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近藤 道雄  Kondou Michio

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

近藤 道夫  コンドウ ミチオ

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研究者番号 30195911
所属 (現在) 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, その他部局等, 研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2005年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 太陽光発電研究センター, センター長
2005年度: 産業技術総合研究所, 太陽光発電研究センター, 研究センター長
2004年度 – 2005年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 薄膜シリコン系太陽電池研究開発ラボ, 副ラボ長
2003年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 副ラボ長
1990年度: 東京大学物性研究所, 助手
1989年度 – 1990年度: 東京大学, 物性研究所, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者以外
薄膜・表面界面物性 / プラズマ科学 / 固体物性
キーワード
研究代表者以外
nanocolumn / fin-type vertical MOSFET / low-k film / gate electrode etching / silicon oxynitride / negative ion / etching / neutral beam / 薄膜形成 / シリコン酸窒膜 … もっと見る / ナノ加工 / 半導体デバイス / エッチングダメージ / 起立ゲート型トランジスタ / 高誘電率膜 / 有機分子デバイス / カーボンナノチューブ / 表面改質 / ナノカラム / フィン型MOSFET / 低誘電率絶縁膜 / ゲート電極加工 / シリコン酸窒化膜 / 負イオン / エッチング / 中性粒子ビーム / silicon oxidation / micro-crystalline silicon / liquid crystal display / solar cell / slot antenna / large area plasma / surface wave plasma / microwave discharge / 液晶デイスプレイ / 液晶ディスプレス / シリコン酸化 / 微結晶シリコン / 液晶ディスプレイ / 太陽電池 / スロットアンテナ / 大面積プラズマ / 表面波プラズマ / マイクロ波放電 / Quantized Structure / Quantum-size effect / Amorphous Semiconductors / Band-Edge modulation / 人工物質 / バンド端変調構造膜 / 量子化構造 / 量子サイズ効果 / アモルファス半導体 / バンド端変調 隠す
  • 研究課題

    (3件)
  • 共同研究者

    (10人)
  •  マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

    • 研究代表者
      菅井 秀郎
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      プラズマ科学
    • 研究機関
      名古屋大学
  •  低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製

    • 研究代表者
      寒川 誠二
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      薄膜・表面界面物性
    • 研究機関
      東北大学
  •  バンド端変調半導体構造膜の作製とその物性

    • 研究代表者
      森垣 和夫
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      固体物性
    • 研究機関
      東京大学
  • 1.  森垣 和夫 (60013471)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  菅井 秀郎 (40005517)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  豊田 浩孝 (70207653)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  石島 達夫 (00324450)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  寒川 誠二 (30323108)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  羽根 一博 (50164893)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  小野 崇人 (90282095)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  久保田 智広 (70322683)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 9.  熊谷 慎也 (70333888)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  神田 稔
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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