寒川誠二 Samukawa Seiji

研究者番号	30323108
その他のID	https://orcid.org/0000-0003-4971-3290
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 東北大学, 流体科学研究所, 特任教授(客員)
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2024年度: 東北大学, 流体科学研究所, 特任教授(客員) 2002年度 – 2021年度: 東北大学, 流体科学研究所, 教授 2015年度: 東北大学, 流体化学研究所, 教授 2005年度: 東北大学, 流体科学研究科, 教授 2004年度: 東北大学, 流体力学研究所, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者大区分C / 応用物理学一般 / 薄膜・表面界面物性 / マイクロ・ナノデバイス / 応用物理学一般 / 応用物理学一般研究代表者以外電子・電気材料工学 / 小区分19010:流体工学関連 / ソフトコンピューティング / プラズマエレクトロニクス … もっと見る / プラズマ科学 / 電子デバイス・電子機器 / エネルギー学 / 応用物理学一般 / 感性情報学・ソフトコンピューティング / 薄膜・表面界面物性隠す
キーワード	研究代表者中性粒子ビーム / 表面改質 / エッチング / 量子ドット / 高移動度半導体 / 無欠陥周期ナノ構造 / ナノスケールサーマルマネージメント / 無欠陥ナノ周期構造複合材料 / ナノスケールサーマルマネジメント / 無欠陥ナノ周期構造 … もっと見る / エレクトロンバンド / フォノンバンド / 高移動度半導体素子 / フォノン場制御 / 無欠陥ナノピラー複合材料 / フォノン・バンド独立制御 / エネルギー変換 / フォノンエンジニアリング / ナノ構造 / 熱電素子 / nanocolumn / fin-type vertical MOSFET / low-k film / gate electrode etching / silicon oxynitride / negative ion / etching / neutral beam / 薄膜形成 / シリコン酸窒膜 / ナノ加工 / 半導体デバイス / エッチングダメージ / 起立ゲート型トランジスタ / 高誘電率膜 / 有機分子デバイス / カーボンナノチューブ / ナノカラム / フィン型MOSFET / 低誘電率絶縁膜 / ゲート電極加工 / シリコン酸窒化膜 / 負イオン / カーボンナノチューブトレンジタスタ / ナノ材料 / ナノチューブ・フラーレン / マイクロマシンプローブ / Bow-tieアンテナ型 / 表面プラズモン / Bow-tieアンテナ / 近接場光 / Pbセンター / 低ダメージエッチング / フェリチン / 蓄積電荷量 / フォトン / イオンエネルギー / オンウエハーモニタリング / モニタリング / 薄膜堆積 / 微細加工 / 側壁導電性 / 電子エネルギー分布 / イオンエネルギー分布 / センサー / マイクロマシン / 光照射損傷 / プラズマプロセス / オンウエハモニタリング … もっと見る研究代表者以外中性粒子ビーム / 第一原理計算 / 量子ドット / 表面吸着確率 / 化学結合 / 反応分子動力学 / プラズマ援用化学気相体積法 / 原子層体積法 / 表面拡散 / 表面反応 / 反応分子動力学法 / 成膜プロセス / 自己組織化量子ドット / 中性粒子ビームエッチング / 半導体微細加工 / スピン緩和 / 半導体ナノ構造 / 半導体超微細化 / 光物性 / スピンエレクトロニクス / ナノ材料 / 微細ナノ加工 / スピン注入 / 希薄窒化ガリウムヒ素 / スピン増幅 / 光電スピン変換 / スピンダイナミクス / 電子スピン注入 / スピン光デバイス / 半導体量子ドット / 集積回路 / ナノ構造 / 抵抗変化型メモリ素子 / 脳型人工知能ハードウェア / ニューラルネットワーク / ソフトコンピューティング / 結合次数解析 / 活性化エネルギー / 酸性度 / 密度汎関数法 / プラズマ・ビーム誘起錯体反応 / 第一原理理論計算 / 鉄 / 遷移金属錯体 / 遷移金属エッチング / ion beam / Monte-Carlo simulation / molecular dynamics simulation / ultraviolet / reactive sputtering / etching / plasma / 紫外線照射 / イオンビーム / モンテカルロシミュレーション / 分子動力学シミュレーション / 紫外線 / 反応性スパッタリング / エッチング / プラズマ / High Speed Data Transfer / Parallel Processing System / Optical Wave Guide / Optical Interconnection / Wafer Bonding / Three-Dimensional Integration / Multiport Shared Memory / Three-Dimensionally Stacked Processor / ウェーハ張り合わせ / 高速データ転送 / 並列処理システム / 光導波路 / 光インターコネクション / ウェーハ貼り合わせ / 三次元積層化技術 / マルチポート共有メモリ / 三次元積層型プロセッサ / バイオテンプレート極限加工 / バイオテンプレート局面加工 / ケルマニウム量子細線 / バイオテンプレート曲面加工 / ゲルマニウム量子細線 / シリコン量子細線 / 共鳴散乱現象 / ナノシリコン球 / 面内光ガイディング / 高効率化 / 薄膜シリコン太陽電池 / 塩素 / 紫外光スペクトル / オージェ遷移 / 共鳴遷移 / 欠陥生成 / ワイヤレス測定 / イオンシース / 紫外光照射損傷 / オンウェハモニタリング / エッチング形状予測 / CMOSデバイス / FinFET / ゆらぎ / ＣＭＯＳデバイス / スパイキングニューロン / ナノディスクアレイ構造 / チャージアップ / イオン軌道 / モニタリング / オンウエハセンサ / プラズマ加工 / 量子井戸 / 原子間力顕微鏡 / バイオナノプロセス / X線光電子分光法 / 積層ナノディスク / ナノディスク隠す

化学反応と界面流動現象を包括したCVD/ALD法における薄膜堆積モデルの構築
- 研究代表者
  
  徳増崇
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分19010:流体工学関連
- 研究機関
  東北大学
無欠陥ナノ周期構造によるフォノン場制御を用いた高移動度半導体素子研究代表者
- 研究代表者
  
  寒川誠二
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 審査区分
  
  大区分C
- 研究機関
  東北大学
量子ドットによる光電スピン情報変換基盤の構築
- 研究代表者
  
  村山明宏
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  北海道大学
三次元量子ナノディスクアレイによるゼーベック係数制御・熱電変換素子研究代表者
- 研究代表者
  
  寒川誠二
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  東北大学
遷移金属の新しい低温化学反応エッチングメカニズムの提案
- 研究代表者
  
  久保田智広
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  プラズマエレクトロニクス
- 研究機関
  東北大学
超並列アナログ脳型ＬＳＩに向けたナノ構造メモリ素子とその集積回路化の研究
- 研究代表者
  
  森江隆
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  ソフトコンピューティング
- 研究機関
  九州工業大学
量子・光ナノ構造制御による高効率シリコン系太陽電池に関する研究
- 研究代表者
  
  和田一実
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  エネルギー学
- 研究機関
  東京大学
エネルギー粒子可変ビームによるプラズマプロセス表面反応機構の解明とモデリング
- 研究代表者
  
  久保田智広
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  東北大学
シリコンナノディスクアレイ構造を用いた知能情報処理デバイス・回路の開発
- 研究代表者
  
  森江隆
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  感性情報学・ソフトコンピューティング
- 研究機関
  九州工業大学
オンウエハセンサ技術による基板電荷蓄積量とイオンエネルギー分布計測技術の開発
- 研究代表者
  
  大竹浩人
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  東北大学
単電子デバイスのための積層量子ナノディスク構造の精密作製と量子特性制御
- 研究代表者
  
  久保田智広
- 研究期間 (年度)
  2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東北大学
中性粒子ビーム表面改質によるカーボンナノチューブ構造・物性制御と電気特性研究代表者
- 研究代表者
  
  寒川誠二
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2009
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  東北大学
プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
- 研究代表者
  
  浜口智志
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  プラズマ科学
- 研究機関
  大阪大学
サブ10nm量子ドットの超解像近接場分光研究代表者
- 研究代表者
  
  寒川誠二
- 研究期間 (年度)
  2004 – 2005
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  東北大学
三次元積層型プロセッサチップを用いた超高性能並列処理システム
- 研究代表者
  
  小柳光正
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東北大学
低エネルギー高密度中性粒子ビームによるナノ加工と新機能物質創製研究代表者
- 研究代表者
  
  寒川誠二
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2005
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  東北大学
超高精度プラズマプロセス用オンウエハーモニタリングシステムの構築研究代表者
- 研究代表者
  
  寒川誠二
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  応用物理学一般
- 研究機関
  東北大学

[雑誌論文] Lifetime of photoexcited carriers in space-controlled Si nanopillar/SiGe composite films investigated by a laser heterodyne photothermal displacement method2023
- 著者名/発表者名
  Harada Tomoki、Ohori Daisuke、Endo Kazuhiko、Samukawa Seiji、Ikari Tetsuo、Fukuyama Atsuhiko
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 133 号: 12 ページ: 125703-125703
- DOI
  10.1063/5.0146578
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649, KAKENHI-PROJECT-22KJ2523, KAKENHI-PROJECT-18K04876
[雑誌論文] Impact of nanopillars on phonon dispersion and thermal conductivity of silicon membranes2023
- 著者名/発表者名
  Anufriev Roman、Ohori Daisuke、Wu Yunhui、Yanagisawa Ryoto、Jalabert Laurent、Samukawa Seiji、Nomura Masahiro
- 雑誌名
  
  Nanoscale
  
  巻: 15 号: 5 ページ: 2248-2253
- DOI
  10.1039/d2nr06266f
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649, KAKENHI-PROJECT-21H04635
[雑誌論文] Management of Phonon Transport in Lateral Direction for Gap-Controlled Si Nanopillar/SiGe Interlayer Composite Materials2021
- 著者名/発表者名
  Ohori Daisuke、Chuang Min-Hui、Sato Asahi、Takeuchi Sou、Murata Masayuki、Yamamoto Atsushi、Lee Ming-Yi、Endo Kazuhiko、Li Yiming、Tarng Jenn-Hwan、Lee Yao-Jen、Samukawa Seiji
- 雑誌名
  
