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東 清一郎  Higashi Seiichiro

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30363047
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 広島大学, 先進理工系科学研究科(先), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2020年度 – 2024年度: 広島大学, 先進理工系科学研究科(先), 教授
2015年度 – 2018年度: 広島大学, 先端物質科学研究科, 教授
2010年度 – 2011年度: 広島大学, 先端物質科学研究科, 教授
2010年度: 広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 教授
2007年度 – 2009年度: 広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 准教授 … もっと見る
2008年度: 広島大学, 大学院・先端物質化学研究科, 准教授
2006年度: 広島大学, 大学院先端物質科学研究科, 助教授
2003年度 – 2006年度: 広島大学, 大学院・先端物質科学研究科, 助教授 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
電子・電気材料工学 / 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / 中区分14:プラズマ学およびその関連分野 / 電子デバイス・電子機器 / 計測工学
研究代表者以外
電子・電気材料工学 / 理工系
キーワード
研究代表者
大気圧プラズマ / 非接触温度測定 / 薄膜トランジスタ / 自己発熱 / 界面熱抵抗 / 信頼性 / 半導体デバイス / thermometry / self heating / semiconductor device … もっと見る / 微細加工 / MEMS / 電子デバイス・機器 / シリコン / 電気電子材料 / 優先配向 / 結晶成長 / 転写 / 単結晶シリコン / 転写技術 / フレキシブルエレクトロニクス / 溶融ゾーン / 固相結晶化 / 結晶化 / 大気圧プラズマジェット / 急速熱処理 / 極浅接合 / 不純物活性化 / 超々大規模集積回路 / 計測システム … もっと見る
研究代表者以外
量子ドット / フローティングゲート / Si量子ドット / エレクトロルミネッセンス / Quantum dots / 自己組織化 / Ge量子ドット / 縦積み連結 / LPCVD / 一次元連結 / スーパーアトム / 不揮発性メモリ / 量子サイズ効果 / 不揮発メモリ / メモリデバイス / ハイブリッド構造 / シリサイドナノドット / シリコン量子ドット / 光レスポンス / ハイブリッドドット / 金属ナノドット / フローティングゲートメモリ / ハイブリッドナノドット / ナノ結晶 / 発光デバイス 隠す
  • 研究課題

    (11件)
  • 研究成果

    (205件)
  • 共同研究者

    (3人)
  •  光学干渉非接触温度計測法によるデバイス自己発熱過程のイメージング技術に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      東 清一郎
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      広島大学
  •  集積化MEMS技術を応用した極微小大気圧熱プラズマジェット生成技術の研究研究代表者

    • 研究代表者
      東 清一郎
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分14:プラズマ学およびその関連分野
    • 研究機関
      広島大学
  •  大気圧プラズマジェットを用いたフレキシブル基板上単結晶シリコンCMOS技術研究代表者

    • 研究代表者
      東 清一郎
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  フレキシブル基板上の異種材料デバイス混載技術に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      東 清一郎
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2016
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      広島大学
  •  マイクロ熱プラズマジェット照射による四族半導体単結晶ナノ薄膜成長研究代表者

    • 研究代表者
      東 清一郎
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2012
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  Ge-Si系量子ドットの自己整合複合集積による物性制御とエレクトロルミネッセンス

    • 研究代表者
      宮崎 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      名古屋大学
      広島大学
  •  超急速熱処理における非接触温度測定と不純物の短時間活性化に関する研究研究代表者

    • 研究代表者
      東 清一郎
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2009
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      計測工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  シリコン系ナノ構造集積と機能メモリデバイス開発

    • 研究代表者
      宮崎 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2009
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      広島大学
  •  シリコン系スーパーアトム構造の高密度集積と新機能材料創成

    • 研究代表者
      宮崎 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2006 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  PN制御シリコン系ナノ結晶集積構造におけるキャリア輸送とエレクトロルミネッセンス

    • 研究代表者
      宮崎 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      広島大学
  •  自己組織化シリコン系量子ドットにおけるスーパーアトム構造の創成と電子状態制御

    • 研究代表者
      宮崎 誠一
    • 研究期間 (年度)
      2003 – 2005
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      広島大学

すべて 2023 2022 2020 2018 2017 2016 2015 2012 2011 2010 2009 2008 2007 2005 2004 2003 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 産業財産権

  • [図書] プラズマ・核融合学会誌(熱プラズマによるアモルファスシリコンの結晶化:講座熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス3. 結晶化・相変化制御への応用, vol.85,No.3)2009

    • 著者名/発表者名
      東清一郎、宮崎誠一
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [図書] 薄膜トランジスタ(薄膜材料デバイス研究会編)2008

    • 著者名/発表者名
      浦岡行治,神谷利夫,木村睦,佐野直樹,鮫島俊之,清水耕作,竹知和重,中村雅一,東清一郎,古田守,堀田将
    • 出版者
      コロナ社
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Development of a real-time temperature measurement technique for SiC wafer during ultra-rapid thermal annealing based on optical-interference contactless thermometry (OICT)2023

    • 著者名/発表者名
      Jiawen Yu, Hiroaki Hanafusa, and S. Higashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 62 号: SC ページ: SC1075-SC1075

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acb1bb

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [雑誌論文] Extremely high-power-density atmospheric-pressure thermal plasma jet generated by the nitrogen-boosted effect2018

    • 著者名/発表者名
      H. Hanafusa, R. Nakashima, W. Nakano, and S. Higashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 57 号: 6S2 ページ: 06JH01-06JH01

    • DOI

      10.7567/jjap.57.06jh01

    • NAID

      210000149213

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [雑誌論文] Generation of ultra high-power thermal plasma jet and its application to crystallization of amorphous silicon films2017

    • 著者名/発表者名
      R. Nakashima, R. Shin, H. Hanafusa, and S. Higashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 56 号: 6S2 ページ: 06HE05-06HE05

    • DOI

      10.7567/jjap.56.06he05

    • NAID

      210000147968

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [雑誌論文] Meniscus-force-mediated layer transfer technique using single-crystalline silicon films with midair cavity: Application to fabrication of CMOS transistors on plastic substrates2015

    • 著者名/発表者名
      Kohei Sakaike, Muneki Akazawa, Akitoshi Nakagawa and Seiichiro Higashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys

      巻: 54 号: 4S ページ: 04DA08-04DA08

    • DOI

      10.7567/jjap.54.04da08

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-13J02156, KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [雑誌論文] Formation of silicon-on-insulator layer with midair cavity for meniscus force-mediated layer transfer and high-performance transistor fabrication on glass2015

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa, K. Sakaike, and S. Higashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 54 号: 8 ページ: 086503-1

    • DOI

      10.7567/jjap.54.086503

    • NAID

      210000145520

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [雑誌論文] Application of Thermal Plasma Jet Irradiation to Crystallization and Gate Insulator Improvement for High-Performance Thin-Film Transistor Fabrication2011

    • 著者名/発表者名
      S.Higashi, S.Hayashi, Y.Hiroshige, Y.Nishida, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 50

