柴田順二 SHIBATA Junii

研究者番号	30052822
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2006年度: 芝浦工業大学, 専門職大学院工学マネジメント研究科, 教授 2004年度 – 2005年度: 芝浦工業大学, 大学院・工学マネジメント研究科, 教授 2003年度: 芝浦工業大学, 工学マネジメント研究科, 教授 1998年度 – 2002年度: 芝浦工業大学, 工学部, 教授 1991年度 – 1992年度: 芝浦工業大学, 工学部, 教授 … もっと見る 1988年度 – 1991年度: 芝浦工業大学, 機械工学第二学科, 教授 1990年度: 芝浦工業大学, 工学部・機械工学第二学科, 教授 1987年度: 芝浦工業大学, 機械工学・第二学科, 助教授 1986年度: 芝工大, 工学部, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者機械工作 / 生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学研究代表者以外機械工作
キーワード	研究代表者 CMP / Si / 研磨 / シリカ / ガラス / スラリー / pH / Siウエハー / 研磨剤 / Plasticity Index … もっと見る / Wear of Fixed Abrasives / Aluminum Substrate / PVA Fixed Abrasives / Elasticity of Fixed Abrasives / Surface Roughness / Flatness / Lapping / 加工精度 / 砥石摩耗 / アルミニウムサブストレート / 平面ホーニング / 加工面粗さ / 平面ホ-ニング / 固定砥粒 / 負荷曲線 / パワ-スペクトル / 構造関数 / 塑性指数 / 砥石の摩耗 / アルミニウムサブストレ-ト / PVA砥石 / 砥石の弾性 / 仕上面粗さ / 平坦度 / Diamond Lapping Film / Flat Honing / New Ceramics / ファインセラミックスの研磨 / 光ファイバの端面研磨 / 平面ホーニング加工 / ファインセラミックス / ダイヤモンドラッピングシート / SOLID CONTACT / SLURRY / GLASS / PHYSICAL ACTION / CHEMICAL ACTION / POLISHING PAD / ポリウレタン / 微小変形 / 表面トポグラフィ / 実接触面積 / 物理的作用 / 化学的作用 / 研磨パット / Slurry / Colloidal Silica / Sol-gel / Copper / Glass / Polishing / ウエハー / メタル / CPM / 研磨抵抗 / 作用点 / Prestonの定理 / パッド / 砥粒間隔 / 粒径 / スラリー濃度 / CNP / コロイダルシリカ / ゾル-ゲル法 / 銅 / SILICA / LAPPING SLURRY / LAPPING MACHINE / ROUNDNESS / CENTRIFUGAL FORCE / GLASS BALL / SMALL BALL / POLISHING / カップ研磨方式 / シリカ粒子 / 真球度 / 球研磨 / ゾルゲル法 / 研磨スラリー / 研磨加工 / ラップ盤 / 真円度 / 遠心力 / ガラス球 / 微小ボール / silica / pad / Si water / slurry / sol-gel method / planerization / 研磨布 / ゾル・ゲル法 / プラナリゼーション / nano-machining / spherical indenter / micro-contact / micro-indentation / cutting edge / ductile mode chip / nano-size chip / Ceramics / 延性型切り屑 / 降伏応力 / 塑性 / 接触変形 / 押込み / 球状圧子 / 脆性材料 … もっと見る研究代表者以外 Non-Contact Measurement / 3-D Form Measurement / Expert System / Fuzzy Control / Robot / Polishing Tools / Automatic Polishing / Metal Molds / 非接触計測 / 三次元形状計測 / エキスパ-トシステム / ファジィ制御 / ロボット / 研磨工具 / 自動研磨 / 金型製造隠す

研磨パットの接触機構とCMP作用に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  芝浦工業大学
メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  芝浦工業大学
球面半導体用単結晶シリコン微小ボールの精密加工研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  芝浦工業大学
プラナリゼーションにおけるCMP作用の解明とCMP用ゾル・ゲル研磨剤の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  芝浦工業大学
切れ刃との微小干渉下におけるセラミックス材料の塑性的挙動の評価研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  1991 – 1992
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  芝浦工業大学
金型製造システムの高度化を支援する加工・計測・制御技術の開発
- 研究代表者
  
  稲崎一郎
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  総合研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  慶応義塾大学
固定砥粒方式によるアルミニウム,ガラス等サブストレ-ト材の精密ラッピング加工研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  芝浦工業大学
ダイヤモンドラッピングシートによるファインセラミックスの高能率両面ラッピング研究代表者
- 研究代表者
  