  IEEE Open Journal of Nanotechnology
  
  巻: 2 ページ: 148-152
- DOI
  10.1109/ojnano.2021.3131165
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[雑誌論文] Fabrication and simulation of neutral-beam-etched silicon nanopillars2020
- 著者名/発表者名
  Chuang Min-Hui、Ohori Daisuke、Li Yiming、Chou Kuan-Ru、Samukawa Seiji
- 雑誌名
  
  Vacuum
  
  巻: 181 ページ: 109577-109577
- DOI
  10.1016/j.vacuum.2020.109577
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[雑誌論文] Photoluminescence of InGaAs/GaAs Quantum Nanodisk in Pillar Fabricated by Biotemplate, Dry Etching, and MOVPE Regrowth2019
- 著者名/発表者名
  Higo Akio, Kiba Takayuki, Takayama Junichi, Lee C. Y., Thomas Cedric, Ozaki Takuya, Sodabanlu Hassanet, Sugiyama Masakazu, Nakano Yoshiaki, Yamashita Ichiro, Murayama Akihiro, Samukawa Seiji
- 雑誌名
  
  ACS Applied Electronic Materials
  
  巻: 1 号: 9 ページ: 1945-1951
- DOI
  10.1021/acsaelm.9b00432
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Multilevel memory characteristics of Ta/Ta2O5-δ ReRAM for the Application of Neural Network2018
- 著者名/発表者名
  Yuanlin Li, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Hideyuki Andoh, Takashi Morie, Yasuo Takahashi, and Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Proc. of the Eighteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2018)
  
  巻: －ページ: 98-99
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[雑誌論文] Analog Memory Devices for Time-domain Weighted-sum Calculation Circuits2018
- 著者名/発表者名
  K. Yamashita, M. Harada, T. Morie, A. T. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, S. Samukawa
- 雑誌名
  
  Proc. of the Eighteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2018)
  
  巻: －ページ: 100-101
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[雑誌論文] Temperature-dependent radiative and non-radiative dynamics of photo-excited carriers in extremely high-density and small InGaN nanodisks fabricated by neutral-beam etching using bio-nano-templates2018
- 著者名/発表者名
  Chen Yafeng, Kiba Takayuki, Takayama Junichi, Higo Akio, Tanikawa Tomoyuki, Chen Shula, Samukawa Seiji, Murayama Akihiro
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 123 号: 20
- DOI
  10.1063/1.5027627
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Temperature-dependent radiative and non-radiative dynamics of photo-excited carriers in extremely high-density and small InGaN nanodisks fabricated by neutral-beam etching using bio-nano-templates2018
- 著者名/発表者名
  Yafeng Chen, Takayuki Kiba, Junichi Takayama, Akio Higo, Tomoyuki Tanikawa, Shula Chen, Seiji Samukawa, Akihiro Murayama
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Low-temperature InGaAs oxidation using oxygen neutral beam2018
- 著者名/発表者名
  Lee Chang-Yong, Higo Akio, Thomas Cedric, Okada Takeru, Ozaki Takuya, Sugiyama Masakazu, Nakano Yoshiaki, Samukawa Seiji
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 7 ページ: 070305-070305
- DOI
  10.7567/jjap.57.070305
- NAID
  210000149239
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Realization of Analog Memory using Ta2O5 Based ReRAM for the Application of Neural Network2017
- 著者名/発表者名
  Yuanlin Li, Reon Katsumura, Mika Kristian Gronroos, Atsushi Tsurumaki-Fukuchi, Masashi Arita, Hideyuki Ando, Takashi Morie, Yasuo Takahashi, and Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Seventeenth International Symposium on Advanced Fuluid Information (AFI-2017)
  
  巻: －ページ: 50-51
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[雑誌論文] Composite films of highly ordered Si nanowires embedded in SiGe0.3 for thermoelectric applications2017
- 著者名/発表者名
  Kikuchi Akiou、Yao Akifumi、Mori Isamu、Ono Takahito、Samukawa Seiji
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 122 号: 16 ページ: 165302-165302
- DOI
  10.1063/1.4986355
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[雑誌論文] Extremely low thermal conductivity of high density and ordered 10 nm-diameter silicon2017
- 著者名/発表者名
  Akiou Kikuchi, Akifumi Yao, Isamu Mori, Takahito Ono, and Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 110 号: 9 ページ: 091908-091908
- DOI
  10.1063/1.4977778
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898, KAKENHI-PROJECT-15H01706
[雑誌論文] Photoluminescence emission from GaAs nanodisks in GaAs/AlGaAs nanopillar arrays fabricated by neutral beam etching2017
- 著者名/発表者名
  Daisuke Ohori, Atsuhiko Fukuyama, Kentaro Sakai, Akio Higo, Cedric Thomas, Seiji Samukawa, Tetsuo Ikari
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 5 ページ: 050308-050308
- DOI
  10.7567/jjap.56.050308
- NAID
  210000147709
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Optical Study of Sub-10 nm In0.3Ga0.7N Quantum Nanodisks in GaN Nanopillars2017
- 著者名/発表者名
  Akio Higo, Takayuki Kiba, Shula Chen, Yafeng Chen, Tomoyuki Tanikawa, Cedric Thomas, Chang Yong Lee, Yi-Chun Lai, Takuya Ozaki, Junichi Takayama, Ichiro Yamashita, Akihiro Murayama, Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  ACS Photonics
  
  巻: 4 号: 7 ページ: 1851-1857
- DOI
  10.1021/acsphotonics.7b00460
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Analog Memory Operation of Parallel Connected Resistance Change Memory Devices2017
- 著者名/発表者名
  M. Harada, H. Ando, T. Morie, A. T. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, and S. Samukawa
- 雑誌名
  
  Proceedings of the Seventeenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2017)
  
  巻: －ページ: 60-61
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[雑誌論文] Spin relaxation in Si nanoclusters embedded in free-standing SiGe nanocolumns2017
- 著者名/発表者名
  N. P. Stepina, A. F. Zinovieva, A. V. Dvurechenskii, Shuichi Noda, Md. Zaman Molla, Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 110 号: 20
- DOI
  10.1063/1.4983644
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[雑誌論文] Nanometer scale fabrication and optical response of InGaN/GaN quantum disks2016
- 著者名/発表者名
  Yi-Chun Lai, Akio Higo, Takayuki Kiba, Cedric Thomas, Shula Chen, Chang Yong Lee, Tomoyuki Tanikawa, Shigeyuki Kuboya, Ryuji Katayama, Kanako Shojiki, Junichi Takayama, Ichiro Yamashita, Akihiro Murayama, Gou-Chung Chi, Peichen Yu, Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Nanotechnology
  
  巻: 27 号: 42 ページ: 425401-425401
- DOI
  10.1088/0957-4484/27/42/425401
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359, KAKENHI-PROJECT-26600082
[雑誌論文] Spike-based Time-domain Weighted-sum Calculation Using Nanodevices for Low Power Operation2016
- 著者名/発表者名
  T. Morie, H. Liang, T. Tohara, H. Tanaka, M. Igarashi, S. Samukawa, K. Endo, and Y. Takahashi
- 雑誌名
  
  16th Int. Conf. on Nanotechnology (IEEE NANO)
  
  巻: －ページ: 390-392
- DOI
  10.1109/nano.2016.7751490
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706, KAKENHI-PROJECT-15H03531
[雑誌論文] Silicon nanodisk array with a fin field-effect transistor for time-domain weighted sum calculation toward massively parallel spiking neural networks2016
- 著者名/発表者名
  T. Tohara, H. Liang, H. Tanaka, M. Igarashi, S. Samukawa, K. Endo, Y. Takahashi, T. Morie
- 雑誌名
  
  Appl. Phys..Express
  
  巻: 9 号: 3 ページ: 034201-034201
- DOI
  10.7567/apex.9.034201
- NAID
  210000137828
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K12109, KAKENHI-PROJECT-15H01706, KAKENHI-PROJECT-26630141
[雑誌論文] A Silicon Nanodisk Array Structure Realizing Synaptic Response of Spiking Neuron Models with Noise2014
- 著者名/発表者名
  T. Morie, H. Liang, Y. Sun, T. Tohara, M. Igarashi, and S. Samukawa
- 雑誌名
  
  Proc. The 19th Asia and South Pacific Design Automation Conference
  
  巻: 該当無しページ: 185-190
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Effect of PEGylation on Controllably Spaced Adsorption of Ferritin Molecules2013
- 著者名/発表者名
  R. Tsukamoto, M. Godonoga, R. Matsuyama, M. Igarashi, J. Gardiner Heddle, S. Samukawa, and I. Yamashita
- 雑誌名
  
  Langmuir
  
  巻: 29 ページ: 12737-12743
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] 高い電流利得を有するVibrating-Body Field-Effect Transistorの提案2013
- 著者名/発表者名
  S.Ueki, Y.Nishimori, K.Miwa, S.Nakagawa, H.Imamoto, T.Kubota, M.Sugiyama, S.Samukawa, and G.Hashiguchi
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 133 号: 11 ページ: 332-336
- DOI
  10.1541/ieejsmas.133.332
- NAID
  130003382688
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[雑誌論文] Energy-loss Mechanism of Single-crystal Silicon Microcantilever due to Surface Defects G.erated during Plasma Processing2013
- 著者名/発表者名
  A.Wada, Y.Yanagisawa, B.Altansukh, T.Kubota, T.Ono, S.Yamasaki, and S.Samukawa
- 雑誌名
  
  J. Micromech. Microeng.
  
  巻: Vol.23 号: 6 ページ: 065020-065020
- DOI
  10.1088/0960-1317/23/6/065020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[雑誌論文] Surface/interface-related optical properties in Si nanodisks fabricated by neutral-beam etching using bio-templates.2013
- 著者名/発表者名
  Takayuki Kiba, Kenta Suzaki, Hao Li, Makoto Igarashi, Seiji Samukawa, Akihiro Murayama
- 雑誌名
  
  Journal of Crystal Growth
  
  巻: (In press) ページ: 127-127
- DOI
  10.1016/j.jcrysgro.2012.12.081
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J09926, KAKENHI-PROJECT-22221007, KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Prediction of etching-shape anomaly due to distortion of ion sheath around a large-scale three-dimensional structure by means of on-wafer monitoring technique and computer simulation2013
- 著者名/発表者名
  T.Kubota, H.Ohtake, R.Araki, Y.Yanagisawa, T.Iwasaki, K.Ono, K.Miwa, and S.Samukawa
- 雑誌名
  
  J. Phys. D: Appl. Phys.
  
  巻: Vol.46 号: 41 ページ: 415203-415203
- DOI
  10.1088/0022-3727/46/41/415203
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[雑誌論文] Modeling miniband for realistic silicon nanocrystal array2013
- 著者名/発表者名
  Weiguo Hu, Mohd Fairuz Budiman, Makoto Igarashi, Ming-Yi Lee, Yiming Li, and Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Mathematical and Computer Modeling
  
  巻: 58 号: 1-2 ページ: 306-311
- DOI
  10.1016/j.mcm.2012.11.012
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Highly Selective Silicon Nitride Etching to Si and SiO_2 for Gate Sidewall Spacer Using CF_3I/O_2/H_2 Neutral Beam2013
- 著者名/発表者名
  D.Nakayama, A.Wada, T.Kubota, R.Bruce, R.M.Martin, M.Haass, N.Fuller, and S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Phys. D: Appl. Phys.
  
