津留俊英 Tsuru Toshihide

… 別表記

都留俊英 TSURU Toshihide

研究者番号	30306526
その他のID
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 山形大学, 地域教育文化学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2024年度: 山形大学, 地域教育文化学部, 教授 2018年度: 山形大学, 地域教育文化学部, 教授 2016年度 – 2017年度: 山形大学, 地域教育文化学部, 准教授 2012年度 – 2015年度: 山形大学, 教育文化学部, 准教授 2014年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 … もっと見る 2012年度: 山形大学, 地域教育文化学部, 准教授 2011年度: 東北大学, 多元物質研究所, 助教 2011年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 2007年度 – 2009年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 2002年度 – 2006年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手 1998年度 – 1999年度: 学習院大学, 理学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者応用光学・量子光工学 / 小区分09080:科学教育関連 / 文化財科学・博物館学 / 光工学・光量子科学 / 薄膜・表面界面物性研究代表者以外中区分30:応用物理工学およびその関連分野 / 工学 / 理工系 / 応用物性・結晶工学 / 理工系 / 応用光学・量子光工学 / 応用光学・量子光工学
キーワード	研究代表者エリプソメトリー / 偏光計測 / 形状計測 / 偏光 / 超薄膜 / 軟X線 / 多層膜 / 光計測 / STEAM教育 / 理科教育 … もっと見る / ICT機器 / 3D計測 / 応用光学・量子光工学 / 屈折率 / テフラ / 屈折率計測 / 偏光解析 / ミラー / 光学素子 / 広帯域 / ピコメーター / 成膜モニター / エリプソメーター / Layer-by-layer / その場計測 / モニタリング … もっと見る研究代表者以外軟X線 / エリプソメーター / スパッタリング / リソグラフィ / 多層膜ミラー / Growth rate monitor / Ellipsometer / Sputtering / Period thickness distribution control / Laser Plasma / Microscope / Multilayer / Soft X-ray / 成膜レートモニター / 周期膜厚分布制御 / レーザープラズマ / 顕微鏡 / 多層膜 / OSF (Oxidation Induced Stacking Faults) / micro-defects / LST (Light Scattering Tomography) / photoluminescence mapping / elastic scattering / Laser Scanning Tomography / growth-in defects / Light Scattering Tomography / 半導体微小欠陥 / 微小欠陥 / 半導体 / 評価法 / 光散乱トモグラフィー / OSF(Oxidation induced Stacking Faults) / 微少欠陥 / LST(Light Scattering Tomography) / 蛍光 / 弾性散乱 / LST(Laser Scanning Tomography) / 成長欠陥 / 光散乱断層画法 / 負の屈折率 / 光磁性 / プラズモニクス / 数値計算 / 光物性 / 微細加工 / 量子ドット / シミュレーション / マックスウェル応力 / トポロジカル絶縁体 / 磁気カイラル効果 / 光リソグラフィー / 周期多重極境界要素法 / カイラル / 非相反性 / トポロジー最適化 / ベリー位相 / 光整流 / メタマテリアル / 偏光計測干渉計 / 分光計測 / エリプソメトリー / ポラリメーター / 偏光 / ミリング / X線 / 極紫外光 / 電磁波 / 波面制御 / 反射波面 / 多層膜鏡隠す

ICT機器を用いた光3次元形状計測システムの構築と理科教育プログラムへの活用研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分09080:科学教育関連
- 研究機関
  山形大学
10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分30:応用物理工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京工芸大学
顕微偏光解析による高精度屈折率計測法の開発とそのテフロクロノロジーへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  文化財科学・博物館学
- 研究機関
  山形大学
傾斜エリプソメトリーによるその場精密3次元形状計測法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  山形大学
2次元偏光解析による3 次元形状計測法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2012
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  山形大学
   東北大学
周期構造を利用した光メタマテリアルの作製と物理
- 研究代表者
  
