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山内 智  Yamauchi Satoshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30292478
その他のID
外部サイト
所属 (現在) 2025年度: 茨城大学, 応用理工学野, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2023年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授
2018年度 – 2019年度: 茨城大学, 理工学研究科(工学野), 教授
2017年度: 茨城大学, 工学部, 教授
2012年度 – 2014年度: 茨城大学, 工学部, 准教授
2004年度 – 2006年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
2001年度 – 2002年度: 茨城大学, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21050:電気電子材料工学関連 / 電子・電気材料工学 / 機能材料・デバイス
研究代表者以外
材料加工・処理 / 電子デバイス・機器工学
キーワード
研究代表者
集積回路配線 / ヨウ化物 / 化学気相堆積 / 金属薄膜 / 選択成長 / デバイス設計・製造プロセス / 電子・電気材料 / 電子デバイス・機器 / 銅配線 / ヨウ化銅原料 … もっと見る / 銅薄膜の選択生成 / 第一原理計算 / ヨウ化銅(I)原料 / 銅薄膜の選択形成 / 銅の化学気相堆積 / ダイポール / エミッター / 糖結晶 / THz … もっと見る
研究代表者以外
zinc vaporization / oxygen plasma / orientation control / momentum control / stoichiometry control / ponderomotive force / transparent conductive film / plasma processing / 亜鉛蒸発 / 透明導電膜 / 低気圧PVD / 酸素プラズマ / 配向性制御 / 運動量制御 / 組成比制御 / 動重力(時間平均マックスウェル応力) / ECR低温プラズマ / 酸化物材料プラズマ合成 / 3D simulation / CCD register / imaging device / low-dark current / High-sensitivity / 裏面駆動CCD / 信号電子数 / CCD / 撮像 / 3次元シミュレーション / CCDレジスタ / 撮像素子 / 低暗電流 / 高感度 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 研究成果

    (67件)
  • 共同研究者

    (6人)
  •  ヨウ化物を原料とするCVD法による金属薄膜の選択成長研究代表者

    • 研究代表者
      山内 智
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21050:電気電子材料工学関連
    • 研究機関
      茨城大学
  •  CuIを原料とするCuの選択形成研究代表者

    • 研究代表者
      山内 智
    • 研究期間 (年度)
      2017 – 2019
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      茨城大学
  •  糖結晶THzエミッターの開発研究代表者

    • 研究代表者
      山内 智
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      機能材料・デバイス
    • 研究機関
      茨城大学
  •  機能性複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発

    • 研究代表者
      佐藤 直幸
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      材料加工・処理
    • 研究機関
      茨城大学
  •  高感度・低暗電流撮像素子素子用CCDレジスタの研究

    • 研究代表者
      白木 廣光
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2002
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      茨城大学

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すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Study of Cu-growth feature by selective low-pressure chemical vapor deposition using a CuI precursor2023

    • 著者名/発表者名
      Toyoda Gento、Kikuchi Hikari、Yamauchi Satoshi、Joutsuka Tatsuya、Fuse Takashi、Kubota Yusuke
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SH ページ: SH1002-SH1002

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acc257

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K04988, KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [雑誌論文] Low-pressure chemical vapor deposition of Cu on Ru substrate using CuI: calculations2020

    • 著者名/発表者名
      Tatsuya Joutsuka and Satoshi Yamauchi
    • 雑誌名

      Chemical Physics Letters

      巻: 741 ページ: 137108-137108

    • DOI

      10.1016/j.cplett.2020.137108

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K15497, KAKENHI-PROJECT-17K06339
  • [雑誌論文] Nondestructive evaluation of crystallized-particle size in lactose-powder by terahertz time-domain spectroscopy2014

    • 著者名/発表者名
      S. Yamauchi, S. Hatakeyama, Y. Imai, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      Optical Engineering

      巻: 53 号: 3 ページ: 031203-031203

    • DOI

      10.1117/1.oe.53.3.031203

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [雑誌論文] Terahertz time-domain spectroscopy to identify and evaluate anomer in lactose2013

    • 著者名/発表者名
      S. Yamauchi, S. Hatakeyama, Y. Imai, M. Tonouchi
    • 雑誌名

      American Journal of Analytical Chemistry

      巻: 4 号: 12 ページ: 756-762

    • DOI

      10.4236/ajac.2013.412092

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [雑誌論文] The investigation of the ponderomotive force effect in ECR gas mixture plasma for mass-selective momentum control2008