  巻: Vol.46 号: 20 ページ: 205203-205203
- DOI
  10.1088/0022-3727/46/20/205203
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[雑誌論文] Low-damage silicon etching using a neutral beam2013
- 著者名/発表者名
  K.Miwa, Y.Nishimori, S.Ueki, M.Sugiyama, T.Kubota, and S.Samukawa
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B
  
  巻: Vol.31 号: 5
- DOI
  10.1116/1.4819973
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[雑誌論文] Fast Two-Dimensional Ferritin Crystal Formation Realized by Mutant Ferritin and Poly(ethylene glycol) Modified SiO2 Substrate2012
- 著者名/発表者名
  Rikako Tsukamoto, Makoto Igarashi, Seiji Samukawa, and Ichiro Yamashita
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 5 号: 6 ページ: 65201-65201
- DOI
  10.1143/apex.5.065201
- NAID
  210000015569
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Fast Two-Dimen-sional Ferritin Crystal Formation Realized by Mutant Ferritin and Poly(ethylene glycol) Modified Si02 Substrate2012
- 著者名/発表者名
  R. Tsukamoto, M. Igarashi, S. Samukawa, and I. Yamashita
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 5 ページ: 65201-65201
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Numerical study on electron transfer mechanism by collision of ions at graphite surface in highly efficient neutral beam generation2012
- 著者名/発表者名
  T.Kubota, N.Watanabe, S.Ohtsuka, T.Iwasaki, K.Ono, Y.Iriye, and S.Samukawa
- 雑誌名
  
  J. Physics D : Appl. Phys.
  
  巻: Vol.45 号: 9 ページ: 095202-095202
- DOI
  10.1088/0022-3727/45/9/095202
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[雑誌論文] Control of optical bandgap energy and optical absorption coefficient by geometric parameters in sub-10 nm silicon-nanodisc array structure2012
- 著者名/発表者名
  M.F.Budiman, W.Hu, M.Igarashi, R.Tsukamoto, T.Isoda, K.Itoh, Iyamashita, A.Murayama, Y.Okada, Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Nanotechnology
  
  巻: 23 ページ: 65302-65302
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] ナノディスクアレイ構造とCMOS 回路を結合したスパイキングニューロンデバイス2011
- 著者名/発表者名
  梁海超, 森江隆, 孫意来, 五十嵐誠, 寒川誠二
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会技術研究報告
  
  巻: NC2011-66, 111, 241 ページ: 125-129
- NAID
  110008900440
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Direct Fabrication of Uniform and High Density Sub-10-nm Etching Mask Using Ferritin Molecules on Si and GaAs Surface for Actual Quantum-Dot Superlattice2011
- 著者名/発表者名
  M. Igarashi, R. Tsukamoto, C.-H. Huang, I. Yamashita, and S. Samukawa
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 4
- NAID
  10027782649
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Optical absorption characteristic of highly ordered and dense two-dimensional array of silicon nanodisks2011
- 著者名/発表者名
  C.-H.Huang, X.-Y.Wang, M.Igarashi, A.Murayama, Y.Okada, I.Yamashita, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Nanotechnology
  
  巻: 22
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] ナノディスクアレイ構造とCMOS回路を結合したスパイキングニューロンデバイス2011
- 著者名/発表者名
  梁海超, 森江隆, 孫意来, 五十嵐誠, 寒川誠二
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会技術研究報告ニューロコンピューティング研究会
  
  巻: 111 ページ: 125-129
- NAID
  110008900440
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Direct Fabrication of Uniform and High Density Sub-10-nm Etching Mask Using Ferritin Molecules on Si and GaAs Surface for Actual Quantum-Dot Superlattice2011
- 著者名/発表者名
  M.Igarashi, R.Tsukamoto, C.-H.Huang, I.Yamashita, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 4
- NAID
  10027782649
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Prediction of UV spectra and UV radiation damage in actual plasma etching processes using on-wafer monitoring technique2010
- 著者名/発表者名
  B.Jinnai, S.Fukuda, H.Ohtake, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 107 ページ: 43302-43302
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560026
[雑誌論文] Prediction of Abnormai Etching Profile in High Aspect Ratio Via/Hole Etching Using On-wafer Monitoring System2010
- 著者名/発表者名
  H.Ohtake, S.Fukuda, B.Jinnai, T.Tatsumi, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 49
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560026
[雑誌論文] Control of Activation Energy for Electron Transport in Two-Dimensional Array of Si Nanodisks2010
- 著者名/発表者名
  M. Igarashi, C.-H. Huang, T. Morie, and S. Samukawa
- 雑誌名
  
  Ext. Abstracts of Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 2010)
  
  ページ: 934-935
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Control of Electron Transport in Two-Dimensional Array of Si Nanodisks for Spiking Neuron Device2010
- 著者名/発表者名
  M.Igarashi, C.-H.Huang, T.Morie, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Express
  
  巻: 3
- NAID
  10026586552
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Fundamental Study on Spiking Neuron Devices2010
- 著者名/発表者名
  T.Morie, Y.Sun, H.Liang, K.Nakada, M.Igarashi, C.Huang, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Proc.of the Tenth Int.Symp.on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
  
  ページ: 110-111
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Control of Activation Energy for Electron Transport in Two-Dimensional Array of Si Nanodisks2010
- 著者名/発表者名
  M.Igarashi, C.H.Huang, T.Morie, S.Samukawa
- 雑誌名
  
  Ext.Abstracts of Int.Conf.on Solid State Devices and Materials
  
  ページ: 934-935
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] Control of Electron Transport in Two-Dimensional Array of Si Nanodisks for Spiking Neuron Device2010
- 著者名/発表者名
  M. Igarashi, C.-H. Huang, T. Morie, and S. Samukawa
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: 3 ページ: 85202-85202
- NAID
  10026586552
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[雑誌論文] A New Silicon Quantum-Well Structure with Controlled Diameter and Thickness Fabricated with Ferritin Iron Core Mask and Chlorine Neutral Beam Etching2008
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express 1
- NAID
  10025081642
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560288
[雑誌論文] Ultimate Top-down Etching Processes for Future Nanoscale Devices : Advanced Neutral-Beam Etching2006
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 45・4A
  
  ページ: 2395-2407
- NAID
  40007227437
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Fabrication of a Vertical-Channel Double Gate Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor Using a Neutral Beam Etching2006
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol.45 No.10
- NAID
  10018158463
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Highly anisotropic gate electrode patterning in neutral beam etching using F2 gas chemistry2006
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B23(5)
  
  ページ: 2063-2068
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Ultimate Top-down Etching Processes for Future Nanoscale Devices : Advanced Neutral-Beam Etching2006
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 45(4A)
  
  ページ: 2395-2407
- NAID
  40007227437
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Study of neutral-beam etching conditions for fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks2005
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B23(2)
  
  ページ: 534-539
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656027
[雑誌論文] Highly selective low-damage processes using advanced neutral beams for porous low-k films2005
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B23(1)
  
  ページ: 210-216
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Highly selective low-damage processes using advanced neutral beams for porous low-k films2005
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B23(1)
  
  ページ: 210-216
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Study of neutral-beam etching conditions for fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks2005
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology E23(2)(印刷中)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656027
[雑誌論文] Study of neutral-beam etching conditions for fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks2005
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B23(2)(印刷中)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Study of neutral-beam etching conditions for the fabrication of 7-nm-diameter nanocolumn structures using ferritin iron-core masks2005
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B23(2)
  
  ページ: 534-539
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] 新しいビームプロセスによるトップダウン加工=究極のトップダウン加工を目指して=2004
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  表面科学 25・10
  
  ページ: 618-627
- NAID
  10013649446
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Control of nitrogen depth profile in ultrathin oxynitride films formed by pulse-time-modulated nitrogen beams2004
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A22(2)
  
  ページ: 245-249
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Control of nitrogen depth profile in ultrathin oxynitride films formed by pulse-time-modulated nitrogen beams2004
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A22・2
  
  ページ: 245-249
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] A 7-nm nanocolumn structure fabricated by using a ferritin iron-core mask and low-energy Cl neutral beams2004
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 84(9)
  
  ページ: 1555-1557
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Control of nitrogen depth profile in ultrathin oxynitride films formed by pulse-time-modulated nitrogen beams2004
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A22(2)
  
  ページ: 245-249
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Advanced Beam Processes for Precise Top-Down Patterning2004
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Journal of the Surface Science Society of Japan 25(10)
  
  ページ: 618-627
- NAID
  10013649446
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] 50 nm gate electrode patterning using a neutral-beam etching system2004
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology A22(4)
  
