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徳田 豊
TOKUDA Yutaka
ORCID連携する
*注記
研究者番号
30078927
その他のID
所属 (現在)
2020年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく)
*注記
2010年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
1997年度 – 1999年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野
研究代表者
応用物性・結晶工学
研究代表者以外
機械材料・材料力学
キーワード
研究代表者
DLTS / FT-IR / p^+シリコン / 水素プラズ / 沸騰水 / ショットキ / 水素プラズマ / 水素イオン注入 / 水素パシベーション / 水素導入
…
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/ PィイD1+ィエD1 SILICON / HYDROGEN PLASMA / BOILING WATER / SCHOTTKY
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研究代表者以外
疲労 / MEMS(マイクロマシン) / マイクロマシン / シリコン / ポリシリコン / 強度 / 初期損傷 / 疲労破壊 / 寿命予測 / 機械材料・材料力学 / 強度分布 / 寿命分布 / 損傷 / 等価き裂
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研究課題
(
2
件)
研究成果
(
3
件)
共同研究者
(
2
人)
研究開始年: 新しい順
研究開始年: 古い順
統計解析と.傷電子センサによる疲労試験上要のシリコン材料疲労信頼性評価体系の創出
研究代表者
神谷 庄司
研究期間 (年度)
2008 – 2010
研究種目
基盤研究(B)
研究分野
機械材料・材料力学
研究機関
名古屋工業大学
水素援用シリコン結晶性評価技術の開発
研究代表者
研究代表者
徳田 豊
研究期間 (年度)
1997 – 1999
研究種目
基盤研究(C)
研究分野
応用物性・結晶工学
研究機関
愛知工業大学
すべて
2010
その他
すべて
雑誌論文
学会発表
[雑誌論文] Electronic properties of dislocations introduced mechanically at room temperature on a single crystal silicon surface
著者名/発表者名
Masatoshi Ogawa, Shoji Kamiya, Hayato Izumi, Yutaka Tokuda, Physica B
雑誌名
Physica B
巻
: (in press)
査読あり
データソース
KAKENHI-PROJECT-20360052
[学会発表] 単結晶シリコンの機械的損傷の電子的性質に関する研究
2010
著者名/発表者名
小川将史、神谷庄司、泉隼人、徳田豊
学会等名
第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
発表場所
くにびきメッセ(松江市)
年月日
2010-10-14
データソース
KAKENHI-PROJECT-20360052
[学会発表] Electrical properties of mechanically induced defects in single crystal silicon
2010
著者名/発表者名
Masatoshi Ogawa, Shoji Kamiya, Hayato Izumi Yutaka Tokuda
学会等名
The 27th Sensor Symposium on Sensors
発表場所
Shimane, Japan, Book of Abstracts
データソース
KAKENHI-PROJECT-20360052
研究課題数: 降順
研究課題数: 昇順
1.
神谷 庄司
(00204628)
共同の研究課題数:
1件
共同の研究成果数:
3件
2.
林 高弘
(30324479)
共同の研究課題数:
1件
共同の研究成果数:
0件
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