• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

高橋 哲  Takahashi Satoru

研究者番号 30283724
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0002-6555-9409
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2025年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
2012年度 – 2022年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
2014年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 教授
2013年度: 東京大学, 工学系研究科, 教授
2011年度 – 2013年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 … もっと見る
2012年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授
2007年度 – 2010年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授
2007年度: 東京大学, 大学院・工学系・研究科, 准教授
2007年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教接
2006年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授
2004年度 – 2005年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授
2002年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 講師
1998年度 – 2002年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助手
1997年度: 大阪大学, 工学部, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
生産工学・加工学 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 機械工作・生産工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連
研究代表者以外
機械工作・生産工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野 / 生産工学・加工学 / 知能機械学・機械システム
キーワード
研究代表者
ナノ欠陥 / マイクロマシン / 加工計測 / エバネッセント光 / 欠陥検査 / ナノ異物 / シリコンウエハ / ナノ計測 / 超解像 / 光計測 … もっと見る / マイクロファクトリ / マイクロ・ナノデバイス / 精密位置決め / 欠陥計測 / 表面欠陥 / インプロセス計測 / 光散乱パターン / レーザ応用計測 / 光硬化性樹脂 / 光造形 / ウォータジェットレーザー加工 / ウォータジェットレーザ加工 / レーザー加工 / 高アスペクト比 / 微細穴加工 / 表面検査 / 異物検出 / コヒーレント結像 / 微細機能構造 / ナノ除去加工 / マイクロレジン / 光触媒ナノ粒子 / 放射圧制御 / 光トラップ / 並列制御 / 空間局在光場 / 放射圧並列制御 / 空間局在光場制御 / レーザートラップ / ナノ・マイクロ加工 / マクロファクトリ / ナノマイクロ加工 / セルインマイクロファクトリ / シリコンウエハ基板 / 局在光 / 超解像計測 / 微小生産科学 / 回折限界 / 回折限界超越 / 高分解能計測 / 内部情報計測 / 非破壊計測 / 微細構造 / 精密微細加工 / ソフトマテリアル / ナノ修正加工 / 超精密加工 / 高速プロトタイピング / イクロ・ナノデバイス / 三次元マイクロ加工 / 酸化チタン / 局在フォトン / マルチフォトンプローブ / 超精密平坦加工面 / 半導体 / Low-k / エパネッセント光 / 膜厚計測 / 半導体機能薄膜 / 近接場光 / マイクロ光造形法 / マイクロ光造形 / 暗視野輪帯光学系 / 付着異物 / Siウエハ / オンアクシスフーリエ変換ホログラフィ / パターン欠陥 / 半導体微細回路 / 自己励起型配置 / PDLC(高分子分散型液晶パネル) / BaTiO_3(チタン酸バリウム) / 時間反転波 / 位相共役波 / 実時間ホログラフィ / 非積層立体形状創成 … もっと見る
研究代表者以外
光放射圧 / テーパ光ファイバー / レーザトラッピング / ナノメートル計測 / 定在波 / 近接場 / 伝搬定数 / 直径計測 / 屈折率 / 光共振 / Whispering gallery mode / 直径 / 球体 / 光ファイバー / CMP / Micropart / 半導体 / シリコンウエハ / レーザ応用計測 / ナノインプロセス計測 / FDTD simulation / Silicon wafer / Particle / Radiation pressure force / Microparts / Nano-CMM / マイクロパーツ / ナノCMM / laser trapping / optical radiation pressure / 微粒子 / マイクロ加工 / 不確かさ推定 / 三次元計測 / 寸法計測 / 計測理論 / 内面形状 / 回折格子 / 内面構造 / 計測基準点 / 光周波数コム / 細径ファイバー / 光ファイバ / インプロセス計測 / Mie散乱 / 細径光ファイバー / 干渉照明 / マイクロファイバー / ナノファイバー / テーパ光ファイバ / 近接場プローブ / 有限要素解析 / SNOM / 偏光 / Goos-Haenchenシフト / 自律校正 / WGM共振 / ビート周波数 / 球 / テーパファイバー / モード解析 / 微小球 / 微小球共振 / 標準計測 / 光共振器 / WGM / 三次元形状測定 / 光計測 / 座標計測 / calibration / next generation manufacturing system / accuracy evaluation / coordinate metrology / coordinate measuring machine / uncertainty of measurement / 不確かさ / 校正 / 次世代生産システム / 精度評価 / 座標測定 / 三次元測定機 / 測定の不確かさ / Radiation pressure / Vibro-probe / Silica particle / Optical fiber / Laser trapping / Micro-probe / 大気中トラップ / 振動型プローブ / シリカ微粒子 / マイクロプローブ / マイクロ部品 / semiconductor / silicon wafer / planarization / polishing process / nanotechnology / レーザトラップ / 平坦化 / 研磨加工 / ナノテクノロジー / Solidification process analysis / Color doped resin / Overthang form / Image exposure / LCD mask / Stereolithography / 濃淡画像マスク / 動的露光法 / 動画像マスク / FDTDシミュレーション / 樹脂硬化プロセス解析 / 色素添加光硬化性樹脂 / オーバーハング形状 / 面露光法 / 微小部品 / 液晶マスク / 光造形 / Semiconductor / Laser light scattering / SiO2 thin film / CMP process / Laser applied measurement / Nano-inprocess measurement / Surface defect / 光散乱 / 薄膜表面 / CMP加工 / 表面欠陥 / Optical measurement / Fraunhofer diffraction / Fourier transform / Nano in-process measurement / 3D Micro-Profile / Phase retrieval / Optical Inverse Scattering / レーザー応用計測 / マイクロ加工計測 / 微細形状計測 / フーリエ変換 / 位相回復 / 逆散乱 / Probe tip / Evanescent Light / IR Laser / COP / Nano-defect / Sub-surface / エバネセント光検出ユニット / AFM探針 / 赤外エバネセント場 / COP欠陥 / プローブ / 有限差分時間領域法 / エバネセント場 / 赤外レーザ / 加工表面層欠陥 / シリコンウェハ / Optical torque / Micromachining / Machining tool / Diamond thin film / Silicon mold / 光硬化性樹脂 / TDFD法 / ナノ加工痕 / 円偏光 / 光放射圧トルク / 回転微粒子 / 加工ツール / ダイヤモンド薄膜 / シリコンモールド / 3D position / Linnik interferometer / Position detecting probe / Laser trapping in air / Mirau干渉計 / マイクロパ-ツ / 3次元位置座標 / Linnik干渉計 / 位置検出プローブ / 大気中レーザトラッピング / optical processing / diamond grain / mechanochemical polishing / micro-machining / ダイヤモンド / 微細加工 / 超精密加工 / 形状測定 隠す
  • 研究課題

    (34件)
  • 研究成果

    (456件)
  • 共同研究者

    (19人)
  •  空間フォトン存在領域の革新的遠隔局在制御による次世代機能材料レーザ加工システム研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2028
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東京大学
  •  3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測

    • 研究代表者
      道畑 正岐
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東京大学
  •  破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立

    • 研究代表者
      道畑 正岐
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2023
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東京大学
  •  次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東京大学
  •  1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東京大学
  •  質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

    • 研究代表者
      道畑 正岐
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東京大学
  •  空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東京大学
  •  動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分18020:加工学および生産工学関連
    • 研究機関
      東京大学
  •  微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦

    • 研究代表者
      道畑 正岐
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分18:材料力学、生産工学、設計工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東京大学
  •  自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化

    • 研究代表者
      高増 潔
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2013
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2011 – 2012
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化

    • 研究代表者
      高増 潔
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2010
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形法に関する基礎的研究研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2005
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  赤外エバネッセント光による次世代半導体ウエハ機能薄膜のナノ欠陥計測法に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      東京大学
  •  次世代生産システムにおける三次元計測を中心とした測定の不確かさの研究

    • 研究代表者
      高増 潔
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2007
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      知能機械学・機械システム
    • 研究機関
      東京大学
  •  暗視野輪帯光学系を用いたSiウエハ加工表面欠陥計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧制御ナノCMP加工装置の開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高アスペクト比をもつ微細加工形状計測用レーザトラッピングプローブに関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  半導体CMP加工における薄膜表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  非積層型液晶3次元光造形装置の開発

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  半導体微細回路パターンのナノインプロセス欠陥計測に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  赤外エバネセント光を利用したシリコンウェハ加工表面層のナノ欠陥計測法に関する研究

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微細三次元加工形状の光逆散乱ナノインプロセス計測装置の開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧マイクロ加工ツールの試作開発

    • 研究代表者
      高谷 裕浩
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  位相共役波を用いた三次元フォトリソグラフィに関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      高橋 哲
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光放射圧を利用した微粒子操作によるマイクロ加工に関する研究

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノCMMレーザトラッピングプローブの試作開発

    • 研究代表者
      三好 隆志
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] 精密工学におけるナノ・マイクロ光学技術とその展望, 精密工学会誌 特集:微細領域の光学技術,精密工学会誌 87(9), 715-720, 20212021

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 総ページ数
      6
    • 出版者
      精密工学会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [図書] ナノ・マイクロものづくりを支える光計測の発展と可能性,計量計測 measuring instruments はかる, New Technology, 第37巻,第1号,通巻第138号2020

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 総ページ数
      4
    • 出版者
      日本計量機器工業連合会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [図書] 回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法、O plus E 2020年11・12月号(第476号)2020

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 総ページ数
      6
    • 出版者
      アドコム・メディア(株)
    • ISBN
      9784915851827
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [図書] ナノ・マイクロスケール機械工学2014

    • 著者名/発表者名
      石原直,加藤千幸,光石衛,渡邉聡編,高増潔,高橋哲他
    • 総ページ数
      266
    • 出版者
      東京大学出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Diameter Measurement for Micro-Spheres via Coherent Scanning Interferometry with Reference to Gauge Block2024

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 18 号: 1 ページ: 11-17

    • DOI

      10.20965/ijat.2024.p0011

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2024-01-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [雑誌論文] Propagation Constant-Based Diameter Measurement Technique for Sub-micrometer Scale Optical Fiber2024

    • 著者名/発表者名
      Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: in press 号: 10 ページ: 2649-2649

    • DOI

      10.1364/ol.521545

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [雑誌論文] Theoretical analysis on coherent optical super-resolution method for inspection of functional micro-structured surfaces with complex-amplitude-response distribution2023

    • 著者名/発表者名
      Kume Hiromasa、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 80 ページ: 138-159

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2022.11.011

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [雑誌論文] Measurement of diameter of sub-micrometer fiber based on analysis of scattered light intensity distribution under standing wave illumination2022

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: 71 号: 1 ページ: 421-424

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2022.03.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K18747, KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [雑誌論文] Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: highly sensitive observation system using phase-contrast microscopy with a spatial light modulator2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Guan, S. Masui, S. Kadoya, M. Michihata and S. Takahashi
    • 雑誌名

      J. Phys. Conf. Ser. 2368

      巻: 1 号: 1 ページ: 12014-12014

    • DOI

      10.1088/1742-6596/2368/1/012014

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18668, KAKENHI-PROJECT-22KJ1106
  • [雑誌論文] Measurement properties of electric field intensity distribution of whispering gallery mode with near-field optical probe2022

    • 著者名/発表者名
      Liu Yushen、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 33 号: 9 ページ: 095501-095501

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ac74a2

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [雑誌論文] Numerical analysis on high resolution optical measurement method with long working distance objective for in-line inspection of micro-structured surface2021

    • 著者名/発表者名
      Kume Hiromasa、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 67 ページ: 232-247

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2020.09.012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [雑誌論文] The FDTD analysis for dark field in-process depth measurements of fine microgrooves2021

    • 著者名/発表者名
      Guan Yizhao、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Measurement: Sensors

      巻: 18 ページ: 100257-100257

    • DOI

      10.1016/j.measen.2021.100257

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [雑誌論文] The FDTD Analysis of Near-Field Response for Microgroove Structure With Standing Wave Illumination for the Realization of Coherent Structured Illumination Microscopy2021

    • 著者名/発表者名
      Guan Yizhao、Kume Hiromasa、Kadoya Shotaro、Michihata Masaki、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Journal of Manufacturing Science and Engineering