  ページ: 1093-1100
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] A 7-nm nanocolumn structure fabricated by using a ferritin iron-core mask and low-energy Cl neutral beams2004
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters 84(9)
  
  ページ: 1555-1557
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16656027
[雑誌論文] Ultrathin Oxynitride Films Formed by Using Pulse-Time-Modulated Nitrogen Beams2003
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 42・7B
- NAID
  10011260667
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Ultrathin Oxynitride Films Formed by Using Pulse-Time-Modulated Nitrogen Beams2003
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 42(7B)
- NAID
  10011260667
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] 中性粒子ビームによるダメージフリー高精度プロセス2003
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 雑誌名
  
  応用物理学会誌 72・12
  
  ページ: 1536-1540
- NAID
  10012562270
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[雑誌論文] Damage-free and precise processes using neutral beams2003
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 雑誌名
  
  OYO BUTURI 72(12)
  
  ページ: 1536-1540
- NAID
  10012562270
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] 熱電変換材料及びその製造方法2018
- 発明者名
  菊池亜紀応、八尾章史、寒川誠二、小野崇人
- 権利者名
  菊池亜紀応、八尾章史、寒川誠二、小野崇人
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[産業財産権] THERMOELECTRIC CONVERSION MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING SAME2018
- 発明者名
  A. KIKUCHI, S. Samukawa et al.
- 権利者名
  A. KIKUCHI, S. Samukawa et al.
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2018
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[産業財産権] エッチング装置2004
- 発明者名
  寒川誠二他4名
- 権利者名
  株式会社東芝
- 公開番号
  2005-260195
- 出願年月日
  2004-04-23
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] エッチング方法2004
- 発明者名
  寒川誠二他2名
- 権利者名
  株式会社荏原製作所
- 公開番号
  2005-259873
- 出願年月日
  2004-03-10
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] ビーム源及びビーム処理装置2003
- 発明者名
  寒川誠二他5名
- 権利者名
  株式会社荏原製作所, 東北大学長
- 公開番号
  2004-281232
- 出願年月日
  2003-03-14
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] ビーム源及び該ビーム源を備えたビーム処理装置2003
- 発明者名
  寒川誠二他5名
- 権利者名
  株式会社荏原製作所, 東北大学長
- 公開番号
  2004-281228
- 出願年月日
  2003-03-14
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] ビーム源及びビーム処理装置2003
- 発明者名
  寒川誠二他5名
- 権利者名
  株式会社荏原製作所, 東北大学長
- 公開番号
  2004-281230
- 出願年月日
  2003-03-14
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] ビーム源用電極及びビーム源用電極の製造方法2003
- 発明者名
  寒川誠二他5名
- 権利者名
  株式会社荏原製作所, 東北大学長
- 公開番号
  2004-281229
- 出願年月日
  2003-03-14
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] ビーム源及びビーム処理装置2003
- 発明者名
  寒川誠二他5名
- 権利者名
  株式会社荏原製作所, 東北大学長
- 公開番号
  2004-281231
- 出願年月日
  2003-03-14
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[産業財産権] 中性塩素原子平行ビームによるナノマスクエッチング2003
- 発明者名
  寒川誠二他1名
- 権利者名
  松下電器産業株式会社
- 公開番号
  2005-144585
- 出願年月日
  2003-11-13
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360016
[学会発表] Analysis of carrier mobility in Si-Nanopillar/SiGe composite films by a laser heterodyne photothermal displacement method2023
- 著者名/発表者名
  Y. Uno, T. Harada, S. Harada, H. Ohyama, D. Ohori, K. Endo, S. Samukawa, T. Ikari, A. Fukuyama
- 学会等名
  20th Int. Conference on Flow Dynamics
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Impact of nanopillars on phonon and thermal transport in silicon membranes2023
- 著者名/発表者名
  Roman Anufriev、Daisuke Ohori、Yunhui Wu、Ryoto Yanagisawa、Laurent Jalabert、Seiji Samukawa、Masahiro Nomura
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] High-mobility Semiconductor Devices due to Control of Phonon Field caused by Defect-free Nano-periodic Structures2023
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  IEEE-NANO 2023
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] ナノピラー間隔を変化させたSi-nanopillar/SiGe0.3複合膜の光ヘテロダイン光熱変位法によるキャリアライフタイム評価2023
- 著者名/発表者名
  原田知季、大堀大介、遠藤和彦、寒川誠二、碇哲雄、福山敦彦
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Carrier lifetime change by nanopillar space in Si nanopillar/SiGe composite films investigated by a laser heterodyne photothermal displacement method2023
- 著者名/発表者名
  Atsuhiko Fukuyama, Tomoki Harada, Shogo Harada, Hiroki Ohyama, Daisuke Ohori, Kazuhiko Endo, Seiji Samukawa, Tetsuo Ikari
- 学会等名
  IEEE-NANO 2023
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Analysis of In-Plane Thermal Conduction in Si-Nanopillar/SiGe Composite Films by Laser Heterodyne Photothermal Displacement Signal and Theoretical Calculation2022
- 著者名/発表者名
  H. Ohyama,T. Harada, K. Morita, S. Harada, D. Ohori, S. Samukawa, T. Ikari, and A. Fukuyama
- 学会等名
  The 22nd International Symposium on Advanced Fluid Information (AFI-2022)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Siナノピラー/SiGe複合膜構造のナノピラー間隔制御によるフォノン場への影響2022
- 著者名/発表者名
  佐藤旭、大堀大介、Chuang Min-hui、村田正行、山本淳、Li Yiming、遠藤和彦、寒川誠二,
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] 原子層加工技術-中性粒子ビームによる原子層無欠陥加工技術とデバイスへの展-2021
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  応用物理学会シリコンナノテクノロジー分科会第231回研究集会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Plasma Nanotechnologies, =Introduction and Background=2021
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  1st International Meeting of IEEE NT
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Si Nanopillar/SiGe Composite Structure for Thermally Managed Nano-Devices2021
- 著者名/発表者名
  D. Ohori, M. Murata, A. Yamamoto, K. Endo, M.-H. Chuang, M. Y. Lee, Y. Li, J. H. Tarng, Y. J. Lee, and S. Samukawa
- 学会等名
  21st IEEE International Conference on Nanotechnology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Atomic Layer Neutral Beam Processes for Nanofabrication and Interface Engineering2021
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  2021 IEEE Nanotechnology Marathon
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Atomic Layer Neutral Beam Processes for Nanofabrication and Interface Engineering2021
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  2021 JAPAN-TAIWAN Advanced Materials and Semiconductor Technology Workshop
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Etching Processes for Future Nanoscale-devices2021
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  化学工学会反応工学部会 CVD反応分科会主催第34回シンポジウム「選択成長にむけた ALD/ALE 技術」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Atomic Layer Neutral Beam Processes for Nanofabrication and Interface Engineering2021
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  240th ECS Meeting
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Damage-Free Plasma Processing for Nano-Devices Manufacturing2021
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  21st IEEE International Conference on Nanotechnology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Estimating Thermal and Optical Properties of Si-Nanopillar/SiGe Composite Film by a Piezoelectric Photothermal Measurements2020
- 著者名/発表者名
  T. Harada, Y. Arata, D. Ohori, S. Samukawa, T. Ikari, A. Fukuyama
- 学会等名
  17th Int. Conference on Flow Dynamics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] 中性粒子ビームプロセスによる表面界面制御加工技術量子ドットおよび超伝導材料への応用2020
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  応用物理学会シリコンナノテクノロジー分科会第224回研究集会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Atomic Layer Etching, Deposition & Modification Processes for Future Nanoscale-devices2020
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  IEEE NTC Distinguished Lecture in Joint Technical Seminar Program
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] 多層構造体の光熱変換信号理論の検討とSiナノピラー/SiGe複合膜への適用2020
- 著者名/発表者名
  安良田裕基, 原田知季, 大堀大介, 寒川誠二, 碇哲雄, 福山敦彦
- 学会等名
  第41回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20H05649
[学会発表] Si ナノピラー構造の間隔制御することによるフォノン場制御とキャリア輸送特性性に与える影響2019
- 著者名/発表者名
  大堀大介、久保山英哲、村田正行、山本淳、野村政宏、遠藤和彦、寒川誠二
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] EFFECTIVE THERMAL CONDUCTION TUNING IN Si THIN FILM BY NANOPILLARS2019
- 著者名/発表者名
  X. Huang, R. Yanagisawa, D. Ohori, S. Samukawa, and Masahiro Nomura
- 学会等名
  The 2nd Pacific Rim Thermal Engineering Conference (PRTEC2019)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Etching for Future sub-10nm Nano-devices2019
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  2019 International Electron, Devices and Materials Symposium (IEDMS 2019)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Etching Processes for future sub-10-nm devices2019
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Satellite Workshop of XXXIV ICPIG and ICRP-10
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Neutral Beam Technology for Damage-free Etching Process,2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Digest of 2018 International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Fabrication of GaN micro-LEDs with an ultra-low-damage etching process2018
- 著者名/発表者名
  J. Zhu, T. Takahashi, K. Endo, D. Ohori, S. Samukawa, X.L. Wang
- 学会等名
  International Workshop on Nitride Semiconductors 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] バイオテンプレート極限加工による量子ナノ構造の作製と高効率エネルギーデバイスへの展開2018
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  日本化学会第７回E-colloid:先端エレクトロニクスのためのコロイド・界面化学・ナノ界面制御が担う次世代エレクトロニクス材料
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Low-Temperature atomic layer defect-free etching, modification and deposition process2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Collaborative Conference on Materials Research 2018
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Top-down Process for Future Nano-devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  14th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] 無欠陥Siナノピラー構造によるフォノン場制御と高移動度キャリア輸送2018
- 著者名/発表者名
  大堀大介、久保山瑛哲、山本淳、村田正行、遠藤和彦、寒川誠二
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] 3ω法によるナノスケール熱伝導率の測定とフォノン輸送の制御2018
- 著者名/発表者名
  久保山瑛哲、山本淳、村田正行、遠藤和彦、大堀大介、寒川誠二
- 学会等名
  応用物理学会シリコンナノテクノロジー分科会　第212回研究集会「半導体素子におけるフォノンのダイナミクスとエンジニアリング」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Top-down Processes for Future Nano-devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Etching and Deposition Processes for future sub-10-nm devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  71st Annual Gaseous Electronics Conference
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Nanocolumns of InGaN/GaN MQWs Fabricated by Neutral Beam Etching for Directional Micro-LED2018
- 著者名/発表者名
  K.X. Zhang, H. Yamada, N. Kumagai, T. Yamada, G.W. Cong, K. Endo, M. Shimizu, D. Ohori, S. Samukawa, X.L. Wang
- 学会等名
  International Workshop on Nitride Semiconductors 2018
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] High-temperature carrier dynamics responsible for a non-radiative process in InGaN nanodisks fabricated by top-down nanotechnology2018
- 著者名/発表者名
  Y. Chen, T. Kiba, J. Takayama, A. Higo, T. Tanikawa, S. Samukawa, A. Murayama
- 学会等名
  12th International Conference on Excitonic and Photonic Processes in Condensed Matter and Nano Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Top-down Process for Future Nano-devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, International Workshop on Plasma and Bio-nano Devices
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Optical Study on Thermal Activation Processes of Carrier Dynamics in In0.3Ga0.7N Nanodisks2018
- 著者名/発表者名
  Y. Chen, T. Kiba, J. Takayama, A.Higo, T. Tanikawa, S. Samukawa, A. Murayama
- 学会等名
  31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] 中性粒子ビームによる原子層レベル超低損傷加工・表面改質＝２次元材料グラフェンへの展開＝2018
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  酸化グラフェン研究会第１１回酸化グラフェンシンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Top-down Processes for Future Nano-devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology(ICMAP)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Low-Temperature atomic layer defect-free etching, modification and deposition process2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2018
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Etching and Deposition Processes for future sub-10-nm devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  71st Annual Gaseous Electronics Conference