  石原照也
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2014
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東北大学
リアルタイム分光エリプソメータの開発
- 研究代表者
  
  川畑州一
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東京工芸大学
軟X線ブロードバンド多層膜光学素子の非等周期構造設計および精密作製法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2009
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  東北大学
ピコメーター膜厚検出感度を持つ成膜モニターの開発と水の窓軟X線多層膜反射鏡の作製研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2007
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  東北大学
多層膜表面ミリングによる反射波面の制御研究代表者
- 研究代表者
  
  津留俊英, 山本正樹
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
散乱光と蛍光を同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微少欠陥の検出法
- 研究代表者
  
  小川智哉
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用物性・結晶工学
- 研究機関
  学習院大学

[図書] Compendium of Surface and Interface Analysis2018
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru et al., The Surface Science Society of Japan ed.
- 総ページ数
  853
- 出版者
  Springer, Singapore
- ISBN
  9789811061554
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[雑誌論文] 傾斜エリプソメトリーとその応用2018
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 雑誌名
  
  光アライアンス
  
  巻: 29 ページ: 31-35
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[雑誌論文] Cr/Sc/Mo multilayer for condenser optics in water window microscopes2017
- 著者名/発表者名
  T. Hatano, T. Ejima, T. Tsuru
- 雑誌名
  
  Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[雑誌論文] 2次元偏光解析による3次元形状計測2014
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 山本治美, 松川裕章
- 雑誌名
  
  表面科学
  
  巻: 35 号: 6 ページ: 300-305
- DOI
  10.1380/jsssj.35.300
- NAID
  130004718846
- ISSN
  0388-5321, 1881-4743
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[雑誌論文] Tilt-ellipsometry of object surface by specular reflection for three-dimensional shape measurement2013
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 21 号: 5 ページ: 6625-6632
- DOI
  10.1364/oe.21.006625
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[雑誌論文] Development of spectroscopic transmission-type four detector polarimeter2011
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru, Y. Kubota, T. Tadokoro and S. Kawabata
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 519 号: 9 ページ: 2707-2710
- DOI
  10.1016/j.tsf.2010.12.044
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[雑誌論文] 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発2010
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
- 雑誌名
  
  放射光 3(掲載確定)
- NAID
  10026450527
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[雑誌論文] 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発2010
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
- 雑誌名
  
  放射光 (印刷中)
- NAID
  10026450527
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[雑誌論文] Precise determination of layer structure with EUV ellipsometry data obtained by multilayer polarizing elements2008
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  Physica Status Solidi(c) 5
  
  ページ: 1129-1132
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Precise determination of layer structure with EUV ellipsometry data obtained by multilayer polarizing elements2008
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  Phys. Stat Sol (c) 5
  
  ページ: 1129-1132
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Advanced nanometer-size structures, Design and in-situ fabrication control of X-EUV mirrors2008
- 著者名/発表者名
  Eva Majkova, Matej Jergel, Masaki Yamamoto, Toshihide Tsuru, Stefan Luby, Peter Siffalovi
- 雑誌名
  
  Acta Physica Slovaca 57(6)
  
  ページ: 911-1074
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[雑誌論文] Reflection passband broadening by aperiodic designs of EUV/soft X-ray multilayers2007
- 著者名/発表者名
  T.Tsuru
- 雑誌名
  
  AIP Proceedings 879
  
  ページ: 1524-1527
- NAID
  120003728276
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Reflection passband broadening by aperiodic designs of EUV/soft X-ray multilayers2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  AIP, Proc. 9th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879
  
  ページ: 1524-1527
- NAID
  120003728276
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Reflection passband broadening by aperiodic designs of EUV/soft X-ray multilayers2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  AIR, Proc. 9th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 879
  
  ページ: 1524-1527
- NAID
  120003728276
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] In-situ ellipsometric monitor with layer-by-layer analysis for precise thickness control of EUV multilayer optics2006
- 著者名/発表者名
  T.Tsuru
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 515
  