      巻: 144 号: 3

    • DOI

      10.1115/1.4051827

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [雑誌論文] In-Process Diameter Measurement Technique for Micro-Optical Fiber with Standing Wave Illumination2021

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Zheng Zhao、Funaiwa Daiki、Murakami Sojiro、Kadoya Shotaro、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 4 号: 1 ページ: 28-36

    • DOI

      10.1007/s41871-020-00081-4

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803, KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [雑誌論文] Advanced generation of functional dual-periodic microstructured surface based on optical in-process measurement2020

    • 著者名/発表者名
      Takahashi Satoru、Masui Shuzo、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: 69 号: 1 ページ: 477-480

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2020.04.076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [雑誌論文] Radial mode number identification on whispering gallery mode resonances for diameter measurement of microsphere2019

    • 著者名/発表者名
      Kobayashi Yumeki、Michihata Masaki、Zhao Zheng、Chu Bohuai、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 30 号: 6 ページ: 065201-065201

    • DOI

      10.1088/1361-6501/ab1241

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [雑誌論文] Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats2019

    • 著者名/発表者名
      Masui Shuzo、Torii Yuki、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 27 号: 22 ページ: 31522-31522

    • DOI

      10.1364/oe.27.031522

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18J21820, KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] In-process measurement for cure depth control of nano stereolithography using evanescent light2019

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 68 号: 1 ページ: 527-530

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2019.04.072

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] A new measurement method to simultaneously determine group refractive index and thickness of a sample using low-coherence tandem interferometry2019

    • 著者名/発表者名
      Winarno Agustinus、Takahashi Satoru、Matsumoto Hirokazu、Takamasu Kiyoshi
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 55 ページ: 254-259

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2018.09.013

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] マイクロスケール標準球計測に向けたWhispering gallery mode共振の安定的励起計測システムの開発2019

    • 著者名/発表者名
      MICHIHATA Masaki、KOBAYASHI Yumeki、CHU Bohuai、TAKAMASU Kiyoshi、TAKAHASHI Satoru
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集

      巻: 85 号: 880 ページ: 19-00226-19-00226

    • DOI

      10.1299/transjsme.19-00226

    • NAID

      130007772938

    • ISSN
      2187-9761
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [雑誌論文] Linewidth roughness of advanced semiconductor features using focused ion beam and planar-transmission electron microscope as reference metrology2018

    • 著者名/発表者名
      Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru、Kawada Hiroki、Ikota Masami
    • 雑誌名

      Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS

      巻: 17 号: 04 ページ: 1-1

    • DOI

      10.1117/1.jmm.17.4.041010

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Surface Imaging Technique by an Optically Trapped Microsphere in Air Condition2018

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Kim Jonggang、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Mizutani Yasuhiro、Takaya Yasuhiro
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 1 号: 1 ページ: 32-38

    • DOI

      10.1007/s41871-018-0004-0

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H04900, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] In-process Measurement of Gradient Boundary of Resin in Evanescent-wave-based Nano-stereolithography using Reflection Interference Near Critical Angle2018

    • 著者名/発表者名
      Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 雑誌名

      Journal of Photopolymer Science and Technology

      巻: 31 号: 3 ページ: 441-446

    • DOI

      10.2494/photopolymer.31.441

    • NAID

      130007481467

    • ISSN
      0914-9244, 1349-6336
    • 年月日
      2018-06-25
    • 言語
      英語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] Modified Linnik microscopic interferometry for quantitative depth evaluation of diffraction-limited microgroove2018

    • 著者名/発表者名
      Ye Shiwei、Takahashi Satoru、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 5 ページ: 054011-054011

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aab008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] Whispering Gallery Mode共振を用いたマイクロ球の直径計測2018

    • 著者名/発表者名
      MICHIHATA Masaki、CHU Bohuai、ZHAO Zheng、HAYASHI Kohei、TAKAMASU Kiyoshi、TAKAHASHI Satoru
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 84 号: 1 ページ: 77-84

    • DOI

      10.2493/jjspe.84.77

    • NAID

      130006301970

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 年月日
      2018-01-05
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Noncontact method of point-to-point absolute distance measurement using tandem low-coherence interferometry2018

    • 著者名/発表者名
      Winarno Agustinus、Masuda Shusei、Takahashi Satoru、Matsumoto Hirokazu、Takamasu Kiyoshi
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology

      巻: 29 号: 2 ページ: 025006-025006

    • DOI

      10.1088/1361-6501/aaa16e

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] In-Process Measurement of Thickness of Cured Resin in Evanescent-Wave-Based Nano-stereolithography Using Critical Angle Reflection2018

    • 著者名/発表者名
      Kong Deqing、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Nanomanufacturing and Metrology

      巻: 1 号: 2 ページ: 112-124

    • DOI

      10.1007/s41871-018-0013-z

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure2018

    • 著者名/発表者名
      Suzuki Yuki、Suzuki Kunikazu、Michihata Masaki、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 54 ページ: 353-360

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2018.07.004

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006, KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] Theoretical analyses of in-process depth measurements of fine microgrooves based on near-field optical response2017

    • 著者名/発表者名
      Takahashi S.、Jin C.、Ye S.、Michihata M.、Takamasu K.
    • 雑誌名

      CIRP Annals

      巻: 66 号: 1 ページ: 503-506

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2017.04.064

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Scanning dimensional measurement using laser-trapped microsphere with optical standing-wave scale2017

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Ueda Shin-ichi、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Takaya Yasuhiro
    • 雑誌名

      Optical Engineering

      巻: 56 号: 06 ページ: 064103-064103

    • DOI

      10.1117/1.oe.56.6.064103

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] A Simulation Study of Plasmonic Substrate for In-Process Measurement of Refractive Index in Nano-Stereolithography2017

    • 著者名/発表者名
      Michihata Masaki、Kong Deqing、Takamasu Kiyoshi、Takahashi Satoru
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 11 号: 5 ページ: 772-780

    • DOI

      10.20965/ijat.2017.p0772

    • NAID

      130007505873

    • ISSN
      1881-7629, 1883-8022
    • 年月日
      2017-09-05
    • 言語
      英語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Non-contact measurement technique for dimensional metrology using optical comb2016

    • 著者名/発表者名
      Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Measurement

      巻: 78 ページ: 381-387

    • DOI

      10.1016/j.measurement.2015.07.053

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Non-contact precision profile measurement to rough-surface objects with optical frequency combs2016

    • 著者名/発表者名
      Onoe Taro、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi、Matsumoto Hirokazu
    • 雑誌名

      Measurement Science Technology

      巻: 27 号: 12 ページ: 124002-124002

    • DOI

      10.1088/0957-0233/27/12/124002

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Calibration for the sensitivity of multi-beam angle sensor using cylindrical plano-convex lens2016

    • 著者名/発表者名
      Chen Meiyun、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 46 ページ: 254-262

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2016.05.004

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano- Stereolithography2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 雑誌名

      Procedia CIRP

      巻: 42 ページ: 77-80

    • DOI

      10.1016/j.procir.2016.02.192

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [雑誌論文] Multi-beam angle sensor for flatness measurement of mirror using circumferential scan technology2016

    • 著者名/発表者名
      Chen Meiyun、Takahashi Satoru、Takamasu Kiyoshi
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: 17 号: 9 ページ: 1093-1099

    • DOI

      10.1007/s12541-016-0133-6

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Development of high-precision micro-roundness measuring machine using a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Meiyun Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 42 ページ: 276-282

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2015.05.009

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第4報)2015

    • 著者名/発表者名
      工藤良太, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 81 号: 7 ページ: 684-691

    • DOI

      10.2493/jjspe.81.684

    • NAID

      130005084685

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究 (第3報)2015

    • 著者名/発表者名
      工藤良太, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌

      巻: 81 号: 6 ページ: 562-569

    • DOI

      10.2493/jjspe.81.562

    • NAID

      130005074035

    • ISSN
      0912-0289, 1882-675X
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Concept for laser-assisted nano removal beyond the diffraction limit using photocatalyst nanoparticles2015

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, Y. Horita, F. Kaji, Y. Yamaguchi, M. Michihata, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 未定 号: 1 ページ: 201-204

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2015.04.041

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Verification of the positioning accuracy of industrial coordinate measuring machine using optical-comb pulsed interferometer with a rough metal ball targetOriginal Research Article2015

    • 著者名/発表者名
      Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Precision Engineering 41

      巻: 41 ページ: 63-67

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2015.01.007

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] レーザー集光点近傍における光触媒反応を利用した三次元微細構造創製に関する研究2015

    • 著者名/発表者名
      堀田陽亮,吉越久倫,松田恵介,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 雑誌名

      日本機械学会論文集

      巻: 81 号: 832 ページ: 15-00309-15-00309

    • DOI

      10.1299/transjsme.15-00309

    • NAID

      130005118095

    • ISSN
      2187-9761
    • 言語
      日本語
    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Performance evaluation of a coordinate measuring machine’s axis using a high-frequency repetition mode of a mode-locked fiber laser2014

    • 著者名/発表者名
      Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 15 (8)

      巻: 15 (8) 号: 8 ページ: 1507-1512

    • DOI

      10.1007/s12541-014-0498-3

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control2014

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, H. Yokozeki, D. Fujii, R. Kudo, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 63 号: 1 ページ: 465-468

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2014.03.035

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Profile measurement of aspheric surfaces using scanning deflectometry and rotating autocollimator with wide measuring range2014

    • 著者名/発表者名
      Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology 25 (6)

      巻: 25 (6) 号: 6 ページ: 0640081-7

    • DOI

      10.1088/0957-0233/25/6/064008

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630087, KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [雑誌論文] Fabrication and Composition Control of Three-Dimensional Dielectric Metal Microstructure Using Photocatalyst Nanoparticles2014

    • 著者名/発表者名
      Hisamichi Yoshigoe, Shotaro Kadoya, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Automation Technology

      巻: 8(4) ページ: 523-529

    • NAID

      130007674071

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [雑誌論文] Lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects detection2014

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Advanced Optical Technologies

      巻: 3(4) 号: 4 ページ: 425-433

    • DOI

      10.1515/aot-2014-0030

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [雑誌論文] Random error analysis of profile measurement of large aspheric optical surface using scanning deflectometry with rotation stage Original Research Article2013

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Precision Engineering 37, No.3 (2013)

      巻: 37 号: 3 ページ: 599-605

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2013.01.005

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Study on nano thickness inspection for residual layer of nanoimprint lithography using near-field optical enhancement of metal tip2013

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, Y. Ikeda, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology 62 (2013) 527–530

      巻: 62 号: 1 ページ: 527-530

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2013.03.020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [雑誌論文] Spatial positioning measurements up to 150 m using temporal coherence of optical frequency comb Original Research Article2013

    • 著者名/発表者名
      Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Precision Engineering 37, No.3 (2013)

      巻: 37 号: 3 ページ: 635-639

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2013.01.008

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
  • [雑誌論文] Fundamental study on nanoremoval processing method for microplastic structures using photocatalyzed oxidation2012

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523-524 ページ: 610-614

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.610

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [雑誌論文] Development of a non-contact precision measurement technique using optical frequency combs2012

    • 著者名/発表者名
      Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523-524 ページ: 877-882

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.877

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
  • [雑誌論文] Sub-Nanometer Line Width and Line Profile Measurement Using STEM Images with Metal Coating2012

    • 著者名/発表者名
      Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523-524 ページ: 957-960

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.957

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] New Non-contact Measurement of Small Inside-diameter Using Tandem Low-coherence Interferometer and Optical Fiber Devices2012

    • 著者名/発表者名
      Kenta Matsui, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 523-524 ページ: 871-876

    • DOI

      10.4028/www.scientific.net/kem.523-524.871

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
  • [雑誌論文] Submicrometer thickness layer fabrication for layer-by-layer microstereolithography using evanescent light2012

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, Y. Kajihara, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 61 号: 1 ページ: 219-222

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2012.03.069

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23246028, KAKENHI-PROJECT-24686006
  • [雑誌論文] Space position measurement using long-path heterodyne interferometer with optical frequency comb2012

    • 著者名/発表者名
      Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 20 号: 3 ページ: 2725-2732

    • DOI

      10.1364/oe.20.002725

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
  • [雑誌論文] Influence of standing wave phase error on super-resolution optical inspection for periodic microstructures2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Meas. Sci. Technol.

