ヂンタンフン DINH THANH HUNG

研究者番号	20744808
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光量子科学研究所量子応用光学研究部, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度 – 2024年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光量子科学研究所量子応用光学研究部, 主任研究員 2021年度 – 2022年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所光量子科学研究部, 主任研究員 2019年度 – 2020年度: 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構, 関西光科学研究所光量子科学研究部, 主任研究員(定常) 2015年度: 宇都宮大学, オプティクス教育研究センター, 研究員
審査区分/研究分野	研究代表者小区分80040:量子ビーム科学関連 / 小区分28030:ナノ材料科学関連 / 電子デバイス・電子機器研究代表者以外小区分30020:光工学および光量子科学関連
キーワード	研究代表者 EUV高次高調波発生 / X線・EUV超微細加工 / 高強度レーザー駆動X線光源 / ナノ微細加工造形 / プラズマX線レーザー / 高強度レーザー / レーザー加工 / プラズマ軟X線レーザー / 超短パルスX線レーザー / 超微細加工 … もっと見る / リソグラフィー / 多価イオン / 重元素 / 炭酸ガスレーザー / 極端紫外光 … もっと見る研究代表者以外構造観察 / アブレーション / レーザー干渉計 / 軟X線顕微鏡 / 軟X線レーザー隠す

軟X線レーザー干渉顕微鏡の開発とアブレーションによる損傷形成過程の解明
- 研究代表者
  
  石野雅彦
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分30020:光工学および光量子科学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
プラズマ軟X線レーザーの高出力化と先進微細造形技術の確立研究代表者
- 研究代表者
  
  ヂンタンフン
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分80040:量子ビーム科学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
超短パルスX線レーザーを用いた次世代超微細加工技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  ヂンタンフン
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2020
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分28030:ナノ材料科学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
次世代の半導体リソグラフィー露光用極端紫外光源のスペクトル制御と高効率化研究代表者
- 研究代表者
  
  ヂンタンフン
- 研究期間 (年度)
  2015
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  宇都宮大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2016 2015

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Ablation study using soft x-ray laser2024
- 著者名/発表者名
  Masahiko Ishino、Katsuhiro Mikami、Thanh-Hung Dinh、Masaharu Nishikino
- 雑誌名
  
  Photonics Review
  
  巻: 2024 号: 0 ページ: n/a
- DOI
  10.11470/photo.240202
- ISSN
  2758-0059
- 言語
  英語
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Damage threshold of LiF crystal irradiated by femtosecond hard XFEL pulse sequence2023
- 著者名/発表者名
  S. Makarov, S.Grigoryev, N.Inogamov, E. Filippov, T. Pikuz, N.Ozaki, M.Ishino, M. Nishikino, Thanh-Hung Dinh, T. Kawachi, M. Zanaveskin, M. Makita, M. Nakatsutsumi, T. R. Preston, K. Appel, Z.Konopkova,
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 31 号: 16 ページ: 26383-26383
- DOI
  10.1364/oe.486868
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K18702, KAKENHI-PROJECT-21K03499, KAKENHI-PROJECT-22KF0243, KAKENHI-PROJECT-20H00139, KAKENHI-PROJECT-21H03750, KAKENHI-PROJECT-23K26577
[雑誌論文] Spectral Shift and Split of Harmonic Lines in Propagation Affected High Harmonic Generation in a Long-Interaction Gas Tube2023
- 著者名/発表者名
  Seres Jozsef、Seres Enikoe、Serrat Carles、Dinh Thanh-Hung、Hasegawa Noboru、Ishino Masahiko、Nishikino Masaharu、Namba Shinichi
- 雑誌名
  
  Atoms
  
  巻: 11 号: 12 ページ: 150-150
- DOI
  10.3390/atoms11120150
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00141, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Induction heating for desorption of surface contamination for high-repetition laser-driven carbon-ion acceleration2023
- 著者名/発表者名
  Sadaoki Kojima, Tatsuhiko Miyatake, Hironao Sakaki, Hiroyoshi Kuroki, Yusuke Shimizu, Hisanori Harada, Norihiro Inoue, Thanh Hung Dinh, Masayasu Hata, Noboru Hasegawa, Michiaki Mori, Masahiko Ishino, Mamiko Nishiuchi, Kotaro Kondo, Masaharu Nishikino, Masaki Kando, Toshiyuki Shirai, Kiminori Kondo
- 雑誌名
  