    • NAID

      210000070175

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [雑誌論文] Formation of High Density Pt Nanodots on SiO_2 Induced by Millisecond Rapid Thermal Annealing using Thermal Plasma Jet for Floating Gate Memory2011

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Matsumoto, M. Yamane, T. Okada, N. Morisawa, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: Vol.50, No.8 号: 8S2 ページ: 08KE06-08KE06

    • DOI

      10.1143/jjap.50.08ke06

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246053
  • [雑誌論文] Activation of B and As in Ultrashallow Junction During Millisecond Annealing Induced by Thermal Plasma Jet Irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      K. Matsumoto, S. Higashi, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 49

    • NAID

      210000068160

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Formation of High Crystallinity Silicon Films by High Speed Scanning of Melting Region Formed by Atmospheric Pressure DC Arc Discharge Micro-Thermal-Plasma-Jet and Its Application to Thin Film Transistor Fabrication2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hayashi, S.Higashi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Appl.Phys.Express

      巻: 3 ページ: 61401-61401

    • NAID

      10027015042

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [雑誌論文] Activation of B and As in Ultrashallow Junction During Millisecond Annealing Induced by Thermal Plasma Jet Irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      K.Matsumoto, S.Higashi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000068160

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [雑誌論文] Formation of High Quality SiO_2 and SiO_2/Si Interface using Thermal Plasma Jet Induced Millisecond Annealing and Post-Metallization Annealing2010

    • 著者名/発表者名
      Y.Hiroshige, S.Higashi, K.Matsumoto, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 48

    • NAID

      110008001103

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [雑誌論文] Characterization of Microcrystalline Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Thermal Plasma Jet Crystallization Technique2010

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi, K. Sugakawa, H. Kaku, T. Okada, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 49

    • NAID

      210000068062

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Characterization of Microcrystalline Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Thermal Plasma Jet Crystallization Technique2010

    • 著者名/発表者名
      S.Higashi, K.Sugakawa, H.Kaku, T.Okada, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn.J.Appl.Phys.

      巻: 49

    • NAID

      210000068062

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [雑誌論文] "熱プラズマによるアモルファスシリコンの結晶化, "「講座熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス3. 結晶化・相変化制御への応用」2009

    • 著者名/発表者名
      東清一郎, 宮崎誠一
    • 雑誌名

      プラズマ・核融合学会誌 85(3)

      ページ: 119-123

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Electronic Charged States of Pt-silicide Nanodots as Evaluated by Using an AFM/Kelvin Probe Technique2009

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, M. Ikeda, A. Ohta, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Trans. of MRS-J Vol.34,No.2

      ページ: 309-312

    • NAID

      130005003983

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Formation of Pd Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma Treatment and Its Application to Floating Gate MOS Memories2009

    • 著者名/発表者名
      K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, R. Matsumoto, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      IEICE Trans. on Electronics Vol.E92-C,No.5

      ページ: 616-619

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Millisecond Rapid Thermal Annealing of Si wafer Induced by High Power Density Thermal Plasma Jet Irradiation and Its application to Ultra Shallow Junction Formation2009

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Kaku, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 48(4)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Characterization of Multistep Electron Charging and Discharging of Silicon-Quantum-Dots Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2008

    • 著者名/発表者名
      R. Matsumoto, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys Vol.47, No.4B

      ページ: 3103-3106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Progress on Charge Distribution in Multiply-Stacked Si Quantum Dots / SiO_2 Structure as Evaluated by AFM/KFM2008

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, J. Nishitani, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Institute of Electronics Informatioii and Communication Engineers Transactions on Electronics E91-C

    • NAID

      110006343827

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Characterization of Multistep Electron Charging and Discharging of Silicon-Quantum-Dots Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2008

    • 著者名/発表者名
      R. Matsumoto, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Impact of impurity Doping into Si Quantum Dots with GeCore on Their Electrical Charging Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517

      ページ: 306-308

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Self-Assembling Formation of Ninanodots on SiO_2 Induced by Remote H_2-plasma Treatment and Their Electrical Charging Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Self-Assembling Formation of Ninanodots on SiO_2 Induced by Remote H_2-plasma Treatment and Their Electrical Charging Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe. Y. Kawaguchi, M. Dceda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Characterization of Multistep Electron Charging and Discharging of a Silicon Quantum Dots Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2008

    • 著者名/発表者名
      R. Matsumoto, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      ページ: 3103-3106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Nucleation Control for High Density Formation of Si-based Quantum Dots on Ultrathin SiO22008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Electrochemical Society Transaction 16

      ページ: 255-260

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Characterization of Multistep Electron Charging and Discharging of a Silicon Quantum Dots Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2008

    • 著者名/発表者名
      R. Matsumoto, M. Ikeda, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      ページ: 3103-3106

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] In-situ Measurement of Temperature Variation in Si Wafer During Millisecond Rapid Thermal Annealing Induced by Thermal Plasma Jet Irradiation2008

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Kaku, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys 47(4)

      ページ: 2460-2463

    • NAID

      10022549196

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Progress on Charge Distribution in Multiply-Stacked Si Quantum Dots/SiO_2 Structure as Evaluated by AFM/KFM2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, J. Nishitani, M. Ikeda, S. Higashi and S, Miyazaki
    • 雑誌名

      Institute of Electronics Information and Communication Engineers Transactions on Electronics E91-C(in press)

    • NAID

      110006343827

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Impact of impurity Doping into Si Quantum Dots with GeCore on Their Electrical Charging Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Thin Solid Films 517

      ページ: 306-308

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Nucleation Control for High Density Formation of Si-based Quantum Dots on Ultrathin SiO22008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Electrochemical Society Transaction 16

      ページ: 255-260

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Characterization of Multistep Electron Charging and Discharging of Silicon-Quantum-Dots Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2008

    • 著者名/発表者名
      R. Matsumoto, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47(in press)

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] In-situ Monitoring of Si Wafer Temperature during Millisecond Rapid Thermal Annealing2008

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Kaku, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Electrochem. Soc. Trans 13(1)

      ページ: 31-36

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [雑誌論文] Self-Assembling Formation of Ninanodots on SiO2 Induced by Remote H2-plasma Treatment and Their Electrical Charging Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      ページ: 3099-3102

    • NAID

      210000064670

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Progress on Charge Distribution in Multiply-Stacked Si Quantum Dots/SiO2 Structure as Evaluated by AFM/KFM2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Institute of Electronics, Information and Communication Engineers Trans. on Electronics 91-C

      ページ: 712-715

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Self-Assembling Formation of Ni nanodots on SiO2 Induced by Remote H2-plasma Treatment and Their Electrical Charging Characteristics2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Jpn. J. of Appl. Phys Vol.47, No.4

      ページ: 3099-3102

    • NAID

      210000064670

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Progress on Charge Distribution in Multiply-Stacked Si Quanturn Dots/SiO2 Structure as Evaluated by AFM/KFM2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 雑誌名

      Institute of Electronics, Information and Communication Engineers Trans. on Electronics 91-C