  ページ: 947-951
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Investigation of soft X-ray multilayer fabrication by an in-situ ellipsometric depositionmonitor2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  IPAP Conference Series 7
  
  ページ: 168-170
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] In-situ ellipsometric monitor with layer-by-layer analysis for precise thickness control of EUV multilayer optics2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 515
  
  ページ: 947-951
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Investigation of soft X-ray multilayer fabrication by an in-situ ellipsometric deposition monitor2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  IPAP Conference Series 7
  
  ページ: 168-170
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Investigation of soft X-ray multilayer fabrication by an in-situ ellipsometric deposition monitor2006
- 著者名/発表者名
  T.Tsuru
- 雑誌名
  
  IPAP Conference Series 7
  
  ページ: 168-170
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in-situ automatic ellipsometry2005
- 著者名/発表者名
  T.Tsuru
- 雑誌名
  
  Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 144-147
  
  ページ: 1083-1085
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometr2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  J. Electron. Spectrosc. Relat Phenom. 144-147
  
  ページ: 1083-1085
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in situ automatic ellipsometry2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  J. Electron. Spectrosc. Relat, Phenom.
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Accurate measurement of EUV multilayer period thicknesses by in-situ automatic ellipsometry2005
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 雑誌名
  
  Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 144-147
  
  ページ: 1083-1085
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760030
[雑誌論文] Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  AIP, Proc. 8th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 705
  
  ページ: 732-735
- NAID
  120003728299
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  AIR, Proc. 8th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation 705
  
  ページ: 732-735
- NAID
  120003728299
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Realtime layer-by-layer analysis for multilayer fabrication monitoring by an automatic null ellipsometer2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Realtime layer-by-layer analysis for multilayer fabrication monitoring by an automatic nullellipsometer2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 455-456
  
  ページ: 705-709
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Realtime layer-by-layer analysis for multilayer fabrication monitoring by an automatic null ellipsometer2004
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 455-456
  
  ページ: 705-709
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry2004
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 雑誌名
  
  AIP conference proceedings 705
  
  ページ: 732-735
- NAID
  120003728299
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760030
[雑誌論文] Thickness monitoring of nm period EUV multilayer fabrication by ellipsometry2004
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 雑誌名
  
  AIP conference proceedings 705
  
  ページ: 732-735
- NAID
  120003728299
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Realtime layer-by-layer analysis for multilayer fabrication monitoring by an automatic null ellipsometer2004
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films 455-456
  
