Takenaka, S. Sugahara
- 学会等名
  34th International Symposium on Compound Semiconductors
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Evaluation of SiO2/GeO2/Ge MlS Interface Properties by Low Temperature Conductance Method2007
- 著者名/発表者名
  H. Matsubara, H. Kumagai, S. Sugahara and M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM)
- 発表場所
  Tsukuba, Japan
- 年月日
  2007-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Effect of Annealing on (100) and (110) Oriented pseudo-GOI pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation Method2007
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, S. Tanabe, S. Sugahara, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  5th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces-for Next Generation ULSI Process Integrations- (ISCSI-V)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2007-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Effects of Annealing on (110) GOI Layers Fabricated by Ge Condensation Method2007
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, Y. Shuto, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  於北海道工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Effect of Annealing on (100) and (110) Oriented pseudo-GOI pMOSFETs Fabricated by Ge Condensation Method2007
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, S. Tanabe, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  5th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-V)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] 異種半導体集積CMOSおよびフォトニクス融合への展望
- 著者名/発表者名
  竹中充
- 学会等名
  光産業技術振興協会第4回フォトニックデバイス・応用技術研究会
- 発表場所
  上智大学（東京都千代田区）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Waveguide InGaAs photodetector with Schottky barrier enhancement layer on III-V CMOS photonics platform
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials
- 発表場所
  Le Corum, Montpellier, France
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Mobility improvement of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs on flipped Smart-Cut GeOI substrates
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, R. Zhang, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Joint International EUROSOI Workshop and International Conference on Ultimate Integration on Silicon (EUROSOI-ULIS)
- 発表場所
  Aula Prodi, Bologna, Italy
- 年月日
  2015-01-26 – 2015-01-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Surface orientation depdendence of electro-optic effects in InGaAsP for lateral pin-junction InGaAsP photonic-wire modulators
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials
- 発表場所
  Le Corum, Montpellier, France
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Low-crosstalk 2 x 2 InGaAsP photonic-wire optical switches using III-V CMOS photonics platform
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, N. Noguchi, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  European Conference on Optical Communication
- 発表場所
  the ExCeL centre, London, UK
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Ultra-small, low-crosstalk, electrically-driven InGaAsP photonic-wire optical switches on III-V CMOS photonics platform
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M.Yokoyama, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Optical Fiber Communication Conference
- 発表場所
  Moscone center, San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Performance enhancement technologies in III-V/Ge MOSFETS
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang, S.-H. Kim, M. Yokoyama, M. Takenaka
- 学会等名
  224th ECS Meeting
- 発表場所
  The Hilton San Francisco Hotel, San Francisco, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Gate stack technologies for high mobility channel MOSFETs
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, R. Zhang, C.-Y. Chang, J.-H. Han, M. Yokoyama and M. Takenaka
- 学会等名
  2015 MRS Spring Meeting & Exhibit, Sympoium AA, “Materials for Beyond the Roadmap Devices in Logic, Power and Memory”
- 発表場所
  Moscone West Convention Center, San Francisco, USA
- 年月日
  2015-04-06 – 2015-04-10
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] 異種半導体集積を用いたCMOSフォトニクス
- 著者名/発表者名
  竹中充、高木信一
- 学会等名
  レーザー学会第34回年次大会
- 発表場所
  北九州国際会議場（福岡県北九州市）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Multi-bandgap III-V on insulator wafer fabricated by quantum well intermixing for III-V CMOS photonics platform
- 著者名/発表者名
  M. Kuramochi, M. Takenaka, Y. Ikku, and S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials
- 発表場所
  Le Corum, Montpellier, France
- 年月日
  2014-05-11 – 2014-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26709022
[学会発表] Reduction in crosstalk of carrier-injection mach-zehnder interferometer optical switches by using III-V CMOS photonics platform
- 著者名/発表者名
  Y. Ikku, M. Yokoyama, M. Noguchi, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  Eneos Hall, Meguro-ku, Tokyo
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V/Ge CMOS Device Technologies for Future Logic LSIs
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  7th International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM)
- 発表場所
  Swissotel Merchant Court, Singapore, Singapore
- 年月日
  2014-06-02 – 2014-06-04
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Waveguide InGaAs MSM photodetector for chip-scale optical interconnects on III-V CMOS photonics platform
- 著者名/発表者名
  Y. Cheng, Y. Ikku, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  Asia Communications and Photonics Conference
- 発表場所
  Beijing International Convention Center, Beijin, China
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Strained extremely-thin body In0.53Ga0.47As-On-Insulator MOSFETs on Si substrates
- 著者名/発表者名
  S. H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium
- 発表場所