      ページ: 712-715

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Light Emitting Diode with MOS Structures Containing Multiple-Stacked Si Quantum Dots2007

    • 著者名/発表者名
      J. Xu, K. Makihara, H. Deki, Y. Kawaguchi, H. Murakami, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Solid State Phenomena 121-123

      ページ: 557-560

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of Nickel Silicide Nanodots Using AFM/Kelvin Probe Technique2007

    • 著者名/発表者名
      R. Nishihara, K. Makihara, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, H. Murakami, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 561-565

      ページ: 1213-1216

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Chareed States of Nickel Silicide Nanodots Using AFM/Kelvin Probe Technique2007

    • 著者名/発表者名
      R. Nishihara, K. Makihara, Y. Kawaguchi, M. Bceda, H. Murakami, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Materials Science Forum 561-565

      ページ: 1213-1216

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Light Emitting Diode with MOS Structures Containing Multiple-Stacked Si Quaatum Dots2007

    • 著者名/発表者名
      J. Xu, K. Makihara, H Deki, Y. Kawaguchi. H. Murakami, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 雑誌名

      Solid State Phenomena 121-123

      ページ: 557-560

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 4th Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Sep. 16, 2005, Hiroshima) [P-34]

      ページ: 100-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of Multi Step Electron Chargeing to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2005

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, Y.Shimizu, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 4th Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Sep. 16, 2005, Hiroshima) [P-39]

      ページ: 110-111

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Experimental Evidence of Coulombic Interaction among Stored Charges in Single Si Dot as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, Y.Darma, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      2005 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Seoul, Korea, June 28-30, 2005) [A9.4]

      ページ: 177-180

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Control of the nucleation density of si quantum dots by remote hydrogen plasma treatment2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Deki, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Applied Surface Science 244/1-4

      ページ: 75-78

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 4th Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Sep. 16, 2005, Hiroshima) [P-40]

      ページ: 112-113

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe2005

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, J.Xu, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [23D-6]

      ページ: 32-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique2005

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [25P2-32]

      ページ: 294-295

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of MaltiStep Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2005

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, Y.Shimizu, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of The 2005 Int. Conf.on Solid State Devices and Materials [G-2-6]

      ページ: 174-175

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories2004

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials [H-2-4]

      ページ: 126-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Control of the Nucleation Density of Si Quantum Dots by Remote Hydrogen Plasma Treatment2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Deki, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of 12th Int. conf. on Solid Films and Surfaces(Hamamatsu, June 21-25, 2004) [A5-2]

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Local Characterization of Electronic Transport in Microcrystalline Germanium Thin Films by Atomic Force Microscopy Using a Conducting Probr2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing [P-19]

      ページ: 54-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories2004

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing(Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-40]

      ページ: 100-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in SiO_2 by Combination of Low-Pressure CVD with Remote Plasma Treatments2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing [P-35]

      ページ: 90-91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of Germanium Nanocrystallites Grown on SiO_2 by a Conductive AFM Probe Technique2004

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices (Nagasaki, June 30-July 2, 2004)

    • NAID

      110003175633

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in SiO_2 by Combination of Low-Pressure CVD and Remote Plasma Treatments2003

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Dig. of Papers 2003 Int. Microprocesses and Nanotechnol. Conf. (Tokyo, October 27-29,2004)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in Si02 by Combination of Low-Pressure CVD with Remote Plasma Treatments

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-35]

      ページ: 90-91

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Local Characterization of Electronic Transport in Microcrystalline Germanium Thin Films by Atomic Force Microscopy Using a Conducting Probr

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara.Y.Okamoto, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2nd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Jan. 30, 2004, Hiroshima) [P-19]

      ページ: 54-55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Fabrication of Multiply-Stacked Structures of Si Quantum-Dots Embedded in Si0_2 by Combination of Low-Pressure CVD and Remote Plasma Treatments

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Nakagawa, M.Ikeda, H.Murakami, S., Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Dig. of Papers 2003 Int. Microprocesses and Nanotechnol. Conf. (Tokyo, October 27-29, 2004) [28P-6-68L]

      ページ: 216-217

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of Electronic Charged States of P-doped Si Quantum Dots Using AFM/Kelvin Probe

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, J.Xu, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [23D-6]

      ページ: 32-33

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Control of the Nucleation Density of Si Quantum Dots by Remote Hydrogen Plasma Treatment

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, H.Deki, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Abst. of 12th Int. conf. on Solid Films and Surfaces (Hamamatsu, June 21-25, 2004 ) [A5-2]

      ページ: 137-137

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Decay Characteristics of Electronic Charged States of Si Quantum Dots as Evaluated by an AFM/Kelvin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyzaki
    • 雑誌名

      Abst. of The Fourth Int. conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures(ICSI-4)(Awaji Island, Hyogo, Japan, May 23-26, 2005) [25P2-32]

      ページ: 294-295

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot. Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (Tokyo, September 15-17, 2004) [H-2-4]

      ページ: 126-127

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of Germanium Nanocrystallites Grown on SiO_2 by a Conductive AFM Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      K.Makihara, Y.Okamoto, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of 2004 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Application of Advanced Semiconductor Devices (Nagasaki, June 30-July 2, 2004) [A10.5]

      ページ: 277-280

    • NAID

      110003175633

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Photo-Induced Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate in Metal-Oxide-Semiconductor Memories

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of the 3rd Hiroshima Int. Workshop on 21th Century COE, Nanoelectronics for Tera-bit Information Processing (Dec. 6, 2004, Hiroshima) [P-40]

      ページ: 100-101

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Characterization of MaltiStep Electron Charging to Silicon-Quantum-Dot Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases

    • 著者名/発表者名
      T.Nagai, M.Ikeda, Y.Shimizu, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 雑誌名

      Ext. Abst. of The 2005 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials [G-2-6]

      ページ: 174-175

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [雑誌論文] Experimental Evidence of Coulombic Interaction among Stored Charges in Single Si Dot as Detected by AFM/Kelvin Probe Technique

    • 著者名/発表者名
      J.Nishitani, K.Makihara, Y.Darma, H.Murakami, S.Higashi, S.Miyzaki
    • 雑誌名

      2005 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (Seoul, Korea, June 28-30, 2005) [A9.4]

      ページ: 177-180

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [産業財産権] 測定装置および測定方法2010

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2010-02-04
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246053
  • [産業財産権] 測定装置および測定方法2010

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      国立大学法人広島大学
    • 出願年月日
      2010-02-04
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体メモリ、それを用いた半導体メモリシステム、および半導体メモリに用いられる量子ドジトの製造方法2010

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      国立大学法人広島大学
    • 出願年月日
      2010-01-14
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体メモリ、それを用いた半導体メモリシステム、および半導体メモリに用いられる量子ドットの製造方法2010

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2010-01-14
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246053
  • [産業財産権] 測定装置および測定方法2008

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2008-07-31
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 測定装置および測定方法2008

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 取得年月日
      2008-07-31
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [産業財産権] 半導体メモリ、それを用いた半導体メモリシステム、および半導体メモリに用いられる量子ドット製造方法2008

