今井康彦 Imai Yasuhiko

研究者番号	30416375
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主席研究員 2025年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 研究DX推進室, 主席研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度 – 2024年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主幹研究員 2020年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主幹研究員 2019年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 放射光利用研究基盤センター, 主幹研究員 2017年度 – 2018年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 主幹研究員 2015年度 – 2016年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 副主幹研究員 … もっと見る 2013年度 – 2014年度: 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 2009年度: 財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員 2008年度: 財団法人高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門・ナノ先端計測支援チーム, 研究員 2007年度: (財)高輝度光科学研究センター, 利用促進部門, 研究員 2006年度 – 2007年度: 高輝度光科学研究センター, 利用研究促進部門, 研究員隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子・電気材料工学研究代表者以外量子ビーム科学 / 小区分21050:電気電子材料工学関連 / 理工系 / 物性Ⅰ / 理工系
キーワード	研究代表者アラインメント / 放射光 / Ｘ線 / 逆格子マップ / ナノビームＸ線回折 / ナノビーム回折 / マイクロＸ線回折 / マイクロ回折研究代表者以外放射光 / X線回折 … もっと見る / ナノビームX線回折 / 薄膜 / シンクロトロン放射光 / 半導体デバイス / 断層解析 / 歪 / オペランド計測 / 半導体 / 半導体物性 / 異常散乱 / Ｘ線回折 / 電子顕微鏡 / X線ナノビーム回折 / ポンプ＆プローブ法 / 時間分解 / 圧電応答走査プローブ顕微鏡 / 時間分解ポンプ＆プローブ法 / 圧電応答特性 / ナノボイド / Ptワイヤプロファイラー / 圧電応答 / 3次元 / 結晶性断層マッピング解析 / トモグラフィックマッピング / ３次元 / Ptワイヤプロファイラ / 結晶性断層マッピング / AlGaN/GaN HEMT / ポンプ＆プローブ計測 / 時分割パルス放射光回折 / 時分割ポンプ－プローブ法 / 逆圧電効果 / 漏れ電流 / 転位 / 深さ分解結晶評価 / トモグラフィックマッピング解析 / 3次元逆格子マッピング / Refraction imaging / Takagi-Taupin equation / Computer simulation / Phase problem / Polarization / Simultaneous diffraction / Dynamical diffraction thoery / X-ray diffraction / X線結晶構造解析 / X線動力学的回折理論 / 屈折イメージング / 高木-トウパンの式 / 計算機シミュレーション / 位相問題 / 偏光 / 多波回折 / 動力学理論 / X線 / マイクロ回折 / マイクロビーム / 蛍光Ｘ線分析 / GaInN / 石英 / 屈折レンズ / 集光素子 / X繰回折 / 金属錯体 / 薄膜構造 / 微小領域 / 歪み / 界面物性 / マイクロX線回折 / 表面・界面物性 / 結晶工学隠す

ナノビームX線回折による半導体デバイスの4次元断層解析
- 研究代表者
  
  林侑介
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21050:電気電子材料工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人物質・材料研究機構
   大阪大学
結晶特異構造およびその挙動のマルチスケール構造解析評価
- 研究代表者
  
  酒井朗
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2020
- 研究種目
  
  新学術領域研究(研究領域提案型)
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  大阪大学
異常散乱放射光マイクロ回折による混晶薄膜局所領域組成および歪みの独立決定法の開発
- 研究代表者
  
  木村滋
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  量子ビーム科学
- 研究機関
  公益財団法人高輝度光科学研究センター
ナノスケールX線回折マッピング法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  今井康彦
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  公益財団法人高輝度光科学研究センター
石英製屈折レンズを用いる放射光マイクロ回折によるInGaN層のピンポイント評価
- 研究代表者
  
  木村滋
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2014
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  量子ビーム科学
- 研究機関
  公益財団法人高輝度光科学研究センター
放射光X線マイクロプローブによるナノデバイス材料・界面の物性評価
- 研究代表者
  
