長岡史郎 Nagaoka Shiro

研究者番号	30300635
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2016年度 – 2023年度: 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 教授 2006年度 – 2007年度: 詫間電波工業高等専門学校, 電子工学科, 教授 2005年度: 詫間電波工業高等専門学校, 電子工学科, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分62030:学習支援システム関連 / 科学教育研究代表者以外小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 小区分21050:電気電子材料工学関連 / 外国語教育
キーワード	研究代表者デバイス / リソグラフィ / 熱拡散 / 微細化 / デバイスプロセス / フォトリソグラフィ / 半導体デバイス / 半導体 / 微細加工 / 電子デバイス・機器 … もっと見る / リソグラフィー / バイポーラトランジスタ / MOS FET / pn接合 / Sol Gel / 教育 / 簡素化 / 集積回路 / ｐｎ接合 / Sol-Geｌ / プロセス / 工学教育 / p-n接合 / Sol-Gel … もっと見る研究代表者以外水素ラジカル / WBT / ESP / 除去速度 / 分解 / 酸素ラジカル / ノボラック樹脂 / 感光剤 / 触媒毒 / 架橋・硬化 / 分子軌道計算 / 深紫外線励起発光分光法 / ラマン分光法 / 微量フォースセンサーシステム / 酸素微量添加 / ポリマー分解 / PAC介在架橋 / レジスト / 酸素添加 / ポリマー / ラジカル / 歪 / スピン・オン・グラス / 非線形性 / スピンオングラス法 / スパッタ法 / 反転層 / 酸化膜 / 低温プロセス / 酸素ドナー / 格子欠陥 / ホール効果 / ピゾ抵抗効果 / 抵抗の温度特性 / 空孔 / ノンドープ / 水素アニール / 荷電状態 / 欠陥準位 / 結晶欠陥 / 温度依存性 / 結晶歪 / ピエゾ抵抗効果 / ゲルマニウム / English Teaching / Learning through Media / Video Learning / Science / English / 理工係 / 英語教育 / メディア教育 / ビデオ教材 / 理工系 / 英語隠す

理科室で構築したナノテクプラットフォームで実現する半導体デバイスファウンドリ研究代表者
- 研究代表者
  
  長岡史郎
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分62030:学習支援システム関連
- 研究機関
  香川高等専門学校
p型Geのピエゾ抵抗効果
- 研究代表者
  
  松田和典
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分21050:電気電子材料工学関連
- 研究機関
  大阪大学
   徳島文理大学
水素ラジカルによるポリマー材料の分解・除去における酸素微量添加効果の解明
- 研究代表者
  
  山本雅史
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  香川高等専門学校
理科室で構築するナノテクプラットフォーム研究代表者
- 研究代表者
  
  長岡史郎
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  科学教育
- 研究機関
  香川高等専門学校
理工系基礎科目と連携した英語ビデオ教材の開発と教授法の研究
- 研究代表者
  
  森和憲
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  外国語教育
- 研究機関
  詫間電波工業高等専門学校

すべて 2024 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Effects of Hydrogen Radical Treatment on Piezoresistance Coefficients of Germanium2023
- 著者名/発表者名
  (1)K.Matsuda, M.Yamamoto, M.Mikawa, S.Nagaoka, N.Mori and K.Tsutui,
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express,
  