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2008-03-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 測定装置および測定方法2008

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 産業財産権番号
      2008-552633
    • 出願年月日
      2008-07-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [産業財産権] 半導体メモリ、それを用いた半導体メモリシステム、および半導体メモリに用いられる量子ドット製造方法2008

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎
    • 公開番号
      2008-270705
    • 出願年月日
      2008-11-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体素子2008

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎, 村上秀樹
    • 公開番号
      2008-288346
    • 出願年月日
      2008-11-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 測定装置および測定方法2008

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2008-07-31
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体素子2007

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2007-12-06
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体メモリ2007

    • 発明者名
      牧原克典, 宮崎誠一, 東清一郎
    • 産業財産権番号
      2007-009772
    • 出願年月日
      2007-03-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体メモリ、それを用いた半導体システム、および半導体メモリに用いられる量子ドットの製造方法2007

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2007-12-06
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [産業財産権] 半導体メモリ、それを用いた半導体システム、および半導体メモリに用いられる量子ドットの製造方法2007

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2007-12-06
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [産業財産権] 半導体素子2007

    • 発明者名
      牧原克典、宮崎誠一、東清一郎
    • 権利者名
      広島大学
    • 出願年月日
      2007-12-06
    • 外国
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [産業財産権] MOS電界効果トランジスタ型量子ドット発光素子および受光素子、これらを利用した光電子集積チップ2004

    • 発明者名
      宮崎 誠一, 東 清一郎
    • 権利者名
      宮崎 誠一, 東 清一郎
    • 産業財産権番号
      2004-207620
    • 出願年月日
      2004-07-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15206035
  • [学会発表] Development of an experimental method for extraction of organic/semiconductor interfacial thermal resistance based on optical-interference contactless thermometry (OICT)2023

    • 著者名/発表者名
      Jiawen Yu, 後藤 隆之介, 花房 宏明, 東 清一郎
    • 学会等名
      2023年度応用物理・物理系中国四国支部合同学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] 3-D Imaging of Temperature Variations in 4H-SiC Schottky Barrier Diode under Operation based on Optical Interference Contactless Thermometry2023

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi, K. Fujimoto, and H. Hanafusa
    • 学会等名
      13th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] MEASUREMENT OF TRANSIENT HEAT TRANSFER ACROSS ORGANIC/SEMICONDUCTOR INTERFACE USING OPTICAL INTERFERENCE CONTACTLESS THERMOMETRY (OICT)2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yu, R. Goto, H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      33rd International Symposium on Transport Phenomena (ISTP-33)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] Interfacial Thermal Resistance Measurement at Polymer/Semiconductor Interface Using Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT)2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yu, H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      4th China International Youth Conference on Electrical Engineering (CIYCEE2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] 光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤としたSU-8/SiCの界面熱抵抗測定技術を開発2023

    • 著者名/発表者名
      Yu Jiawen、後藤 隆之介、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      第84回 応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] Measurement of Heat Dissipation between SiC and Thermal Interface Material in Power Device Packaging Based on Optical-Interference Contactless Thermometry2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yu, R. Goto, H. Hanafusa, and S. Higashi
    • 学会等名
      2023 International Conference on Solid State Devices and Materials(SSDM2023),
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] Extraction of Organic/Semiconductor Interfacial Thermal Resisitance based on Optical Interference Contactless Thermometry (OICT)2023

    • 著者名/発表者名
      J. Yu, H. Hanafusa, and S. Higashi
    • 学会等名
      2023 Asia-Pacific Workshop on Advanced Semiconductor Devices(AWAD2023)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Rapid Thermal Annealing Based on Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT)2022

    • 著者名/発表者名
      J. Yu, K. Matsuguchi, T. Sato, H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] OICT による通電加熱時におけるシリコンウェハ内部の3次元温度イメージング技術2022

    • 著者名/発表者名
      松口 康太郎、Jiawen Yu、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      先進パワー半導体分科会 第9回講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] 通電過熱時におけるシリコンウェハ内の過渡的温度分布 の3次元イメージング2022

    • 著者名/発表者名
      松口 康太郎、Yu Jiawen、花房 宏明、佐藤 拓磨、東 清一郎
    • 学会等名
      第83回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] 光学干渉非接触温度測定法(OICT)によるシリコンウェハ内部の過渡的熱拡散過程の三次元イメージング2022

    • 著者名/発表者名
      松口 康太郎、藤本 渓也、Yu Jiawen、花房 宏明、佐藤 拓磨、東 清一郎
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告 シリコン材料・デバイス研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] OICT による通電加熱時におけるSi ウェハ内の 過渡的温度分布の3次元イメージング技術2022

    • 著者名/発表者名
      松口 康太郎、Jiawen Yu、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K22824
  • [学会発表] 微小プラズマジェット発生技術及びその集積化に関する研究2020

    • 著者名/発表者名
      山下 隆祐、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第17回研究集会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K20911
  • [学会発表] Ultra-High-Speed Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass Substrate by Thermal-PlasmaJet Irradiation Using Cylindrical Rotation Stage2018

    • 著者名/発表者名
      W. Nakano, H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      2018 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2018), (Tokyo, Japan, Sept. 9-13, 2018). N-8-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Analysis of a Molten Region on Amorphous Silicon Film By High-Speed Camera and Contactless Temperature Measurement during Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Annealing2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Mizukawa, H. Hanafusa, and S. Higashi
    • 学会等名
      2018 ECS and SMEQ Joint Int. Meeting (Cancun, Mexico, Sept. 30 - Oct. 4, 2018), #1196
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Activation of High-temperature-implanted Phosphorus Atoms in 4H-SiC by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Annealing2018

    • 著者名/発表者名
      H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      Ext. Abs. 2018 18th Int. Workshop Junction Tech. (IWJT-2018), (Shanghai, China, Mar. 8-9, 2018), pp. 24-27
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Nitrogen-boosted Atmospheric Pressure Thermal-Plasma-Jet Generation and Its Application to Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass2018

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      2018 Int. Thin-Film Transistor Conf. (ITC2018), (Guangzhou, China, Feb.- Mar. 2, 2018), pp. 46
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Investigation on Crack suppression by Thermal-Plasma-Jet Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass Substrate2017

    • 著者名/発表者名
      T. Hieda, H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      231st Electrochem. Soc. (ECS) Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Extremely High-power-density Atmospheric Pressure Thermal-Plasma-Jet Generated by Nitrogen-boost Effect2017

    • 著者名/発表者名
      H. Hanafusa, W. Nakano, R. Nakashima and S. Higashi
    • 学会等名
      Int. Symp. Dry Process (DPS2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] ハイパワー大気圧熱プラズマジェットの生成とアモルファスシリコン結晶化への応用2017

    • 著者名/発表者名
      中島 涼介、新 良太、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第199回研究集会
    • 発表場所
      東京大学
    • 年月日
      2017-02-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] ハイパワー大気圧熱プラズマジェットの加熱特性評価とシリコン薄膜の結晶成長制御2017