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] トップダウンナノテクノロジーで作製したIn0.3Ga0.7Nナノディスクにおける光励起キャリアの熱脱離2018
- 著者名/発表者名
  陳亜鳳, 木場隆之, 高山純一, 肥後昭男, 谷川智之, 寒川誠二, 村山明宏
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Top-down Process for Future Nano-devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  14th IEEE International Conference on Solid-State and Integrated Circuit Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Atomic Layer Defect-free Top-down Process for Future Nano-devices2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  2nd Asia-Pacific Conference on Plasma Physics, International Workshop on Plasma and Bio-nano Devices
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Neutral Beam Technology for Damage-free Etching Process2018
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Digest of 2018 International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] 無欠陥周期ナノ構造による半導体チャネルのフォノン場制御2018
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  応用物理学会シリコンナノテクノロジー分科会　第212回研究集会「半導体素子におけるフォノンのダイナミクスとエンジニアリング」
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] 中性粒子ビームとバイオテンプレートを用いた高アスペクト比Siナノピラー構造の作製2017
- 著者名/発表者名
  大堀大介、遠藤和彦、寒川誠二
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] High Efficiency Nano Energy Devices Using Bio-template Ultimate Top-down Process2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  High Efficiency NaThe 3rd International Conference on Nanoenergy and Nanosystems.
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] パイオテンプレート極限加工技術を用いたSi/SIGeナノワイヤーの作製と熱伝導率の評価2017
- 著者名/発表者名
  菊池亜紀応、八尾章史、山本淳、小野崇人、寒川誠二
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] バイオナノテンプレートで作製したInGaNナノディスクにおける光励起キャリアダイナミクスの温度依存性2017
- 著者名/発表者名
  陳亜鳳, 木場隆之, 高山純一, 肥後昭男, 寒川誠二, 村山明宏
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  China Semiconductor Technology International Conference
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Atomic Layer Etching and Deposition Processes for Future Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  82nd IUVSTA Workshop
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Neutral Beam technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Seiji Samukawa, Neutral Beam18th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] High Efficiency Nano Energy Devices Using Bio-template Ultimate Top-down Process2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  The 3rd International Conference on Nanoenergy and Nanosystems
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Neutral Beam Technology for Nano-Materials and Nano-Devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  21st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] 大堀大介、石塚ナノピラー中のナノディスク配列による発光再結合の直径依存性2017
- 著者名/発表者名
  大堀大介、石塚史典、トーマスセドリック、寒川誠二、碇哲雄、福山敦彦
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  China Semiconductor Technology International Conference　2017
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Collaborative Conference on Materials Research (CCMR) 2017
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Collaborative Conference on Materials Research (CCMR)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] パイオテンプレート極限加工を用いたSiナノ構造熱電モジュールの作製と評価2017
- 著者名/発表者名
  菊池亜紀応、八尾章史、毛利勇、山本淳、小野崇人、寒川誠二,
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Neutral Beam technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  18th International Union of Materials Research Societies International Conference in Asia
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Neutral Beam Technology for Future Nano-materials and Nano-devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  1st Asia-Pacific Conference on Plasma Physics
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Electronic states in the neutral-beam-formed Ta2O5 film measured by thermally stimulated current method2017
- 著者名/発表者名
  Takeo Ohno, Hisashi Shima, Hiroyuki Akinaga, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  49th International Conference on Solid State Devices and Materials
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Neutral Beam Technology for Nano-Materials and Nano-Devices2017
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  21st International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] バイオテンプレート極限加工を用いたSiナノ構造熱電モジュールの作製と特性評価2017
- 著者名/発表者名
  菊池亜紀応、八尾章史、毛利勇、山本淳、小野崇人、寒川誠二
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術大会
- 発表場所
  東京工業大学（東京）
- 年月日
  2017-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Analog memory operated by MOSFET and MoOx Resistive Random Access Memory2016
- 著者名/発表者名
  M. Jo, R. Katsumura, A. T. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, H. Ando, T. Morie, and S. Samukawa
- 学会等名
  The Sixteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2016)
- 発表場所
  Sendai, Japan
- 年月日
  2016-10-11
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Emission from As-etched Quantum Nanodisks Fabricated by Bio-template and Neutral Beam Etching Process2016
- 著者名/発表者名
  Daisuke Ohori, Kiyorfumi Kondo, Kentaro Sakai, Akio Higo, Cedric Thomas, Seiji Samukawa, Tetsuo Ikari, Atsuhiko Fukuyama
- 学会等名
  16th IEEE International Conference on Nanotechnology
- 発表場所
  Sendai International Center, Sendai, JAPAN
- 年月日
  2016-08-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] The Effect of Asymmetric Barriers of GaAs Quantum Nanodisks Light Emitting Diode2016
- 著者名/発表者名
  Akio Higo, Cedric Thomas, Takayuki Kiba, Junichi Takayama, Ichiro Yamashita, Akihiro Murayama, Seiji Samukawa
- 学会等名
  16th IEEE International Conference on Nanotechnology
- 発表場所
  Sendai International Center, Sendai, JAPAN
- 年月日
  2016-08-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] バイオテンプレート極限加工によるGaAs量子ナノディスクLEDのエレクトロルミネッセンス特性評価2016
- 著者名/発表者名
  肥後昭男、木場隆之、トーマス・セドリック、高山純一、ソダーバンル・ハサネット、岡本尚文、山下一郎、杉山正和、中野義昭、村山明宏、寒川誠二
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ, 新潟市
- 年月日
  2016-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Transient photoluminescence in InGaN nano-disks fabricated by nano-scale neutral-beam etching utilizing bio-nano templates2016
- 著者名/発表者名
  Y. Chen, S.L. Chen, T. Kiba, C.Y. Lee, C. Thomas, Y.C. Lai, A. Higo, S. Samukawa, A. Murayama
- 学会等名
  16th IEEE International Conference on Nanotechnology
- 発表場所
  Sendai International Center, Sendai, JAPAN
- 年月日
  2016-08-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] 中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討2016
- 著者名/発表者名
  久保田智広, 伊藤寿, 久保百司, 寒川誠二
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] Transition Metal Complex Reaction Etching with Neutral Beam and Its Mechanism Investigated by First-Principles Calculation2016
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  IEEE 16th International Conference on Nanotechnology
- 発表場所
  Sendai International Center (宮城県仙台市)
- 年月日
  2016-08-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響2016
- 著者名/発表者名
  久保田智広、菊地良幸、伊藤寿、久保百司、寒川誠二
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学大岡山キャンパス（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いたCoFeBエッチング2016
- 著者名/発表者名
  久保田智広、美山遼、菊地良幸、寒川誠二
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ (新潟県新潟市)
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] バイオテンプレート極限加工を用いた GaAs 量子ナノディスクの発光再結合の温度依存性2016
- 著者名/発表者名
  大堀大介, トーマスセドリック, 肥後昭男, 寒川誠二, 碇哲雄, 福山敦彦
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ, 新潟市
- 年月日
  2016-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた Taエッチングのメカニズム2016
- 著者名/発表者名
  久保田智広、久保百司、寒川誠二
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ (新潟県新潟市)
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] Pump-probe study of temperature-dependent spin relaxation in GaAs quantum disks fabricated by fully top-down lithography using Bio-templates2016
- 著者名/発表者名
  T. Kiba, T. Tanaka, A. Higo, C. Thomas, Y. Tamura, S. Samukawa, A. Murayama
- 学会等名
  16th IEEE International Conference on Nanotechnology
- 発表場所
  Sendai International Center, Sendai, JAPAN
- 年月日
  2016-08-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Spike-based Neural Learning Hardware Using a Resistance Change Memory Device toward Brain-like Systems with Nanostructures2016
- 著者名/発表者名
  H. Ando, K. Tomizaki, T. Tohara, T. Morie, A. T. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, and S. Samukawa
- 学会等名
  The Sixteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2016)
- 発表場所
  Sendai, Japan
- 年月日
  2016-10-11
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] Thermal conductivity of 10nm-silicon nanowire array fabricated by bio-template and neutral beam etching.2016
- 著者名/発表者名
  A.kikuchi, A. Yao, I. Mori, T. Ono, S. Samukawa
- 学会等名
  IEEE International Conference on Nanotechnology 2016
- 発表場所
  仙台国際センター（仙台）
- 年月日
  2016-08-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] 中性粒子ビーム技術を用いたSiNP-SiGe0.3複合膜の作製と熱伝導率の評価2016
- 著者名/発表者名
  菊池亜紀応、八尾章史、毛利勇、小野崇人、寒川誠二
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術大会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟）
- 年月日
  2016-09-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03898
[学会発表] Fabrication of GaAs quantum nanodisk by bio-template, neutral beam etching, and asymmetric AlGaAs barrier regrowth and its optical response2016
- 著者名/発表者名
  A. Higo, T. Kiba, C. Thomas, J. Takayama, M. Sugiyama, Y. Nakano, A. Murayama, S. Samukawa
- 学会等名
  JSPS workshop on Japan-Sweden frontiers in spin and photon functionalities of semiconductor nanostructures
- 発表場所
  Jyozankei Grand Hotel, Sapporo, JAPAN
- 年月日
  2016-08-30
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H06359
[学会発表] Analog Memory Operation of Resistance Change Memory with MOSFET for Brain-like LSIs2015
- 著者名/発表者名
  H. Ando, K. Tomizaki, T. Tohara, T. Morie, T. Hiroi, A. Nakane, R. Katsumura, A. Fukuchi, M. Arita, Y. Takahashi, and S. Samukawa
- 学会等名
  Fifteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information (AFI-2015)
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2015-10-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15H01706
[学会発表] First-Principles Theoretical Investigation on Mechanism of New Transition Metal Etching Process using Oxygen and argon Neutral Beams and Ethanol Gas2015
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  American Vacuum Society 62nd International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  San Jose (USA)
- 年月日
  2015-10-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] Transition Metal Complex Reaction Etching for MRAM Applications using Neutral Beam and Its Mechanism Investigated by First-Principles Calculation2015
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota, Yoshiyuki Kikuchi, Toshihisa Nozawa, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  札幌コンベンションセンター（北海道札幌市）
- 年月日
  2015-09-29
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] 酸素中性粒子ビームによる酸化及び錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム(3)2015
- 著者名/発表者名
  久保田智広, 菊地良幸, 野沢俊久, 伊藤寿, 久保百司, 寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場（愛知県名古屋市）
- 年月日
  2015-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] A new metallic complex reaction etching for MRAM materials by a low-temperature neutral beam process2015
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota and Seiji Samukawa
- 学会等名
  Plasma Etch and Strip in Microtechnology 2015
- 発表場所
  Leuven (Belgium)
- 年月日
  2015-04-27
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04712
[学会発表] Polyethylene glycol (PEG)を塗布した基板上のフェリチン2 次元配列2014
- 著者名/発表者名
  李昌勇, 肥後昭男, Cedric Thomas, 田村洋典, 吉川憲一, 山下一郎, 寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  相模原
- 年月日
  2014-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] A Silicon Nanodisk Array Structure Realizing Synaptic Response of Spiking Neuron Models with Noise2014
- 著者名/発表者名
  T. Morie, H. Liang, Y. Sun, T. Tohara, M. Igarashi, and S. Samukawa
- 学会等名
  The 19th Asia and South Pacific Design Automation Conference (ASP-DAC 2014)