  ページ: 705-709
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16760030
[産業財産権] 多層膜の表面形状加工方法及び表面形状加工装置2007
- 発明者名
  津留俊英
- 権利者名
  津留俊英
- 産業財産権番号
  2007-065078
- 出願年月日
  2007-03-14
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 顕微偏光解析法による高精度屈折率計測2018
- 著者名/発表者名
  津留俊英、八木浩司
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[学会発表] 分散と散乱を利用した旋光の可視化2017
- 著者名/発表者名
  津留俊英、田所利康
- 学会等名
  日本理科教育学会第56回東北支部大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[学会発表] 微小試料の高精度屈折率計測のための顕微偏光解析装置の開発2017
- 著者名/発表者名
  津留俊英、八木浩司
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[学会発表] 旋光の可視化2017
- 著者名/発表者名
  津留俊英,田所利康
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜
- 年月日
  2017-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[学会発表] エリプソメトリーによる3次元形状計測のための偏光照明法2016
- 著者名/発表者名
  小川広暉、津留俊英
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東工大
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] 偏光技術による可視化2016
- 著者名/発表者名
  若山俊隆,水谷康弘,津留俊英,大谷幸利
- 学会等名
  Optics & Photonics Japan 2016
- 発表場所
  筑波大学東京キャンパス文京校舎
- 年月日
  2016-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K12805
[学会発表] 4検出器型偏光計の高精度化と高速化2015
- 著者名/発表者名
  石澤倫、津留俊英
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] EUV用偏光光学素子の開発と応用2015
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第11回偏光計測研究会
- 発表場所
  株式会社フォトロン
- 年月日
  2015-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] 4検出器法による高速偏光計測システムの開発2014
- 著者名/発表者名
  石澤倫, 津留俊英
- 学会等名
  第69回応用物理学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2014-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] 4検出器法による液晶可変リターダーの光学特性評価2014
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  偏光計測・制御技術研究グループ偏光勉強会
- 発表場所
  東京都立産業技術研究センター
- 年月日
  2014-12-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] 液晶可変リターダーの光学特性評価2014
- 著者名/発表者名
  大沼穂乃花, 石澤美希, 石澤倫, 津留俊英
- 学会等名
  第69回応用物理学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2014-12-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] 光による三次元形状計測2014
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第64次山形地区教育研究合同集会
- 発表場所
  山形市立第四中学校
- 年月日
  2014-10-11
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] Three-dimensional shape measurement of a glossy object by imaging ellipsometry2013
- 著者名/発表者名
  Toshihide Tsuru
- 学会等名
  The 6th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089
[学会発表] 偏光計測による立体イメージング2012
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  日本光学会年次学術講演会(Optics & Photonics Japan 2012)
- 発表場所
  タワーホール船堀
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 偏光計測による立体イメージング2012
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  2012年日本光学会年次学術講演会(Optics & Photonics Japan 2012)
- 発表場所
  東京都タワーホール船堀東京都タワーホール船堀
- 年月日
  2012-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測2012
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測2012
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京都早稲田大学
- 年月日
  2012-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 液晶可変リターダーを用いた傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測2012
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛県愛媛大学・松山大学
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 傾斜エリプソメトリーによる3次元形状計測2012
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 偏光イメージングのものづくり現場への応用2011
- 著者名/発表者名
  山本治美、松川裕章、荒木秀和、津留俊英
- 学会等名
  第7回偏光計測研究会
- 発表場所
  東京都東京工芸大学
- 年月日
  2011-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 偏光イメージングのものづくり現場への応用2011
- 著者名/発表者名
  山本治美、松川裕章、荒木秀和、津留俊英
- 学会等名
  第7回偏光計測研究会
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23760042
[学会発表] 分光透過型Four Detector Polarimeterの開発2010
- 著者名/発表者名
  久保田義人, 津留俊英, 田所利康, 川畑州一
- 学会等名
  春季応用物理学会
- 発表場所
  東海大学
- 年月日
  2010-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] 透過型分光Four Detector Polarimeter2010
- 著者名/発表者名
  川畑州一, 津留俊英, 田所利康
- 学会等名
  Optics and Photonics Japan 2010
- 発表場所
  中央大学(駿河台)
- 年月日
  2010-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] 振幅分割型ポラリメーターの入射偏光特性評価2010
- 著者名/発表者名
  津留俊英、久保田義人、田所利康、川畑州一
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  長崎大学文教キャンパス
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] 振幅分割型ポラリメーターの入射偏光特性評価2010
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 久保田義人, 田所利康, 川畑州一
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学文教キャンパス
- 年月日
  2010-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] Development of the spectroscopic four detector polarimeter of transmission type2010
- 著者名/発表者名
  T.Tsuru, Y.Kubota, T.Tadokoro, S.Kawabata
- 学会等名
  5^<th> International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE-V)
- 発表場所
  State University of New York, Albany, NY, USA
- 年月日
  2010-05-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] 振幅分割型ポラリメーターの分光偏光計測への応用2010
- 著者名/発表者名
  津留俊英、久保田義人、田所利康、川畑州一
- 学会等名
  日本液晶学会討論会
- 発表場所
  九大医学部百年記念会館
- 年月日
  2010-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] 膜厚分布制御成膜法を応用した新機能X線ミラーの開発2009
- 著者名/発表者名
  羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 津留俊英, 山本正樹
- 学会等名
  第10回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  筑波、つくば国際会議場
- 年月日
  2009-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[学会発表] 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発, 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発2009
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
- 学会等名
  日本放射光学会第一回若手研究会「x線ナノ集光技術研究会」
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2009-08-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[学会発表] エリプソメトリーによる多値情報記録再生技術2009
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 山本正樹
- 学会等名
  光エレクトロニクス第130委員会第268回研究会
- 発表場所
  東京理科大学森戸記念館
- 年月日
  2009-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] 膜厚分布制御成膜法を応用した新機能x線ミラーの開発2009
- 著者名/発表者名
  羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 津留俊英, 山本正樹
- 学会等名
  第10回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  筑波
- 年月日
  2009-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[学会発表] 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発2009