    • 著者名/発表者名
      中島 涼介、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      第64回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Fabrication of single crystalline silicon thin film transistors and logic circuits on plastic substrate by meniscus force mediated layer transfer technique2017

    • 著者名/発表者名
      R. Mizukami, S. Takeshima, T. Yamashita and S. Higashi
    • 学会等名
      13th Int. Thin-Film Transistor Conf. 2017 (ITC2017)
    • 発表場所
      Austin, TX, USA
    • 年月日
      2017-02-23
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] 熱プラズマジェットによる超急速熱処理と半導体デバイス応用2017

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      日本物理学会 第72回年次大会
    • 発表場所
      大阪大学
    • 年月日
      2017-03-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Investigation on Crack Suppression Mechanism in Micro-Thermal-Plasma-Jet Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass Substrate2017

    • 著者名/発表者名
      T. Hieda, H. Hanafusa, and S. Higashi
    • 学会等名
      Int. Workshop Nanodevice Technologies 2017
    • 発表場所
      Higashi-Hiroshima, Japan
    • 年月日
      2017-03-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] 中空構造SOI層を用いた低温転写における転写歩留まり向上とプラスチック基板上での単結晶シリコンTFTと論理回路の作製2017

    • 著者名/発表者名
      水上 隆達、竹島 真治、山下 知徳、東 清一郎
    • 学会等名
      第64回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] Micro-thermal-plasma-jet Crystallization of Amorphous Silicon Films on Flexible Glass Substrate2017

    • 著者名/発表者名
      T. Hieda, R. Shin, H. Hanafusa, S. Higashi
    • 学会等名
      34th Symposium on Plasma Processing (SPP34) / The 29th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM29)
    • 発表場所
      Sapporo, Hokkaido, Japan
    • 年月日
      2017-01-16
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Miniaturization of Single Crystalline Silicon Layer Transferred to Flexible Substrate by Meniscus Force Mediated Layer Transfer Technique2017

    • 著者名/発表者名
      S. Takeshima, R. Mizukami, T. Yamashita, and S. Higashi
    • 学会等名
      Int. Workshop Nanodevice Technologies 2017
    • 発表場所
      Hiroshima University
    • 年月日
      2017-03-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] 超ハイパワー大気圧プラズマジェットによる急速熱処理と単結晶シリコン成長技術への応用2017

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      エコ薄膜研究会
    • 発表場所
      琉球大学
    • 年月日
      2017-01-30
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Improvement of Transfer Yield of Single-Crystalline Silicon Films and Fabrication of Thin-Film Transistors and Inverters on Plastic Substrate2017

    • 著者名/発表者名
      R. Mizukami, S. Takeshima, T. Yamashita, and S. Higashi
    • 学会等名
      Int. Workshop Nanodevice Technologies 2017
    • 発表場所
      Hiroshima University
    • 年月日
      2017-03-02
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] 超ハイパワー熱プラズマジェットによる核生成制御2017

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 山陰特別研究会
    • 発表場所
      島根県
    • 年月日
      2017-03-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Improvement of transfer yield of single-crystalline silicon films and fabrication of thin-film transistors on polyethylene terephthalate substrate2016

    • 著者名/発表者名
      R. Mizukami, S. Takeshima, T. Yamashita, and S. Higashi
    • 学会等名
      International Conference on Flexible and Printed Electronics (ICFPE2016)
    • 発表場所
      Yamagata, Japan
    • 年月日
      2016-09-06
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] Atmospheric pressure micro-thermal-plasma-jet irradiation on amorphous germaniumstrips and its application to thin film transistor fabrication2016

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi, H. Harada, T. Nakatani
    • 学会等名
      2016 Asia-Pacific Workshop Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Dev. (AWAD2016)
    • 発表場所
      Hakodate, Japan
    • 年月日
      2016-07-04
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] 中空構造 SOI 層を用いたフレキシブル基板への転写技術におけるパターン微小化2016

    • 著者名/発表者名
      竹島 真治、水上隆達、山下知徳、花房宏明、東清一郎
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第13回研究集会
    • 発表場所
      龍谷大学
    • 年月日
      2016-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] ハイパワー大気圧熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜の高速溶融結晶化と結晶成長制御2016

    • 著者名/発表者名
      中島 涼介、新良太、花房宏明、東清一郎
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第13回研究集会
    • 発表場所
      龍谷大学
    • 年月日
      2016-10-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化2016

    • 著者名/発表者名
      稗田 竜己、新 良太、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] Generation of Ultra High Power Thermal Plasma Jet (Super TPJ) and Its Application to Crystallization of Amorphous Silicon Films2016

    • 著者名/発表者名
      R. Nakashima, R. Shin, H. Hanafusa and S. Higashi
    • 学会等名
      Int. Symp. Dry Process (DPS2016)
    • 発表場所
      Sapporo, Hokkaido, Japan
    • 年月日
      2016-11-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] 中空構造 SOI 層を用いた低温転写における転写歩留まり向上とフレキシブル基板上での単結晶シリコンTFT と論理回路の作製2016

    • 著者名/発表者名
      水上 隆達、竹島真治、山下知徳、東清一郎
    • 学会等名
      薄膜材料デバイス研究会 第13回研究集会
    • 発表場所
      龍谷大学
    • 年月日
      2016-10-21
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] Activation of Impurity Atoms in 4H-SiC Wafer by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Irradiation2016

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      2016 Int. Workshop Junction Tech. (IWJT-2016)
    • 発表場所
      Shanghai, China
    • 年月日
      2016-05-09
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] 大気圧プラズマによるIV 族半導体薄膜の結晶成長と欠陥制御2016

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] ハイパワー大気圧熱プラズマジェット照射によるシリコン薄膜の高速溶融結晶化2016

    • 著者名/発表者名
      中島 涼介、新 良太、花房 宏明、東 清一郎
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H04334
  • [学会発表] 中空構造SOI 層を用いた低温転写における転写歩留まり向上とフレキシブル基板上での単結晶シリコンTFT とインバータ回路の作製2016

    • 著者名/発表者名
      水上 隆達、竹島 真治、山下 知徳、東 清一郎
    • 学会等名
      第77回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] 中空構造SOI層の低温転写におけるFTIR-ATRを用いたシリコン/PET界面の化学結合状態評価2015

    • 著者名/発表者名
      竹島 真治、酒池 耕平、赤澤 宗樹、中川 明俊、東 清一郎
    • 学会等名
      第76回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] 中空構造SOI層の低温転写におけるシリコン/PET界面の化学結合状態評価2015

    • 著者名/発表者名
      竹島 真治、酒池 耕平、赤澤 宗樹、東 清一郎
    • 学会等名
      2015年度 応用物理・物理系学会中国四国支部 合同学術講演会
    • 発表場所
      徳島大学 常三島キャンパス(徳島県・徳島市)
    • 年月日
      2015-08-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] Silicon CMOS on glass and plastic - Crystallization and layer transfer approaches -2015