      巻: 23 号: 5 ページ: 0540071-13

    • DOI

      10.1088/0957-0233/23/5/054007

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [雑誌論文] Nanometer profile measurement of large aspheric optical surface by scanning deflectometry with rotatable devices: Uncertainty propagation analysis and experiments2012

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 36 号: 1 ページ: 91-96

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2011.07.012

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
  • [雑誌論文] Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry2012

    • 著者名/発表者名
      AgustinusWinarno, Satoru Takahashi, AkikoHirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Meas. Sci. Technol.

      巻: 23 号: 12 ページ: 1250011-8

    • DOI

      10.1088/0957-0233/23/12/125001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656175
  • [雑誌論文] Height measurement of single nanoparticles based on evanescent field modulation2012

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Kurihara, Ryuichi Sugimoto, Ryota Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Nanomanufacturing

      巻: 8 号: 5/6 ページ: 419-430

    • DOI

      10.1504/ijnm.2012.051105

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Absolute Measurement of Baselines up to 403 m Using Heterodyne Temporal Coherence Interferometer with Optical Frequency Comb2012

    • 著者名/発表者名
      Narin Chanthawong ,Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY

      巻: 23 号: 5 ページ: 0540031-6

    • DOI

      10.1088/0957-0233/23/5/054003

    • NAID

      10030593263

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Super resolution optical measurements of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave2011

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, R. Kudo, S. Usuki, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 60 ページ: 523-526

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [雑誌論文] Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy2011

    • 著者名/発表者名
      Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 35 号: 4 ページ: 686-692

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2011.05.001

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Super resolution optical measurements of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave2011

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, R. Kudo, S. Usuki, K. Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals - Manufacturing Technology

      巻: 60 号: 1 ページ: 523-526

    • DOI

      10.1016/j.cirp.2011.03.053

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016, KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [雑誌論文] Time-of-flight method using multiple pulse train interference as a time recorder2011

    • 著者名/発表者名
      Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 19(6) ページ: 4881-4889

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Development of high-precision micro-coordinate measuring machine: Multi-probe measurement system for measuring yaw and straightness motion error of XY linear stage2011

    • 著者名/発表者名
      Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
    • 雑誌名

      Precision Engineering

      巻: 35 号: 3 ページ: 424-430

    • DOI

      10.1016/j.precisioneng.2011.01.004

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Theoretical Analysis of Length Measurement Using Interference of Multiple Pulse Trains of a Femtosecond Optical Frequency Comb2011

    • 著者名/発表者名
      Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 50(2)

    • NAID

      40018283309

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Simulation-Based Analysis of Influence of Error on Super-Resolution Optical Inspection2011

    • 著者名/発表者名
      Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Int.J.of Automation Technology

      巻: 5(2) ページ: 167-172

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Laser direct fabrication of three-dimensional microstructures using photocatalyst nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi, Keisuke Matsuda, Hisamichi Yoshigoe, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of CIRP-HPC 1

      ページ: 381-384

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: 11,6 ページ: 811-815

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-Assisted Three-Dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 11, 6

      ページ: 811-815

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Development of In-process Visualization System for Laser-assisted Three-dimensional Microfabrication using Photocatalyst Nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

      巻: 11(6) ページ: 811-815

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] A novel resist surface profilometer for next-generation photolithography using mechano-optical arrayed probe system2010

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, K.Watanabe, K.Takamasu
    • 雑誌名

      CIRP Annals-Manufacturing Technology

      巻: 59 ページ: 521-524

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] A Multi-probe Measurement Method to Evaluate the Yaw and Straightness Errors of XY Stage on High Precision CMM2010

    • 著者名/発表者名
      Ping Yang, Shusaku Shibata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 447-448 ページ: 590-594

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Optical Devices-Error Analysis and Pre-experiment-2010

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 447-448 ページ: 604-608

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Laser direct fabrication of three-dimensional microstructures using photocatalyst nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi, Keisuke Matsuda, Hisamichi Yoshigoe, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of CIRP-HPC

      巻: 1 ページ: 381-384

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Uncertainty Estimation in Intelligent Coordinate and Profile Measurement2010

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Xin Chen
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials

      巻: 447-448 ページ: 564-568

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [雑誌論文] Study on resist layer thickness measurement for nanoimprint lithography based on near-field optics2009

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Minamiguchi, T. Nakao, S. Usuki, K. Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal Surface Science and Engineering (印刷中(掲載確定))

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Novel laser applications to 3-D micromachining and high-resolution measurement for micor/nano-manufacturing2009

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Jsme News -Surface Engineering and Science- 20, 2

      ページ: 8-11

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles2009

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of ASPEN2009

      巻: 206

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles2009

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Matsuda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of ASPEN 2009,2C6

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Novel laser applications to 3-D micromachining and high-reso lution measurement for micor/nano-manufacturing2009

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Jsme News -Surface Engineering and Science-

      巻: 20, 2 ページ: 8-11

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2008

    • 著者名/発表者名
      S. Liu, K. Watanabe, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 381-382

      ページ: 407-410

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] Development of an in-process confocal positioning system for nano-stereolithography using evaenscent light2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Kajihara, T.Takeuchi, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9, 3

      ページ: 51-54

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第2報)-定在は照明シフト実験による解像原理の実験的検証-2008

    • 著者名/発表者名
      臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 74,6(掲載確定・印刷中)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第1報)-解像特性の理論的検討-2008

    • 著者名/発表者名
      臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 74,5(掲載確定・印刷中)

    • NAID

      110006668363

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] Evanescent light photopolymerization and measurement of cure depth in nanostereolithography2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, Y. Inazuki, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 92

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2008

    • 著者名/発表者名
      S.Liu, K.Watanabe, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Key Emgineering Materials 381-382

      ページ: 407-410

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] Evanescent light photopolymerization and measurement of cure depth in nanostereolithography2008

    • 著者名/発表者名
      Y.Kajihara, Y.Inazuki, T.Takeuchi, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters 92

      ページ: 931201-3

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] Development of an in-process confocal positioning system for nano-stereolithography using evaenscent light2008

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 雑誌名

      International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 9,3

      ページ: 51-54

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Theoretical and numerical analysis of lateral resolution improvement characteristics for fluorescence microscopy using standing evanescent light with image retrieval2008

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki and K Takarnagu
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology 19

      ページ: 84006-84006

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [雑誌論文] Theoretical and numerical analysis of lateral resolution improvement characteristics for fluorescence microscopy using standing evanescent light with image retrieval2008

    • 著者名/発表者名
      S Takahashi, S Okada, H Nishioka, S Usuki and K Takamasu
    • 雑誌名

      Measurement Science and Technology 19(掲載確定・印刷)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] Study on Nano-Stereolithography Using Evanescent Light (2nd report)-Photofabrication of Fine Lattice Structures Using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Kajihara, Yuichi Inazuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Journal of Japan Society for Precision Engineering 73,8

      ページ: 934-939

    • NAID

      110006368886

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] ナノ・マイクロファブリケーションにおける機能表面の先端光計測技術2007

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      トライボロジー 234

      ページ: 19-21

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第3報)-離散的サンプルを用いた解像特性の実験的検討-2007

    • 著者名/発表者名
      臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 芝浦

      ページ: 353-354

    • NAID

      130005028470

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形疾に関する研究(第2報)一定在エバネッセント光を利用2007

    • 著者名/発表者名
      幌原 優介, 稲月 友一, 高橋 哲, 高増 潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,8

      ページ: 934-939

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] 近接場光を用いたナノインプリント残膜測定法に関する研究(第2報)-残膜計測メカニズムの検討-2007

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 南口修一, 中尾敏之, 臼杵深, 高増潔
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 芝浦

      ページ: 301-302

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)-定在エバネッセント光を利用2007

    • 著者名/発表者名
      梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      精密工学会誌 73,8

      ページ: 934-939

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第3報)-解像特性の理論的検討-2007

    • 著者名/発表者名
      岡田真一, 西岡宏晃, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 芝浦

      ページ: 351-352

    • NAID

      130005028469

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] A Super-Resolution Microscopy with Standing Evanescent Light and Image Reconstruction Method2006

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Nishioka, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Proc. of IMEKO XVIII World Congress 12

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] Development of super-resolution optical inspection system for semiconductor defects using standing wave illumination shift2006

    • 著者名/発表者名
      S.Usuki, H.Nishioka, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Proc.of SPIE Vol. 6375

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第1報)-欠陥検出特性の検討2006

    • 著者名/発表者名
      臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 268-269

    • NAID

      130005027136

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第2報)-エバネッセント光散乱結像装置の開発-2006

    • 著者名/発表者名
      岡田真一, 西岡宏晃, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 宇都宮

      ページ: 169-170

    • NAID

      130004658005

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [雑誌論文] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第2報)-定在波照明シフ卜による変調散乱光検出実験-2006

    • 著者名/発表者名
      臼杵深, 西岡宏晃, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 宇都宮

      ページ: 171-172

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第6報)-ナノ光造形装置による三次元造形-2006

    • 著者名/発表者名
      梶原優介, 武内徹, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 東京電機

      ページ: 773-774

    • NAID

      130005027597

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] 近接場光を用いたナノインプリント残膜測定法に関する研究(第1報)-膜厚変化に対する近接場光応答特性の解析-2006

    • 著者名/発表者名
      南口修一, 臼杵深, 中尾敏之, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 宇都宮

      ページ: 187-188

    • NAID

      130004658015

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] Computer Simulation of Nano-Void Inspection in Low-k Dielectric Materials2005

    • 著者名/発表者名
      S.Usuki, T.Nakao, S.Takahashi, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of the 5th International Conference and 7th General Meeting of the european society for precision engineering and nanotechnology Montpellier

      ページ: 85-88

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報)-三次元造形における分解能制御の検討-2005

    • 著者名/発表者名
      稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 慶応

      ページ: 39-40

    • NAID

      130004657419

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第5報)-ナノ光造形装置の試作と基本機能の検証-2005

    • 著者名/発表者名
      梶原優介, 武内徹, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      ページ: 1001-1002

    • NAID

      130004656647

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] ナノ・マイクロファブリケーションにおける光学的計測技術のアプローチ2005

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 三好隆志
    • 雑誌名

      日本機械学会誌 108(1040)

      ページ: 537-539

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] 暗視野エバネッセント照明による回路パターン付きSiウエハ表面異物欠陥検出法に関する研究(第4報)-擬似回路パターン表面上付着欠陥試料を用いたエバネッセント照明条件の検討-2005

    • 著者名/発表者名
      吉岡淑江, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 慶応

      ページ: 1043-1044

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection2005

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi
    • 雑誌名

      Key Engineering Materials 295-296

      ページ: 15-20

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報) -三次元造形における分解能制御の検討-2005

    • 著者名/発表者名
      稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 慶応

      ページ: 39-40

    • NAID

      130004657419

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] 近接場光学を用いた半導体デバイスLow-k材のnano-void計測2005

    • 著者名/発表者名
      中尾敏之, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      ページ: 489-490

    • NAID

      130004656999

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用した微細加工および高分解能計測2005

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会シンポジウム資料 京都

      ページ: 33-38

    • NAID

      10016122999

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] エバネッセント光を用いた微小構造造形2005

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 梶原優介, 高増潔
    • 雑誌名

      第63回レーザ加工学会講演論文集 大阪

      ページ: 162-168

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用した微細加工および高分解能計測2005

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会シンポジウム資料 京都

      ページ: 33-38

    • NAID

      10016122999

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] ナノ光造形法への新しいレーザー応用技術2005

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 梶原優介, 高増潔
    • 雑誌名

      成形加工 17(3)

      ページ: 161-166

    • NAID

      10016675506

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] Development of an Evanescent Light Measurement System for Si Wafer Microdefect Detection2005

    • 著者名/発表者名
      S.TAKAHASHI, R.NAKAJIMA, T.MIYOSHI, Y.TAKAYA, K.TAKAMASU
    • 雑誌名

      Measurement Technology and Intelligent Instruments VI, Key Engineering Materials 295-296

      ページ: 15-20

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] 定在エバネッセント光による超解像顕微法の提案2005

    • 著者名/発表者名
      西岡宏晃, 高橋 哲, 高増 潔
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 京都