  巻: 16巻　5号号: 4 ページ: 82-86
- DOI
  10.35848/1882-0786/acc8b4
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308, KAKENHI-PROJECT-19K04478
[雑誌論文] Removal of Novolac Photoresist with Various Concentrations of Photo-active Compound Using H<sub>2</sub>/O<sub>2</sub> Mixtures Activated on a Tungsten Hot-wire Catalyst2021
- 著者名/発表者名
  Akita Koki、Sogo Shota、Sogame Ryusei、Yamamoto Masashi、Nagaoka Shiro、Umemoto Hironobu、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 34 号: 5 ページ: 499-504
- DOI
  10.2494/photopolymer.34.499
- NAID
  130008119601
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2021-06-11
- 言語
  英語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[雑誌論文] Nanotech Platoform Established for Average Technical Education Science laboratories2021
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka, M.Yamamoto, T.Tsuji, T.Shimazu, R.W.Joshstion, K.Matsuda, F.Shimokawa, H.Horibe
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: - ページ: 86-91
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[雑誌論文] Evaluation of Decomposition Property of Photoresist by Oxygen Radicals Using Helium-Oxygen Mixtures2020
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Masashi、Akita Koki、Nagaoka Shiro、Umemoto Hironobu、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 33 号: 4 ページ: 433-437
- DOI
  10.2494/photopolymer.33.433
- NAID
  130007867637
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2020-07-01
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[雑誌論文] Effects of Nitrogen Dilution on the Photoresist Removal Rate by Hydrogen Radicals2020
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Masashi、Nishioka Hiroto、Akita Koki、Nagaoka Shiro、Umemoto Hironobu、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 33 号: 4 ページ: 427-431
- DOI
  10.2494/photopolymer.33.427
- NAID
  130007867636
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2020-07-01
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[雑誌論文] Relationship between Oxygen Additive Amount and Photoresist Removal Rate Using H Radicals Generated on an Iridium Hot-Wire Catalyst2019
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Masashi、Shiroi Tomohiro、Shikama Tomokazu、Nagaoka Shiro、Umemoto Hironobu、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 32 号: 4 ページ: 609-614
- DOI
  10.2494/photopolymer.32.609
- NAID
  130007744433
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2019-06-24
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[雑誌論文] Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst2019
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Masashi、Shiroi Tomohiro、Shikama Tomokazu、Nagaoka Shiro、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  American Institute of Physics Conference Proceedings
  
  巻: 2151 ページ: 020010-020010
- DOI
  10.1063/1.5124640
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[雑誌論文] Oxygen additive effects on decomposition rate of poly(vinyl phenol)-based polymers using hydrogen radicals produced by a tungsten hot-wire catalyst2019
- 著者名/発表者名
  Yamamoto Masashi、Nagaoka Shiro、Ohdaira Keisuke、Umemoto Hironobu、Horibe Hideo
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 679 ページ: 22-26
- DOI
  10.1016/j.tsf.2019.03.035
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[雑誌論文] Origin of the Piezoresistance Effects in p-Type Silicon at High Temperature2019
- 著者名/発表者名
  Kazunori Matsuda, Shiro Nagaoka and Hirosi Kajiyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 58 ページ: 1-3
- NAID
  210000156808
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[雑誌論文] Removal of Polymers for KrF and ArF Photoresist Using Hydrogen Radicals Containing a Small Amount of Oxidizing Radicals2018
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, T. Taki, T. Sunada, T. Shikama, S. Nagaoka, H. Umemoto　and H. Horibe
- 雑誌名
  
  J. Photopolym. Sci. Technol.
  
  巻: 31(3) ページ: 419-424
- NAID
  130007481491
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] Proposal for Reducing Pattern Position Alignment Error of A Simplified Photo Lithography Method for Education2018
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka, M. Yamamoto, T. Tsuji, K. Matsuda, T. Shimizu, R. W. Johnston, T. Shikama, F. Shimokawa and H. Horibe
- 雑誌名
  
  The Proceedings of 12th Internationa Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: 1 ページ: 512-517
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] シリコン太陽電池作製実験教材とその科学技術教育活動への応用2018
- 著者名/発表者名
  辻琢人, 長岡史郎, 若原昭浩
- 雑誌名
  
  電気評論
  
  巻: 103 ページ: 73-76
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] 科研費による研究成果の社会還元・普及事業へのシリコン太陽電池作製教材の応用2017
- 著者名/発表者名
  辻琢人、長岡史郎，若原昭浩
- 雑誌名
  
  工学教育
  
  巻: 65 ページ: 38-41
- NAID
  130006110335
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] Fundamental Study of the Simplified Micro Diffusion Bipolar Transistor as the Educational Resource2017
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka, M. Yamamoto, T. Tsuji, T. Shimizu, R. W. Johnston, H. Horibe, F. Shimokawa,T. Shikama and M. Rusop
- 雑誌名
  
  Transactions of ISATE 2017 The 11th International Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: 1 ページ: 275-279
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] Pressure Dependence of Photoresist Removal Rate Using Hydrogen Radicals2017
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, T. Shiroi, S. Nagaoka, T. Shikama, H. Umemoto, K. Ohdaira, T. Nishiyama and H. Horibe
- 雑誌名
  
  . Photopolym. Sci. Technol.
  