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      Semiconductor Tech. Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors V
    • 発表場所
      Lake Tahoe, USA
    • 年月日
      2015-06-14
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] メニスカス力を用いた局所転写のための中空構造単結晶シリコンの形成2015

    • 著者名/発表者名
      赤澤 宗樹、東 清一郎
    • 学会等名
      第76回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場(愛知県・名古屋市)
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] Formation of Single Crystalline Silicon with Midair Cavity for Meniscus Force-Mediated Local Layer Transfer and Fabrication of High-Performance MOSFETs on Insulator2015

    • 著者名/発表者名
      M. Akazawa, S. Takeshima, A. Nakagawa, K. Hiramatsu and S. Higashi
    • 学会等名
      Int. Conf. Solid State Dev. Mat. (SSDM2015)
    • 発表場所
      Sapporo, Japan
    • 年月日
      2015-09-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15K13976
  • [学会発表] 熱プラズマジェットを用いたミリ秒熱処理によるPtおよびPtシリサイドナノドットの形成とフローティングゲートメモリ応用2012

    • 著者名/発表者名
      牧原克典,山根雅人,池田弥央,東清一郎,宮崎誠一
    • 学会等名
      第59回春季応用物理学会
    • 発表場所
      早稲田大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246053
  • [学会発表] Improvement in Electrical Stress Endurance of Low-Temperature Deposited SiO_2 Films by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Annealing2011

    • 著者名/発表者名
      Y.Nishida, S.Hayashi, K.Matsumoto, S.Higashi
    • 学会等名
      4^<th> Int.Conf. Plasma Nanotechnology and Science (IC-PLANTS 2011)
    • 発表場所
      Takayama, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] Fabrication of High performance TFTs Using Micro-Thermal-Plasma-Jet Crystallized Strip Amorphous Silicon Films2011

    • 著者名/発表者名
      S.Hayashi, M.Ikeda, Y.Nishida, R.Matsubara, S.Higashi
    • 学会等名
      7^<th> Int.Thin-Film Transistor Conference (ITC 2011)
    • 発表場所
      Cambridge, UK
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] Formation of PtAl Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma2011

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, A. Ohta, R. Ashihara, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      15th International Conference on Thin Films(ICTF-15)
    • 発表場所
      Kyoto
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246053
  • [学会発表] プラズマジェット急速熱処理による高密度Ptナノドット形成とフローティングゲートメモリ応用2011

    • 著者名/発表者名
      牧原克典,池田弥央,山根雅人,東清一郎,宮崎誠一
    • 学会等名
      第72回秋季応用物理学会
    • 発表場所
      山形大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21246053
  • [学会発表] Characteristics of Thin Film Transistors Fabricated by Solid Phase Crystallization and High Speed Lateral Crystallization Induced by Micro-Thermal-Plasma-Jet Irradiation2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hayashi, S.Higashi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 学会等名
      17^<th> Int.Display Workshop (IDW'10)
    • 発表場所
      Fukuoka, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] Millisecond Annealing Induced by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Irradiation and Its Application to Ultra Shallow Junction Formation [Invited]2010

    • 著者名/発表者名
      S.Higashi
    • 学会等名
      2010 Int.Workshop Junction Tech. (IWJT-2010)
    • 発表場所
      Shanghai, China(招待講演)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] Millisecond Annealing Induced by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Irradiation and Its Application to Ultra Shallow Junction Formation2010

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      Ext. Abs. 2010 Int. Workshop Junction Tech. (IWJT-2010)
    • 発表場所
      Shanghai, China(Invited)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Efficient Activation of As Atoms in Ultra Shallow Junction by Thermal Plasma Jet Induced Microsecond Annealing2010

    • 著者名/発表者名
      K.Matsumoto, S.Higashi, A.Ohta, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 学会等名
      Int.Symp.Dry Process (DPS 2010)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] High Speed Lateral Crystallization of Amorphous Silicon Films Using Micro-Thermal-Plasma-Jet and Its Application to Thin Film Transistor2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hayashi, S.Higashi, H.Murakami, S.Miyazaki
    • 学会等名
      2010 Int.Conf Solid Sate Dev.Mat.(SSDM)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] Growth of Large Crystalline Grains by High Speed Scanning of Melting Zone Formed by Micro-Thermal-Plasma-Jet Irradiation to Amorphous Silicon Films2010

    • 著者名/発表者名
      S.Hayashi, S.Higashi, S.Miyazaki
    • 学会等名
      2010 Material Research Society Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, U.S.A.
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22360126
  • [学会発表] 大気圧熱プラズマジェットを用いたシリコン膜のマイクロ秒溶融結晶化と高性能TFT作製応用2010

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      電子情報通信学会技術研究報告シリコン材料・デバイス
    • 発表場所
      沖縄青年会館
    • 年月日
      2010-04-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] 結晶化・相変化への応用熱プラズマジェットによるアモルファスシリコンの結晶化2009

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      第31回真空展VACUUM2009併設真空トピックス, 日本真空協会9月研究例会, スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第115回定例研究会
    • 発表場所
      東京ビッグサイトSputtering & Plasma Processes
    • 年月日
      2009-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Characterization of Microcrystalline Silicon Thin Film Transistors Fabricated by Thermal Plasma Jet Crystallization Technique2009

    • 著者名/発表者名
      K. Sugakawa, S. Higashi, H. Kaku, T. Okada, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Proc. AM-FPD 09
    • 発表場所
      Nara, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Si量子ドット/NiSiナノドットハイブリッド積層FG-MOS構造における光誘起電荷移動2009

    • 著者名/発表者名
      森澤直也、池田弥央、中西翔、川浪彰、牧原克典、東清一郎、宮崎誠一
    • 学会等名
      第70回秋季応用物理学会
    • 発表場所
      富山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] 熱プラズマジェットによるミリ秒急速熱処理とその半導体プロセス応用2009

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      第44回応用物理学会スクール「安価、簡単、便利~大気圧プラズマの基礎と応用~」
    • 発表場所
      筑波大学
    • 年月日
      2009-04-01
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] NiSiナノドット/Si量子ドット積層ハイブリッドフローティングゲートにおける電荷注入・放出特性2009

    • 著者名/発表者名
      中西翔、池田弥央、森澤直也、牧原克典、川浪彰、東清一郎、宮崎誠一
    • 学会等名
      第70回秋季応用物理学会
    • 発表場所
      富山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] 結晶化・相変化への応用 熱プラズマジェットによるアモルファスシリコンの結晶化2009

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      日本真空協会9月研究例会, スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会第115回定例研究会
    • 発表場所
      東京ビッグサイト
    • 年月日
      2009-09-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Activation of B and As in Ultra Shallow Junction with Heating and Cooling Rates Controlled Millisecond Annealing Induced by Thermal Plasma Jet2009

    • 著者名/発表者名
      K. Matsumoto, S. Higashi, H. Furukawa, T. Okada, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Ext. Abs. 2009 Int. Conf. Solid Sate Dev. Mat
    • 発表場所
      Sendai, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Impact of Remote Plasma Treatment on Formation of Metal Nanodots on Ultrathin SiO22009