- 著者名/発表者名
  津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 山本正樹
- 学会等名
  日本放射光学会第一回若手研究会「X線ナノ集光技術研究会」
- 発表場所
  大阪、大阪大学
- 年月日
  2009-08-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760017
[学会発表] 透過型Four Detector Polarimeterの試作と液晶配向解析への応用2009
- 著者名/発表者名
  川畑州一, 津留俊英, 田所利康
- 学会等名
  液晶学会液晶討論会
- 発表場所
  東京農工大学
- 年月日
  2009-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560046
[学会発表] Development of an ion milling system by a wide-area ion beam for accurate phase correction of EUV multilayer mirrors2008
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 9th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures
- 発表場所
  USA, Montana
- 年月日
  2008-02-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 軟X線多層膜成膜のpm感度その場偏光解析2008
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  先端計測シンポジウム2008-軟X線顕微計測-
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-03-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] In-situ ellipsometry of picometer sensitivity for soft X-ray multilayer mirror fabrication[in Japanese]2008
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 1st Symposium of CAMS
- 発表場所
  Japan, Sendai
- 年月日
  2008-03-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] In-situ monitoring of soft X-ray multilayer mirror fabrication by an automatic null ellipsometer with picometer sensitivity[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 1st Meeting, Professional Group of Ellipsometry and Polarimetry
- 発表場所
  Japan, Sendai
- 年月日
  2007-11-16
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Period-by-periodイオンミリングによる軟X線多層膜結像鏡の波面補正法の開発2007
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第9回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Period-by-period イオンミリングによる軟X 線多層膜結像鏡の波面補正法の開発2007
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第9回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 非等周期構造による極端紫外線・軟X線多層膜鏡の高反射帯の広帯域化2007
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第54回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  相模原
- 年月日
  2007-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise determination of layer structure by analysis of EUV ellipsometry data obtained with use of multilayer polarizing elements2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 4th International Conference on Spectroscopic Elliosometry
- 発表場所
  Sweden, Stockholm
- 年月日
  2007-06-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise determination of layer structure by analysis of EUV ellipsometry data obtained with use omultilayer polarizing elements2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 4th International Conference on Spectroscopic EUipsometry
- 発表場所
  Sweden, Stockholm
- 年月日
  2007-06-11
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] pm感度エリプソメーターによる軟X線多層膜ミラーの成膜モニタリング2007
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第1回偏光計測研究会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2007-11-16
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Period-by-period ion milling system for accurate phase correction of EUV multilayer mirror reflection2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics
- 発表場所
  Germany, Berlin
- 年月日
  2007-07-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of a period-by-period ion milling system for accurate figure error correction of soft X-ray multilayer mirrors[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 9th Symposium of X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Japan, Nagoya
- 年月日
  2007-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Reflection passband broadening by aperiodic designs of EUV/soft X-ray multilayer mirrors[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 54th Spring Meeting, 2007, Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Sagamihara
- 年月日
  2007-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] In-situ ellipsometric monitor with layer-by-layer analysis for precise thickness control of EUV multilayer optics2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  Internal Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF)
- 発表場所
  USA, San Diego
- 年月日
  2006-05-04
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Optimization of layer thickness in EUV/soft X-ray multilayer optics for wideband reflectance2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  he 9th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI)
- 発表場所
  Korea, Daegu
- 年月日
  2006-06-01
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Optimization of layer thickness in EUV/soft X-ray multilayer optics for wideband reflectance2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 9th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation(SRI)
- 発表場所
  Korea, Daegu
- 年月日
  2006-06-01
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Optimization of boundary structure for soft X-ray multilayer mirrors by an ellipsometric deposition monitor2006
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 8th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures (PXRMS)
- 発表場所
  Japan, Sapporo
- 年月日
  2006-03-15
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise thickness monitoring of EUV multilayer mirror fabrication by an ellipsometric thickness monitor2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  2nd International Symposium on Technologies and Applications of Photoelectron Micro-Spectroscopy with Laser-based VUV Sources
- 発表場所
  Japan, Tsukuba
- 年月日
  2005-02-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Investigation of soft X-ray multilayer mirror fabrication by an in-situ ellipsemetric deposition monitor2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 8th International Conference on X-ray Microscopy (XRM)
- 発表場所
  Japan, Himeji
- 年月日
  2005-07-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] イオンビームスパッタリング法によるMo/Si多層膜鏡成膜のその場偏光解析2005