      ページ: 487-488

    • NAID

      130004656998

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] Photofabrication of Periodic submicron structures using standing evanescent light for Nano-Stereolithography2005

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, Y.Inazuki, Y.Kajihara, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of the 20th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Norfolk

      ページ: 371-374

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第2報)-積層プロセスの検討-2004

    • 著者名/発表者名
      梶原優介, 稲月友一, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 島根

      ページ: 941-942

    • NAID

      130004655839

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] プラズモン共鳴を用いた半導体基板上異物検出法に関する研究2004

    • 著者名/発表者名
      中尾敏之, 臼杵深, 高橋哲, 三好隆志, 高谷裕浩, 高増潔
    • 雑誌名

      2004年度砥粒加工学術講演会講演論文集 滋賀

      ページ: 209-210

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第1報)-定在エバネッセント強度分布の適用-2004

    • 著者名/発表者名
      稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 東京

      ページ: 1285-1286

    • NAID

      130004656593

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第3報)-回路パターンが欠陥検出に及ぼす影響の理論的検討-2004

    • 著者名/発表者名
      吉岡淑江, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 島根

      ページ: 1003-1004

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] Study of Nano-Stereolithography Using Evaenscent Light2004

    • 著者名/発表者名
      Yusuke Kajihara, Yuichi Inazuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 雑誌名

      Proceedings of the 19th American Society for Precision Engineering Annual Meeting Vol.34

      ページ: 149-152

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第3報)-定在エバネッセント強度分布制御法の確立-2004

    • 著者名/発表者名
      稲月友一, 梶原優介, 高橋哲, 高増潔
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 島根

      ページ: 943-944

    • NAID

      130004655840

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16656049
  • [雑誌論文] Nano-defects inspection of semiconductor wafer using evanescent wave2004

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi, R.Nakajima, T.Miyoshi, Y.Takaya, T.Yoshioka, T.Hariyama, K.Kimura, T.Nakao, K.Takamasu
    • 雑誌名

      Proc.of International Symposium on Photonics in Measurement Frankfurt

      ページ: 307-316

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [雑誌論文] Study on Particle Detection for Patterned Wafers by Evanescent Light Illumination2004

    • 著者名/発表者名
      T.Yoshioka, T.Miyoshi, Y.Takaya, S.Takahashi
    • 雑誌名

      Proc.of 4^<th> euspen International Conference Glasgow

      ページ: 338-339

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16686009
  • [産業財産権] レーザ加工装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法2023

    • 発明者名
      高橋哲、鷲尾涼太、門屋祥太郎、道畑正岐、増井周造
    • 権利者名
      高橋哲、鷲尾涼太、門屋祥太郎、道畑正岐、増井周造
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [産業財産権] レーザ加工装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法2023

    • 発明者名
      高橋哲、鷲尾涼太、増田秀征、増井周造、門屋祥太郎、道畑正岐
    • 権利者名
      高橋哲、鷲尾涼太、増田秀征、増井周造、門屋祥太郎、道畑正岐
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2023
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [産業財産権] 母型の製造方法2016

    • 発明者名
      高橋哲,鈴木裕貴,鈴木邦和,道畑正岐,高増潔,田中大直,西村涼
    • 権利者名
      東京大学,JXエネルギー株式会社
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2016-08-17
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [産業財産権] 照明装置および顕微観察装置2013

    • 発明者名
      高橋哲,高増潔,工藤良太,臼杵深
    • 権利者名
      東京大学
    • 出願年月日
      2013-02-25
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [産業財産権] 照明装置および顕微観察装置2013

    • 発明者名
      高橋哲,高増潔,工藤良太,臼杵深
    • 権利者名
      高橋哲,高増潔,工藤良太,臼杵深
    • 産業財産権種類
      特許
    • 出願年月日
      2013-02-25
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [産業財産権] 顕微観察装置2012

    • 発明者名
      高橋哲,工藤良太,高増潔
    • 権利者名
      東京大学
    • 産業財産権番号
      2012-178326
    • 出願年月日
      2012-08-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [産業財産権] 顕微観察装置2012

    • 発明者名
      高橋哲,工藤良太,高増潔
    • 権利者名
      高橋哲,工藤良太,高増潔
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2012-178326
    • 出願年月日
      2012-08-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [産業財産権] 形状形成方法2010

    • 発明者名
      高橋哲, 高増潔
    • 権利者名
      高橋哲, 高増潔
    • 出願年月日
      2010-10-08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [産業財産権] 移動システム2005

    • 発明者名
      高増潔, 高橋哲, 小谷潔, 大和淳司
    • 権利者名
      高増潔, 高橋哲, 小谷潔, 大和淳司
    • 産業財産権番号
      2005-134471
    • 出願年月日
      2005-05-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] ウォータガイドレーザによる超高アスペクト比微細穴加工に関する研究(第2報) -レーザパルス由来のジェット乱れの発見と高品質加工への応用-2023

    • 著者名/発表者名
      鷲尾涼太,宇井象一 ,大澤真悠子,増井周造,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋哲
    • 学会等名
      2023年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [学会発表] ウォータガイドレーザ加工現象のインプロセス観察に関する研究 -被削材内部の加工現象の高速顕微観察-2023

    • 著者名/発表者名
      宇井象一, 大澤真悠子, 鷲尾涼太, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲
    • 学会等名
      2023年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [学会発表] ウォータガイドレーウォータガイドレーザ加工による機能表面の創製に関する研究(第3報)-サンプル沈水加工法による表面構造創製メカニズムの検討-2023

    • 著者名/発表者名
      大澤真悠子,宇井象一,鷲尾涼太、門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2023年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [学会発表] Super resolution optical measurement for functional microstructures beyond the diffraction limit2023

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      15th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII) 2023
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18668
  • [学会発表] Challenge of advanced optical technology beyond the diffraction limitfor nano/micro manufacturing2023

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The China-Japan International Conference on Ultra-Precision Machining Process (CJUMP) 2023
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18668
  • [学会発表] Near-field Phase Analysis of Periodic Microgroove Structure for Metasurface Design based on FDTD Simulation2022

    • 著者名/発表者名
      管一兆,増井周造,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋哲,岩見健太郎,稲秀樹
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] Optical Depth Measurement for Microgrooves: A Self-interferometry Method based on Near-field Polarization Analysis2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Guan. S.Masui, S. Kadoya, M. Michihata and S. Takahashi
    • 学会等名
      Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] PROPOSAL AND FUNDAMENTAL VERIFICATION OF OPTICAL DEPTH MEASUREMENT FOR PERIODIC FINE STRUCTURES2022

    • 著者名/発表者名
      Shotaro Kadoya, Yizhao Guan,Shiwei Ye, Yosho Kanda, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      the 2022 International Symposium on Flexible Automation, ISFA2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第6報)-機械学習による画像再構成における最適教師データの検討-2022

    • 著者名/発表者名
      門屋祥太郎,市川廉,増井周造,西川正俊,道畑正岐,高橋哲
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] コヒーレント結像型構造照明顕微法における機械学習を用いた画像再構成の基礎的検討2022

    • 著者名/発表者名
      友藤康司,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋哲
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第8報) ーストレプトアビジン,ビオチン相互作用を用いたマイクロ粒子接着ー2022

    • 著者名/発表者名
      増井 周造, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 小阪 高広, 山口 哲志, 岡本 晃充, 高橋 哲
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21913
  • [学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第11報) ー空間光位相変調による液相プローブ高感度検出ー2022

    • 著者名/発表者名
      管 一兆, 増井 周造, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
    • 学会等名
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18668
  • [学会発表] Fabrication of functional surface using water jet guided laser processing -Observation of lateral intensity distribution in water jet-2022

    • 著者名/発表者名
      Mayuko Osawa, Shusei Masuda, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE) 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [学会発表] ウォーターガイドレーザ加工法のガイドウォータ光学特性2022

    • 著者名/発表者名
      鷲尾涼太,増田秀征,増井周造,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      第14回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [学会発表] ウォータガイドレーザ加工による機能表面の創製に関する研究(第2報)-水中加工法の提案-2022

    • 著者名/発表者名
      大澤真悠子,増田秀征,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2022 年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22643
  • [学会発表] Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: highly sensitive observation system using phase-contrast microscopy with a spatial light modulator2022

    • 著者名/発表者名
      Yizhao Guan, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata and Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The 11th Global Conference on Materials Science and Engineering (CMSE 2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18668
  • [学会発表] The FDTD analysis for dark field in-process depth measurements of fine microgrooves2021

    • 著者名/発表者名
      Yizho Guan, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      XXIII World Congress of the International Measurement Confederation
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第7報) ーマイクロレジン液滴の硬化モニタリングー2021

    • 著者名/発表者名
      増井 周造, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21913
  • [学会発表] 半導体レーザと外部共振器機構を用いた高精度長さ計測(第1報) -計測手法提案-”2021

    • 著者名/発表者名
      合田周平,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [学会発表] Optical adhesion of photocurable emulsion droplets using laser trapping2021

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Wakana Endo, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      SPIE Optics + Photonics 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21913
  • [学会発表] 回折限界以下の微細溝の光学的非破壊深さ計測2021

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      第 31 回三次元工学シンポジウム「三次元工学の新潮流」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] The FDTD analysis of near-field response for microgroove structure with standing wave illumination for the realization of coherent structured illumination microscopy2021

    • 著者名/発表者名
      Yizhao Guan, Masahiro Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference 60409
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究(第1報) -二平面間の距離測定-2021

    • 著者名/発表者名
      加藤千聖,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [学会発表] Challenge of nano optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing2021

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18668
  • [学会発表] Challenge of nano optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing2021

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21913
  • [学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第5報) ―アノード酸化Al基板による構造照明特性の解析―2021

    • 著者名/発表者名
      市川廉,増井周造,久米大将,西川正俊,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋哲
    • 学会等名
      2021 年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第4報) ーディープラーニングによる再構成能力の評価ー2021

    • 著者名/発表者名
      市川 廉, 増井 周造, 久米 大将, 西川 正俊, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] Challenge of nano optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing2021

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      The 7th International Conference on Nanomanufacturing
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] The FDTD analysis for diffraction limited microgroove structure with standing wave illumination for the realization of coherent structured illumination microscopy2021

    • 著者名/発表者名
      Yizhao Guan, Masahiro Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      Optics and Photonics International Congress 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2021

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [学会発表] 定在波照明における微細開口の近接場光応答解析(第2報)The FDTD analysis of near-field response for microgroove structure with standing wave illumination ーThe relationship of microgroove depth and near-field phase responseー2021

    • 著者名/発表者名
      管 一兆, 久米 大将, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2021

    • 著者名/発表者名
      村上宗二朗,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [学会発表] Study on non-destructive optical depth measurement of periodic micro-structured surfaces beyond diffraction limit2020

    • 著者名/発表者名
      Yosho Kanda, Hiromasa Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      18th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] コヒーレント結像型SIM実現を目指した微細構造表面のFDTD光学応答解析2020

    • 著者名/発表者名
      管 一兆, 久米 大将, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
    • 学会等名
      日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法2020

    • 著者名/発表者名
      神田 曜昭, 久米 大将, 門屋 祥太郎, 道畑 正岐, 高橋 哲
    • 学会等名
      第45回光学シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第6報) -光放射圧遠隔操作による一体化連結構造の創成-2020

    • 著者名/発表者名
      圓道和奏,増井周造,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋哲
    • 学会等名
      2021年度春期精密工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21913
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小級の直径計測(第14報) -WGM光強度分布センシングのためのガラスプローブ先端形状の検討-2020

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第3報) -サブマイクロ光ファイバの計測のための測定原理の拡張-2020

    • 著者名/発表者名
      村上宗二郎,門屋祥太郎,道畑正岐,高橋 哲
    • 学会等名
      2021年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H02040
  • [学会発表] Spatial-frequency-based evaluation of image reconstruction by structured-illumination microscopy with deep learning2020

    • 著者名/発表者名
      Ren Ichikawa, Hiromasa Kume, Masatoshi Nishikawa, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      18th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第13報) -光損失が共振波長に及ぼす影響の検討-2020

    • 著者名/発表者名
      劉 羽辛,門屋祥太郎,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Nano Optical Measurement for Next-Generation Nano/Micro Manufacturing based on Localized Light Energy Control2020