  Matter Radiat. Extremes
  
  巻: 8 号: 5 ページ: 054002-054002
- DOI
  10.1063/5.0153578
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K14021, KAKENHI-PROJECT-22KJ2402, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation2023
- 著者名/発表者名
  Mikami Katsuhiro、Ishino Masahiko、Motoyama Hiroto、Dinh Thanh-Hung、Yokomae Shunya、Yamaguchi Gota、Egawa Satoru、Sakaue Kazuyuki、Mimura Hidekazu、Higashiguchi Takeshi、Kubota Yuya、Owada Shigeki、Iwasaki Atsushi、Inubushi Yuichi、Nishikino Masaharu
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 48 号: 19 ページ: 5041-5044
- DOI
  10.1364/ol.501589
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750, KAKENHI-PROJECT-23K26111, KAKENHI-PROJECT-23K26577
[雑誌論文] 軟X線レーザーによるアブレーション研究2022
- 著者名/発表者名
  石野　雅彦, 三上　勝大, タンフン　ヂン, 錦野　将元
- 雑誌名
  
  フォトニクスニュース
  
  巻: 8 ページ: 83-87
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Enhancement of Gain Coefficient of Li-Like Ion 3d-4f Soft X-ray Laser Oscillation by a Single Resonator2022
- 著者名/発表者名
  Namba Shinichi、Wang Jiahao、Ohiro Hikari、Zhang Jiawei、Kishimoto Maki、Yamasaki Kotaro、Hasegawa Noboru、Dinh Thanhhung、Ishino Masahiko、Higashiguchi Takeshi、Nishikino Masaharu
- 雑誌名
  
  Atoms
  
  巻: 10 号: 4 ページ: 128-128
- DOI
  10.3390/atoms10040128
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00141, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Nonlinear propagation effect in x-ray parametric amplification during high harmonic generation2022
- 著者名/発表者名
  Seres J.、Seres E.、Serrat C.、Dinh T. H.、Hasegawa N.、Ishino M.、Nishikino M.、Nakano K.、Namba S.
- 雑誌名
  
  Journal of the Optical Society of America B
  
  巻: 39 号: 4 ページ: 1263-1263
- DOI
  10.1364/josab.454902
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00141, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Independent contribution of optical attenuation length in ultrafast laser-induced structural change2021
- 著者名/発表者名
  Tatsunori Shibuya, Kazuyuki Sakaue, Hiroshi Ogawa, Daisuke Satoh, Thanh-Hung Dinh, Masahiko Ishino, Masahito Tanaka, Masakazu Washio, Takeshi Higashiguchi, Masaharu Nishikino, Akira Kon, Yuya Kubota, Yuichi Inubushi, Shigeki Owada, Yohei Kobayashi, and Ryunosuke Kuroda
- 雑誌名
  
  Optics Express, pp. 33121-33133 (2021.9).
  
  巻: Vol. 29(21) 号: 21 ページ: 33121-33133
- DOI
  10.1364/oe.432130
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H01233, KAKENHI-PROJECT-20H02157, KAKENHI-PROJECT-20K12494, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Study on Irradiation Effects by Femtosecond-pulsed Extreme Ultraviolet in Resist Materials2021
- 著者名/発表者名
  Hosaka Yuji、Yamamoto Hiroki、Ishino Masahiko、Dinh Thanh-Hung、Nishikino Masaharu、Kon Akira、Owada Shigeki、Inubushi Yuichi、Kubota Yuya、Maekawa Yasunari
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 34 号: 1 ページ: 95-98
- DOI
  10.2494/photopolymer.34.95
- NAID
  130008119663
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2021-06-11
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H02489, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Short pulse soft x-ray laser ablation research2021
- 著者名/発表者名
  Ishino Masahiko、Dinh Thanh-Hung、Mikami Katsuhiro、Hasegawa Noboru、Nishikino Masaharu
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE
  
