庄子大生ショウジダイセイ

ORCID

ORCID連携する *注記

研究者番号	30312672
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2000年度: 東北大, 電気通信研究所, 助手 1999年度: 東北大学, 電気通信研究所, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者表面界面物性研究代表者以外固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体) / 電子デバイス・機器工学
キーワード	研究代表者以外多重内部反射 / 赤外分光 / 半導体 / Multiple internal reflection / Infrared spectroscopy / Semiconductor / 酸化 / 反応機構 / Oxidation / Reaction mechanism … もっと見る / Adsorption-desorption / Surface / 吸着・脱離 / 表面 / Large-diameter Si wafer / In-line monitoring / organic materials / surface contamination / インライン・モニタリング / シリコン / 大口径ウェーハ / インライン・モニタ / 有機物 / 表面汚染 / エッチング / 電極反応 / 固液界面隠す

研究課題
(4件)
共同研究者
(4人)

窒化による化合物半導体表面の不活性化に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  庄子大生
- 研究期間 (年度)
  2000
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  表面界面物性
- 研究機関
  東北大学
赤外反射分光法による半導体電極-溶液界面反応機構の研究
- 研究代表者
  
  庭野道夫
- 研究期間 (年度)
  1999
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  東北大学
多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究
- 研究代表者
  
  庭野道夫
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  固体物性Ⅰ(光物性・半導体・誘電体)
- 研究機関
  東北大学
Siウェーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究
- 研究代表者
  
  庭野道夫
- 研究期間 (年度)
  1998 – 2000
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・機器工学
- 研究機関
  東北大学

1. 庭野道夫 (20134075)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
2. 木村康男 (40312673)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
3. 鎌倉望 (50323118)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 遠田義晴 (20232986)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件