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      SPIE OPIC OPTM2020 : SPIE Conferences at Optics & Photonics International Congress 2020 Optical Technology and Measurement for Industrial Applications
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測(第2報) -計測精度改善の検討-2019

    • 著者名/発表者名
      船岩大輝,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] System development for microsphere measurement based on whispering gallery mode resonance2019

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yumeki Kobayashi, Bohuai Chu, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMQC2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Coherent optical microscopy for micro-structured surface inspection beyond diffraction limit2019

    • 著者名/発表者名
      Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] 定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査2019

    • 著者名/発表者名
      久米大将,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] In-process measurement technique of micro-fiber diameter with interfered scattering pattern of two beam irradiation2019

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Zheng Zhao, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] A novel optical super-resolution microscopy for coherent imaging system for micro-structured surface inspection2019

    • 著者名/発表者名
      Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      19th international conference of the european society for precision engineering and nanotechnology (euspen 2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] Linewidth and Roughness Measurement of SAOP by Using FIB and Planer-TEM as Reference Metrology2019

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Stefan Decoster, Frederic Lazzarino, Gian Lorusso
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 2光束照明における光散乱検出に基づくマイクロ光ファイバー直径計測の基礎的研究2019

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,趙 正,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      日本機械学会 2019年度年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Fabrication of dual-periodic nanostructures with multi-exposure interference lithography using Lloyd’s mirror2019

    • 著者名/発表者名
      S. Masui, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
    • 学会等名
      8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology(ASPEN2019)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Numerical analysis of near-field light intensity of whispering gallery mode on microsphere surface with SNOM probe2019

    • 著者名/発表者名
      Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      OPTM2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] 微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第2報)-ディープラーニングによる再構成能力の評価-2019

    • 著者名/発表者名
      市川廉,久米大将,道畑正岐,高増潔,高橋哲,西川正俊
    • 学会等名
      2020年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19H02036
  • [学会発表] Sensing near-field light distribution for microsphere measurement based on whispering gallery mode2019

    • 著者名/発表者名
      Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII2019
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] 光共振損失を用いたSPMプローブチップ評価に関する研究2019

    • 著者名/発表者名
      津田信道,儲 博懐,増井周造,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度精密工学会学術講演会春季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第5報) -マイクロレジンの空間位置制御によるマイクロ粒子アセンブリ-2019

    • 著者名/発表者名
      福井 健太, 増井 周造, 道畑 正岐, 高増 潔, 高橋 哲
    • 学会等名
      2020年度春期精密工学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K21913
  • [学会発表] 光共振を利用したマイクロ球形状のナノ精度計測2019

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,小林夢輝,趙 正,儲 博懐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      レーザー学会第39回年次大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      17th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Improvement of quantitative depth evaluation for diffraction-limited microgroove using LED light source2018

    • 著者名/発表者名
      Ye Shiwei, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Analyzing tapered fiber - microsphere coupling for diameter measurement of microsphere using whispering gallery mode resonance2018

    • 著者名/発表者名
      Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      International Conference on Precision Engineering (ICPE) 2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Analysing Tapered Fiber-Microsphere Coupling for Diameter Measurement of Microsphere Using Whispering Gallery Mode Resonance2018

    • 著者名/発表者名
      Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control2018

    • 著者名/発表者名
      Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第3報)-FDTD法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明-2018

    • 著者名/発表者名
      古谷成康,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2018 年度精密工学会秋季大会学術講演会,函館,2018
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Self-Calibration Method of Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface2018

    • 著者名/発表者名
      Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Basic Study on Laser Additive Processing for Nanostructures Based on Optical Trapping Potential2018

    • 著者名/発表者名
      Masahiro Hayashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Scattered Field Analysis for Diameter Measurement of Tapered Optical Fiber Under Counter-Propagating-Beam Illumination2018

    • 著者名/発表者名
      Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Investigation of super-resolution microscopy by use of a nano-patterned substrate2018

    • 著者名/発表者名
      Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] In-Process Measurement of Resin's Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle2018

    • 著者名/発表者名
      D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
    • 学会等名
      XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第 4 報)一定在波制御によるマイクロ粒子整列・搬送に関する研究一2018

    • 著者名/発表者名
      藤原和,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2019年度精密工学会春季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第 3 報)一FDTD 法によるマイクロ粒子の整理駆動現象の解明一2018

    • 著者名/発表者名
      古谷成康,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Line Width Roughness of Advanced Semiconductor Features by Using FIB and Planar-TEM as Reference Metrology2018

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography, San Jose, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Whispering gallery mode 共振を用いたマイクロ球径計測 -比較計測による計測精度評価-2018

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,小林夢輝,儲 博懐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      第12回日本機械学会生産加工・工作機械部門講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第11報) -共振波長解析に基づく半径モード番号の推定-2018

    • 著者名/発表者名
      小林夢輝,趙 正,儲 博懐,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2018年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Improvement of Quantitative Depth Evaluation for Diffraction-Limited Microgroove Using LED Light Source2018

    • 著者名/発表者名
      Ye Shiwei1, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第2 報)-界面近接光波の任意制御によるマイクロ粒子整理・搬送システムの検討-,2018

    • 著者名/発表者名
      古谷成康,増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2018 年度精密工学会春季大会学術講演会,中央大学,2018,P33
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] 臨界角照明を用いたナノ光造形硬化樹脂のインプロセス計測(基本原理の検証)2018

    • 著者名/発表者名
      道畑正岐,孔徳卿,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      日本機械学会 2018年度年次大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Development of a Laser Tracker Using Absolute Length Measurement Technique by an Optical Comb Pulsed Interferometer2018

    • 著者名/発表者名
      Shusei Masuda, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] In-Process Measurement of Resin’s Curing Degree in Micro-Stereolithography Using Internal Reflection at Critical Angle2018

    • 著者名/発表者名
      D. Kong, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
    • 学会等名
      XXII World Congress of the International Measurement Confederation (IMEKO 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製(第2 報)-サブ波長表面構造の造形と光学特性評価-,2018

    • 著者名/発表者名
      増井周造,鈴木裕貴,道畑正岐,高増潔,高橋哲,柴沼俊彦,田中大直
    • 学会等名
      2018 年度精密工学会春季大会学術講演会,中央大学,2018,K08
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Ultra high precision diameter measurement of a microsphere based on whispering gallery mode resonances2018

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bouhai Chu, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The 1st JSPE affiliate workshop -Metrology and measurement
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] WGM共振を利用した微小球の直径計測(第12報) -共振波長計測安定化に向けた測定装置の高度化-2018

    • 著者名/発表者名
      小林夢輝,儲 博懐,道畑正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2018年度精密工学会学術講演会秋季大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K18803
  • [学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] In-Situ Measurement of the Refractive Index and Geometrical Length for Determining the Location of Optical Part Using a Tandem Low-Coherence Interferometry2018

    • 著者名/発表者名
      Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control2018

    • 著者名/発表者名
      Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      17th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Basic Study on Cell-in-Microfactory System with Localized Light Control - Analysis on handling performance of microparticles based on near-surface light wave -2018

    • 著者名/発表者名
      Seiko Furuya, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      17th International Conference on Precision Engineering (ICPE 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Investigation of Super-Resolution Microscopy by Use of a Nano-Patterned Substrate2018

    • 著者名/発表者名
      Ryoko Sakuma, Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Fabrication of Functional Subwavelength Structured Surface Using Evanescent Wave Interference Lithography2018

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Toshihiko Shibanuma, Hironao Tanaka, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2018, 17th International Conference on Precision Engineering. Kamakura, Japan
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製(第 3 報)一うなりによる干渉強度分布の変調特性検討一2018

    • 著者名/発表者名
      増井周造,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製(第1 報)-RCWA 法を用いた光学特性解析-,2017

    • 著者名/発表者名
      増井周造,鈴木裕貴,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      -,2017 年度精密工学会秋季大会学術講演会,大阪大学,2017,L23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
    • 学会等名
      Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2017)
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2017-05-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      CLEO2017, San Jose, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] High sensitive and super resolution optical inspection of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave2017

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Non-Contact Remote Measurement of Internal Distance Between Two Plane Mirrors by Using a Tandem Low-Coherence Interferometer2017

    • 著者名/発表者名
      Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo
    • 学会等名
      ASPEN/ASPE 2017, Spring Topical Meeting Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Accuracy Evaluation of Optical Comb Probe for Coordinate Measuring Machines Verification2017

    • 著者名/発表者名
      Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第27報)-エバネッセント光による面内形状制御性の解析-2017

    • 著者名/発表者名
      松本侑己,鈴木裕貴,道畑正岐,高増潔,高橋哲,工藤宏人
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Precision Profile Measurement for Small Aspheric Optical Surface by an Multi-beam Angle Sensor2017

    • 著者名/発表者名
      Jumpei Miyachi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Double Imaging Micro-Stereolithography for One-Shot Curing of Surface Micro-Structure Unit2017

    • 著者名/発表者名
      Yuki Matsumoto, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] The Development of an Absolute Internal Distance Measurement Between Two Ball Lenses Within Sub-Micro Accuracy2017

    • 著者名/発表者名
      Agustinus Winarno, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography2017

    • 著者名/発表者名
      Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第6報) -数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析-2017

    • 著者名/発表者名
      浅井 祥平,橘 一輝,道畑 正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Evaluation Strategy of Spheroidal Distortion for Micro-Sphere Based on Whispering Gallery Mode Resonance2017

    • 著者名/発表者名
      K.Hayashi, B. Chu, Z. Zhao, M. Michihata, K. Takamasu, S. Takahashi
    • 学会等名
      59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light2017

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Coordinate measuring machine verification using an optical comb probe with ball-lens targets2017

    • 著者名/発表者名
      Shohei Hara, Winarno Agustinus, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] New Developments for Next-generation Precision Engineering Opened with Localized Light Energy Control2017

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] New Developments for Next-generation Precision Engineering Opened with Localized Light Energy Control2017

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface2017

    • 著者名/発表者名
      Xiang Guo, Satoru Takahashi, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Highly Sensitive Back-Focal-Plane Interferometry for Tracking Nanoparticle Position2017

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      CLEO2017, San Jose, USA
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第26報)ー多光束干渉によるミリオーダ領域のサブミクロン表面微細構造創製ー2017

    • 著者名/発表者名
      鈴木裕貴,松本侑己,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Non-contact method of an absolute length measurement between two ball-lenses using a tandem low-coherence interferometer2017

    • 著者名/発表者名
      Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Thoretical Analysis of Multi-Beam Interference Lithography Combining Evanescent and Propagation Light2017

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 3D-Profile Measurement of Advanced Semiconductor Features by Using FIB as Reference Metrology2017

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] New Developments on Micro/nano Manufacturing Science based on Evanescent Light2017

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      IMCC2017(17th International Manufacturing Conference in China)& ICMTE2017(6th International Conference of Manufacturing Technology Engineers
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Experimental verification of a novel in-process depth measurements of diffraction limited micro-groove based on near-field optical response2017

    • 著者名/発表者名
      Shiwei Ye, Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第5報) -位相利用高感度観察装置による検出-2017

    • 著者名/発表者名
      橘 一輝,浅井 祥平,道畑 正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2017年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • 年月日
      2017-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Development of nanoparticle detection method based on a new principle combining volatile liquid and optical observation method: Study of highly sensitive optical detection system2017

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Xi'an, China
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Accuracy Improvement in Diameter Measurement of Microsphere Based on Whispering Gallery Mode2017

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Bohuai Chu, Zhao Zheng, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      59th Ilmenau Scientific Colloquium, Ilmenau, Germany
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] High sensitive and super resolution optical inspection of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave2017

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISMTII 2017, 13th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Monitor Resin Curing Degree for In-process Measurement in Micro-stereolithography2017

    • 著者名/発表者名
      Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPEN2017, 7th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Program, Seoul, Korea
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究(第9報)-ナノ粒子位置同定法の検討-2016

    • 著者名/発表者名
      増井周造・堀田陽亮・道畑正岐・高増 潔・高橋 哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Non-Destructive Optical Depth Inspection of Sub-Diffraction Limit Fine Holes -Theoretical analysis of optical responses based on FDTD method-2016

    • 著者名/発表者名
      Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana,Shohei Asai,Masaki Michihata,Kiyoshi Takamasu,Satoru Takahashi
    • 学会等名
      Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO2016)
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2016-06-05
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Precision absolute distance measurement technique onto rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb2016