- 発表場所
  Singapore
- 年月日
  2014-01-21
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状異常予測2014
- 著者名/発表者名
  久保田智広,佐藤充男,岩崎拓也,小野耕平,寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  相模原
- 年月日
  2014-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Feature Profile Evolution in Plasma Processing using On-wafer Monitoring System2014
- 著者名/発表者名
  T.Kubota and S.Samukawa
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2014-02-05
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 第一原理電子状態計算による中性粒子ビーム生成メカニズムの解析VII2013
- 著者名/発表者名
  渡辺尚貴,大塚晋吾,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,植木真治,額賀理,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] オンウェハモニタリングによるプラズマプロセスダメージ・形状予測2013
- 著者名/発表者名
  久保田智広,佐藤充男,岩崎拓也,小野耕平,寒川誠二
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木
- 年月日
  2013-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Novel Quantum Effect Devices realized by Fusion of Biotemplate and Defect Free Neutral Beam Etching2013
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  2013 IEEE International NanoElectronics Conference
- 発表場所
  Singapore
- 年月日
  2013-01-04
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション(4)2013
- 著者名/発表者名
  望月俊輔,渡辺尚貴,大塚晋吾,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,三輪和弘,久保田智広,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Core Technology Consortium for Advanced Energy Devices2013
- 著者名/発表者名
  S.Samukawa and T.Kubota
- 学会等名
  10th International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2013-11-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状予測2013
- 著者名/発表者名
  久保田智広,佐藤充男,岩崎拓也,小野耕平,寒川誠二
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  京田辺
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Feature profile evolution in plasma processing using on-wafer monitoring system2013
- 著者名/発表者名
  T.Kubota, M.Sato, T.Iwasaki, K.Ono, and S.Samukawa
- 学会等名
  AVS 60th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アメリカ・Long Beach
- 年月日
  2013-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームによるシリコンエッチング(7)2013
- 著者名/発表者名
  久保田智広,三輪和弘,バトナサン・アルタンスック,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,入江康郎,小野耕平,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] On-wafer monitoring technique for highly efficient fabrication process of nano energy devices2013
- 著者名/発表者名
  T.Kubota and S.Samukawa
- 学会等名
  10th International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2013-11-26
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] FinFET とナノディスクアレイ構造を結合したニューロンデバイス2013
- 著者名/発表者名
  東原敬, 梁海超, 遠藤和彦, 五十嵐誠, 寒川誠二, 昌原明植, 森江隆
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- 年月日
  2013-03-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Novel Quantum Effect Devices Fabricated Using Fusion of Bio-template and Defect- Free Neutral Beam Etching2013
- 著者名/発表者名
  S. Samukawa
- 学会等名
  2013 JSAPMRS Joint Symposia
- 発表場所
  Kyotanabe
- 年月日
  2013-09-17
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングプロセスの総合的シミュレーション2013
- 著者名/発表者名
  渡辺尚貴,大塚晋吾,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,望月俊輔,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  京田辺
- 年月日
  2013-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングモデルと加工形状解析(3)2013
- 著者名/発表者名
  大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,望月俊輔,三輪和弘,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  厚木
- 年月日
  2013-03-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Numerical simulation of total processes of neutral beam etching from G.eration of neutral beam by collision of ions against graphite sidewall to 3-dimensional etching profile2013
- 著者名/発表者名
  N.Watanabe, S.Ohtsuka, S.Mochizuki, T.Kubota, T.Iwasaki, Y.Iriye, K.Ono, and S.Samukawa
- 学会等名
  AVS 60th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アメリカ・Long Beach
- 年月日
  2013-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームによるシリコンエッチング(5)2012
- 著者名/発表者名
  久保田智広,三輪和弘,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングモデルと加工形状解析2012
- 著者名/発表者名
  大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,望月俊輔,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 3-Dimensional and Defect-free Etching by Neutral Beam for MEMS Applications2012
- 著者名/発表者名
  T.Kubota, A.Wada, Y.Yanagisawa, B.Altansukh, K.Miwa, T.Ono, and S.Samukawa
- 学会等名
  2012 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2012-09-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] オンウエハーモニタリングとシミュレーションの融合によるプラズマプロセス中の表面イオンシース形状と入射イオン軌道予測2012
- 著者名/発表者名
  荒木良亮,久保田智広,岩崎拓也,小野耕平,寒川誠二
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション(3)2012
- 著者名/発表者名
  望月俊輔,渡辺尚貴,大塚晋吾,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,三輪和弘,久保田智広,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  松山
- 年月日
  2012-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングモデルと加工形状解析(2)2012
- 著者名/発表者名
  大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,望月俊輔,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  松山
- 年月日
  2012-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Numerical study on electron transfer mechanism by collision of ions at graphite surface in highly-efficient neutral beam Generation2012
- 著者名/発表者名
  N.Watanabe, T.Kubota, and S.Samukawa
- 学会等名
  The 8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  奈良
- 年月日
  2012-01-17
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション(2)2012
- 著者名/発表者名
  望月俊輔,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,久保田智広,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2012-03-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングモデルと加工形状解析2012
- 著者名/発表者名
  大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,望月俊輔,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  北九州
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Prediction of ion sheath shape and ion trajectory during plasma etching processing using on-wafer monitoring technique and simulation2012
- 著者名/発表者名
  R.Araki, T.Kubota, and S.Samukawa
- 学会等名
  The 8th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  奈良
- 年月日
  2012-01-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Theoretical calculation of neutralization efficiency of positive and negative chlorine ions with consideration of excited states2012
- 著者名/発表者名
  S.Ohtsuka, N.Watanabe, T.Kubota, T.Iwasaki, Y.Iriye, K.Ono, and S.Samukawa
- 学会等名
  AVS 59th International Symposium and Exhibition
- 発表場所
  アメリカ・Tampa
- 年月日
  2012-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームによるシリコンエッチング(6)2012
- 著者名/発表者名
  久保田智広,三輪和弘,バトナサン・アルタンスック,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  松山
- 年月日
  2012-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using Wireless On-Wafer Monitoring System2012
- 著者名/発表者名
  T.Kubota and S.Samukawa
- 学会等名
  Ninth International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2012-09-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 形状シミュレーションによる塩素中性粒子ビームエッチングの加工形状の検討2012
- 著者名/発表者名
  望月俊輔,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,三輪和弘,久保田智広,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  北九州
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビーム生成におけるアパーチャ構造とエッチング特性解析2011
- 著者名/発表者名
  大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,植木真治,額賀理,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] ノイズを利用する脳型情報処理回路のためのナノデバイス2011
- 著者名/発表者名
  森江隆, 梁海超, 孫意来, 五十嵐誠, 黄啓賢, 寒川誠二
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学(神奈川県)
- 年月日
  2011-03-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Energy and Angular Distribution Analysis for Neutral Beam and Application for Etching Simulation2011
- 著者名/発表者名
  S.Ohtsuka, N.Watanabe, T.Iwasaki, K.Ono, Y.Iriye, Osamu Nukaga, S.Ueki, T.Kubota, M.Sugiyama, and S.Samukawa
- 学会等名
  AVS 58th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アメリカ・Nashville
- 年月日
  2011-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] ナノディスクアレイ構造とCMOS回路を結合したスパイキングニューロンデバイス2011
- 著者名/発表者名
  梁海超, 森江隆, 孫意来, 五十嵐誠, 寒川誠二
- 学会等名
  電子情報通信学会ニューロコンピューティング研究会
- 発表場所
  福岡,九州大学
- 年月日
  2011-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] 中性粒子ビームによるシリコンエッチング(4)2011
- 著者名/発表者名
  久保田智広,大塚晋吾,渡辺尚貴,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,杉山正和,大竹浩人,寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] High-aspect-ratio silicon etching using large-diameter neutral beam source2011
- 著者名/発表者名
  T.Kubota, N.Watanabe, S.Ohtsuka, K.Ono, H.Ohtake, S.Ueki, Y.Nishimori, G.Hashiguchi, and S.Samukawa
- 学会等名
  AVS 58th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アメリカ・Nashville
- 年月日
  2011-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] オンウエハーモニタリングとシミュレーションの融合による立体形状エッチングにおけるシース形状およびイオン軌道予測2011
- 著者名/発表者名
  荒木良亮,久保田智広,三輪和弘,岩崎拓也,小野耕平,寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームによるエッチングの加工形状シミュレーション2011
- 著者名/発表者名
  望月俊輔,久保田智広,大塚晋吾,小野耕平,岩崎拓也,渡辺尚貴,入江康郎,杉山正和,寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 第一原理電子状態計算による中性粒子ビーム生成メカニズムの解析V2011
- 著者名/発表者名
  渡辺尚貴,大塚晋吾,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,植木真治,額賀理,杉山正和,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Theoretical analysis of electron transfer during the process of neutral beam G.eration2011
- 著者名/発表者名
  N.Watanabe, S.Ohtsuka, T.Iwasaki, K.Ono, Yasuro Iriye, S.Ueki, Osamu Nukaga, T.Kubota, M.Sugiyama, and S.Samukawa
- 学会等名
  AVS 58th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アメリカ・Nashville
- 年月日
  2011-11-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 第一原理電子状態計算による中性粒子ビーム生成メカニズムの解析2011
- 著者名/発表者名
  渡辺尚貴, 大塚晋吾, 岩崎拓也, 小野耕平,入江康郎, 額賀理, 植木真治, 杉山正和,久保田智広, 寒川誠二
- 学会等名
  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2011-09-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] ノイズを伴うスパイキングニューロンモデルを実現するナノディスクアレイ構造2011
- 著者名/発表者名
  梁海超, 孫意来, 森江隆, 五十嵐誠, 寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形
- 年月日
  2011-09-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] 中性粒子ビーム生成におけるアパーチャ構造とエッチング特性解析2011
- 著者名/発表者名
  大塚晋吾, 渡辺尚貴, 岩崎拓也, 小野耕平,入江康郎, 額賀理, 植木真治, 杉山正和,久保田智広, 寒川誠二
- 学会等名
  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  東京
- 年月日
  2011-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 脳型情報処理デバイスの現状と今後の展開2011
- 著者名/発表者名
  森江隆, 梁海超, 孫意来, 田中秀樹, 五十嵐誠, 寒川誠二
- 学会等名
  応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第140回研究集会
- 発表場所
  宮城,東北大学(招待講演)
- 年月日
  2011-08-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] A Si Nanodisk Array Structure for Spiking Neuron Models2011
- 著者名/発表者名
  Y.Sun, H.Liang, T.Morie, M.Igarashi, C.Huang, S.Samukawa
- 学会等名
  East-Asia Inter-University Workshop on Brain Engineering
- 発表場所
  九州工大(福岡県)
- 年月日
  2011-02-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] ノイズを伴うスパイキングニューロンモデルを実現するナノディスクアレイ構造2011
- 著者名/発表者名
  梁海超, 孫意来, 森江隆, 五十嵐誠, 寒川誠二
- 学会等名
  第72回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  山形,山形大学
- 年月日
  2011-09-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Si量子ナノディスク2次元アレイ構造の電気特性の構造による制御2010
- 著者名/発表者名
  五十嵐誠, 黄啓賢, 王宣又, モハマドファイルズ・ブディマン, 森江隆, 寒川誠二
- 学会等名
  第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大(長崎県)
- 年月日
  2010-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Control of Activation Energy for Electron Transport in Two-Dimensional Array of Si Nanodisks2010
- 著者名/発表者名
  M.Igarashi, C.H.Huang, T.Morie, S.Samukawa
- 学会等名
  Int.Conf.on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  東京大(東京都)
- 年月日
  2010-09-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Fundamental Study on Spiking Neuron Devices2010
- 著者名/発表者名
  T.Morie, Y.Sun, H.Liang, K.Nakada, M.Igarashi, C.Huang, S.Samukawa
- 学会等名
  The Tenth Int.Symp.on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
- 発表場所
  仙台国際センター(宮城県)
- 年月日
  2010-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] オンウェハモニタリングによるPECVDプロセスにおけるチャージングダメージの発生メカニズム解明とそのリアルタイム評価2010
- 著者名/発表者名
  荒木良亮、奥村宏克、陣内佛霖、松永範昭、寒川誠二
- 学会等名
  2010年秋季第71回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎大学
- 年月日
  2010-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560026