  巻: 11886 ページ: 2-2
- DOI
  10.1117/12.2591909
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation2021
- 著者名/発表者名
  Okamoto Kazumasa, Kawai Shunpei, Ikari Yuta, Hori Shigeo, Konda Akihiro, Ueno Koki, Arai Yohei, Ishino Masahiko, Thanhhung Dinh, Nishikino Masaharu, Kon Akira, Owada Shigeki, Inubushi Yuichi, Kinoshita Hiroo, Kozawa Takahiro
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 14 号: 6 ページ: 066502-066502
- DOI
  10.35848/1882-0786/abfca3
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402, KAKENHI-PROJECT-19K05330, KAKENHI-PROJECT-18H03895, KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Calibration of Mo/Si Multilayer Beam-splitter for Soft X-Ray Laser Beamline2021
- 著者名/発表者名
  Ishino Masahiko, Thanhhung Dinh, Hasegawa Noboru, Nishikino Masaharu, Sakaue Kazuyuki, Higashiguchi Takeshi, Hatano Tasashi
- 雑誌名
  
  Photon Factory Activity Report 2020
  
  巻: #38
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[雑誌論文] Surface processing of PMMA and metal nano-particle resist by sub-micrometer focusing of coherent extreme ultraviolet high-order harmonics pulses2020
- 著者名/発表者名
  Sakaue Kazuyuki、Motoyama Hiroto、Hayashi Ryosuke、Iwasaki Atsushi、Mimura Hidekazu、Yamanouchi Kaoru、Shibuya Tatsunori、Ishino Masahiko、Dinh Thanh-Hung、Ogawa Hiroshi、Higashiguchi Takeshi、Nishikino Masaharu、Kuroda Ryunosuke
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 45 号: 10 ページ: 2926-2926
- DOI
  10.1364/ol.392695
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K12494, KAKENHI-PROJECT-20H00371, KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Laser-induced damage thresholds and mechanism of silica glass induced by ultra-short soft x-ray laser pulse irradiation2020
- 著者名/発表者名
  Mikami Katsuhiro、Ishino Masahiko、Dinh Thanh-Hung、Motokoshi Shinji、Hasegawa Noboru、Kon Akira、Inubushi Yuichi、Owada Shigeki、Kinoshita Hiroo、Nishikino Masaharu
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: 45 号: 8 ページ: 2435-2435
- DOI
  10.1364/ol.389288
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Soft x-ray laser beamline for surface processing and damage studies2020
- 著者名/発表者名
  Ishino Masahiko、Dinh Thanh-Hung、Hosaka Yuji、Hasegawa Noboru、Yoshimura Kimio、Yamamoto Hiroki、Hatano Tadashi、Higashiguchi Takeshi、Sakaue Kazuyuki、Ichimaru Satoshi、Hatayama Masatoshi、Sasaki Akira、Washio Masakazu、Nishikino Masaharu、Maekawa Yasunari
- 雑誌名
  
  Applied Optics
  
  巻: 59 号: 12 ページ: 3692-3692
- DOI
  10.1364/ao.387792
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Calibration of a CCD-Based Energy Monitor for High Power Soft x-ray Lasers2020
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino, Takeshi Higashiguchi, Tadashi Hatano
- 雑誌名
  
  Photon Factory Activity Report 2019
  
  巻: 37
- オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Ablation threshold and crater morphology of amorphous and crystalline SiO2 glass for extreme ultraviolet femtosecond pulses2020
- 著者名/発表者名
  Shibuya T.、Sakaue K.、Ogawa H.、Dinh T.-H.、Satoh D.、Terasawa E.、Washio M.、Tanaka M.、Higashiguchi T.、Ishino M.、Kubota Y.、Inubushi Y.、Owada S.、Nishikino M.、Kobayashi Y.、Kuroda R.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 59 号: 12 ページ: 122004-122004
- DOI
  10.35848/1347-4065/abc85a
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K12494, KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Parametric attosecond pulse amplification far from the ionization threshold from high order harmonic generation in He+2020
- 著者名/発表者名
  Serrat C.、Seres J.、Seres E.、Dinh T. H.、Hasegawa N.、Nishikino M.、Namba S.
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 28 号: 16 ページ: 24243-24243
- DOI
  10.1364/oe.398595
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H00141, KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Controlled strong excitation of silicon as a step towards processing materials at sub-nanometer precision2019
- 著者名/発表者名
  Dinh Thanh-Hung、Medvedev Nikita、Ishino Masahiko、Kitamura Toshiyuki、Hasegawa Noboru、Otobe Tomohito、Higashiguchi Takeshi、Sakaue Kazuyuki、Washio Masakazu、Hatano Tadashi、Kon Akira、Kubota Yuya、Inubushi Yuichi、Owada Shigeki、Shibuya Tatsunori、Ziaja Beata、Nishikino Masaharu
- 雑誌名
  