  巻: 30(3) ページ: 297-301
- NAID
  130005950262
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] A proposal of the Simplified IC Fab Establishied in the Average Science Laboratory for Cultivating Scientific Mind2016
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston，清水共，鹿間共一
- 雑誌名
  
  The Transactons of ISATE2016, The 10th International Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: - ページ: 13-16
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] A Study of the Simplified IC FAB for the Science and Technical Education2016
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 雑誌名
  
  The Proceeding of the 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
  
  巻: - ページ: 161-165
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] A feasibility study of the selective and simultaneous thermal impurity diffusion process on the silicon substrate2016
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 雑誌名
  
  The Proceeding of the 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
  
  巻: - ページ: 166-171
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Study of Resolution Improvement of the Simplified Contact Photo Lithography Using Phase Shift Method for EE Education2024
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka*, T. Shimizu, M. Yamamoto, R. W. Johnston, K. Matsuda and H. Horibe
- 学会等名
  5th Malaysia-Japan International Conference on Nanoscience, Nanotechnology and Nanoengineering 2024 (MJIC2024)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] Development of an Educational Grating Using a Photomask and of an Educational Scenario Using It2024
- 著者名/発表者名
  Ayano Doi, Hayato Kawazome, Shiro Nagaoka
- 学会等名
  5th Malaysia-Japan International Conference on Nanoscience, Nanotechnology and Nanoengineering 2024 (MJIC2024)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] A Study of Resolution an Overlay Accuracy of a Simplified Photo Lithography Process for EE Education Use2023
- 著者名/発表者名
  (4)T.Shimizu, M.Yamamoto, R.Johnston, K.Matsuda, H. Horibe and S.Nagaoka,
- 学会等名
  4th MALAYSIA- JAPAN International Conference on Nanoscience, Nanotechnology & Nanoengineering 2023 (MJIC 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] Feasibility Study of a Simplified Nanotech Platform and Device Evaluation Procedure Established for Average Educational Science Laboratories2023
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka, M.Yamamoto, T.Shimizu, R.Johnston, K.Matsuda and H.Horibe
- 学会等名
  4th MALAYSIA-JAPAN International Conference on Nanoscience, Nanotechnology & Nanoengineering 2023 (MJIC 2023),
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] ラミネートフォトマスクによる曲面への微細加工の産業応用2023
- 著者名/発表者名
  長岡史郎
- 学会等名
  産業技術振興会シーズ発表会、萌芽的研究実施事例、No3
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] Effects of Hydrogen Radicals Treatment of Piezoresistance Coefficients of Germanium2023
- 著者名/発表者名
  K.Matsuda, M.Yamamoto, M.Mikawa, S.Nagaoka, K.Tsutsui
- 学会等名
  International Conference on Physics of Semiconductors
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] 教育用簡素化微細加工プロセスのレジストパタン解像度と重ね合せ精度改善に関する一考察2023
- 著者名/発表者名
  土井彩乃、清水共、川染勇人、山本雅史、ロバートジョンストン、松田和典、堀邊英夫、長岡史郎
- 学会等名
  令和５年度電気・電子・情報関係学会四国支部連合大会、11ー5
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] Effects of Hydrogen Radicals Treatment of Piezoresistance Coefficients of Germanium2022
- 著者名/発表者名
  K.Matsuda, M.Yamamoto, M.Mikasa, S.Nagaoka, K.Tsutsui,
- 学会等名
  International Conference on Physics of Semiconductors,2022
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] タングステンHot-Wireで活性化したH2/O2混合ガスによるノボラック系ポジ型レジストの除去速度低下の原因の検討2022
- 著者名/発表者名
  山本雅史、秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫
- 学会等名
  第20回Cat-CVD研究会(佐賀・オンライン)，pp.21-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] Geのピエゾ抵抗係数に対する水素処理効果2022
- 著者名/発表者名
  松田，山本，三河，長岡，谷川，國本，筒井
- 学会等名
  2022年第69回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] Effects of Hydrogen Radical Treatment on Piezoresistance Coefficients of Germanium2022
- 著者名/発表者名
  K. Matsuda, M.Yamamoto, M.Mikawa, S.Nagaoka, K.Tsutui
- 学会等名
  International Conference on the Physics of Semiconductors 2022
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] タングステンHot-Wireで活性化したH2/O2混合ガスによるノボラック系ポジ型レジストの除去速度低下の原因の検討2022
- 著者名/発表者名
  山本雅史、秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫
- 学会等名
  第20回Cat-CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] タングステン加熱触媒体で活性化したH2/O2混合ガスを用いたPAC量の異なるノボラックレジストの除去2021
- 著者名/発表者名
  秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第38回国際フォトポリマーコンファレンス
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] タングステン Hot-Wire で活性化した H2/O2 混合ガスによるノボラックレジストの除去性の検討2021
- 著者名/発表者名
  山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第18回Cat-CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] p型Geの異常ピエゾ抵抗係数2021
- 著者名/発表者名
  松田，筒井，山本，長岡，梶山
- 学会等名
  第82回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] A Study of a Simplified Integrated Circuit Fabrication Method for Use in a Nanotech Platform for Average technical Education Science Laboratories2021
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka, M.Yamamoto, T.shimizu,R.Hohnston, T.Shikama and K.Matsuda,
- 学会等名
  3rd Malaysia-Japan International Conference on Nanoscience, Nanotechnology & Nanoengineering (MJIC) 2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] Geのピエゾ抵抗効果（Ⅰ）2020
- 著者名/発表者名
  松田和典，生田壮馬，中谷友哉，長岡史郎，筒井一生
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] He/O2混合ガスを用いたOラジカルによるレジストの分解特性の評価2020
- 著者名/発表者名
  秋田航希，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第17回Cat-CVD研究会（オンライン），P-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] Nanotech Platform Established for Average Technical Education Science Laboratories2020
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka, M.Yamamoto, T.Tsuji, T.Shikama, T.Shimizu, R.W.Johston, K.Matsuda, F.Shimokawa and H.Horibe
- 学会等名
  The Transactions of ISATE2019, The 13th International Symposium on Advances in Technology Education
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去速度における窒素希釈効果2020
- 著者名/発表者名
  西岡寛人，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第17回Cat-CVD研究会（オンライン），P-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] 理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境2020
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，山本雅史，鹿間共一，清水共，Robert Johnston，松田和典，下川房男，堀邉英夫
- 学会等名
  応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04478
[学会発表] 活性種とポリマーとの反応について2020
- 著者名/発表者名
  山本雅史，秋田航希，西岡寛人，谷野柊，濱崎智行，長岡史郎，鹿間共一，大平圭介，関口淳，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第17回Cat-CVD研究会（オンライン），15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] He/O2混合ガス中で生成したOラジカルのレジストとの反応性評価2020
- 著者名/発表者名
  山本雅史，秋田航希，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会（オンライン），9p-Z25-5
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] 理科室で構築する工学教育用半導体デバイス設計製作評価環境2020
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，山本雅史，鹿間共一，清水共，ジョンストン・ロバート・ウェストン，松田和典，下川房男，堀邊英夫
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集（2020上智大学四谷キャンパス） 14a-PA1-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] 水素ラジカルを用いたKrF/ArFレジスト用ベース樹脂の除去速度における酸素添加効果2019
- 著者名/発表者名
  山本雅史，城井智弘，長岡史郎，大平圭介，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第16回Cat-CVD研究会（姫路），14-15（2019）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] ffect of Oxygen Addition on Rate of Photoresist Removal Using Hydrogen Radicals Produced by a Tungsten Hot-Wire Catalyst2019
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, T. Shiroi, T. Shikama, S. Nagaoka, H.Umemoto, and H. Horibe
- 学会等名
  The 10th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2019 (NANO-SciTech 2019)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 理科室で構築するナノテクプラットフォーム　－設備等の限られた環境下における半導体デバイスの設計製作評価を可能にする環境の構築－2019
- 著者名/発表者名
  國澤悠，山本雅史，清水共，ジョンストン・ロバート・ウェストン，堀邊英夫，下川房男，長岡史郎
- 学会等名
  第20回システムインテグレーション部門講演会（高松），3B1微細構造デバイス，2226-2231（2019）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] Geのピエゾ効果(2)2019
- 著者名/発表者名
  松田和典,長岡史郎
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A study for reducing pattern position alignment error of a simplified photo lithography method for the nanotech platform established at the average science laboratory2019
- 著者名/発表者名
  H. Kunisawa, M. Yamamoto, T. Shimizu, R. W. Johnston, F. Shimokawa, H. Horibe, M. Rusop, and S. Nagaoka
- 学会等名
  The 10th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2019 (NANO-SciTech 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 電子線レジストの感度曲線を用いたレジスト解像度パタンのモンテカルロシミュレーション2019
- 著者名/発表者名
  宮﨑翔，山本雅史，河田純，堀邊英夫，長岡史郎
- 学会等名
  第20回システムインテグレーション部門講演会（高松），3B1微細構造デバイス，2232-2235（2019）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] イリジウム加熱触媒体で生成した水素ラジカルを用いたレジスト除去速度と酸素添加量との関係2019
- 著者名/発表者名
  山本雅史，城井智弘，鹿間共一，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第36回国際フォトポリマーコンファレンス（千葉），B4-03（2019）
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04543
