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田村 敦史  Tamura Atsushi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 21020009
その他のID
所属 (現在) 2026年度: 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2025年度: 東京大学, 大学院新領域創成科学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
0302:電気電子工学およびその関連分野
キーワード
研究代表者
原子層堆積法 / 界面双極子 / 絶縁膜 / 表面・界面物性 / 電気・電子材料
  • 研究課題

    (1件)
  •  プロセス条件の違いに着目した界面ダイポール効果の包括的理解とその制御手法の構築研究代表者

    • 研究代表者
      田村 敦史
    • 研究期間 (年度)
      2025
    • 研究種目
      研究活動スタート支援
    • 審査区分
      0302:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東京大学

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