[学会発表] Ion Trajectory Prediction at High-Aspect-Ratio Hole Etching by the Combination of On-Water Monitoring and Sheath Modeling2009
- 著者名/発表者名
  大竹浩人, 福田誠一, 陣内佛霖, 辰巳知彦, 寒川誠二
- 学会等名
  AVS 56th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  アメリカ合衆国・カリフォルニア州・サンノゼ
- 年月日
  2009-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560026
[学会発表] Ultra-Low-Damage Surface Modification of Carbon Nanotube for P-type and N-type Field-Effect Transistor by Neutral Beam Process2009
- 著者名/発表者名
  Akira Wada, Yoshinori sato, Satoru Suzuki, Masahiko Ishida, Fumiyuki Nihey, Yoshihiro Kobayashi, Kazuyuki Tohji, Seiji Samukawa
- 学会等名
  The Sixth International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  宮城県・仙台市
- 年月日
  2009-11-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] Control of Electrical Characteristics of Carbon Nanotubes by Damage-free Surface Modification with Neutral Beam2009
- 著者名/発表者名
  Akira Wada, Yoshinori sato, Satoru Suzuki, Masahiko Ishida, Fumiyuki Nihey, Yoshihiro Kobayashi, Seiji Samukawa
- 学会等名
  Nanotube 2009 : Tenth International Conference on the Science and Application of Nanotubes
- 発表場所
  中華人民共和国・北京
- 年月日
  2009-06-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] オンウエハモニタリング技術による異常形状発生予測2009
- 著者名/発表者名
  大竹浩人、福田誠一、陣内佛霖、辰巳知彦、寒川誠二
- 学会等名
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山県・富山市
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560026
[学会発表] 酸素中性粒子ビーム照射による低損傷カーボンナノチューブ表面酸化2009
- 著者名/発表者名
  和田章良、佐藤義倫、鈴木哲、二瓶史行、田路和幸、寒川誠二
- 学会等名
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山県・富山市
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] 窒素中性粒子ビーム照射による低損傷カーボンナノチューブ表面窒化2009
- 著者名/発表者名
  和田章良、佐藤義倫、鈴木哲、二瓶史行、田路和幸、寒川誠二
- 学会等名
  2009年秋季第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山県・富山市
- 年月日
  2009-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] Prediction of Abnormal Etching Profile in High-Aspect-Ratio Via/Hole Etching Using On-Water Monitoring System2009
- 著者名/発表者名
  大竹浩人, 福田誠一, 陣内佛霖, 辰巳知彦, 寒川誠二
- 学会等名
  International meeting on solid state device and materials
- 発表場所
  宮城県・仙台市
- 年月日
  2009-10-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560026
[学会発表] 中性粒子ビーム照射によるカーボンナノチューブ欠陥生成機構と電気特性2009
- 著者名/発表者名
  和田章良、佐藤義倫、鈴木哲、石田真彦、二瓶史行、小林慶裕、田路和幸、寒川誠二
- 学会等名
  2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  茨城・つくば
- 年月日
  2009-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] 中性粒子ビーム照射によるカーボンナノチューブ欠陥生成の構造依存性2008
- 著者名/発表者名
  和田章良, 佐藤義倫, 鈴木哲, 小林慶裕, 寒川誠二
- 学会等名
  2008年秋季第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛知・名古屋
- 年月日
  2008-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] Influences of Electrical Characteristics in Carbon Nanotubes by Neutral Beam Irradiation2008
- 著者名/発表者名
  A. Wada, Y. Sato, M. Ishida, F. Nihey, K. Tohji, and S. Samukawa
- 学会等名
  AVS 55th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  米国・ボストン
- 年月日
  2008-10-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] Damage-free Surface Modification of Carbon Nanotubes using Advanced Neutral Beam2008
- 著者名/発表者名
  Akira Wada, Yoshinori Sato, Masahiko Ishida, Fumiyuki Nihey, Kazuyuki Tohji and Seiji Samukawa
- 学会等名
  The 6th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (EU-Japan JSPP)
- 発表場所
  沖縄・那覇
- 年月日
  2008-04-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] Influence of Neutral Beam Irradiation to Electrical Characteristics in Carbon Nanotubes2008
- 著者名/発表者名
  A. Wada, Y. Sato, M. Ishida, F. Nihey, K. Tohji and S. Samukawa
- 学会等名
  8th International Symposium on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Information
- 発表場所
  宮城・仙台
- 年月日
  2008-10-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20651039
[学会発表] Feature Profile Evolution in Plasma Processing using On-wafer Monitoring System
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota and Seiji Samukawa
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka Convention Center
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Double-dot Si single-electron transistor with tunable coupling capacitance
- 著者名/発表者名
  Takafumi Uchida, Masashi Arita, Akira Fujiwara, Yasuo Takahashi, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  The Thirteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
- 発表場所
  Sendai, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Fabrication and evaluation of silicon micromechanical resonator using neutral beam etching technology
- 著者名/発表者名
  Nguyen Van Toan, Tomohiro Kubota, Halubai Sekhar, Seiji Samukawa, and Takahito Ono
- 学会等名
  The 9th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
- 発表場所
  Hyatt Regency Waikiki,アメリカ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] On-wafer monitoring technique for highly efficient fabrication process of nano energy devices
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota and Seiji Samukawa
- 学会等名
  10th International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  Sendai International Center
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] A Silicon Nanodisk Array Structure Realizing Synaptic Response of Spiking Neuron Models with Noise
- 著者名/発表者名
  T. Morie, H. Liang, Y. Sun, T. Tohara, M. Igarashi, and S. Samukawa
- 学会等名
  The 19th Asia and South Pacific Design Automation Conference
- 発表場所
  Singapore
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Feature Profile Evolution in Plasma Processing Using Wireless On-Wafer Monitoring System
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  Ninth International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] バイオテンプレートを用いた中性粒子ビーム加工によるGeナノディスク作製
- 著者名/発表者名
  モハマドエルマン，岡田　健，磯田大河，伊藤公平，山下一郎，寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス､神奈川県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25249139
[学会発表] Polyethylene glycol (PEG)を塗布した基板上のフェリチン2次元配列
- 著者名/発表者名
  李　昌勇，肥後昭男，Cedric Thomas，田村洋典，吉川憲一，山下一郎，寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  相模原
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Silicon micromechanical resonator with high quality factor fabricated by damage-free neutral beametching process
- 著者名/発表者名
  Halubai Sekhar，久保田智広，Van Toan Nguyen，小野崇人，寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Green nanodevice by super low damage process
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  10th International Conference on Flow Dynamics
- 発表場所
  Sendai, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Damage-free AlGaN/GaN Recess-Gate Etching using Cl2 Neutral Beam
- 著者名/発表者名
  Halubai Sekhar ，久保田智広，岡田　健，太田実雄，藤岡　洋，寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Enhancement of Electrical Conductivity by Miniband Formation In Silicon Quantum Dot Superlattice Structure
- 著者名/発表者名
  Makoto Igarashi, Weiguo Hu, Mohd Erman Syazwan, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Novel Quantum Effect Devices realized by Fusion of Biotemplate and DefectFree Neutral Beam Etching
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  2013 IEEE International NanoElectronics Conference
- 発表場所
  Singapore
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Novel Quantum Effect Devices Fabricated Using Fusion of Bio-template and Defect-Free Neutral Beam Etching
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  2013 JSAP-MRS Joint Symposia
- 発表場所
  Kyotanabe, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Ultimate Top-down Etching Processes for Future Nano-scale Devices
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Semicon Korea SEMI Technology Symposium
- 発表場所
  Seoul, Korea
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状異常予測
- 著者名/発表者名
  久保田智広，佐藤充男，岩崎拓也，小野耕平，寒川誠二
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Formation and Characterization of a Three Dimensional Silicon Quantum Dot Superlattice Fabricated by Top-Down Process Using Bio-Template and Neutral Beam Etching Technology for its Application to a High Efficiency Quantum Dot Solar Cell
- 著者名/発表者名
  Mohammad Maksudur Rahman, Makoto Igarashi, Weiguo Hu, Mohd Erman Syazwan, Yusuke Hoshi, Noritaka Usami, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  京田辺
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Ultimate Top-down Processes for Future Nanoscale Devices
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  8th International Conference on Reactive Plasmas and 31st Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] FinFETとナノディスクアレイ構造を結合したニューロンデバイス
- 著者名/発表者名
  東原敬, 梁海超, 遠藤和彦, 五十嵐誠, 寒川誠二, 昌原明植, 森江隆
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Intelligent Information Processing Circuits Using Nanodisk Array Structure
- 著者名/発表者名
  T. Morie, T. Tohara, K. Endo, M. Igarashi, and S. Samukawa
- 学会等名
  The Thirteenth Int. Symp. on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
- 発表場所
  Sendai, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Numerical simulation of total processes of neutral beam etching from generation of neutral beam by collision of ions against graphite sidewall to 3-dimensional etching profile
- 著者名/発表者名
  Naoki Watanabe, Shingo Ohtsuka, Shunsuke Mochizuki, Tomohiro Kubota, Takuya Iwasaki, Yasuroh Iriye, Kohei Ono, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  AVS 60th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  Long Beach Convention Center,アメリカ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 塩素中性粒子ビームを用いた窒化物薄膜のエッチング特性
- 著者名/発表者名
  太田実雄，Halubai Sekhar，久保田智広，岡田健，寒川誠二，藤岡洋
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] アンペロメトリックバイオイメージングプラットフォーム「バイオLSI」
- 著者名/発表者名
  井上久美、松平昌昭、伊野浩介、中野将識、菅野佑介、須田篤史、國方亮太、吉田慎哉、早坂丈、菊地良幸、Xijiang Chang、久保田智広、珠玖仁、田中秀治、寒川誠二、末永智一
- 学会等名
  第74回分析化学討論会
- 発表場所
  日本大学工学部
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームによる超低損傷加工が拓く革新的ナノデバイス
- 著者名/発表者名
  寒川誠二
- 学会等名
  大口径中性粒子ビームに関する研究会
- 発表場所
  仙台
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] High-frequency characteristics of Si single-electron transistor
- 著者名/発表者名
  Hiroto Takenaka, Michito Shinohara, Takafumi Uchida, Masashi Arita, Seiji Samukawa, and Yasuo Takahashi
- 学会等名
  Twelfth International Symposium on Advanced Fluid Infromation and Transdisciplinary Fluid Integration
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] オンウェハモニタリングによるプラズマエッチング形状予測
- 著者名/発表者名
  久保田智広,佐藤充男, 岩崎拓也,小野耕平,寒川誠二
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Damage-free AlGaN/GaN Recess-Gate Etching using Cl2 Neutral Beam for High-Performance HEMTs
- 著者名/発表者名
  Halubai Sekhar, Tomohiro Kubota, Takeru Okada, Yosuke Tamura, ChangYong Lee, Jitsuo Ohta, Hiroshi Fujioka, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  The 3rd International Symposiumon Next-Generation Electronics
- 発表場所
  Chang Gung University,台湾
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] バイオテンプレート極限加工による３次元量子ドット超格子構造の作製
- 著者名/発表者名
  Mohammad Rahman、宇佐美徳隆、寒川誠二
- 学会等名
  第10回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
- 発表場所
  金沢
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Feature profile evolution in plasma processing using on-wafer monitoring system
- 著者名/発表者名
  Tomohiro Kubota, Michio Sato, Takuya Iwasaki, Kohei Ono, and Seiji Samukawa
- 学会等名
  AVS 60th International Symposium & Exhibition
- 発表場所
  Long Beach Convention Center,アメリカ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] 中性粒子ビームエッチングプロセスの総合的シミュレーション
- 著者名/発表者名
  渡辺尚貴,大塚晋吾,岩崎拓也,小野耕平,入江康郎,望月俊輔,久保田智広,寒川誠二
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学京田辺キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23360040
[学会発表] Intelligent Information Processing Circuits Using Nanodisk Array Structure
- 著者名/発表者名
  T. Morie, H. Liang, T. Tohara, K. Endo, M. Igarashi, and S. Samukawa
- 学会等名
  Twelfth International Symposium on Advanced Fluid Infromation and Transdisciplinary Fluid Integration
- 発表場所
  仙台
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022
[学会発表] Ultimate Top-down Etching Processes for Future Nano-scale Devices
- 著者名/発表者名
  Seiji Samukawa
- 学会等名
  Japan-Australia Commemorative Workshop
- 発表場所
  Canberra, Australia
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22240022