[学会発表] Photoresist Removal Using Hydrogen Radicals Produced by Tantalum Hot- Wire Catalyst2018
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, T. Shiroi, T. Shikama, S. Nagaoka, and H. Horibe
- 学会等名
  9th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2018, (Nano-SciTech2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Proposal of Totally Simplified Educational Semiconductor Device Fabrication Process under Normal Air Environment2018
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka,M.Yamamoto,T.Tsuji,T.Shimizu,R.W.Johnston, T. Shikama, and H.Horibe
- 学会等名
  9th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2018, (Nano-SciTech2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Products Of The Decomposition In Photoresist Removal Using Hydrogen Radicals2018
- 著者名/発表者名
  M.Yamamoto, H.Umemoto, S.Nagaoka, T.Shikama and H.Horibe
- 学会等名
  The 14th Eco-Energy and Materials Science and Engineering Symposium
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Flow Rate Dependence of Resist Removal Rate Using Hydrogen Radicals2018
- 著者名/発表者名
  T. Shiroi, M. Yamamoto, T. Shikama, S. Nagaoka, and H. Horibe
- 学会等名
  9th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2018, (Nano-SciTech2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 酸素を微量添加した水素ラジカルを用いたKrF/ArFレジスト用ベースポリマーの除去2018
- 著者名/発表者名
  1)山本雅史，砂田拓人，滝智洋，鹿間共一，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
- 学会等名
  第35回国際フォトポリマーコンファレンス（千葉）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Oxygen Additive Effects on Decomposition Rate of Poly(vinyl phenol)-based Polymers Using Hydrogen Radicals Produced by a Tungsten Hot-wire Catalyst2018
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, S. Nagaoka, K. Ohdaira, H. Umemoto, and H. Horibe
- 学会等名
  10th International Conference on Hot Wire (Cat) & Initiated Chemical Vapor Deposition (HWCVD10)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Fundamental Study of Resist Pattern Resolution Control with a Resist Sensitivity Curve for Electron Beam Lithography2018
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka, J. Kawata, M.Yamamoto and H. Horibe
- 学会等名
  The 14th Eco-Energy and Materials Science and Engineering Symposium (EMSES 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Product of the Decomposition in Photoresist Removal using Hydrogen Radicals2018
- 著者名/発表者名
  M. Yamamoto, H. Umemoto, S. Nagaoka, T. Shikama, and H. Horibe
- 学会等名
  The 14th Eco-Energy and Materials Science and Engineering Symposium (EMSES 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Fundamental Study of Resist PatternResolution Control with a Resist Sensitivity Curve for Electron Beam Lithography2018
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka,J.Kawata,M.Yamamoto and H. Horibe
- 学会等名
  The 14th Eco-Energy and Materials Science and Engineering Symposium
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A p-n Junction for the Simplified nMOS FET Fabrication using Alignment-less Lithography2017
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎、辻琢人，山本雅史，R.W.Jhonston,堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Feasibility Study of Selective and Simultaneous Thermal Diffusions for Simplified MOS Devie Fabrication2017
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，塩田幸輝，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnsotn, 堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017（NANO-SciTech2017),
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM), Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Geのピエゾ効果2017
- 著者名/発表者名
  松田和典,檜原優希，長岡史郎,神田洋三
- 学会等名
  応用物理学会2017年（平成29年）春季講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜，神奈川県
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Fabrication and Evaluation of the Silicon Single Crystal p-n Junction using the Sol-Gel BSG Thin Film2017
- 著者名/発表者名
  塩田幸輝，長岡史郎
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017),
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 二層レジストを用いた酸素プラズマによるドライ現像2017
- 著者名/発表者名
  高垣信巨、長岡史郎、辻琢人、山本雅史、ロバート・ジョンストン、堀邊英夫、清水共
- 学会等名
  第14回CAT－CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 二層フォトレジストのドライ現像と不純物の熱拡散プロセスへの応用2017
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺、長岡史郎、辻琢人、山本雅史、ロバート・ジョンストン、堀邊英夫、清水共
- 学会等名
  第14回CAT－CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A p-n Junction Study for nMOS FET Fabrication using Alignment-less Lithography2017