  木村滋
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2009
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  財団法人高輝度光科学研究センター
偏光X線多波回折法による結晶構造解析技術の開発と応用
- 研究代表者
  
  沖津康平
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  物性Ⅰ
- 研究機関
  東京大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Local strain distribution analysis in strained SiGe spintronics devices2024
- 著者名/発表者名
  Onabe Tomoki、Wu Zhendong、Tohei Tetsuya、Hayashi Yusuke、Sumitani Kazushi、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru、Naito Takahiro、Hamaya Kohei、Sakai Akira
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 63 号: 2 ページ: 02SP61-02SP61
- DOI
  10.35848/1347-4065/ad18ce
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19H05616, KAKENHI-PROJECT-23K26141
[雑誌論文] Quantitative analysis of lattice plane microstructure in the growth direction of a modified Na-flux GaN crystal using nanobeam X-ray diffraction2019
- 著者名/発表者名
  Shida Kazuki、Yamamoto Nozomi、Tohei Tetsuya、Imanishi Masayuki、Mori Yusuke、Sumitani Kazushi、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru、Sakai Akira
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 58 号: SC ページ: SCCB16-SCCB16
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab0d05
- NAID
  210000155953
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PROJECT-18J10700
[雑誌論文] 放射光ナノビームX線回折による結晶評価の現状2019
- 著者名/発表者名
  •今井康彦，隅谷和嗣，木村滋
- 雑誌名
  
  日本結晶学会誌
  
  巻: 61 号: 1 ページ: 51-55
- DOI
  10.5940/jcrsj.61.51
- NAID
  130007606955
- ISSN
  0369-4585, 1884-5576
- 年月日
  2019-02-28
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03913
[雑誌論文] Current status of nanobeam x-ray diffraction station at SPring-82019
- 著者名/発表者名
  Imai Yasuhiko、Sumitani Kazushi、Kimura Shigeru
- 雑誌名
  
  AIP Conference Proceedings
  
  巻: 2054 ページ: 050004-050004
- DOI
  10.1063/1.5084622
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PROJECT-16H03913
[雑誌論文] Compound Refractive Lens Optics for Microbeam X-ray Diffraction Measurements at BL13XU in SPring-82018
- 著者名/発表者名
  Sumitani Kazushi、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru
- 雑誌名
  
  Microscopy and Microanalysis
  
  巻: 24 号: S2 ページ: 306-309
- DOI
  10.1017/s1431927618013855
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[雑誌論文] Microstructural analysis in the depth direction of a heteroepitaxial AlN thick film grown on a trench-patterned template by nanobeam X-ray diffraction2018
- 著者名/発表者名
  Shida K.、Takeuchi S.、Tohei T.、Miyake H.、Hiramatsu K.、Sumitani K.、Imai Y.、Kimura S.、Sakai A.
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 123 号: 16 ページ: 161563-161563
- DOI
  10.1063/1.5011291
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PLANNED-25106003, KAKENHI-PLANNED-16H06415
[雑誌論文] 半導体結晶中特異構造の３次元微細構造解2018
- 著者名/発表者名
  酒井朗，鎌田祥平，志田和己，竹内正太郎，今井康彦，木村滋
- 雑誌名
  
  日本結晶成長学会誌
  
  巻: 45
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[雑誌論文] Development of compound refractive lenses made of quartz glass designed for microdiffraction system at BL13XU in SPring-82018
- 著者名/発表者名
  Sumitani K.、Imai Y.、Kimura S.
- 雑誌名
  
  Journal of Instrumentation
  
  巻: 13 号: 09 ページ: C09002-C09002
- DOI
  10.1088/1748-0221/13/09/c09002
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[雑誌論文] Domain Switching by Applied Electric Field in (001) and (111)-epitaxial (K<inf>0.5</inf>Na<inf>0.5</inf>)NbO<inf>3</inf>Films2018
- 著者名/発表者名
  Kawano M.、Yamada T.、Matsuo S.、Yoshino M.、Nagasaki T.、Sakata O.、Imai Y.
- 雑誌名
  