1. 久保田智広 (70322683)

共同の研究課題数: 6件

共同の研究成果数: 64件
2. 羽根一博 (50164893)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
3. 熊谷慎也 (70333888)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
4. 遠藤和彦 (60392594)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 12件
5. 小柳光正 (60205531)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 小野崇人 (90282095)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 森江隆 (20294530)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 31件
8. 高橋庸夫 (90374610)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 10件
9. 東原敬

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 10件
10. 古川徹生 (50219101)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 和田一実 (30376511)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 田中徹 (40417382)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 福島誉史 (10374969)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 近藤道雄 (30195911)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 浜口智志 (60301826)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 吉村智 (40294029)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 木内正人 (50356862)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 村山明宏 (00333906)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 14件
19. 大竹浩人 (00436156)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
20. 栗野浩之 (70282093)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 沈正七 (00333849)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 末岡和久 (60250479)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 中村雅一 (80332568)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
24. 大堀大介 (00839293)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
25. 福山敦彦 (10264368)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
26. 野村政宏 (10466857)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
27. 太田裕之 (70356640)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 徳増崇 (10312662)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 中田一紀

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
30. 五十嵐誠

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 33件
31. 梁海超

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 16件
32. 孫意来

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 13件
33. 田向権

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
34. 大野武雄

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
35. 安藤秀幸

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
36. 富崎和正

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
37. 加藤孝史

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
38. 王権

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
39. 谷村大志

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
40. 山口正登志

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
41. 原田將敬

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
42. 岩元剛毅

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
43. 山下健弥

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
44. 菊池亜紀応

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 7件
45. 黄啓賢

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
46. 宮川宣明

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
47. 田中啓文

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

寒川 誠二 Samukawa Seiji

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

無欠陥ナノ周期構造によるフォノン場制御を用いた高移動度半導体素子研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

三次元量子ナノディスクアレイによるゼーベック係数制御・熱電変換素子研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

中性粒子ビーム表面改質によるカーボンナノチューブ構造・物性制御と電気特性研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

サブ10nm量子ドットの超解像近接場分光研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

寒川誠二 Samukawa Seiji