  Communications Physics
  
  巻: 2 号: 1 ページ: 1-9
- DOI
  10.1038/s42005-019-0253-2
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Sensitivity enhancement of poly(methyl methacrylate) upon exposure to picosecond-pulsed extreme ultraviolet2019
- 著者名/発表者名
  Hosaka Yuji、Oyama Tomoko Gowa、Yamamoto Hiroki、Ishino Masahiko、Dinh Thanh-Hung、Nishikino Masaharu、Maekawa Yasunari
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 115 号: 7 ページ: 073109-073109
- DOI
  10.1063/1.5116284
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K18308, KAKENHI-PROJECT-19K15402
[雑誌論文] Spectral investigation of highly ionized bismuth plasmas produced by subnanosecond Nd:YAG laser pulses2016
- 著者名/発表者名
  Tao Wu, Takeshi Higashiguchi, Bowen Li, Goki Arai, Hiroyuki Hara, Yoshiki Kondo, Takanori Miyazaki, Thanh-Hung Dinh, Padraig Dunne, Fergal O’Reilly, Emma Sokell, and Gerry O’Sullivan
- 雑誌名
  
  Journal of Physics B
  
  巻: 49 号: 3 ページ: 035001-035001
- DOI
  10.1088/0953-4075/49/3/035001
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15K18045
[雑誌論文] Generation of radially polarized high energy mid-infrared optical vortex by use of a passive axially symmetric ZnSe waveplate2015
- 著者名/発表者名
  Toshitaka Wakayama, Hiroki Oikawa, Atsushi Sasanuma, Goki Arai, Yusuke Fujii, Thanh-Hung Dinh, Takeshi Higashiguchi, Kazuyuki Sakaue, Masakazu Washio, Taisuke Miura, Akihiko Takahashi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada, Motoki Yonemura and Yukitoshi Otani
- 雑誌名
  
  Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ
  
  巻: 107 号: 8 ページ: 081112-081112
- DOI
  10.1063/1.4929686
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420205, KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15K18045, KAKENHI-PROJECT-26286083
[雑誌論文] Numerical evaluation of a 13.5-nm high-brightness microplasma extreme ultraviolet source2015
- 著者名/発表者名
  Hiroyuki Hara, Goki Arai, Thanh-Hung Dinh, Weihua Jiang, Taisuke Miura, Akira Endo, Takeo Ejima, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Atsushi Sunahara, and Takeshi Higashiguchi
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 118 号: 19 ページ: 193301-193301
- DOI
  10.1063/1.4935817
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-25400539, KAKENHI-PROJECT-15K18045
[雑誌論文] Analysis of extreme ultraviolet spectra from laser produced rhenium plasmas2015
- 著者名/発表者名
  Tao Wu, Takeshi Higashiguchi, Bowen Li, Yuhei Suzuki, Goki Arai, Thanh-Hung Dinh, Padraig Dunne, Fergal O’Reilly, Emma Sokell, Luning Liu, and Gerry O’Sullivan
- 雑誌名
  