  Proceedings of 2018 IEEE ISAF-FMA-AMF-AMEC-PFM Joint Conference (IFAAP 2018)
  
  巻: なしページ: 1-3
- DOI
  10.1109/isaf.2018.8463311
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PROJECT-18H01474
[雑誌論文] Depth-resolved analysis of lattice distortions in high-Ge-content SiGe/compositionally graded SiGe films using nanobeam x-ray diffraction2018
- 著者名/発表者名
  Shida Kazuki、Takeuchi Shotaro、Tohei Tetsuya、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru、Schulze Andreas、Caymax Matty、Sakai Akira
- 雑誌名
  
  Semiconductor Science and Technology
  
  巻: 33 号: 12 ページ: 124005-124005
- DOI
  10.1088/1361-6641/aae6d9
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PROJECT-18J10700
[雑誌論文] Time response demonstration of in situ lattice deformation under an applied electric field by synchrotron-based time-resolved X-ray diffraction in polar-axis-oriented epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 film2018
- 著者名/発表者名
  Sato Tomoya、Ichinose Daichi、Oshima Naoya、Mimura Takanori、Nemoto Yuichi、Shimizu Takao、Imai Yasuhiko、Uchida Hiroshi、Sakata Osami、Funakubo Hiroshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 9 ページ: 0902B8-0902B8
- DOI
  10.7567/jjap.57.0902b8
- NAID
  210000149599
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PROJECT-26220907
[雑誌論文] Control of dislocation morphology and lattice distortion in Na-flux GaN crystals2017
- 著者名/発表者名
  Takeuchi S.、Mizuta Y.、Imanishi M.、Imade M.、Mori Y.、Sumitani K.、Imai Y.、Kimura S.、Sakai A.
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 122 号: 10 ページ: 105303-105303
- DOI
  10.1063/1.4989647
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[雑誌論文] Tomographic mapping analysis in the depth direction of high-Ge-content SiGe layers with compositionally graded buffers using nanobeam X-ray diffraction2017
- 著者名/発表者名
  K. Shida, S. Takeuchi, Y. Imai, S. Kimura, A. Schulze, M. Caymax, A. Sakai
- 雑誌名
  
  ACS Applied Materials & Interfaces
  
  巻: 9 号: 15 ページ: 13726-13732
- DOI
  10.1021/acsami.7b01309
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[雑誌論文] Microstructural analysis of an epitaxial AlN thick film/trench-patterned template by three-dimensional reciprocal lattice space mapping technique2016
- 著者名/発表者名
  S. Kamada, S. Takeuchi, D. T. Khan, H. Miyake, K. Hiramatsu, Y. Imai, S. Kimura, A. Sakai
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 9 号: 11 ページ: 111001-111001
- DOI
  10.7567/apex.9.111001
- NAID
  210000138078
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423, KAKENHI-PLANNED-16H06415
[雑誌論文] High-resolution Micro- and Nano-beam Diffraction System at BL13XU of the SPring-82016
- 著者名/発表者名
  Shigeru Kimura, Yasuhiko Imai
- 雑誌名
  
  Material Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology
  
  巻: Vol. 23, No. 3 ページ: 317-317
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03913
[雑誌論文] BL13XU（表面界面構造解析）の現状（2014）2014
- 著者名/発表者名
  田尻寛男，今井康彦
- 雑誌名
  
  SPring-8/SACLA利用研究成果集
  
  巻: 3 ページ: 145-153
- NAID
  130007969144
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25600151
[雑誌論文] Structural change of direct silicon bonding substrates by interfacial oxide out-diffusion annealing2010
- 著者名/発表者名
  T. Kato, Y. Nakamura, J. Kikkawa, A. Sakai, E. Toyoda, K. Izunome, O. Nakatsuka, S. Zaima, Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films Vol.518
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[雑誌論文] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2010
- 著者名/発表者名
  Y.Imai
- 雑誌名
  
  AIP conference proceedings 1221
  
  ページ: 30-33
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[雑誌論文] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2010
- 著者名/発表者名
  Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, A. Sakai
- 雑誌名
  