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yuji Yabuuchi, Souichi Sugaya, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The 25th Symposium on Plasma Processing P1-27

      ページ: 161-162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The synthesis of transparent conductive film in the zinc-oxygen mixture plasma for mass-selective momentum control2008

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yoshihiro Komatsu, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The Papers of Joint Technical Meeting on Plasma Science and Technology and Pulsed Power Technology, IEE Japan PST-08-13

      ページ: 33-38

    • NAID

      10025666551

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御に向けたECR各種混合プラズマ中の動重力効果の観察2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・薮内祐二・菅谷聡一・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      第25回「プラズマプロセシング研究会」SPP-25プロシーディングス P1-27

      ページ: 161-162

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御に向けた亜鉛・酸素混合プラズマ中の透明導電膜合成2008

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・小松良寛・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-08-13

      ページ: 33-38

    • NAID

      10025666551

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御に向けたECR酸素プラズマの低温部引き出しと動重力増強の観察2007

    • 著者名/発表者名
      藪内祐二・菅谷聡一・佐藤直幸・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-07-29

      ページ: 29-34

    • NAID

      10019514039

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The investigation of the ponderomotive force's enhancement accompanying with the extraction of lower energy lectrons from ECR oxygen plasma for mass-selective momentum control2007

    • 著者名/発表者名
      Yuji yabuuchi, Souichi Sugaya, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-07-29

      ページ: 29-34

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Y.Sato, K.Kinoshita, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
    • 雑誌名

      Proceeding of the 6th International Conference on Reactive plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing APO61201・P-1A-06

      ページ: 171-172

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki, Sato・Kousuki, Kinoshita・Takashi, Ikehata・Satoshi, Yamauchi・Jin, Oonuki
    • 雑誌名

      8th Asia-Paeific Conference on Plasma Science and Teehnelogy and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairns in Australia http://wwwrsphysse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/Abst

      ページ: 257-257

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, K. Kinoshita, Y. Nakano, T. Lkehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
    • 雑誌名

      Proceeding of the 6th International Conference on Reactive Plasmas and 23nd Symposium on Plasma Processing AP061201・P-1A-06

      ページ: 171-172

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon on the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi,and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairnsin Australia http://wwwrshsse.anu.edu.au/~mdl112/apcpst/AbstractBook.pdf

      ページ: 257-257

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御による複合化合物材料のプラズマ合成に向けた低気圧低温プラズマの生成2006

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 木下廣介, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 1・29(P-C-8)

      ページ: 185-185

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ion incident upon on the substrate in ECR oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      8th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology and 19th Symposium on Plasma Science for Materials, Cairns in Australia (AbstractBook.pdf)

      ページ: 257-257

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux control of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2006

    • 著者名/発表者名
      N.Y, Sato・K, Kinoshita・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
    • 雑誌名

      Proceeding of the 6^<th> International Conference on Reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing AP061201・P-1A-06

      ページ: 171-172

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      N Y.Sato, K.Kinoshita, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 54-54

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-070

      ページ: 613-614

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing 3-070

      ページ: 613-614

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, K. Kinoshita, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
    • 雑誌名

      THE 18th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS ISSN 1342-7210

      ページ: 54-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御による酸化物薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧-電流特性2005

    • 著者名/発表者名
      中野恭嗣, 佐藤直幸, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.2・29a-E-1

      ページ: 1027-1027

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Plasma synthesis of zinc-oxide thin film based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Haoyuki, Sato・Satoshi, Yamauchi・Takashi, Ikehata・Yasushi, Nakano・Jin, Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-070

      ページ: 613-614

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon the substrate in zinc oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      K, Kinoshita・N.Y, Sato・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 55-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentrm control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasushi, Nakano・Naoyuki, Sato・Takashi, Ikehata・Satoshi, Yamauchi・Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-072

      ページ: 617-618

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki, Sato・Satoshi, Yamauchi・Takashi, Ikehata・Yasushi, Nakano・Jin, Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-071

      ページ: 615-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      K. Kinoshita, N. Y. Sato, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi and J. Oonuki
    • 雑誌名

      THE 18th SYMPOSIUM ON PLASMA SCIENCE FOR MATERIALS ISSN 1342-7210

      ページ: 55-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Nakano, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-072

      ページ: 617-618

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux measurement of ions incident upon the substrate in zinc oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      K.Kinoshita, N.Y.Sato, Y.Nakano, T.Ikehata, S.Yamauchi, J.Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 55-55