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  NANO-SciTech2017, International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM),Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Improvement of Insulative Behavior of Perovskite Structured PbTiO3 Thin Films Prepared by Sol-gel Spin Coating Method2017
- 著者名/発表者名
  Z. Nurbaya, M.H. Wahid,　M.D. Rozana, S.A.H. Alrokayan, H.A. Khan,S. Nagaoka and M.Rusop
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Si,Geの室温のおける価電子バンド変形ポテンシャル2017
- 著者名/発表者名
  松田和典、長岡史郎、神田洋三
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Highly Conductive of MEH-PPV: ZnO Nanocomposite Thin Film at Various ZnO Composition Via Spin Coating for OLEDs Applications2017
- 著者名/発表者名
  N.E.A. Azhar, S.S.Shariffudin, Salman A.H.Alrokayan, Haseeb A. Khan, S.Nagaoka, M.Rusop
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Nanostructured ZnO Based MSM Gas Sensor2017
- 著者名/発表者名
  A.K. Shafura, I. Saurdi, N.D.Md Sin, U.M. Noor, M.H. Mamat,S.A.H. Alrokayan, H.A. Khan, S.Nagaoka, M. Rusop
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加2017
- 著者名/発表者名
  城井智弘、山本雅史、長岡史郎、梅本弘信　、大平圭介、西山聖、堀邊英夫
- 学会等名
  第14回CAT－CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Measurement of Rate of Photoresist Removal by Hydrogen Radicals using Thin Film Interference2017
- 著者名/発表者名
  山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  NANO-SciTech2017, International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM), Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性2017
- 著者名/発表者名
  城井智弘，山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，梅本宏信，大平圭介，西山聖，堀邊英夫
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会（東京）
- 発表場所
  パシフィコ横浜，神奈川県
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Fundamental Study of the Fabrication Process for the Micro Alloy Silicon Transistor Using Silicon Anisotropic Etching2017
- 著者名/発表者名
  真鍋海，長岡史郎，塩田幸輝, 下川房男
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Boron Selective Thermal Impurity Diffusion Method that Support a Simplified pMOS FET Fabrication Process2017
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  NANO-SciTech2017, International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM),Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Boron Selective Thermal Diffusion for the Simplified pMOS FET Fabrication Process2017
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎、辻琢人，山本雅史，R.W.Jhonston,堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 水素ラジカルを用いたレジスト除去における酸素添加の効果2016
- 著者名/発表者名
  山本雅史,梅本宏信,大平圭介,鹿間恭一,長岡史郎,西山聖,堀邊英夫
- 学会等名
  2016年度応用物理学会中四国支部若手半導体研究会
- 発表場所
  加計学園前島研修所, 岡山県
- 年月日
  2016-07-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 理科室で実現するナノテクプラットフォームと技術開発教育への応用2016
- 著者名/発表者名
  長岡史郎
- 学会等名
  産業技術振興会シーズ発表会
- 発表場所
  リーガホテルゼスト高松, 香川県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 窒化シリコン薄膜を用いた超微細デバイス用基板の作製～電子線リソグラフィの高解像度化とその応用～2016
- 著者名/発表者名
  長岡史郎
- 学会等名
  文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業微細加工プラットフォーム第２回広島大学・山口大学・香川大学・ＦＡＩＳ合同シンポジウム
- 発表場所
  山口大学　常盤キャンパス, 山口県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Study of the Simplified IC FAB for the Science and Technical Education2016
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  the 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
- 発表場所
  Vocational College Universitas Gadjah MADA, Indonesia
- 年月日
  2016-10-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A feasibility study of the selective and simultaneous thermal impurity diffusion process on the silicon substrate2016
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  The 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
- 発表場所
  Vocational College Universitas Gadjah MADA, Indonesia
- 年月日
  2016-10-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Graphical Representation and Origin of Piezoresistance Effect in Germanium2016
- 著者名/発表者名
  松田和典,長岡史郎,神田洋三
- 学会等名
  The 33rd International conference on the Physics of semiconductors (ICPS2016)
- 発表場所
  Beijing International Convention Center, ：People's Republic of China
- 年月日
  2016-07-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A proposal of the Simplified IC Fab Establishied in the Average Science Laboratory for Cultivating Scientific Mind2016
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，辻琢人，鹿間共一，山本雅史，R.W.Johnsotn，清水共
- 学会等名
  The 10th International Symposium on Advances in Technology Education
- 発表場所
  School of Engineering, TOHOKU University, Miyagi Japan
- 年月日
  2016-09-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992