  AIP Conference Proceedings Vol.1221
  
  ページ: 30-32
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[雑誌論文] Polarization-dependent six-beam X-ray pinhole topographs2006
- 著者名/発表者名
  Kouhei Okitsu, Yoshitaka Yoda, Yasuhiko Imai, Yoshinori Ueji, Yuta Urano and Xiao Wei Zhang
- 雑誌名
  
  Acta Cryst. A 62
  
  ページ: 237-247
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18540310
[雑誌論文] Polarization-dependent six-beam X-ray pinhole topographs2006
- 著者名/発表者名
  K. Okitsu, Y. Yoda, Y. Imai, Y. Ueji, Y. Urano and X. -W. Zhang
- 雑誌名
  
  Acta Cryst A62
  
  ページ: 237-247
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18540310
[学会発表] OVPE-GaN基板上縦型パワーデバイスのその場ナノビームX線回折2024
- 著者名/発表者名
  林侑介、藤平哲也、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、宇佐美茂佳、今西正幸、森勇介、分島彰男、渡邉浩崇、新田州吾、本田善央、天野浩、酒井朗
- 学会等名
  2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26141
[学会発表] AlGaN系UV-B波長レーザダイオードの深さ分解ナノビームX線回折2023
- 著者名/発表者名
  谷口翔太、林侑介、藤平哲也、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、岩谷素顕、三宅秀人、酒井朗
- 学会等名
  2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26141
[学会発表] Local strain distribution analysis in strained SiGe spintronics devices2023
- 著者名/発表者名
  T. Onabe, Z. D. Wu, T. Tohei, Y. Hayashi, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, T. Naito, K. Hamaya, and A. Sakai
- 学会等名
  2023 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26141
[学会発表] Three-dimensional tomographic analysis of AlGaN-based UV-B wavelength laser diodes2023
- 著者名/発表者名
  S. Taniguchi, Y. Hayashi, T. Tohei, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, M. Iwaya, H. Miyake, and A. Sakai
- 学会等名
  The 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26141
[学会発表] Machine Learning Assisting NanoXRD Based Analysis on HVPE GaN Structure2023
- 著者名/発表者名
  Z. D. Wu, Y. Hayashi, T. Tohei, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and A. Sakai
- 学会等名
  The 14th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-14)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26141
[学会発表] 歪みSiGeスピントロニクスデバイスにおける局所歪み分布解析2023
- 著者名/発表者名
  尾鍋友毅、武振東、藤平哲也、林侑介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、内藤貴大、浜屋宏平、酒井朗
- 学会等名
  2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26141
[学会発表] ナノビームX線回折によるHVPE-GaNバルク結晶における単独貫通転位周辺の局所歪解析2021
- 著者名/発表者名
  濱地威明、藤平哲也、林侑介、宇佐美茂佳、今西正幸、森勇介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] AlGaN/GaN HEMTデバイスにおける局所圧電格子変形の放射光ナノビームX線回折オペランド計測2021
- 著者名/発表者名
  塩見春奈、嶋田章宏、藤平哲也、林侑介、金木奨太、橋詰保、今井康彦、隅谷和嗣、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Structural analysis of Na-flux GaN by nanobeam X-ray diffraction: Local lattice constant variation depending on the growth sector2021
- 著者名/発表者名
  Z. D. Wu, K. Shida, T. Hamachi, Y. Hayashi, T. Tohei, M. Imanishi, Y. Mori, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and A. Sakai
- 学会等名
  The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Depth-resolved three-dimensional characterization of semiconductor materials using nanobeam X-ray diffraction combined with differential-aperture technique2021
- 著者名/発表者名
  Y. Imai, K. Sumitani, S. Kimura, T. Hamachi, K. Shida, T. Tohei, H. Miyake, and A. Sakai
- 学会等名
  The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Advanced analysis of singularity structures in semiconductor materials and devices by synchrotron radiation nanobeam X-ray diffraction2021