    • 著者名/発表者名
      A. Kawanami, K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Millisecond Thermal Processing for TFT and ULSI [Invited]2009

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      Semiconductor Tech. for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors II
    • 発表場所
      Xi'an, China
    • 年月日
      2009-07-05
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Impact of Remote Plasma Treatment on Formation of Metal Nanodots on Ultrathin SiO22009

    • 著者名/発表者名
      A. Kawanami, K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 学会等名
      The 2nd International Conference on Plasma-Nano Technology & Science
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] 熱プラズマジエットによるミリ秒急速熱処理とその半導体プロセス応用(第44回応用物理学会スクール「安価、簡単、便利〜大気圧プラズマの基礎と応用〜」)2009

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      第56回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      筑波大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Millisecond Thermal Processing for TFT and ULSI2009

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      Semiconductor Tech. for Ultra Large Scale Integrated Circuits and Thin Film Transistors II
    • 発表場所
      Xi'an, China(Invited)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Metal Nanodots Formation Induced by Remote Plasma Treatment-Comparison between the effects of H2 and rare gas plasmas-2008

    • 著者名/発表者名
      K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      International Union Material Research Societv (IUMRS) - International Conference in Asia
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Formation of Ultra High Density Si-based Quantum Dots on Ultrathin SiO22008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      4th International Workshop in New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Formation of Pd Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma Treatment and Its Application to Floating Gate MOS Memories2008

    • 著者名/発表者名
      K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, R. Matsumoto, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 学会等名
      2008 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Hokkaido
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Generation of High Density Thermal Plasma Jet and Its Application to Millisecond Annealing of Si Wafer Surface for Shallow Junction Formation2008

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Proc. Int. Symp. Dry Process
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Electronic Charged States of Pt-silicide Nanodots as Evaluated by Using an AFM/Kelvin Probe Technique2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, M. Ikeda, A. Ohta, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      International Union Material Research Society (IUMRS)-International Conference in Asia
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] In-situ Monitoring of Si Wafer Temperature during Millisecond Rapid Thermal Annealing2008

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Kaku, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      213th Electrochemical Society (ECS) Meeting Abs
    • 発表場所
      Phoenix, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Characterization of Chemical Bonding Features and Electronic States of Ni-Silicide Nanodots Formed by a Remote H2-P1asma Assisted Technique2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Ohta, R. Matsumoto, M. Ikeda, K. Shimanoe, s. Higashi, s. Miyazaki
    • 学会等名
      The 4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia
    • 発表場所
      Matsue
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Formation of Pd Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma Treatment and Its Application to Floating Gate MOS Memories2008

    • 著者名/発表者名
      K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, R. Matsumoto, S. Higashi and S. Mivazaki
    • 学会等名
      2008 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Hokkaido
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Selective Growth of Self-Assembling Si and SiGe Quantum Dots2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      4th International SiGe Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Millisecond Rapid Thermal Annealing of Si Wafer Induced by High Density Thermal Plasma Jet Irradiation2008

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Kaku, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Ext. Abs. 2008 Int. Conf. Solid Sate Dev. Mat
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Impact of Annealing condition on the Efficiency of Dopant Activation Induced by Thermal Plasma Jet Crystallization of Heavily-Phosphorus-Doped Amorphous Si films2008

    • 著者名/発表者名
      H. Kaku, S. Higashi, H. Furukawa, T. Okada, T. Yorimoto, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      1st Int. Conf. on Plasma-NanoTechnology and Science (IC-PLANTS 2008)
    • 発表場所
      Nagoya, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Nucleation Control for High Density Formation of Si-based Quantum Dots on Ultrathin SiO22008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      214th Electrochemical Society (ECS) Meet ing : SiGe & Ge Materials, Processing, and Device Symposium
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Fonnation of Ultra High Density Si-based Quantum Dots on Ultrathin SiO22008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, s. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      4th International Workshop in New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Nucleation Control for High Density Formation of Si-based Quantum Dots on Ultrathin SiO22008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, s. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      214th Electrochemical Society (ECS) Meeting : SiGe & Ge Materials, Processing, and Device Symposium
    • 発表場所
      Honolulu, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Formation of Source and Drain for Polycrystalline Si Thin Film Transistors Using Thermal Plasma Jet Induced Impurity Activation2008

    • 著者名/発表者名
      H. Kaku, S. Higashi, T. Yorimoto, T. Okada, H. Furukawa, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Proc. 4th Int. TFT Conf
    • 発表場所
      Seoul, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Metal Nanodots Formation Induced by Remote Plasma Treatment-Comparison between the effects of H2 and rare gas plasmas-2008

    • 著者名/発表者名
      K. Shimanoe, K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      International Union Material Research Society (IUMRS)-International Conference in Asia
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Selective Growth of Self-Assembling Si and SiGe Quantum Dots2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Kawanami, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      4th International SiGe Technology and Device Meeting
    • 発表場所
      Hsinchu, Taiwan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Application of Thermal Plasma Jet Annealing to Channel Crystallization and Doping for Thin Film Transistor Fabrication2008

    • 著者名/発表者名
      H. Kaku, S. Higashi, T. Yorimoto, T. Okada, H. Furukawa, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Dig. Tech. Pap. AM-FPD 08
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Characterization of Chemical Bonding Features and Electronic States of Ni-Silicide Nanodots Formed by a Remote H2-P1 asma Assisted Technique2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, A. Ohta, R. Matsumoto, M. Ikeda, K. Shimanoe, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 4th Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia
    • 発表場所
      Matsue
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Electronic Charged States of Pt-silicide Nanodots as Evaluated by Using an AFM/Kelvin Probe Technique2008

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, M. Ikeda, A. Ohta, S. Higashi, s. Miyazaki
    • 学会等名
      International Union Material Research Society (IUMRS) - International Conference in Asia
    • 発表場所
      Nagoya
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] 熱プラズマジェットを用いたミリ秒急速熱処理技術のTFT作製プロセス応用2007

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      半導体界面制御技術第154委員会第58回研究会資料
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2007-05-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Characterization of Electronic Charged States of Nickel Sikicide Nanodots Using AFM/Kelvm Probe Technique2007

    • 著者名/発表者名
      R. Nishihara, K. Maldhara, Y. Kawaguchi. M. Dceda, H, Murakami, S. Higashi, S. Miyaziki
    • 学会等名
      The Sixth Pacific Rim International Conference on Advaneed Materials and Processing
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Charge Injection Characteristics of NiSi-Dots/Silicon-Quantum-Dots Stacked Floating Gate in MOS Capacitors2007

    • 著者名/発表者名
      M. Ikeda, R. Matsumoto, K. Shimanoe, T. Okada, K. Makihara, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      3nd International Workshop in New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] "Poly-Si TFT新たなSi膜結晶化法(熱プラズマジェット法)"シンポジウム「Poly-Si TFT最近の展開と今後」2007