1. 山本雅史 (60733821)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 53件
2. 堀邊英夫 (00372243)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 43件
3. 松田和典 (10192337)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 16件
4. 清水共 (40455168)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 18件
5. JOHNSTON ROBERT (60743698)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 17件
6. 鹿間共一 (70206069)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 44件
7. 森和憲 (60353330)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 南貴之 (80190700)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 東田洋次 (20381014)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 村上純一 (70200269)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 小野安季良 (40290811)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 高吉清文 (00179566)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 下川房男 (90580598)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
14. 筒井一生 (60188589)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件

長岡 史郎 Nagaoka Shiro

研究課題

研究成果

共同研究者

理科室で構築したナノテクプラットフォームで実現する半導体デバイスファウンドリ研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

p型Geのピエゾ抵抗効果

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

水素ラジカルによるポリマー材料の分解・除去における酸素微量添加効果の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

理科室で構築するナノテクプラットフォーム研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

理工系基礎科目と連携した英語ビデオ教材の開発と教授法の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Effects of Hydrogen Radical Treatment on Piezoresistance Coefficients of Germanium2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Removal of Novolac Photoresist with Various Concentrations of Photo-active Compound Using H<sub>2</sub>/O<sub>2</sub> Mixtures Activated on a Tungsten Hot-wire Catalyst2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Nanotech Platoform Established for Average Technical Education Science laboratories2021

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Evaluation of Decomposition Property of Photoresist by Oxygen Radicals Using Helium-Oxygen Mixtures2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Effects of Nitrogen Dilution on the Photoresist Removal Rate by Hydrogen Radicals2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Relationship between Oxygen Additive Amount and Photoresist Removal Rate Using H Radicals Generated on an Iridium Hot-Wire Catalyst2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst2019

長岡史郎 Nagaoka Shiro