- 著者名/発表者名
  A. Sakai, Y. Imai, Y. Hayasahi, and T. Tohei
- 学会等名
  Virtual Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Space- and time-revolved synchrotron X-ray diffraction for analysis of singularity structures in semiconductor materials2021
- 著者名/発表者名
  A. Sakai, Y. Hayashi, T. Tohei, and Y. Imai
- 学会等名
  The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Analysis of stress and impurity evolution related to growth sector in Na-flux GaN by nanobeam X-ray diffraction2021
- 著者名/発表者名
  Z. D. Wu, T. Hamachi, Y. Hayashi, T. Tohei, M. Imanishi, Y. Mori, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and A. Sakai
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折法によるNPSS上AlN厚膜の深さ分解結晶性トモグラフィック評価第2021
- 著者名/発表者名
  山本望、林侑介、濱地威明、中西悠太、藤平哲也、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、正直花奈子、三宅秀人、酒井朗
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折によるOVPE成長GaN結晶の微細構造解析2021
- 著者名/発表者名
  栗谷淳、藤平哲也、濱地威明、林侑介、滝野淳一、隅智亮、宇佐美茂佳、今西正幸、森勇介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Systematical analysis in local lattice constant variation depending on stress and impurity evolution in Na-flux GaN2020
- 著者名/発表者名
  Z. D. Wu, K. Shida, Y. Hayashi, T. Tohei, M. Imanishi, Y. Mori, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and A. Sakai
- 学会等名
  第3回結晶工学×ISYSE 合同研究会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] OVPE法で成長した GaN バルク単結晶の微細構造解析2020
- 著者名/発表者名
  栗谷淳、藤平哲也、濱地威明、林侑介、滝野淳一、隅智亮、今西正幸、森勇介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 高Ge添加NaフラックスGaN結晶の特異構造解析2020
- 著者名/発表者名
  古賀一朗、林侑介、藤平哲也、佐藤隆、三好直哉、村上明繁、皿山正二、今井康彦、隅谷和嗣、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  応用物理学会関西支部2019年第3回支部講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折法による高Ge組成SiGe／組成傾斜SiGe／Si積層構造の深さ分解結晶性トモグラフィック評価2020
- 著者名/発表者名
  志田和己、藤平哲也、林侑介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Oxide-Vapor-Phase-Epitaxy法で成長したGaNバルク単結晶の微細構造解析2020
- 著者名/発表者名
  栗谷淳、藤平哲也、志田和己、濱地威明、林侑介、滝野淳一、隅智亮、今西正幸、森勇介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  応用物理学会関西支部2019年第3回支部講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Structural analysis of Na-flux GaN by nanobeam X-ray diffraction2020
- 著者名/発表者名
  Z. D. Wu, K. Shida, T. Hamachi, Y. Hayashi, T. Tohei, M. Imanishi, Y. Mori, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and A. Sakai
- 学会等名
  日本結晶成長学会ナノエピ分科会「第12回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会」
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Structural analysis of Na flux GaN by nanobeam X ray diffraction: Local lattice constant variation depending on the growth mode2020
- 著者名/発表者名
  Z. D. Wu, K. Shida, T. Hamachi, Y. Hayashi, T. Tohei, M. Imanishi, Y. Mori, K. Sumitani, Y. Imai, S. Kimura, and A. Sakai
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] AlGaN/GaN HEMTデバイスにおける局所圧電格子変形の放射光ナノビームX線回折オペランド計測2020
- 著者名/発表者名
  嶋田章宏、塩見春奈、藤平哲也、林侑介、金木奨太、橋詰保、今井康彦、隅谷和嗣、
- 学会等名
  第81回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 放射光ナノビームX線回折による窒化物半導体HEMTデバイスにおける圧電応答局所格子変形ダイナミクスの観測2019
- 著者名/発表者名
  植田瑛、藤平哲也、安藤祐也、橋詰保、今井康彦、隅谷和嗣、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 放射光ナノビームX線回折を用いた半導体材料・デバイスの構造解析2019
- 著者名/発表者名
  酒井朗，志田和己，植田瑛，藤平哲也，今井康彦，隅谷和嗣，木村滋