  Journal of Physics B
  
  巻: 48 号: 16 ページ: 165005-165005
- DOI
  10.1088/0953-4075/48/16/165005
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15K18045
[雑誌論文] Temporal behavior of unresolved transition array emission in water window soft x-ray spectral region from multiply charged ions2015
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Yuhei Suzuki, Goki Arai, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Shinsuke Fujioka, Noboru Hasegawa, Tetsuya Kawachi, Masaharu Nishikino, and Takeshi Higashiguchi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 107 号: 12
- DOI
  10.1063/1.4931497
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H03570, KAKENHI-PROJECT-15K18045
[産業財産権] 表面造形方法及び表面造形装置2023
- 発明者名
  石野雅彦, ヂンタンフン, 錦野将元, 三上勝大
- 権利者名
  量研
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2023-041379
- 出願年月日
  2023
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[産業財産権] レジスト材料、レジストパターンの製造方法、及び、レジストパターン2022
- 発明者名
  吉村公男, タンフンヂン, 石野雅彦, 錦野将元...
- 権利者名
  量研
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2022-067860
- 出願年月日
  2022
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[産業財産権] 「表面造形方法」2019
- 発明者名
  石野雅彦, タンフンヂン, 錦野将元 et al.
- 権利者名
  石野雅彦, タンフンヂン, 錦野将元 et al.
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] Ultrafast laser-driven extreme-ultraviolet sources for applications to advanced nanolithography2024
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Shinichi Namba, Hiroki Yamamoto, Noboru Hasegawa, Masahiko Ishino, Masaharu Nishikino
- 学会等名
  The 13th Advanced Lasers and Photon Sources
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Challenge of Using Ultrafast Short-wavelength Lasers in Advanced Nano-processing2024
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh
- 学会等名
  SACLA Users’ Meeting 2024
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Development of a compact 100-TW-class laser for energetic quantum beam generation toward practical applications2023
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh
- 学会等名
  The 18th International Conference on X-Ray Lasers
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] 超短パルス軟Ｘ線レーザーによる加工メカニズム2023
- 著者名/発表者名
  タンフン　ヂン
- 学会等名
  日本光学会Ｘ線・ＥＵＶ結像光学研究グループ第2回研究会「2光子リソグラフィーの最前線」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Estimation of laser parameters for generating enough number of energetic heavy ions for applying as the injector of the next generation heavy ion synchrotron accelerator2023
- 著者名/発表者名
  Hata Masayasu, Kojima Sadaoki, Miyatake Tatsuhiko, Dinh Thanh-Hung, Kondo Kotaro, Hasegawa Noboru, Ishino Masahiko, Mori Michiaki, Sakaki Hironao, Nishiuchi Mamiko, Kon Akira, Nishikino Masaharu, Kando Masaki, Shirai Toshiyuki, Kondo Kiminori
- 学会等名
  7th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Research on micromachining using ultrashort pulses of ionizing radiation2023
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh
- 学会等名
  レーザー学会学術講演会第43回年次大会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Soft x-ray laser ablation study and development of coherent x-ray sources for surface processing2023
- 著者名/発表者名
  Ishino Masahiko, Thanh-Hung Dinh
- 学会等名
  The 18th International Conference on X-Ray Lasers
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Study on initial process of femtosecond soft x-ray laser ablation2023
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Masahiko Ishino, Noboru Hasegawa, Yoshiteru Yonetani, Masayasu Hata, Masaharu Nishikino
- 学会等名
  The 12th Asia-Pacific Laser Symposium
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] 超短パルス軟X線レーザーによるアブレーション研究感光性樹脂材料の感度評価研究への応用2022
- 著者名/発表者名
  石野　雅彦, 保坂　勇志, タンフン　ヂン, 山本　洋揮
- 学会等名
  第71回高分子討論会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Enhancement of high-order harmonics radiations around 13.5 nm by a long-interaction gas tube and its application to development of photoresist materials2022
- 著者名/発表者名
  Shinichi Namba, J. Seres, E. Seres, C. Serrat, Thanhhung Dinh, Hasegawa Noboru, Ishino Masahiko, Yamamoto Hiroki, Nishikino Masaharu, Kawachi Tetsuya
- 学会等名
  6th Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, Division of Plasma Physics, Association of Asia Pacific Physical Societies
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Recent Research activity for EUV Lithography at QST2022
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Hiroki, Hosaka Yuji, Yoshimura Kimio, Ishino Masahiko, Thanh-Hung Dinh, Nishikino Masaharu, Maekawa Yasunari
- 学会等名
  The 39th International Conference of Photopolymer Science and Technology 2022
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Recent Research Activity for EUV lithography at QST2022
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Hiroki, Hosaka Yuji, Yoshimura Kimio, Ishino Masahiko, Thanhhung Dinh, Nishikino Masaharu, Maekawa Yasunari
- 学会等名
  RadTech Asia 2022 Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Material Processing by Ultrashort EUV Pulses: Fundamentals and Prospects2022
- 著者名/発表者名
  Thanhhung Dinh
- 学会等名
  第96回レーザー加工学会講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H03750
[学会発表] Self-organization of nano-structures induced by an intense pulse of femtosecond EUV laser2021
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Masahiko Ishino, Yoshiteru Yonetani, Toshiki Kitamura, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino
- 学会等名
  研究会「光の軌道角運動量の発生機構と物質相互作用の理解」
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] フェムト秒極端紫外線レーザーによる自己組織微細構造体の形成に関する研究2021