  柴田順二
- 研究期間 (年度)
  1986 – 1987
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  芝浦工業大学

すべて 2005 2004

すべて雑誌論文

[雑誌論文] 固体接触面の機密性2005
- 著者名/発表者名
  長谷川智之, 柴田順二
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会ABTEC2005講演論文集
  
  ページ: 99-100
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560104
[雑誌論文] Air tightness at solid contact interface2005
- 著者名/発表者名
  T.HASEGAWA, J.SHIBATA
- 雑誌名
  
  Proceedings of ABTEC 2005
  
  ページ: 355-356
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560104
[雑誌論文] Development of fixed Abrasive tools utilizing sol-gel method2005
- 著者名/発表者名
  Y.TANI, Y.MIYATA, J.SHIBATA, Y.KAMIMURA
- 雑誌名
  
  Journal of the Japan Society for Abrasive Technology Vol.49, No.5
  
  ページ: 264-268
- NAID
  10015520160
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560104
[雑誌論文] ゾルゲル法を利用した固定砥粒工具の開発2005
- 著者名/発表者名
  谷, 宮田, 柴田, 上村
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌 49・5
  
  ページ: 264-268
- NAID
  10015520160
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560104
[雑誌論文] 固体接触面の機密性2005
- 著者名/発表者名
  長谷川, 柴田
- 雑誌名
  
  2005年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集
  
  ページ: 355-356
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17560104
[雑誌論文] ポリシングにおける研磨作用点に関する考察2004
- 著者名/発表者名
  李鋼成, 柴田順二, 大田正人
- 雑誌名
  
  2004年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集 2004年度
  
  ページ: 57-58
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15560101
[雑誌論文] A Basic Study on CMP Mechanism and a Trial to produce CMP Slurry by Sol-gel Method2004
- 著者名/発表者名
  J.SHIBATA, M.OHTA, A.Oda
- 雑誌名
  
  Advances in Abrasive Technology-7^<th> International Symposium in Abrasive
  
  ページ: 389-392
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15560101
[雑誌論文] A Basic Study on CMP Mechanism and a Trial to produce CMP Slurry by Sol-gel Method2004
- 著者名/発表者名
  J.SHIBATA, M.OHTA, A.Oda
- 雑誌名
  
  Advances in Abrasive Technology -7^<th> International Symposium in Abrasives
  
  ページ: 389-392
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15560101
[雑誌論文] A Basic study on CMP Mechanism and a Trial to Produce CMP Slurry by Sol-gel Method2004
- 著者名/発表者名
  Junji Shibata, Masato Ota, Akiyoshi Oda
- 雑誌名
  
  Advances in Abrasive Technology 7 (3^<rd> INTERNATIONAL CONFERENCE AND EXHIBITION ON DESIGN ANDPRODUCTION OF DIES AND MOLDS 2004) ISAAT2004
  
  ページ: 389-392
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15560101

1. 大田正人 (50052874)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 3件
2. 植木忠博 (50052890)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
3. 木邑隆保 (90052711)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 稲崎一郎 (30051650)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 青山藤詞郎 (70129302)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 三井公之 (90219668)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 竹内芳美 (50107546)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 三好隆志 (00002048)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

柴田 順二 SHIBATA Junii

研究課題

研究成果

共同研究者

研磨パットの接触機構とCMP作用に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

メタルCMPの研磨作用とスラリーの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

球面半導体用単結晶シリコン微小ボールの精密加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

プラナリゼーションにおけるCMP作用の解明とCMP用ゾル・ゲル研磨剤の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

切れ刃との微小干渉下におけるセラミックス材料の塑性的挙動の評価研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

金型製造システムの高度化を支援する加工・計測・制御技術の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

固定砥粒方式によるアルミニウム,ガラス等サブストレ-ト材の精密ラッピング加工研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ダイヤモンドラッピングシートによるファインセラミックスの高能率両面ラッピング研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] 固体接触面の機密性2005

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Air tightness at solid contact interface2005

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] Development of fixed Abrasive tools utilizing sol-gel method2005

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] ゾルゲル法を利用した固定砥粒工具の開発2005

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

説明

データソース

[雑誌論文] 固体接触面の機密性2005

著者名/発表者名

雑誌名

説明

データソース

[雑誌論文] ポリシングにおける研磨作用点に関する考察2004

著者名/発表者名

柴田順二 SHIBATA Junii