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会,結晶工学×放射光シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Microstructure analysis of FFC-GaN crystal2019
- 著者名/発表者名
  Wu Zhendong、Shida Kazuki、Hamachi Takeaki、Tohei Tetsuya、Hayashi Yusuke、Imanishi Masayuki、Mori Yusuke、Sumitani Kazushi、Imai Yasuhiko、Kimura Shigeru、Sakai Akira
- 学会等名
  応用物理学会関西支部2019年第2回支部講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームＸ線回折装置へのピクセル検出器の導入2019
- 著者名/発表者名
  今井康彦，隅谷和嗣，木村　滋
- 学会等名
  第３２回放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03913
[学会発表] Depth-resolved three-dimensional characterization of semiconductors using nanobeam X-ray diffraction combined with a differential-aperture technique2019
- 著者名/発表者名
  Imai Y、Sumitani K、Kimura S、Shida K、Tohei T、Sakai A
- 学会等名
  The 8th Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XVIII)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Operando analysis of local piezoelectric lattice distortion in AlGaN/GaN HEMT devices using synchrotron radiation nanobeam X-ray diffraction2019
- 著者名/発表者名
  Ueda A、Shiomi H、Tohei T、Ando Y、Hashizume T、Imai Y、Sumitani K、Kimura S、Sakai A
- 学会等名
  13th International Conference on Nitride Semiconductors
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 放射光ナノビームX線回折による窒化物半導体HEMTデバイスにおける圧電応答局所格子変形の直接観測2019
- 著者名/発表者名
  植田瑛，藤平哲也，安藤祐也，橋詰保，今井康彦，隅谷和嗣，木村滋，酒井朗
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 組成傾斜層を有するSi基板上高Ge組成SiGe膜の深さ分解ナノビームX線回折評価2019
- 著者名/発表者名
  志田和己、藤平哲也、林侑介、隅谷和嗣、今井康彦、木村滋、酒井朗
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 窒化物半導体中の格子欠陥が生み出す特異構造の3次元解析2018
- 著者名/発表者名
  酒井朗，志田和己，竹内正太郎，藤平哲也，今井康彦，木村滋
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Current status of nanobeam x-ray diffraction station at SPring-82018
- 著者名/発表者名
  Yasuhiko Imai, Kazyshi Sumitani, and Shigeru Kimura
- 学会等名
  Synchrotron Radiation Instrumentation (SRI 2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03913
[学会発表] Nanobeam X-ray Diffraction Analysis of Local Lattice Distortions in the Growth Direction of a Modified Na-Flux GaN Bulk Crystal2018
- 著者名/発表者名
  Shida K, Takeuchi S, Tohei T, Imanishi M, Mori Y, Sumitani K, Imai Y, Kimura S, Sakai A
- 学会等名
  International Symposium on Growth of III-Nitrides (ISGN-7)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折を用いた組成傾斜層を有する高Ge組成SiGe膜の結晶深さ方向格子面微細構造トモグラフィック解析2018
- 著者名/発表者名
  志田和己，竹内正太郎，藤平哲也，今井康彦，木村滋，Schluze Andreas，Caymax Matty，酒井朗
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 白金細線を回折ビームプロファイラーとして用いた深さ分解ナノビームX線回折法の開発2018
- 著者名/発表者名
  今井康彦，木村滋
- 学会等名
  第31回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Three-dimensional Analysis of Defect-related Singularity Structures in Semiconductor Materials2018
- 著者名/発表者名
  Sakai A, Takeuchi S, Shida K, Kamada S, Tohei T, Imai Y, Kimura S, Miyake H, Hiramatsu K
- 学会等名
  OIST-Singularity Project Joint Workshop
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Tomographic mapping analysis of lattice distortions in the depth direction of high-Ge-content SiGe films with compositionally graded buffer layers using nanobeam X-ray diffraction2018
- 著者名/発表者名
  Shida K，Takeuchi S, Tohei T, Imai Y, Kimura S, Schulze A, Caymax M, Sakai A
- 学会等名
  1st Joint ISTDM/ICSI 2018 Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折法による改良型NaフラックスGaNバルク単結晶の深さ方向結晶構造解析2018
