田丸雄摩 Tamaru Yuma

研究者番号	30284590
その他のID
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所属 (現在)	2025年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2024年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 2015年度: 九州工業大学, 大学院工学研究院, 助教 2013年度 – 2014年度: 九州工業大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 2012年度: 九州工業大学, 大学院・工学研究院, 助教 1996年度 – 1999年度: 九州工業大学, 工学部, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者小区分18020:加工学および生産工学関連 / 設計工学・機械要素・トライボロジー研究代表者以外生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 機械工作・生産工学
キーワード	研究代表者位置決め / 非接触微動 / 磁力微動 / 可撓機構 / 微動テーブル / ピエゾ素子 / 非接触支持 / 微動 / スクイーズ効果 / 微動送り … もっと見る / PZT / 微動制御 / 機械要素 / 精密位置決め / 圧電素子アクチュエータ … もっと見る研究代表者以外 MEMS / 多点法 / 走査形状測定 / 真直度測定 / 平面度測定 / 機械加工面 / 多点法形状計測 / 運動誤差計測 / 加工計測 / 精密位置決め / 結晶異方性エッチング / 単結晶シリコン / スクイーズ効果 / 直動ステージ / ソフトウェアデータム / 平面計測 / 誤差分離 / 機上計測 / カンチレバー式変位計 / MEMS変位計 / 平面形状測定 / 形状計測 / オンマシン測定 / 運動誤差測定 / PIEZOELECTRIC ELEMENT / PRELOAD CHANGE / DOUBLE NUT / SLIDING SCREW / BALL SCREW / COARSE AND FINE FEEDING / LONG STROKE / ULTRAFINE FEEDING / 台形ねじ / 圧電素子 / 予圧変化 / 予圧ダブルナット / すべりねじ / ボールねじ / 粗微動 / 長ストローク / 超精密送り / 真直度 / 平面度 / 形状測定隠す

単結晶シリコンの多条微細V溝構造をかみ合わせた直動ステージ
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  九州工業大学
磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  田丸雄摩
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  九州工業大学
機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  九州工業大学
テーブルの浮上支持と精密位置決めをスクイーズ効果で可能にする微動機構の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  田丸雄摩
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  九州工業大学
機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証
- 研究代表者
  
  清水浩貴
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  九州工業大学
PZTを利用した超微小変位機構の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  田丸雄摩
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  九州工業大学
粗微動一体形超精密送り装置の開発
- 研究代表者
  