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第66回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  徳島
- 年月日
  2005-09-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 軟X線多層膜結像鏡の開発とpm感度レートモニター(招待講演)2005
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第8回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  神戸
- 年月日
  2005-12-13
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] In-situ ellipsometric monitoring of Mo/Si multilayer mirrors deposited by ion beam sputtering method[in Japanese]2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 66th Autumn Meeting, 2007, Japan Society of Applied Physics and Related Societies, 27a-B-4
- 発表場所
  Japan, Tokushima
- 年月日
  2005-09-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of soft X-ray multilayer imaging optics by a picometer sensitivity deposition rate monitor[in Japanese]2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 8th Symposium of X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Japan, Kobe
- 年月日
  2005-12-13
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Investigation of soft X-ray multilayer mirror fabrication by an in-situ ellipsometric depositionmonitor2005
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 8th International Conference on X-ray Microscopy (XRM)
- 発表場所
  Japan, Himeji
- 年月日
  2005-07-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] その場計測・膜厚解析エリプソメトリーによる軟X線ミラー多層膜成膜pm感度モニタリング2004
- 著者名/発表者名
  津留俊英
- 学会等名
  第51回応用物理学関係連合学術講演会
- 発表場所
  八王子
- 年月日
  2004-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] An ellipsometric thickness monitor with layer-by-layer analysis for EUV multilayer optics fabrication2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  3rd International EUVL Symposium
- 発表場所
  Japan, Miyazaki
- 年月日
  2004-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise thickness control of EUV beam splitter fabrication by an automatic null ellipsometer[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  Y. Kinoshita, T. Tsuru, M. Yamamoto
- 学会等名
  The 65th Autumn Meeting, 2004, Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Sendai
- 年月日
  2004-09-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Real-time ellipsometry of picometer sensitivity for thickness monitoring of EUV multilayer fabrication2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 7th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures (PXRMS)
- 発表場所
  Japan, Rusutsu
- 年月日
  2004-03-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise fabrication of EUV multilayer mirrors for high-resolution imaging.2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  SANKEN International Symposium on Scientific and Industrial Nanotechnology 2004 (SISSIN-2004)
- 発表場所
  Japan, Osaka
- 年月日
  2004-12-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise fabrication of EUV multilayer mirrors for high-resolution imaging2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  SANKEN International Symposium on Scientific and Industrial Nanotechnology 2004 (SISSIN-2004)
- 発表場所
  Japan, Osaka
- 年月日
  2004-12-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Deposition rate monitoring for accurate period control of EUV multilayers by in-situautomatic ellipsometry2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 14th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (VUV)
- 発表場所
  Australia, Cairns
- 年月日
  2004-07-22
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Deposition rate monitoring for accurate period control of EUV multilayers by in-situ automatic ellipsometry2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 14th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (VUV)
- 発表場所
  Australia, Cairns
- 年月日
  2004-07-22
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Picometer sensitivity monitoring of soft X-ray mirror multilayer by in-situ ellipsometry of real-time thickness analysis[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru, T. Tsutou, M. Yamamoto
- 学会等名
  The 51st Spring Meeting, 2004, Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Hachiouji
- 年月日
  2004-03-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Precise thickness control of ultra-thin film fabrication by an in-situ ellipsometer[in Japanese]2004
- 著者名/発表者名
  Y. Kinoshita, T. Tsuru, T. Ohigashi, T. Hatano, M. Yamamoto
- 学会等名
  The 4th Meeting of IMRAM
- 発表場所
  Sendai
- 年月日
  2004-12-03
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of a high sensitivity thickness monitor for EUV multilayer mirror fabrication2003
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  he 8th International Conference on Synchrotron RadiationInstrumentation(SRI)
- 発表場所
  USA, San Francisco
- 年月日
  2003-08-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] In-situ measurement of multilayer deposition process by an automatic null ellipsometer with picometer sensitivity2003
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE)
- 発表場所
  Austria, Vienna
- 年月日
  2003-07-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] In-situ measurement of multilayer deposition process by an automatic null ellinsometer with picometer sensitivity2003
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 3rd International Conference on Spectroscopic Ellipsometry (ICSE)
- 発表場所
  Austria, Vienna
- 年月日
  2003-07-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of a high sensitivity thickness monitor for EUV multilayer mirror fabrication2003
- 著者名/発表者名
  T. Tsuru
- 学会等名
  The 8th International Conference on Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI)
- 発表場所
  USA, San Francisco
- 年月日
  2003-08-28
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 振幅分割型ポラリメーターによる液晶可変リターダーの評価
- 著者名/発表者名
  石澤倫, 津留俊英
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  北海道大学
- 年月日
  2014-09-17 – 2014-09-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390089