    • 著者名/発表者名
      Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      euspen2016, 16th International Conference & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technology 2016
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-11-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Theoretical Analysis of Improved Back-Focal-Plane Interferometry for Monitoring Nanoparticle Position2016

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPE2016 Annual Meeting
    • 発表場所
      Portland, USA
    • 年月日
      2016-10-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] 全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究(第2報)-液相内における工具創製の実験的検討-2016

    • 著者名/発表者名
      堀田陽亮・儲 博懐・増井周造・道畑正岐・高増 潔・高橋 哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection-2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Development of non-destructive optical depth measurement of sub-diffraction limit fine holes2016

    • 著者名/発表者名
      Chengshuo Jin, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      nanoMan2016, 5th International Conference on Nanomanufacturing
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Theoretical Analysis of Improved Back-Focal-Plane Interferometry for Monitoring Nanoparticle Position2016

    • 著者名/発表者名
      Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, and Satoru Takahashi
    • 学会等名
      31st Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering
    • 発表場所
      Portland, Oregon, USA
    • 年月日
      2016-10-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position2016

    • 著者名/発表者名
      Shuzou Masui, Yosuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: theoretical design of high sensitive phase detection system2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      International Symposium on Optomechatronic Technology 2016
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • 年月日
      2016-11-07
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Calibration of refractive index in microsphere diameter measurement based on analysis of polarized whispering gallery mode2016

    • 著者名/発表者名
      Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kohei Hayashi, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Development of 3D form measurement of semiconductor structure - Measurement of FinFET profile using TEM and CD-SEM images2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Iwaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      euspen2016, 16th International Conference & Exhibition
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第3報) 基板上液相プローブの挙動に関する解析2016

    • 著者名/発表者名
      浅井 祥平,橘 一輝,道畑 正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第2報) FDTDシミュレーションに基づいた光学的検出特性解析2016

    • 著者名/発表者名
      橘 一輝,浅井 祥平,道畑 正岐,高増 潔,高橋 哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] 自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究(第4報)-液相プローブ高感度観察装置の検討-2016

    • 著者名/発表者名
      橘一輝,浅井祥平,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      茨城
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] In-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance2016

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Non-contact Precision Profile Measurement to Rough Surface Objects with Optical Frequency Combs2016

    • 著者名/発表者名
      Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] A tunable surface-plasmon-resonance substrate for in-process measurement of micro-stereolithography2016

    • 著者名/発表者名
      Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究―エバネッセント露光用光硬化性樹脂の開発―2016

    • 著者名/発表者名
      松本侑己,鈴木裕貴,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      日本機械学会 第11回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      愛知
    • 年月日
      2016-10-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第25報)ー機能性評価に向けた表面微細構造創製装置の開発ー2016

    • 著者名/発表者名
      鈴木裕貴,松本侑己,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春秋学術講演会
    • 発表場所
      茨城
    • 年月日
      2016-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Fabrication of Functional Microstructures by Multi-Beam Interference Lithography Using Evanescent Light2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Challenge of Evanescent Light Exposing Micro-Stereolithography2016

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      JSAP-OSA Joint Symposia 2016
    • 発表場所
      Niigata, Japan
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Optical Detection of Fine Particulate Defects with Autonomous Search-and-split Liquid Probe -Characteristics analysis of optical detection-2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki TACHIBANA, Shohei ASAI, Masaki MICHIHATA, Kiyoshi TAKAMASU, Satoru TAKAHASHI
    • 学会等名
      16th International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      Hamamatsu, Japan
    • 年月日
      2016-11-14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] 後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化2016

    • 著者名/発表者名
      増井周造・堀田陽亮・道畑正岐・高増 潔・高橋 哲
    • 学会等名
      日本機械学会2016年度年次大会
    • 発表場所
      九州
    • 年月日
      2016-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Evanescent Light Exposing System under Nitrogen Purge for Nano-Stereolithography2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana, Shohei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      CLEO2016, Conference on Lasers and Electro-Optics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation on Dynamic Interacion with Defects2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana; Shohei Asai; Masaki Michihata; Kiyoshi Takamasu; Satoru Takahashi
    • 学会等名
      CLEO2016, Laser Science to Photonic Applications
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2016-06-05
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Omnidirectional one-shot exposure micro-stereolithography for biomimetic hemisphere with micro structured surface2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPE2016, 31st ASPE Annual Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Proposal of in-process measurement for micro-stereolithography using surface plasmon resonance2016

    • 著者名/発表者名
      Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      LANE2016, 9th International Conference on Photonic Technologies
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Optical detection of fine particulate defects by autonomous searching liquid probe: Theoretical design of high sensitive phase detection system2016

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana, Shouhei Asai, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ISOT2016, International Symposium on Optomechatronics Technologies
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第10報)-銀担持による工具チップ性能の向上-2016

    • 著者名/発表者名
      儲 博懐・堀田陽亮・増井周造・道畑正岐・高増 潔・高橋 哲
    • 学会等名
      2016年度精密工学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2016-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] 3D-Profile Measurement of Advanced2016

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2016
    • 発表場所
      San Jose (USA)
    • 年月日
      2016-02-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化2016

    • 著者名/発表者名
      増井周造,堀田陽亮,道畑正岐,高増潔,高橋哲
    • 学会等名
      日本機械学会年次大会2016
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2016-09-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Development of Advanced Measurement Method of 3D Semiconductor Structure - 3D-Profile Measurement of FinFET using CD-SEM and TEM Images -2016

    • 著者名/発表者名
      Yuki Iwaki, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ICPE2016, 16th International Conference on Precision Engineering
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 全方位姿勢制御型光触媒ナノ加工工具に関する研究(第1報)-姿勢制御ユニット創製に関する実験的検討-2015

    • 著者名/発表者名
      堀田陽亮・儲 博懐・道畑正岐・高増 潔・高橋 哲
    • 学会等名
      2015年度精密工学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      東北
    • 年月日
      2015-09-04
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction2015

    • 著者名/発表者名
      Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015),
    • 発表場所
      Harbin (China)
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe2015

    • 著者名/発表者名
      Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      京都リサーチパーク(京都府・京都市)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Line Profile Measurement of Advanced-FinFET Features by Reference Metrology2015

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Yuuki Iwaki, Satoru Takahashi, Hiroki Kawada, Masami Ikota, Atsuko Yamaguchi, Gian F. Lorusso, Naoto Horiguchi
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography
    • 発表場所
      San Jose (USA)
    • 年月日
      2015-02-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Self Calibration Method for Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface2015

    • 著者名/発表者名
      Yumi Iwago, Tomohiko Takamura, Yohan Kondo, Youichi Bitou, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      Taipei (Taiwan)
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe2015

    • 著者名/発表者名
      Kazuki TACHIBANA,Masaki MICHIATA,Satoru TAKAHASHI,Kiyoshi TAKAMASU
    • 学会等名
      The 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Absolute precision measurement for space coordinates metrology using an optical-comb pulsed interferometer with a ball lens target2015

    • 著者名/発表者名
      Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      15th euspen International Conference (euspen2015)
    • 発表場所
      Leuven (Belgium)
    • 年月日
      2015-06-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Non-contact precision profile measurement to rough surface objects with optical frequency combs2015

    • 著者名/発表者名
      Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      Taipei (Taiwan)
    • 年月日
      2015-09-22
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 蛍光修飾を要さない回折限界超越観察技術の開発2015

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      応用物理学会/第135回微小光学研究会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-03-05
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] 光学的ナノ異物検出を可能とする高感度液相プローブ計測法の研究2015

    • 著者名/発表者名
      橘 一輝,高橋 哲,高増 潔:
    • 学会等名
      日本機械学会2015年度年次大会講演論文集
    • 発表場所
      北海道
    • 年月日
      2015-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13841
  • [学会発表] Roundness measurement machine using multi-beam angle sensor - experimental verification of multi-beam angle sensor2015

    • 著者名/発表者名
      Chen Meiyun, Genki Miyazaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      15th euspen International Conference (euspen2015)
    • 発表場所
      Leuven (Belgium)
    • 年月日
      2015-06-01
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Fundamental study on fabrication of multi-functional micro device based on micro-beads using photocatalytic reaction2015

    • 著者名/発表者名
      Yosuke Horita, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu and Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015)
    • 発表場所
      Harbin, China
    • 年月日
      2015-08-15
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H02214
  • [学会発表] Super-Resolution Optical Measurement Method Using Standing Wave Illumination with Three-Beam Interference2015

    • 著者名/発表者名
      Hiromasa Kume, Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      Taipei (Taiwan)
    • 年月日
      2015-09-22
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light2015

    • 著者名/発表者名
      Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21)
    • 発表場所
      京都リサーチパーク(京都府・京都市)
    • 年月日
      2015-10-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 光職場ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第3報)-FDTD法を用いた電磁波機能素子への応用可能性の検討-2014

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫, 門屋祥太郎, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630018
  • [学会発表] 光触媒反応を用いた微細機能ビーズの創製に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      門屋祥太郎,吉越久倫,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630018
  • [学会発表] 光触媒反応を用いた微細機能ビーズの創製に関する研究2014

    • 著者名/発表者名
      門屋祥太郎, 吉越久倫, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630018
  • [学会発表] Precision measurement technique for rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb2014

    • 著者名/発表者名
      Taro Onoe, Zongluo Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      14th euspen International Conference
    • 発表場所
      Dubrovnik (Croatia)
    • 年月日
      2014-06-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第3報)-FDTD法を用いた電磁波機能素子への応用可能性の検討-2014

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫,門屋祥太郎,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25630018
  • [学会発表] 光によるマイクロ製造科学の新展開2014

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      第34回 理研シンポジウム「マイクロファブリケーション研究の最新動向~光応用加工・精密計測,レーザー加工の最前線~」
    • 発表場所
      理化学研究所和光研究所
    • 年月日
      2014-05-23
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Aspheric Surface Using Scanning Deflectometry and Rotating Autocollimator: Self-Calibration Method of Autocollimator2014

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Kyohei Ishikawa, Tomihiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      ASPE/ASPEN Summer Topical Meeting
    • 発表場所
      Hawaii (USA)
    • 年月日
      2014-06-25
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Roughness and Line Profile Measurement of Photoresist and FinFET Features by Cross-Section STEM Image for Reference Metrology2014

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada:
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2014, San Jose, USA, 2014年2月24日~27日
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Measurement of Surface Roundness Using a Multi-Beam Angle Sensor2014

    • 著者名/発表者名
      Meiyun Chen, Soichiro Ueda, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2014-09-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb2014

    • 著者名/発表者名
      Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      11th Laser Metrology for Precision Measurement and Inspection in Industry
    • 発表場所
      つくば国際会議場(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2014-09-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26249006
  • [学会発表] Experimental Analysis of Laser-Assisted Microfabrication Using TiO2 Nanoparticles2013

    • 著者名/発表者名
      H. Yoshigoe, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      Proceedings of the 13th euspen International Conference, Berlin, Germany, 2013年5月28日~30日
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第2報)-光放射圧を利用した加工位置制御法の検討-2013

    • 著者名/発表者名
      関野貴宏,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫,向井康仁,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Line Width and Line Profile Measurement of Photoresist Using STEM Images2013

    • 著者名/発表者名
      Haruki Okito, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日~15日
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第16報)-可変NA伝搬光・エバネッセント光ハイブ リッド露光システムの開発-2013

    • 著者名/発表者名
      宮川幸大,松澤亮,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学,東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Edge Determination Methodology for Cross-Section STEM Image of Photoresist Feature Used for Reference Metrology2013

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2013
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] System Using Evanescent Light and Propagating Light for High Throughput Fabrication,2013

    • 著者名/発表者名
      K. Miyakawa, R. Matsuzawa, S. Takahashi, K. Takamasu:
    • 学会等名
      ASPE2013, St. Paul, Minnesota, USA, 2013,2013年10月20日~25日
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第10報)-AFM及びSTEMによるレジスト形状測定-2013

    • 著者名/発表者名
      沖藤春樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 高誘電率マイクロ機能構造の創製に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      向井康仁,吉越久倫,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Study on lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects inspection2013