    • 著者名/発表者名
      東清一郎
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Impact of impurity Doping into Si Quantum Dots with Ge Core on Their Electrical Charging Characteristics2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Dceda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      5th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures
    • 発表場所
      Marseille, France
    • 年月日
      2007-05-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Electroluminescence from Multiple-Stacked Structures of Impurity Doped Si Quantum Dots2007

    • 著者名/発表者名
      K. Okuyama, K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tukuba
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Impact ofBoron Doping to Si Quaatum Dots on Light Emission Properties2007

    • 著者名/発表者名
      K. Okuyama, K・ Makihara, A.Ohta, H. Murakami, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Gyeongju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] In-situ Measurement of Temperature Variation in Si Wafer During Millisecond Rapid Thermal Annealing Induced by Thermal Plasma Jet Irradiation2007

    • 著者名/発表者名
      H. Furukawa, S. Higashi, T. Okada, H. Kaku, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Ext. Abs. 2007 Int. Conf. Solid Sate Dev. Mat
    • 発表場所
      Tsukuba, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Impact of Boron Doping to Si Quantum Dots on Light Emission Properties2007

    • 著者名/発表者名
      K. Okuyama, K. Makihara, A. Ohta, H. Murakami, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Gyeongju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Impact of impurity Doping into Si Quantum Dots with Ge Core on Their Electrical Charging Characteristics2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      5th International Conference on Silicon Epitaxy and Heterostructures
    • 発表場所
      Marseille, France
    • 年月日
      2007-05-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Luminescence Study of Multiply-Stacked Structures Consisting of Impurity-Doped Si Quantum Dots and Ultrathin SiO_22007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 2007 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 発表場所
      Osaka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Luminescence Study of Multiply-Stacked Structures Consisting of Impurity-Doped Si Quantum Dots and Ultrathin SiO_22007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, Y. Kawaguchi, M. Deeda.S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      The 2007 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai
    • 発表場所
      Osaka
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Characterization of Electronic Charged States of Nickel Sikicide Nanodots Using AFM/Kelvin Probe Technique2007

    • 著者名/発表者名
      R. Nishihara, K. Makihara, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, H. Murakami, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The Sixth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing
    • 発表場所
      Jeju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Poly-Si TFT新たなSi膜結晶化法(熱プラズマジェット法)2007

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      第68回応用物理学会学術講演会(シンポジウム)
    • 発表場所
      北海道工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Self-Assembling Formation of Ninanodots on SiO_2 Induced by Remote H_2-Plasma Treatment and Their Electrical Charging Characteristics2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tukuba
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Formation of PtSi Nanodots Induced by Remote H_2 Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      K. Simanoe, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      3nd International Workshop in New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2007-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Phosphorus Doping to Si Quantum Dots for Floating Gate Application2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, A. Ohta, H. Murakami, R. Matsumoto, E. Ikenaga, M. Kobata, J. Kim, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2007-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Dopant Activation Induced by Thermal Plasma Jet Crystallization of Heavily-Phosphorus-Doped Amorphous Si Films2007

    • 著者名/発表者名
      H. Kaku, S. Higashi, H. Furukawa, T. Okada, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Dig. Tech. Pap. AM-FPD 07
    • 発表場所
      Hyogo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Charge Injection Characteristics of NiSi-Dots/Silicon-Quantum-Dots Stacked Floating Gate in MOS Capacitors2007

    • 著者名/発表者名
      M. Ikeda, R. Matsumoto, K. Shimanoe, T. Okada, K. Makihara, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      3nd International Workshop in New Group IV Semiconductor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] 熱プラズマジェットを用いたミリ秒急速熱処理技術のTFT作製プロセス応用(招待講演)2007

    • 著者名/発表者名
      東 清一郎
    • 学会等名
      半導体界面制御技術第154委員会第58回研究会
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2007-05-16
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Formation of PtSi Nanodots Induced by Remote H_2 Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      K. Simanone, K. Makihara, A. Ohta, M. Ikeda, S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      3nd International Workshop in New Group IV Semicond uctor Nanoelectronics
    • 発表場所
      Sendai
    • 年月日
      2007-11-09
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Characterization of Multistep Electron Charging and Discharging of Silicon-Quantum-Dots Floating Gate by Applying Pulsed Gate Biases2007

    • 著者名/発表者名
      R. Matsumoto, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 発表場所
      Tukuba
    • 年月日
      2007-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Formation of Ni Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K, Shimanoe, Y. Kawaguchi, M. Dceda, S. Higashi, S.Miyazaki
    • 学会等名
      The European Materials Research Society 2007 Spring Meeting
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Application of Thermal Plasma Jet to Crystallization of Amorphous Si Films on Glass Substrate and Thin Film Transistor Fabrication2007

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surf. Eng. (AEPSE 2007) Workshop on Flat-panel and Flexible Devices
    • 発表場所
      Nagasaki, Japan
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Formation of Ni Nanodots Induced by Remote Hydrogen Plasma2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, K. Shimanoe, Y. Kawaguchi, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      The European Materials Research Society 2007 Spring Meeting
    • 発表場所
      Strasbourg, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] Progress on Charge Distribution in Multiply-Stacked Si Quantum Dots/SiO_2 Structure as Evaluated by AFM/KFM2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, S. Higashi and S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices
    • 発表場所
      Gyeongju, Korea
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18206035
  • [学会発表] High Efficiency Dopant Activation Induced by Thermal Plasma Jet Crystallization of Heavily-Phosphorus-Doped Amorphous Si Films2007

    • 著者名/発表者名
      H. Kaku, S. Higashi, H. Furukawa, T. Okada, T. Yorimoto, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Ext. Abs. 5th Int. Symp. Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-V)
    • 発表場所
      Tokyo, Japan
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] High Efficiency Activation of Phosphorus Atoms Induced by Thermal Plasma Jet Crystallization of Doped Amorphous Si Films2007

    • 著者名/発表者名
      H. Kaku, S. Higashi, T. Okada, T. Yorimoto, H. Murakami, S. Miyazaki
    • 学会等名
      Abst. 2007 Material Research Society Spring Meeting
    • 発表場所
      San Francisco, U.S. A
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • [学会発表] Phosphoras Doping to Si Quantum Dots for Floating Gate Application2007

    • 著者名/発表者名
      K. Makihara, M. Ikeda, A. Ohta, H. Murakami. R, Matsumoto, E. Ikenaga, M. Kobata, J. Kim S. Higashi, S. Miyazaki
    • 学会等名
      2007 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 発表場所
      Kyoto
    • 年月日
      2007-06-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18063017
  • [学会発表] Application of Thermal Plasma Jet to Crystallization of Amorphous Si Films on Glass Substrate and Thin Film Transistor Fabrication (invited)2007

    • 著者名/発表者名
      S. Higashi
    • 学会等名
      6th Asian-European Int. Conf. Plasma Surf. Eng. (AEPSE 2007)
    • 発表場所
      Nagasaki, Japan
    • 年月日
      2007-09-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360187
  • 1.  宮崎 誠一 (70190759)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 88件
  • 2.  村上 秀樹 (70314739)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 33件
  • 3.  香野 淳 (30284160)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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