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing P3-071

      ページ: 615-616

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成(シンポジウム招待講演30分)2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 木下廣介, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集 NO.0・8p-N-5

      ページ: 33-33

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導入2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 No.2・30a-E-6

      ページ: 1092-1092

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Characteristics of the magnetized rf oxygen plasma for ZnO film synthesis besed on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Yasushi Nakano, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi and Jin Oonuki
    • 雑誌名

      Plasma Science Symposium 2005/The 22nd Symposium on Plasma Processing P3-072

      ページ: 617-618

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] Production of zinc-oxide mixture plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Satoshi Yamauchi, Takashi Ikehata, Yasushi Nakano, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      プラズマ科学シンポジウム2005/第22回プラズマプロセシング研究会 P3-071

      ページ: 615-616

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The flux suppression of ion incident upon the substrate in oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentrm control2005

    • 著者名/発表者名
      N.Y, Sato・K, Kinoshita・Y, Nakano・T, Ikehata・S, Yamauchi・J, Oonuki
    • 雑誌名

      第18回プラズマ材料科学シンポジウム ISSN1342-7210

      ページ: 54-54

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] The preliminary experiment of the ZnO thin film synthesis by mass-selective momentum control based on the ponderomotive force on the magnetizedions2004

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yasushi Nakano, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 雑誌名

      The Papers of Technical Meeting on Plasma Science and Technology, IEE Japan PST-04-28

      ページ: 91-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-28

      ページ: 91-96

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成の実験準備2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 雑誌名

      電気学会プラズマ研究会資料 PST-04-28

      ページ: 91-96

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [雑誌論文] 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発2004

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸, 中野恭嗣, 池畑 隆, 山内 智, 大貫 仁
    • 雑誌名

      第65回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 No.1 1a-ZB-8

      ページ: 365-365

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Selective chemical vapor deposition of Cu using CuI on fine-structure2023

    • 著者名/発表者名
      Gento Toyoda, Satoshi Yamauchi
    • 学会等名
      Advanced Metallization Conference 2023 32nd Asian Session
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] Selective chemical vapor deposition of Cu using CuI-precursor for fine structured Metallization2023

    • 著者名/発表者名
      Gento Toyoda, Satoshi Yamauchi
    • 学会等名
      European Materials Research Society, Fall-Meeting 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] CuIを原料とするLPCVD法によるL/S上へのCu選択成長2023

    • 著者名/発表者名
      宮本 裕、豊田 絃人、山内 智
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] 二段階成長による選択LPCVD-Cuの成長形態の制御2022

    • 著者名/発表者名
      豊田絃人、山内智
    • 学会等名
      第30回電気学会茨城支所研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] ヨウ化銅(Ⅰ)を用いた選択CVD法による低抵抗率な銅層の形成2022

    • 著者名/発表者名
      豊田絃人,山内智
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] A study of Cu-growth feature by selective-LPCVD using CuI-precursor2022

    • 著者名/発表者名
      Gento Toyoda, Satoshi Yamauchi, Takashi Fuse, Yusuke Kubota
    • 学会等名
      ADMETA-plus2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] 金属ハライドを原料とした金属薄膜の気相選択形成2022

    • 著者名/発表者名
      山内智
    • 学会等名
      ハロゲン利用ミニシンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22K04178
  • [学会発表] ヨウ化銅を用いたルテニウム上への銅の選択化学気相堆積2019

    • 著者名/発表者名
      堀内 健佑、城塚 達也、山内 智
    • 学会等名
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06339
  • [学会発表] ヨウ化銅を用いたLPCVD法による銅膜の高速成長2018

    • 著者名/発表者名
      堀内健佑 、丸谷美由紀 , 城塚達也 , 山内智
    • 学会等名
      平成 30 年度 電気学会東京支部 茨城支所 研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06339
  • [学会発表] CuIを原料とするLPCVD法による選択的なCu堆積II2017

    • 著者名/発表者名
      西川太二、山内 智
    • 学会等名
      電気学会東京支部茨城支所研究発表会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17K06339
  • [学会発表] Nondestructive evaluation of Lactose including anomer and crystallized particles2013

    • 著者名/発表者名
      S. Yamauchi, S. Hatakeyama, Y. Imai, M. Tonouchi
    • 学会等名
      Proc. Int’l Workshop on Optical Terahertz Science and Technology (OTST) 2013
    • 発表場所
      京都テルサ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [学会発表] Evaluation of interfacial water on super-hydrophilic surface by THz-TDS2013