    • 著者名/発表者名
      H. Yokozeki, R. Kudo, S. Takahashi , K . Takamasu
    • 学会等名
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments(オーラル採択 済み)
    • 発表場所
      アーヘン(ドイツ)
    • 年月日
      2013-07-03
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第2報)-光放射圧を利用した加工位置制御法の検討-2013

    • 著者名/発表者名
      関野貴宏,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学,東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法-提案手法の理論的検討-2013

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,横関宏樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Study on lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects inspection2013

    • 著者名/発表者名
      H. Yokozeki, R. Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      The 11th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      アーヘン,ドイツ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift2013

    • 著者名/発表者名
      Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu:
    • 学会等名
      LEM21, The 7th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st CenturyMiyagi, Japan,2013年11月7日~8日
    • 発表場所
      ホテル松島大観荘,宮城
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] High-accuracy calibration of CMM using temporal-coherence fiber interferometer with fast-repetition comb laser2013

    • 著者名/発表者名
      Narin Chanthawong, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日~15日
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Experimental Analysis of Laser-Assisted Microfabrication Using TiO2 Nanoparticles2013

    • 著者名/発表者名
      H. Yoshigoe, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      13th euspen International Conference
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 回折限界超越を狙ったレーザー応用技術2013

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      日本オプトメカトロニクス協会フォトンテクノロジー技術部会講演会
    • 発表場所
      機械振興会館,東京都
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫,向井康仁,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学,東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第10報)-AFM及びSTEMによるレジスト形状測定-2013

    • 著者名/発表者名
      沖藤春樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2013-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Study on Lateral Resolution Improvement of Laser-Scanning Imaging for Nano Defects Inspection2013

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Yokozeki, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2013, The 11thinternational Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2013年7月1日~5日,Aachen, Germany
    • 発表場所
      Aachen, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 高誘電率マイクロ機能構造の創製に関する研究2013

    • 著者名/発表者名
      向井康仁,吉越久倫,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学,東京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Study on Photocatalyzed Nano-removal Processing Tool for Microstereolithography2013

    • 著者名/発表者名
      Yuki Yamaguchi, Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日~15日
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Non-contact precision distance measurement technique using two optical frequency combs2013

    • 著者名/発表者名
      Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      ASPEN2013, 5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Taipei, Taiwan 2013年11月12日~15日
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement on Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Autocollimator -Error Analysis and Measurement Experiments by Using Autocollimator with Wide Measuring Range-2013

    • 著者名/発表者名
      Kyohei Ishikawa, Tomohiko Takamura, Muzheng Xiao, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2013, The 11thinternational Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, 2013年7月1日~5日,Aachen, Germany
    • 発表場所
      Aachen, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法-提案手法の理論的検討-2013

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,横関宏樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2013-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第16報)-可変NA伝搬光・エバネッセント光ハイブリッド露光システムの開発-2013

    • 著者名/発表者名
      宮川幸大,松澤亮,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] フォトレジスト形状の断面STEM 画像からエッジを決定する方法2013

    • 著者名/発表者名
      沖藤春樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      第3回ユーザーズミーティング プログラム パーク・システムズ・ジャパン,東京
    • 発表場所
      ベルサール神田,東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] DESIGN VALUE USE TYPE SUPER-RESOLUTION OPTICAL INSPECTION FOR MICROFABRICATED STRUCTURE DEFECTS BY USING STANDING WAVE ILLUMINATION SHIFT2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      釜山,韓国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] DESIGN VALUE USE TYPE SUPER-RESOLUTION OPTICAL INSPECTION FOR MICROFABRICATED STRUCTURE DEFECTS BY USING STANDING WAVE ILLUMINATION SHIFT2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kudo, S. Takahashi , K. Takamasu
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      釜山(韓国)
    • 年月日
      2012-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究2012

    • 著者名/発表者名
      関野貴宏,高橋哲,高増
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学,福岡県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface with Improved Deflectometry Method - Principle Introduction and Experimental Verification -2012

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第13報)-FDTD法を用いた微細配線の散乱特性解析-2012

    • 著者名/発表者名
      天野佑基,工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2012

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2012
    • 発表場所
      Sanjose,USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第14報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法-2012

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2012-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第9報)-STEM画像を用いたレジスト形状の測定-2012

    • 著者名/発表者名
      沖藤春樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2012-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第13報)-FDTD法を用いた微細配線の散乱特性解析-2012

    • 著者名/発表者名
      天野佑基,工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Sub-nanometer calibration of line width measurement and line edge detection by using STEM and sectional SEM2012

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2012
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第15報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像装置の開発-2012

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第9報)-STEM画像を用いたレジスト形状の測定-2012

    • 著者名/発表者名
      沖藤春樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Super-heterodyne Interferometer for Length-Measurement Using the Beat Signal of Laser Diodes and the Optical Frequency Comb2012

    • 著者名/発表者名
      X. N. Wang, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
    • 学会等名
      12th euspen International Conference
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第15報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像装置の開発-2012

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      福岡
    • 年月日
      2012-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Round Robin Tests of Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology by Software Error Propagation2012

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, R. Furutani, M. Abbe
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Super-ResolutionVisual Inspection for Microstructures Manufacturing2012

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Digital Manufacturing & Automation
    • 発表場所
      桂林(中国)
    • 年月日
      2012-08-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Super-Resolution Visual Inspection for Microstructures Manufacturing2012

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Digital Manufacturing & Automation
    • 発表場所
      桂林,中国
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 光励起型三次元ナノマイクロ加工法の新展開2012

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      第126回ラドテック研究会講演会
    • 発表場所
      学士会館本館,東京都
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotation Devices - Development of Three Dimensional Measuring Facility and Experiment -2012

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satom Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      12th euspen International Conference
    • 発表場所
      Stockholm, Sweden
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2012

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
    • 学会等名
      SPIE Advanced Lithography 2012
    • 発表場所
      Sanjose USA
    • 年月日
      2012-02-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第14報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像法-2012

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔,臼杵深
    • 学会等名
      2012年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第15報)ーエバネッセント露光における樹脂硬化メカ ニズムの解析ー2012

    • 著者名/発表者名
      宮川幸大,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学,福岡県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Design Value Use Type Super-Resolution Optical Inspection for Microfabricated Structure Defects by Using Standing Wave Illumination Shift2012

    • 著者名/発表者名
      R. Kudo, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究(第15報)ーエバネッセント露光における樹脂硬化メカニズムの解析ー2012

    • 著者名/発表者名
      宮川幸大,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Step Gauge Measurement Using High-Frequency Repetitions of a Mode-Locked Fiber Laser2012

    • 著者名/発表者名
      C. Narin, S. Takahashi, K. Takamasu, H. Matsumoto
    • 学会等名
      XX IMEKO World Congress
    • 発表場所
      Busan, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究2012

    • 著者名/発表者名
      関野貴宏,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      九州工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 近赤外エバネッセント定在波を用いた半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第2報)-フィルタによるエラーの影響抑制-2011

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      金沢
    • 年月日
      2011-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Absolute Distance Measurement Using Long-Path Heterodyne Interferometer with Optical Frequency Comb2011

    • 著者名/発表者名
      Xiaonan Wang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      FIO/LS Technical Digest, OSA
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices2011

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Development of high precision Coordinate Measuring Machine - Uncertainty analysis of multi-probe method2011

    • 著者名/発表者名
      Tomohiko Takamura, Ping Yang, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Nanometer Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Devices - Error Analysis and Experiments -2011

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
    • 学会等名
      11th euspen International Conference
    • 発表場所
      Como, Italy
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Sub-nanometer line width and line profile measurement for CD-SEM calibration by using STEM2011

    • 著者名/発表者名
      Kiyoshi Takamasu, Haruki Okitou, Satoru Takahashi, Mitsuru Konno, Osamu Inoue, Hiroki Kawada
    • 学会等名
      Proc.SPIE AL 2011
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • 年月日
      2011-02-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 近赤外エバネッセント定在波を用いた半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第2報)-フィルタによるエラーの影響抑制-2011

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave illumination2011

    • 著者名/発表者名
      Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第5報)-創製構造体の気相下観察に基づく加工特性の解析-2011

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫, 関野貴宏, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      東洋大学
    • 年月日
      2011-03-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] 局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究(第1報)-酸化チタン光触媒ナノ粒子による微細除去加工基本機能の検証-2011

    • 著者名/発表者名
      関野貴宏,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2011年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      金沢大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Multi-probe system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy on a high-precision micro-coordinate measuring machine2011

    • 著者名/発表者名
      Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
    • 学会等名
      SPIE Optics+Photonics
    • 発表場所
      San Diego, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] On-machine profile measurement by multiple sensors scanning method with two kinds of algorithms2011

    • 著者名/発表者名
      Guoqing Ding, Xin Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Self-calibration for two-dimensional stage using least squares solution2011

    • 著者名/発表者名
      Xin Chen, Guoqing Ding, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Interferometric Estimation of the Offset-Frequency of Optical Frequency Comb2011

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Matsumoto, Xiaonan Wang, Dong Wei, Satoshi Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      FIO/LS Technical Digest, OSA
    • 発表場所
      San Jose, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Experimental evaluation of long path heterodyne interferometers with optical-frequency comb and continuous-wave laser2011

    • 著者名/発表者名
      Xiaonan Wang, Satoru Takahashi , Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave illumination2011

    • 著者名/発表者名
      Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments, ISMTII2011
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] A motion errors and profile measurement system using three laser interferometers and one autocollimator for a high-precision micro-coordinate measuring machine2011

    • 著者名/発表者名
      P. Yang, T. Takamura, S. Takahashi, K. Takamasu, O. Sato, S. Osawa, T. Takatsuji
    • 学会等名
      11th euspen International Conference
    • 発表場所
      Como, Italy
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Experimental analysis of influence of error on super-resolution optical inspection using standing wave2011

    • 著者名/発表者名
      R. Kudo, S. Usuki, S. Takahashi, K.Takamasu
    • 学会等名
      10th International Symposium of Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      Daejeon, Korea
    • 年月日
      2011-07-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656097
  • [学会発表] Height Measurement of a Particle in Evanescent Field Controlling Penetration Depth2010

    • 著者名/発表者名
      Takayuki Kurihara, Ryuichi Sugimoto, Ryota Kudo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] A Novel Exposure Method Based on Dissolved Oxygen Control for Nano-Stereolithography Using Evanescent Light2010

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi, Toshimune Nagano, Yusuke Kajihara, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      Proc.ASPE2010
    • 発表場所
      Atlanta, USA
    • 年月日
      2010-11-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Laser Direct Fabrication of 3-D metal microstructures using photocatalyst nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      CIRP August Meeting, STC E
    • 発表場所
      ピサ
    • 年月日
      2010-08-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] A Three Laser Interferometers and One Autocollimator System for Measuring the Yaw and Straightness Errors of a X-Y Stage on High Precision CMM2010

    • 著者名/発表者名
      Ping Yang, Shusaku Shibata, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] A novel length measurement interferometer based on a femtosecond optical frequency comb introduced multi-pulse trains' interference2010

    • 著者名/発表者名
      Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      Proc.EOS 2010
    • 発表場所
      Paris, France
    • 年月日
      2010-10-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Micro 3-D Fabrication and Nano Scale Metrology by Controlling Localized Light Energy2010

    • 著者名/発表者名
      高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      4th TU-SNU-UT Joint Symposium
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2010-03-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] Resolution Characteristics of Super-Resolution Optical Inspection Using Standing Wave Illumination2010

    • 著者名/発表者名
      Ryota Kudo, Shin Usuki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains' Constructive Interference-Towards Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order-2010

    • 著者名/発表者名
      Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Laser Direct Fabrication of 3-D metal microstructures using photocataly st nanoparticles2010

    • 著者名/発表者名
      S.Takahashi
    • 学会等名
      CHIP August Meeting, STC E
    • 発表場所
      イタリア・ピサ
    • 年月日
      2010-08-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] Improvement of Gauge Block Measurement Without Wringing Using Tandem Low-coherence Interferometer2010

    • 著者名/発表者名
      W.Agustinus, A.Hirai, S.Takahashi, K.Takamasu, H.Matsumoto
    • 学会等名
      Proc.of the euspen International Conference
    • 発表場所
      Delft, Netherlands
    • 年月日
      2010-06-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Micro 3-D Fabrication and Nano Scale Metrology by Controlling Localized Light Energy2010