  Rihga Royal Hotel Kyoto, Kyoto, Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Electrical Properties of (110)-oriented Ultra-thin GOI p-MOSFETs Fabricated by Ge Condensation Technique
- 著者名/発表者名
  S. Dissanayake, Y. Shuto, S. Sugahara, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  2008年秋季応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063005
[学会発表] Study of Thermal Annealing Effect on Smartcut Ge-on-Insulator Substrate
- 著者名/発表者名
  Jian Kang, Xiao Yu, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26220605
[学会発表] II-V CMOSフォトニクス•プラットフォーム上導波路型InGaAs MSMフォトディテクタの作製
- 著者名/発表者名
  程勇鵬, 一宮佑希, 市川磨, 長田剛規, 秦雅彦, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Mobility improvement of ultrathin-body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs on flipped Smart-Cut GeOI substrates
- 著者名/発表者名
  X. Yu, J. Kang, R. Zhang, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学湘南キャンパス（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] III-V/Ge CMOSフォトニクス実現に向けたデバイス技術
- 著者名/発表者名
  竹中　充，高木信一
- 学会等名
  電気化学会電子材料委員会第77回半導体・集積回路技術シンポジウム
- 発表場所
  東京工業大学（東京都目黒区）
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] nGaAsP細線導波路光スイッチに向けたZn拡散によるp+InGaAsPの形成
- 著者名/発表者名
  一宮佑希，野口宗隆，横山正史，市川　磨，長田剛規，秦　雅彦，竹中　充，高木信一
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス（京都府京田辺市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Ultrathin body Germanium-on-insulator (GeOI) MOSFETs fabricated by transfer of epitaxial Ge films on III-V substrates
- 著者名/発表者名
  X. Yu, R. Zhang, J. Kang, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  21st International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications (2014 VLSI-TSA)
- 発表場所
  Ambassador Hotel, Hsinchu, Taiwan
- 年月日
  2014-04-28 – 2014-04-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Heterogeneous integration for CMOS photonics
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence
- 発表場所
  Eneos Hall, Meguro-ku, Tokyo
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] プラスマ後酸化法による1 nm EOT Al2O3/GeOx/Geゲートスタックを用いた高移動度Ge pMOSFET
- 著者名/発表者名
  張睿、岩崎敬志、田岡紀之、竹中充、高木信一
- 学会等名
  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第139回研究集会「VLSIシンポジウム特集（先端CMOSデバイス・プロセス技術）」
- 発表場所
  東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22000011
[学会発表] High performance extremely-thin body InAs-On-Insulator MOSFETs on Si with Ni-InGaAs metal S/D by contact resistance reduction technology
- 著者名/発表者名
  S. H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  VLSI Symposium
- 発表場所
  Rihga Royal Hotel Kyoto, Kyoto, Kyoto
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Analysis on channel thickness fluctuation scattering in InGaAs-OI MOSFETs
- 著者名/発表者名
  S. H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  Indium Phosphide and Related Materials
- 発表場所
  Kobe Convention Center, Kobe, Hyogo
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Physical understanding of electron mobility in uniaxially strained InGaAs-OI MOSFETs
- 著者名/発表者名
  S.-H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, O. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, and S. Takagi
- 学会等名
  43rd European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC’13)
- 発表場所
  Marriott Bucharest Grand Hotel, Bucharest, Romaina
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] InGaAsP細線導波路光スイッチにおける低クロストーク動作
- 著者名/発表者名
  一宮佑希, 横山正史, 野口宗隆, 市川磨, 長田剛規, 秦雅彦, 竹中充, 高木信一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] III-V/Ge device engineering for CMOS photonics
- 著者名/発表者名
  M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  International Conference on Processing & Manufacturing of Advanced Materials
- 発表場所
  Rio Hotel, Las Vegas, USA
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High mobility CMOS technologies using III-V/Ge channels
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference
- 発表場所
  National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] High performance sub-20-nm-channel-length extremely-thin body InAs-on-Insulator tri-gate MOSFETs with high short channel effect immunity and Vth tunability
- 著者名/発表者名
  S.-H. Kim, M. Yokoyama, R. Nakane, M. Ichikawa, T. Osada, M. Hata, M. Takenaka, S. Takagi
- 学会等名
  International Electron Devices Meeting
- 発表場所
  Washington Hilton, Washington D. C., USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] Quantitative evaluation of slow traps near Ge MOS interfaces by using time response of MOS capacitance
- 著者名/発表者名
  K. Tanaka, R. Zhang, M. Takenaka and S. Takagi
- 学会等名
  46th International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
- 発表場所
  つくば国際会議場（茨城県つくば市）
- 年月日
  2014-09-09 – 2014-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] Material Challenges and Opportunities in Ge/III-V channel MOSFETs
- 著者名/発表者名
  S. Takagi, S.-H. Kim, M. Yokoyama, K. Nishi, R. Zhang and M. Takenaka
- 学会等名
  226th Fall meeting of the Electrochemical Society, P3 - High Purity and High Mobility Semiconductors 13
- 発表場所
  Moon Palace Resort, Cancun, Mexico
- 年月日
  2014-10-05 – 2014-10-10
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] III-V/Ge Channel MOS Device Technologies in Nano CMOS era
- 著者名/発表者名
  S. Takagi and M. Takenaka
- 学会等名
  27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC)
- 発表場所
  ヒルトン福岡シーホーク（福岡県福岡市）
- 年月日
  2014-11-04 – 2014-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26249038
[学会発表] III-V/Ge MOS transistor technologies for future ULSI
- 著者名/発表者名
  Shinichi Takagi and Mitsuru Takenaka
- 学会等名
  International Conference on Semiconductor Technology for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors
- 発表場所
  Grand Hotel de Paris, Grenoble, France
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034
[学会発表] 量子井戸インターミキシグを用いた III-V CMOSフォトニクス用マルチバンドギャップ貼り合せ基板の作製
- 著者名/発表者名
  倉持美沙，竹中充，一宮佑希，高木信一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス（神奈川県相模原市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22686034

1. 高木信一 (30372402)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 259件
2. 財満鎭明 (70158947)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 1件
3. 中塚理 (20334998)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 菅原聡 (40282842)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 29件
5. 坂下満男 (30225792)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
6. 田中信夫 (40126876)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 竹内和歌奈 (90569386)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 黒澤昌志 (40715439)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 齋藤晃 (50292280)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. HO CHONG PEI

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 26件
11. 杉山正和

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
12. 中野義昭

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
13. CHENG Zhenzhou

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

竹中 充 Takenaka Mitsuru

研究課題

研究成果

共同研究者

量子井戸混合を用いたIII-V族半導体薄膜光集積回路の基盤技術構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

ゲルマニウム中赤外光回路を用いたオンチップ分子センシングの基盤構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

Ｇｅ中赤外集積フォトニクスを用いた光センシングチップ研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

多機能融合・省電力エレクトロニクスのためのSn系Ⅳ族半導体の工学基盤構築

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

III-V CMOSフォトニクスによる光電子融合集積回路基盤技術の構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

Ge-On-Insulator CMOSのキャリア輸送特性解明と性能向上手法確立

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ゲルマニウムＭＯＳ界面電気伝導機構の解明と高移動度化手法の確立

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

省電力／超高速ナノＣＭＯＳのための電子物性設計と高移動度チャネル技術の創生

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

III－V ＣＭＯＳ Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓの創生研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

結晶ひずみを利用したSiMOS反転層移動度決定機構の解明と高移動度化指針の確立

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

InAlAs酸化膜によるIII-V-OI MOS構造の作製および界面準位に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ機能化ゲルマニウム系チャネル

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Numerical evaluation of bandwidth and optical loss in InP-organic hybrid optical modulator with doping optimization2024

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

竹中充 Takenaka Mitsuru

III－V　ＣＭＯＳ　Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓの創生研究代表者