1. 羽田野忠 (90302223)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 1件
2. 山本正樹 (00137887)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 3件
3. 新納和樹 (10728182)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 豊田光紀 (40375168)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 川畑州一 (10118747)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
6. 石原照也 (60168250)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 西村直志 (90127118)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 小野田勝 (80425727)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 冨田知志 (90360594)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 澤田桂 (40462692)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 大野誠吾 (70435634)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 中山和之 (80602721)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 松原正和 (50450648)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 小川智哉 (50080437)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 柳原美廣 (40174552)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 江島丈雄 (80261478)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 馬敏雅 (60255263)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 浅川直紀 (80270924)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 高田昌樹 (60197100)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 王武

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 飯盛浩司

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 白強

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 八木浩司

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件

津留 俊英 Tsuru Toshihide

都留 俊英 TSURU Toshihide

研究課題

研究成果

共同研究者

ICT機器を用いた光3次元形状計測システムの構築と理科教育プログラムへの活用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

顕微偏光解析による高精度屈折率計測法の開発とそのテフロクロノロジーへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

傾斜エリプソメトリーによるその場精密3次元形状計測法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

2次元偏光解析による3 次元形状計測法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

周期構造を利用した光メタマテリアルの作製と物理

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

リアルタイム分光エリプソメータの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

軟X線ブロードバンド多層膜光学素子の非等周期構造設計および精密作製法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ピコメーター膜厚検出感度を持つ成膜モニターの開発と水の窓軟X線多層膜反射鏡の作製研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

多層膜表面ミリングによる反射波面の制御研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

散乱光と蛍光を同時に、かつ、別々の断層図とする半導体微少欠陥の検出法

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[図書] Compendium of Surface and Interface Analysis2018

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