    • 著者名/発表者名
      Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      4th TU-SNU-UT Joint Symposium
    • 発表場所
      Tokyo,武田ホール
    • 年月日
      2010-03-12
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] Sub-nanometer Uncertainty Evaluation of Line Width Measurement by Si Lattice Structures of STEM Image2010

    • 著者名/発表者名
      K.Takamasu, K.Kuwabara, S.Takahashi, T.Mizuno, H.Kawada
    • 学会等名
      Proc.of the euspen International Conference
    • 発表場所
      Delft, Netherlands
    • 年月日
      2010-06-02
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Profile Measurement of Large Aspheric Optical Surface by Scanning Deflectometry with Rotatable Mirror-Enlarging Measuring Range of Autocollimator-2010

    • 著者名/発表者名
      Muzheng Xiao, Satomi Jujo, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第4報)-インプロセス観察に基づく創製特性の実験的検討-2010

    • 著者名/発表者名
      松田恵介, 吉越久倫, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2010年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 年月日
      2010-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] New Optical Distance Measurement Without a Prism Refractor Using an Optical Frequency Comb Laser2010

    • 著者名/発表者名
      Kazumasa Isaka, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] Super-Heterodyne Interferometric Length Measurement Using the Repetition Frequency of an Optical Frequencies Comb2010

    • 著者名/発表者名
      Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      Proc.10th ISMQC
    • 発表場所
      Osaka, Japan
    • 年月日
      2010-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22246016
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第3報)-3次元創製プロセスの顕微観察-2009

    • 著者名/発表者名
      松田恵介, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2009年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • 発表場所
      神戸大学
    • 年月日
      2009-09-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第5報)-定在波照明の2方向シフトを用いた2次元超解像特性の検討-2008

    • 著者名/発表者名
      工藤良太, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      明治大学
    • 年月日
      2008-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元金属微細構造創製に関する研究(第2報)-創製構造体の気相取り出し方法の実験的検討-2008

    • 著者名/発表者名
      吉田 大助, 武内 徹, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] レジスト表面形状の計測(第五報)-マルチトポセンサの提案-2008

    • 著者名/発表者名
      徳田 雄一郎 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Development of residual layer thickness measurement system for nano-imprint lighography based on near-field optics2008

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, T. Nagao, S. Minamiguchi, S. Usuki, K. Takarnagu
    • 学会等名
      The euspen international conference
    • 発表場所
      Zurich
    • 年月日
      2008-05-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20360062
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第5報)-定在波照明の2方向シフトを用いた2次元超解像特性の検討-2008

    • 著者名/発表者名
      工藤 良太, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第3報)-STEM画像による線幅のエッジおよびピッチの決定2008

    • 著者名/発表者名
      桑原 一樹, 澤内 佑介, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2008年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      神奈川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Intelligent Profile Measurement for Wide-Area Resist Surface Using Multi-Sensor AFM System2007

    • 著者名/発表者名
      Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology: Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Experimenta Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)-定在波シフトによる変調散乱光観察実験-2007

    • 著者名/発表者名
      岡田 真一, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resoltition Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Thin Film Thickness Measurement for Evaluation of Residual layer of Nano-Imprint Lithography Using Near-Field Optics2007

    • 著者名/発表者名
      S. Minamiguchi, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMQC2007
    • 発表場所
      India
    • 年月日
      2007-11-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Experimental Verification fbr Super-resolution Optical Inspection fbr Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      Shujie Liu, Kentaro Watanabe, Satoru Takahashi, Kioshi Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      東北大学,仙台
    • 年月日
      2007-09-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology : Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illuminatio Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] エバネッセント光を利用したナノ光造形法の研究(第9報)-DMDによるエバネッセント強度分布制御法の検討-2007

    • 著者名/発表者名
      武内 徹, 梶原 優介, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Lisht2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] 定在エバネッセント光を用いた超解像顕微法に関する研究(第4報)-定在波シフトによる変調散乱光観察実験-2007

    • 著者名/発表者名
      岡田真一, 臼杵深, 高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • 年月日
      2007-09-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [学会発表] Development of laser-assisted microfabrication sysetm for three-dimensional metal structures by photocatalysis2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, M. Okuno, Y. Kajihara, K. Takamasu
    • 学会等名
      Euspen 2007
    • 発表場所
      Germany
    • 年月日
      2007-05-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] 近接場光を用いたナノインプリント残膜測定法に関する研究(第3報)-偏光特性を利用した残膜厚計測-2007

    • 著者名/発表者名
      南口 修一, 臼杵 深, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] An Optical and Confocal Microscopic System for Nanostereolithography Using Evanescent Light Eliminate of the Nonlinearity in Heterode Interferometer2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift2007

    • 著者名/発表者名
      S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
    • 発表場所
      東北大学,仙台
    • 年月日
      2007-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18656041
  • [学会発表] Analysis of Lateral Resolution Improvement for Fluorescence Microscopy using Standing Evanescent Light2007

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, S. Okada, H. Nishioka, S. Usuki, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] 半導体の線幅標準に関する研究(第2報)-ラインエッジの不確かさ要因-2007

    • 著者名/発表者名
      澤内 佑介, 高橋 哲, 高増 潔
    • 学会等名
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      旭川
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Thin Film Thickness Measurement for Evaluation of Residual layer of Nano-Imprint Lithography Using Near-Field Optics2007

    • 著者名/発表者名
      S. Minamiguchi, S. Usuki, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMQC 2007
    • 発表場所
      India
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] Uncertainty Estimation for Coordinate Metrology:Calibration, Form Deviation and Strategy of Measurement2007

    • 著者名/発表者名
      K. Takamasu, S. Takahashi, M. Abbe, R. Furutani
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] An Optical and Confocal Microscopic System for Nanostereolithography Using Evanescent Light Eliminate of the Nonlinearity in Heterodyne Interferometer2007

    • 著者名/発表者名
      Y. Kajihara, T. Takeuchi, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      ISMTII2007
    • 発表場所
      Japan
    • 年月日
      2007-09-07
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16206025
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第4報)-THz波制御素子への応用可能性の検討-

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫,堀田陽亮,高橋哲, 高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      鳥取
    • 年月日
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第2報)-創製構造物の機能化に向けた実験的検討-

    • 著者名/発表者名
      吉越久倫,門屋祥太郎,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2013-09-11 – 2013-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Fundamental study on the world’s thinnest layered micro-stereolithography using evanescent light

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi, H. Tahara, K. Miyakawa, Y. Kajihara, and K. Takamasu
    • 学会等名
      ASPE2014 Spring Topical Meeting
    • 発表場所
      Berkerley, USA
    • 年月日
      2014-04-14 – 2014-04-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第5報)-光放射圧制御加工の実験的検証-

    • 著者名/発表者名
      山口祐樹,加地史弥,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-03-18 – 2014-03-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Study on Photocatalyzed Nano-removal Processing Tool for Microstereolithography

    • 著者名/発表者名
      Yuki Yamaguchi, Takahiro Sekino, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
    • 学会等名
      5th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2013)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2013-11-13 – 2013-11-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] エバネッセント光の工学応用 ~一括露光型マイクロ光造形法の露光エネルギーへの展開とその展望~

    • 著者名/発表者名
      高橋哲
    • 学会等名
      第82回レーザ加工学会講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-01-13 – 2015-01-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第19 報) -3 光束干渉定在波照明の自動生成法の検討-

    • 著者名/発表者名
      久米大将,横関宏樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] スポット重複移動情報を用いた光学式超解像検査法の開発

    • 著者名/発表者名
      金成碩,久米大将,横関宏樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      日本機械学会2015年度年次大会
    • 発表場所
      北海道
    • 年月日
      2015-09-13 – 2015-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] Experimental Analysis of Laser-Assisted Microfabrication Using TiO2 Nanoparticles

    • 著者名/発表者名
      H. Yoshigoe, S. Takahashi, K. Takamasu
    • 学会等名
      the 13th euspen International Conference (euspen2013)
    • 発表場所
      Berlin, Germany
    • 年月日
      2013-05-28 – 2013-05-30
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第8報)-放射圧動的制御による高安定トラップ-

    • 著者名/発表者名
      加地史弥,堀田陽亮,高橋 哲,高増 潔
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法(第4報)-スポット照明超解像型基礎実験装置の基本的機能検証-

    • 著者名/発表者名
      横関宏樹,工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      鳥取
    • 年月日
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] スポット照明の重複シフトによる光学式超解像検査法(第5報) -離散的サンプルを用いた提案超解像原理の実験的検証-

    • 著者名/発表者名
      横関宏樹,久米大将,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第6報)-インプロセス工具位置観察ユニットの実装-

    • 著者名/発表者名
      加地 史弥,山口 祐樹,高橋 哲,高増 潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      鳥取
    • 年月日
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] レーザー集光点近傍の光触媒反応を用いた3次元微細構造創製に関する研究

    • 著者名/発表者名
      堀田陽亮,吉越久倫,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      日本機械学会 第10回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      徳島
    • 年月日
      2014-11-15 – 2014-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する基礎的研究(第7報)-回折限界を超えた微細除去加工の検討-

    • 著者名/発表者名
      堀田陽亮,加地史弥,高橋 哲,高増 潔
    • 学会等名
      2015年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2015-03-17 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Challenge of Spatial Resolution Improvement of Optical Measurement Method Based on Localized Light Energy

    • 著者名/発表者名
      S. Takahashi
    • 学会等名
      12th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2015)
    • 発表場所
      Taipei, Taiwan
    • 年月日
      2015-09-22 – 2015-09-25
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] 定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査(第18報)-コヒーレント結像逐次再構成型超解像による二次元超解像法のシミュレーションによる検討-

    • 著者名/発表者名
      工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      鳥取
    • 年月日
      2014-09-16 – 2014-09-18
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • [学会発表] Theoretical Analysis of the Spatial Process Resolution of Evanescent Light Exposure for Nano-stereolithography

    • 著者名/発表者名
      Hiroyuki TAHARA, Kodai MIYAKAWA, Toshimune NAGANO, Satoru TAKAHASHI and Kiyoshi TAKAMASU
    • 学会等名
      the 15th International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      Kanazawa
    • 年月日
      2014-07-23 – 2014-07-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ工具に関する研究(第3報)-微小除去加工特性の実験的解析-

    • 著者名/発表者名
      山口祐樹,加地史弥,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2013年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      大阪
    • 年月日
      2013-09-11 – 2013-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] Analysis of TiO2 nanotool handling characteristics for microplastic structures based on laser trapping technique

    • 著者名/発表者名
      Fumiya KAJI, Yuki YAMAGUCHI, Satoru TAKAHASHI and Kiyoshi TAKAMASU
    • 学会等名
      the 15th International Conference on Precision Engineering
    • 発表場所
      Kanazawa
    • 年月日
      2014-07-23 – 2014-07-25
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 光触媒ナノ加工工具に関する基礎的研究(第4報)-光放射圧によるTiO2工具チップ把持特性-

    • 著者名/発表者名
      加地史弥,山口祐樹,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京
    • 年月日
      2014-03-18 – 2014-03-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23246028
  • [学会発表] 微細加工構造の超回折限界光学式計測法の開発

    • 著者名/発表者名
      久米大将,横関宏樹,工藤良太,高橋哲,高増潔
    • 学会等名
      日本機械学会 第10回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      徳島
    • 年月日
      2014-11-15 – 2014-11-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26630018
  • 1.  高増 潔 (70154896)
    共同の研究課題数: 12件
    共同の研究成果数: 326件
  • 2.  三好 隆志 (00002048)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  高谷 裕浩 (70243178)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  道畑 正岐 (70588855)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 100件
  • 5.  門屋 祥太郎 (60880234)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 26件
  • 6.  古谷 涼秋 (50219119)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 4件
  • 7.  島田 尚一 (20029317)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  西川 正俊 (30444516)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 5件
  • 9.  増井 周造 (00909939)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 3件
  • 10.  幸田 盛堂
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  松本 弘一 (00358045)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 20件
  • 12.  三隅 伊知子 (40358099)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  佐藤 理 (60392619)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 52件
  • 14.  柴田 隆行 (10235575)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  楢原 弘之 (80208082)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  大杉 幸久
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  村上 光平
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  松宮 貞行
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  木村 景一
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

URL: 

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi