徳田豊 TOKUDA Yutaka

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研究者番号	30078927
その他のID
所属 (現在)	2020年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2010年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授 1997年度 – 1999年度: 愛知工業大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者応用物性・結晶工学研究代表者以外機械材料・材料力学
キーワード	研究代表者 DLTS / FT-IR / p^+シリコン / 水素プラズ / 沸騰水 / ショットキ / 水素プラズマ / 水素イオン注入 / 水素パシベーション / 水素導入 … もっと見る研究代表者以外疲労 / MEMS(マイクロマシン) / マイクロマシン / シリコン / ポリシリコン / 強度 / 初期損傷 / 疲労破壊 / 寿命予測 / 機械材料・材料力学 / 強度分布 / 寿命分布 / 損傷 / 等価き裂隠す

統計解析と.傷電子センサによる疲労試験上要のシリコン材料疲労信頼性評価体系の創出
- 研究代表者
  
  神谷庄司
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  名古屋工業大学
水素援用シリコン結晶性評価技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  徳田豊
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  愛知工業大学

すべて 2010 その他

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Electronic properties of dislocations introduced mechanically at room temperature on a single crystal silicon surface
- 著者名/発表者名
  Masatoshi Ogawa, Shoji Kamiya, Hayato Izumi, Yutaka Tokuda, Physica B
- 雑誌名
  
  Physica B
  
  巻: (in press)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360052
[学会発表] 単結晶シリコンの機械的損傷の電子的性質に関する研究2010
- 著者名/発表者名
  小川将史、神谷庄司、泉隼人、徳田豊
- 学会等名
  第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ(松江市)
- 年月日
  2010-10-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360052
[学会発表] Electrical properties of mechanically induced defects in single crystal silicon2010
- 著者名/発表者名
  Masatoshi Ogawa, Shoji Kamiya, Hayato Izumi Yutaka Tokuda
- 学会等名
  The 27th Sensor Symposium on Sensors
- 発表場所
  Shimane, Japan, Book of Abstracts
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20360052

1. 神谷庄司 (00204628)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
2. 林高弘 (30324479)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件