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Masahiko Ishino, Toshiki Kitamura, Yoshiteru Yonetani, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino
- 学会等名
  一般社団法人レーザー学会学術講演会第41回年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] Formation of self-organized periodic nano-structures by an intense pulse of femtosecond EUV laser2020
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Masahiko Ishino, Yoshiteru Yonetani, Toshiki Kitamura, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino
- 学会等名
  International Conference on X-Ray Lasers 2020 (ICXRL 2020)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] Plasma-based X-ray Laser: Recent progress at the QST-KPSI2019
- 著者名/発表者名
  Dinh Thanh-Hung, Noboru Hasegawa, Isino Masahiko, Namba Shinichi, Masaharu Nishikino
- 学会等名
  Eleventh International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications, Osaka
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] Highly precise material processing by ultrashort pulse soft x-ray laser2019
- 著者名/発表者名
  Dinh Thanh-Hung
- 学会等名
  The 15th Symposium of Japanese Research Community on X-ray Imaging Optics，Sendai
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] Recent activities of ultra-high intensity laser-driven x-ray generation at KPSI Japan2019
- 著者名/発表者名
  Thanhhung Dinh, Michiaki Mori, Noboru Hasegawa, Masaharu Nishikino, Kiminori Kondo, Tetsuya Kawachi
- 学会等名
  SPIE, Pragure
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15402
[学会発表] 短パルスCO2レーザーによるレーザー生成プラズマの高効率化2016
- 著者名/発表者名
  ヂンタンフン，笹沼淳史，天野玲保，荒居剛己，東口武史，三浦泰祐
- 学会等名
  次世代レーザー技術とEUV・軟X線光源に関する研究会
- 発表場所
  ZAOセンタープラザ（山形県山形市）
- 年月日
  2016-01-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] レーザー生成多価イオンプラズマ軟X線光源のスペクトル較正2016
- 著者名/発表者名
  ヂンタンフン，近藤芳希，田村賢紀，小野祐一，荒居剛己，原広行，大田茂，北野謙，江島丈雄，羽多野忠，東口武史
- 学会等名
  次世代レーザー技術とEUV・軟X線光源に関する研究会
- 発表場所
  ZAOセンタープラザ（山形県山形市）
- 年月日
  2016-01-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] Development of Nanosecond Pulse CO2 Laser for Efficient Extreme Ultraviolet Generation2015
- 著者名/発表者名
  Reiho Amano, Thanh Hung Dinh, Atsushi Sasanuma, Goki Arai, Yusuke Fujii, Akihiko Takahashi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada, Taisuke Miura, Akira Endo, Tomas Mocek, and Takeshi Higashiguchi
- 学会等名
  The 4th Advanced Lasers and Photon Sources (ALPS’15)
- 発表場所
  Conference Center, PACIFICO Yokohama, Yokohama Japan
- 年月日
  2015-04-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] Spectral and temporal behavior of multiply ionized high-Z plasmas in the water window soft x-ray spectral region2015
- 著者名/発表者名
  T. H. Dinh, Y. Suzuki, G. Arai, M. Nishikino, N. Hasegawa, T. Kawachi, P. Dunne, G. O’Sullivan, and T. Higashiguchi
- 学会等名
  2015 IEEE Photonics Conference, 28th Annual Conference of The IEEE Photonics Society
- 発表場所
  Hyatt Regency Reston, Reston, Virginia USA
- 年月日
  2015-10-05
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] An efficient 6.x nm extreme ultraviolet source produced by a short pulse CO2 laser2015
- 著者名/発表者名
  T. H. Dinh, R. Amano, A. Sasanuma, G. Arai, Y. Fujii, A. Takahashi, D. Nakamura, T. Okada, T. Makimura, T. Miura, A. Endo, T. Mocek, P. Dunne, G. O’Sullivan, and T. Higashiguchi
- 学会等名
  The 7th Asian Workshop on Generation and Application of Coherent XUV and X-ray Radiation (7th AWCXR)
- 発表場所
  the Center for Relativistic Laser Science of Institute for Basic Science, Gwangju Institute of Science and Technology, Gwangju, Korea
- 年月日
  2015-08-31
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] Unresolved transition arrays from laser-produced high-Z plasmas for microscopy in the water window soft x-ray region2015
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Goki Arai, Taisuke Miura, Akira Endo, Tetsuya Makimura, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Tadashi Hatano, Takeio Eijima, and Takeshi Higashiguchi
- 学会等名
  The 13th Symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Noyori Conference Hall, Nagoya University (Higashiyama campus), Nagoya, Japan
- 年月日
  2015-11-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] Multiply charged ion plasma sources for compact x-ray microscopy in the water window spectral region2015
- 著者名/発表者名
  T. H. Dinh, Y. Kondo, G. Arai, T. Miura, A. Endo, T. Makimura, P. Dunne, G. O’Sullivan, T. Hatano, T. Ejima, and T. Higashiguchi
- 学会等名
  SPIE/OSJ Biophotonics Japan 2015
- 発表場所
  Univesity of Tsukuba (Tokyo campus), Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-10-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] Development of a compact water window soft x-ray source based on multiply charged ion plasmas2015
- 著者名/発表者名
  Thanh-Hung Dinh, Yoshiki Kondo, Goki Arai, Taisuke Miura, Akira Endo, Tetsuya Makimura, Tadashi Hatano, Takeo Ejima, Takeshi Higashiguchi
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場 (愛知県名古屋市)
- 年月日
  2015-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045
[学会発表] Development of a 10-Hz short pulse CO2 laser for short wavelength light sources2015
- 著者名/発表者名
  Reiho Amano, Atsushi Sasanuma, Thanh-Hung Dinh, Goki Arai, Yusuke Fujii, Akihiko Takahashi, Daisuke Nakamura, Tatsuo Okada, Tetsuya Makimura, Taisuke Miura, Akira Endo, Tomas Mocek, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, and Takeshi Higashiguchi
- 学会等名
  SPIE/OSJ Biophotonics Japan 2015
- 発表場所
  Univesity of Tsukuba (Tokyo campus), Tokyo, Japan
- 年月日
  2015-10-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18045