- 著者名/発表者名
  志田和己，山本望，藤平哲也，今西正幸，森勇介，隅谷和嗣，今井康彦，木村滋，酒井朗
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Quantitative analysis of lattice plane microstructure in the growth direction of a modified Na-flux GaN crystal using nanobeam X-ray diffraction2018
- 著者名/発表者名
  Shida K, Tohei T, Imanishi M, Mori Y, Sumitani K, Imai Y, Kimura S, Sakai A
- 学会等名
  International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN2018)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折法による高Ge組成SiGe／組成傾斜SiGeの結晶深さ方向断層マッピング解析2017
- 著者名/発表者名
  志田和己，竹内正太郎，今井康彦，木村滋，Andreas Schulze，Matty Caymax，酒井朗
- 学会等名
  応用物理学会結晶工学分科会第6回結晶工学未来塾
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 金細線パターンを用いたナノビームＸ線回折のための試料位置でのゴニオメータ偏芯量評価2017
- 著者名/発表者名
  今井康彦、隅谷和嗣、木村滋
- 学会等名
  第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  神戸芸術センター（兵庫県・神戸市）
- 年月日
  2017-01-07
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] In depth microstructural analysis of heteroepitaxial AlN thick films grown on trench-patterned templates by nanobeam X-ray diffraction2017
- 著者名/発表者名
  Shida K, Takeuchi S, Tohei T, Miyake H, Hiramatsu K, Sumitani K, Imai Y, Kimura S, Sakai A
- 学会等名
  29th International Conference on Defects in Semiconductors (ICDS29)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] ナノビームX線回折法による周期溝加工基板上AlN厚膜の結晶深さ方向構造解析2017
- 著者名/発表者名
  志田和己，竹内正太郎，三宅秀人，平松和政，隅谷和嗣，今井康彦，木村滋，酒井朗
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Nano beam X-ray diffraction analysis of Na flux GaN bulk crystals grown with controlling seed crystal surfaces and growth mode2017
- 著者名/発表者名
  Takeuchi S, Mizuta Y, Imanishi M, Imade M, Mori Y, Imai Y, Kimura S, Sakai A
- 学会等名
  The 12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] 金細線パターンを用いたナノビームＸ線回折のための試料位置でのゴニオメータ偏芯量評価2017
- 著者名/発表者名
  今井康彦、隅谷和嗣、木村滋
- 学会等名
  第30回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  神戸芸術センター（兵庫県神戸市）
- 年月日
  2017-01-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420292
[学会発表] Control of dislocation propagation behaviors in Na-flux GaN bulk crystals2017
- 著者名/発表者名
  Takeuchi S, Mizuta Y, Imanishi M, Imade M, Imai Y, Kimura S, Mori Y, Sakai A
- 学会等名
  The 12th International Conference on Nitride Semiconductors (ICNS-12)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Nano beam X-ray diffraction analysis of microstructures in Na-flux GaN bulk crystals grown with controlling seed crystal surfaces and growth mode2016
- 著者名/発表者名
  Y. Mizuta, S. Takeuchi, M. Imanishi, M. Imade, Y. Imai, S. Kimura, Y. Mori, A. Sakai
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
- 発表場所
  Hawaii (USA)
- 年月日
  2016-11-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] An automatic sample positioning system for nano-beam X-ray diffraction multi-scale mapping2016
- 著者名/発表者名
  Yasuhiko Imai
- 学会等名
  13th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP2016)
- 発表場所
  Brno, Czech Republic
- 年月日
  2016-09-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420292
[学会発表] Lattice plane microstructure analysis of Na-flux GaN bulk crystals by nanobeam X-ray diffraction2016
- 著者名/発表者名
  Y. Mizuta, S. Takeuchi, M. Imanishi, M. Imade, Y. Imai, S. Kimura, Y. Mori, A. Sakai
- 学会等名