  中島克洋
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  九州工業大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces2022
- 著者名/発表者名
  Yuuma Tamaru, Kensuke Kawata, and Hiroki Shimizu
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 16 号: 5 ページ: 588-597
- DOI
  10.20965/ijat.2022.p0588
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2022-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[雑誌論文] A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces2022
- 著者名/発表者名
  Shimizu Hiroki、Graduate School of Engineering, Kyushu Institute of Technology 1-1 Sensui-cho, Tobata-ku, Kitakyushu-shi, Fukuoka 804-8550, Japan、Tamiya Koichi、Mizukami Shoichiro、Tamaru Yuuma
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 16 号: 5 ページ: 582-587
- DOI
  10.20965/ijat.2022.p0582
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2022-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[雑誌論文] Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error2018
- 著者名/発表者名
  Shimizu H., Yamashita R., Hashiguchi T., Miyata T., Tamaru Y.
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 12 号: 5 ページ: 707-713
- DOI
  10.20965/ijat.2018.p0707
- NAID
  130007472276
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2018-09-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[学会発表] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第2報）－出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定－2024
- 著者名/発表者名
  田丸雄摩，床嶋功明，清水浩貴
- 学会等名
  2024年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[学会発表] 3×3 正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定：第 2 報 ―形状測定用デバイスの設計―2024
- 著者名/発表者名
  野田樹生，中原洸太朗，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  2024 年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[学会発表] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第1報）－吸引力校正と変位予測－2023
- 著者名/発表者名
  床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  2023年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[学会発表] 永久磁石相互の磁気吸引力を用いた可撓支持微動テーブルの性能推定2023
- 著者名/発表者名
  床嶋功明，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  日本機械学会第54回卒業研究発表会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[学会発表] 3×3正方形配置センサユニットを用いた平面形状測定－測定データ接続法の比較－2023
- 著者名/発表者名
  時實拓紀，野田樹生，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03791
[学会発表] Evaluation of Fine Feed Table Positioning for Non-Contact Support based on the Squeezed-Air Effect2023
- 著者名/発表者名
  Yuma Tamaru, Tomohiro Ushijima and Hiroki Shimizu
- 学会等名
  The 10th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN) 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K03863
[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）－長ストローク微動特性－2022
- 著者名/発表者名
  田丸雄摩，牛島智大，清水浩貴
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報）－小ステップ変位微動特性－2022
- 著者名/発表者名
  田丸雄摩,牛島智大,清水浩貴
- 学会等名
  2022年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] Positioning Properties of Fine Feed Table for Non-contact Support with Squeezed-air Effect2022
- 著者名/発表者名
  Yuma TAMARU,Tomohiro USHIJIMA, and Hiroki SHIMIZU
- 学会等名
  The 19th International Conference on Precision Engineering
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）－平行度調整による支持性能向上の検討－2021
- 著者名/発表者名
  田丸雄摩，東福修太朗，清水浩貴
- 学会等名
  2021年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第4報）－テーブル揺動特性の評価－2021
- 著者名/発表者名
  田丸雄摩，牛島智大，清水浩貴
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] スクイーズ効果支持微動テーブルの性能向上2020
- 著者名/発表者名
  東福修太朗，田丸雄摩，清水浩貴
- 学会等名
  九州学生会第51回学生員卒業研究発表講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect2019
- 著者名/発表者名
  Yuma Tamaru, Tetsuya Matsumoto and Hiroki Shimizu
- 学会等名
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04106
[学会発表] High sensitivity MEMS displacement sensor device for planar shape measurement by deposition of piezoelectric materials2019
- 著者名/発表者名
  K. Murayama, Y. Tamaru, H. Shimizu
- 学会等名
  8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[学会発表] Error Evaluation of Straightness Measurement Using a MEMS Device Integrating 10 Cantilever Displacement Sensors2019
- 著者名/発表者名
  Hiroki Shimizu, Shoichiro Mizukami, Makoto Manabe, Yuuma Tamaru
- 学会等名
  The 14th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06082
[学会発表] 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）―測定原理の検討と基礎的検証―2014
- 著者名/発表者名
  藤田豊栄, 清水浩貴, 田丸雄摩
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）―表面荒れを抑えた探針製作法―2014
- 著者名/発表者名
  殘華智仁, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- 学会等名
  2014年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] 三点法を用いた機上測定用機械加工面形状計測装置2014
- 著者名/発表者名
  松本恵太, 清水浩貴, 田丸雄摩, 山下亮祐
- 学会等名
  日本機械学会九州支部第67期総会・講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第3報ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合)2012
- 著者名/発表者名
  水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  九州工業大学(福岡)
- 年月日
  2012-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報）―ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合―2012
- 著者名/発表者名
  水頭正一郎・清水浩貴・田丸雄摩
- 学会等名
  2012 年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第2 報マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作)2012
- 著者名/発表者名
  柳原慎也,水頭正一郎,清水浩貴,田丸雄摩,馬場昭好
- 学会等名
  2012年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京(東京)
- 年月日
  2012-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発-センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計-2011
- 著者名/発表者名
  秋好崇宏, 清水浩貴, 田丸雄摩
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京都)(震災により当日講演中止)
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(第2報)-マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作-2011
- 著者名/発表者名
  柳原慎也, 水頭正一郎, 清水浩貴, 田丸雄摩, 馬場昭好
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  首都大学東京(東京都)
- 年月日
  2011-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS 技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発(センサ間隔誤差の影響シミュレーションとマルチカンチレバーの基本設計)2011
- 著者名/発表者名
  秋好崇宏,清水浩貴,田丸雄摩
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(東京)
- 年月日
  2011-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760099
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報）―平面測定用デバイスの設計と構造解析―
- 著者名/発表者名
  菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学鳥取キャンパス
- 年月日
  2014-09-16 – 2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] 角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）-長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討-
- 著者名/発表者名
  夘田将太, 清水浩貴, 田丸雄摩
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057
[学会発表] MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用センサデバイスの開発（第6報）-平面測定用デバイスの製作-
- 著者名/発表者名
  菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学白山キャンパス
- 年月日
  2015-03-17 – 2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420057

1. 清水浩貴 (50323043)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 16件
2. 竹内修三

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 馬場昭好 (80304872)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
4. 坂本憲児 (10379290)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
5. 中島克洋 (30093967)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 高橋和樹 (20128119)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

田丸 雄摩 Tamaru Yuma

研究課題

研究成果

共同研究者

単結晶シリコンの多条微細V溝構造をかみ合わせた直動ステージ

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

テーブルの浮上支持と精密位置決めをスクイーズ効果で可能にする微動機構の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

PZTを利用した超微小変位機構の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

粗微動一体形超精密送り装置の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Design and Prototyping of Biaxial Flexible Support Table for Fine Positioning Through Controlled Magnetic Attraction Forces2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Square Layout Four-Point Method for Two-Dimensional Profile Measurement and Self-Calibration Method of Zero-Adjustment Error2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

田丸雄摩 Tamaru Yuma

[学会発表] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第2報）－出力変位・軸間干渉・姿勢誤差の推定－2024

[学会発表] 永久磁石相互の吸引力を利用した可撓支持微動テーブル（第1報）－吸引力校正と変位予測－2023

[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第5報）－長ストローク微動特性－2022

[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第6報）－小ステップ変位微動特性－2022

[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第3報）－平行度調整による支持性能向上の検討－2021

[学会発表] 浮上力制御を利用したスクイーズ効果支持微動テーブルの開発（第4報）－テーブル揺動特性の評価－2021