1. 長谷川登 (50360409)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 6件
2. 石野雅彦 (80360410)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 12件
3. 錦野将元 (70370450)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 10件
4. 米谷佳晃 (80399419)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
5. 畑昌育 (60712429)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
6. 豊田光紀 (40375168)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 坂上和之

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 3件
8. 鷲尾方一

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
9. 若山俊隆

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
10. 尾崎典雅

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
11. 岸本牧

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
12. 東口武史

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 6件
13. 難波愼一

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 4件
14. 保坂勇志

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
15. 小島完興

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

ヂン タンフン DINH THANH HUNG

研究課題

研究成果

共同研究者

軟X線レーザー干渉顕微鏡の開発とアブレーションによる損傷形成過程の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

プラズマ軟X線レーザーの高出力化と先進微細造形技術の確立研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超短パルスX線レーザーを用いた次世代超微細加工技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

次世代の半導体リソグラフィー露光用極端紫外光源のスペクトル制御と高効率化研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Ablation study using soft x-ray laser2024

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Damage threshold of LiF crystal irradiated by femtosecond hard XFEL pulse sequence2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Spectral Shift and Split of Harmonic Lines in Propagation Affected High Harmonic Generation in a Long-Interaction Gas Tube2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Induction heating for desorption of surface contamination for high-repetition laser-driven carbon-ion acceleration2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] 軟X線レーザーによるアブレーション研究2022

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Enhancement of Gain Coefficient of Li-Like Ion 3d-4f Soft X-ray Laser Oscillation by a Single Resonator2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Nonlinear propagation effect in x-ray parametric amplification during high harmonic generation2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Independent contribution of optical attenuation length in ultrafast laser-induced structural change2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Study on Irradiation Effects by Femtosecond-pulsed Extreme Ultraviolet in Resist Materials2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

ヂンタンフン DINH THANH HUNG