    • 著者名/発表者名
      S. Yamauchi, Y. Imai, M. Tonouchi
    • 学会等名
      38th Int'l Conf. on Infrared, Millimeter, and Terahertz waves
    • 発表場所
      Congress Center Mainz, Germany
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [学会発表] THz-TDSによる超親水性表面での水の分析2013

    • 著者名/発表者名
      山内智,今井洋,斗内政吉
    • 学会等名
      第74回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [学会発表] Nondestructive evaluation of Lactose including anomer and crystallized particles2012

    • 著者名/発表者名
      S. Yamauchi, S. Hatakeyama, Y. Imai, M. Tonouchi
    • 学会等名
      International Workshop on Optical Terahertz Science and Technology 2013
    • 発表場所
      京都市, 京都テルサ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [学会発表] THz-TDSによる糖類の分析III2012

    • 著者名/発表者名
      山内 智,畠山さくら,今井 洋,斗内政吉
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [学会発表] TERAHERTZ-TIME DOMAIN SPECTROSCOPY FOR LACTOSE ANALYSIS ON THE STEREOISOMER AND THE PARTICLE SIZE2012

    • 著者名/発表者名
      Sakura Hatakeyama, Satoshi Yamauchi, Yoh Imai, Masayoshi Tonouchi
    • 学会等名
      3rd International Symposium on Terahertz Nanoscience
    • 発表場所
      Honolulu, Hilton Hawaii
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24655165
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御に向けたZnO薄膜プラズマ合成中の抵抗率測定2008

    • 著者名/発表者名
      小松良寛・佐藤直幸・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第55回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      船橋市,日本大学理工学部
    • 年月日
      2008-03-28
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御による複合化合物材料のプラズマ合成に向けた低気圧低温プラズマの生成2006

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・木下廣介・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第54回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      相模原市,青山学院大学
    • 年月日
      2006-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第65回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      仙台市,東北学院大学
    • 年月日
      2005-09-01
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Voltage-current characteristics of the magnetized oxygen plasma for oxide film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakano. N. Y. Sato. T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 29a-E-1
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Plasma application of mass-selective momentum control to complex compound synthesis2005

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Yasushi Nakano, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, Jin Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 65th Autumn Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics No.1 1a-ZB-8
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導入2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第52回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      さいたま市,埼玉大学
    • 年月日
      2005-03-30
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Introduction of zinc intot the magnetized oxygen plasma for ZnO film synthesis based on mass-selective momentum control2005

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, Y. Nakano, T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 52nd Spring Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.2 30a-E-6
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御による酸化物薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧-電流特性2005

    • 著者名/発表者名
      中野恭嗣・佐藤直幸・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第52回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      さいたま市,埼玉大学
    • 年月日
      2005-03-29
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] 質量選択的運動量制御・磁場中酸素プラズマを用いた酸化物薄膜の合成(シンポジウム招待講演 30分)2005

    • 著者名/発表者名
      佐藤直幸・中野恭嗣・木下廣介・池畑 隆・山内 智・大貫 仁
    • 学会等名
      第66回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      徳島市,徳島大学
    • 年月日
      2005-09-08
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Oxide film synthesis in the magnetized oxygen plasma based on mass-selective momentum control(invited on 8 Sep.2005)

    • 著者名/発表者名
      N. Y. Sato, Y. Nakano, K. Kinoshita, T. Ikehata, S. Yamauchi&J. Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 66th Autumn Meeting, 2005) The Japan Society of Applied Physics No,0 8p-N-5
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] The resistivity measurement in the plasma deposition of ZnO thin film for mass-selective momentum control

    • 著者名/発表者名
      Yoshihiro Komatsu, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi, and Jin Oonuki
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 55th Spring Meeting, 2008) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No,1 28p-ZJ-10
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • [学会発表] Production of low temperature plasma under low pressure for complex compound synthesis by mass-selective momentum control

    • 著者名/発表者名
      Naoyuki Sato, Kousuke Kinoshita, Takashi Ikehata, Satoshi Yamauchi
    • 学会等名
      Extended Abstracts(The 54th Autumn Spring 2006) The Japan Society of Applied Physics and Related Societies No.1 29p-C-8
    • 発表場所
      in Japanese
    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360356
  • 1.  白木 廣光 (50272109)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  木村 孝之 (50302328)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  佐藤 直幸 (80225979)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 47件
  • 4.  池畑 隆 (00159641)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 46件
  • 5.  大貫 仁 (70315612)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 46件
  • 6.  城塚 達也 (70823003)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件

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