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村田 顕二  MURATA Kenji

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30029079
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2001年度 – 2002年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 教授
1998年度: 大阪府立大学, 工学部, 教授
1995年度 – 1996年度: 大阪府立大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
電子デバイス・機器工学
研究代表者以外
電子デバイス・機器工学 / 知能機械学・機械システム
キーワード
研究代表者
LIFT OFF / HOLOGRAFIC LITHOGRAPHY / SILICON / NICKL / FIELD EMISSION / FIELD EMITTER ARRAY / 微細加工 / タングステン / モリブデン / 電子ビーム蒸着 … もっと見る / リフトオフ / ホログラフィックリソグラフィ / シリコン / ニッケル / 電界放出 / 微小電子線源 … もっと見る
研究代表者以外
reactive ion etching / Cr pattern / selective growth / Fe catalyst / carbon-nanotubes / field emitter / 電界放出特性 / 垂直配向 / 低電圧動作 / ゲート付き微小電子線源 / 反応性イオンエッチング / Crゲート電極 / 選択成長 / Fe触媒 / ゲート付微小電子線源 / カーボンナノチューブ / 周波数応答 / 熱励起振動 / 光リソグラフィ / 屈折率 / 減圧気相堆積法 / マイクロ梁 / マイクロマシン / 力・距離曲線 / 力平衡方式 / 原子間力顕微鏡 / 薄膜 / ヤング率 / 3次元静電場 / 大たわみ理論 / カンチレバ- / resonance / viscous fluid / drag force / electric field / large deflection / micro cantilever / リソグラフィ / 量子ドット / インプリンティング 隠す
  • 研究課題

    (4件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  カーボンナノチューブを用いた高性能微小電子線源の作製

    • 研究代表者
      川田 博昭
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  ナノ・インプリンティングによる量子ドット形成に関する研究

    • 研究代表者
      平井 義彦
    • 研究期間 (年度)
      1998
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  生体液体中におけるマイクロマシン部材の動作特性

    • 研究代表者
      田中 芳雄
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      大阪府立大学
  •  低電圧動作、大電流密度の真空マイクロデバイスの開発に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      村田 顕二
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪府立大学
  • 1.  川田 博昭 (90186099)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  田中 芳雄 (60081246)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  菊田 久雄 (10214743)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  岩田 耕一 (20081242)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  秋田 成司 (60202529)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  中山 喜萬 (20128771)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  平井 義彦 (50285300)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  村田 一夫
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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