  The 20th SANKEN International The 15th SANKEN Nanotechnology Symposium
- 発表場所
  Knowledge Capital Congres Convention Center (Osaka・Osaka)
- 年月日
  2016-12-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] X線マイクロ回折による種結晶表面・成長モード制御NaフラックスGaNの微視的結晶構造解析2016
- 著者名/発表者名
  水田祐貴、竹内正太郎、今西正幸、今出完、今井康彦、木村滋、森勇介、酒井朗
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県・新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Synchrotron nano-beam X-Ray diffraction at SPring-82016
- 著者名/発表者名
  Y. Imai, K. Sumitani, S. Kimura
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
- 発表場所
  Hawaii (USA)
- 年月日
  2016-11-21
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] SPring-8における放射光ナノビームＸ線回折の現状2016
- 著者名/発表者名
  今井康彦、木村滋
- 学会等名
  第57回高圧討論会
- 発表場所
  筑波大学大学会館（茨城県つくば市）
- 年月日
  2016-10-26
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420292
[学会発表] X線ナノビーム回折のための試料精密アラインメント技術開発2016
- 著者名/発表者名
  今井康彦
- 学会等名
  第29回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  柏の葉カンファレンスセンター（千葉県柏市）
- 年月日
  2016-01-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420292
[学会発表] High-resolution Micro- and Nano-beam Diffraction System at BL13XU of the SPring-82016
- 著者名/発表者名
  Shigeru Kimura, Yasuhiko Imai
- 学会等名
  13th Biennial Conference on High-Resolution X-Ray Diffraction and Imaging
- 発表場所
  ブルノ（チェコ）
- 年月日
  2016-09-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03913
[学会発表] Nanobeam X-ray diffraction for tomographic mapping analysis of high Ge content Si1-yGey/compositionally graded Si1-xGex stacked structure2016
- 著者名/発表者名
  K. Shida, S. Takeuchi, Y. Imai, S. Kimura, A. Shulze, M. Caymax, A. Sakai
- 学会等名
  The 20th SANKEN International The 15th SANKEN Nanotechnology Symposium
- 発表場所
  Knowledge Capital Congres Convention Center (Osaka・Osaka)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Tomographic mapping analysis of high Ge composition SiGe layers with compositionally graded buffers by Nanobeam X-ray diffraction2016
- 著者名/発表者名
  K. Shida, S. Takeuchi, Y. Imai, S. Kimura, A. Shulze, M. Caymax, A. Sakai
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
- 発表場所
  Hawaii (USA)
- 年月日
  2016-11-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] An automatic sample positioning system for nano-beam X-ray diffraction multi-scale mapping2016
- 著者名/発表者名
  Y. Imai
- 学会等名
  13th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging (XTOP2016)
- 発表場所
  Brno (Czech Republic)
- 年月日
  2016-09-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PLANNED-16H06423
[学会発表] Synchrotron Nano-Beam X-Ray Diffraction at SPring-82016
- 著者名/発表者名
  Yasuhiko Imai, Kazushi Sumitani, Shigeru Kimura
- 学会等名
  The 7th International Symposium on Advanced Science and Technology of Silicon Materials
- 発表場所
  Kailua-Kona, Hawaii
- 年月日
  2016-11-21
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420292
[学会発表] 高エネルギーX線集光用石英ガラス製屈折レンズの開発2015
- 著者名/発表者名
  木村滋，今井康彦
- 学会等名
  2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25600151
[学会発表] X線マイクロビームによるGaN基板上InGaN系デバイスの評価2015
- 著者名/発表者名
  横川俊哉，栫拓也，今井康彦，木村滋
- 学会等名
  2015年第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学（神奈川県平塚市）
- 年月日
  2015-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25600151
[学会発表] CCD型検出器を用いた高角度分解能マイクロx線回折計2010
- 著者名/発表者名
  今井康彦, 木村滋, 坂田修身, 田尻寛男, 酒井朗, 小瀬村大亮, 小椋厚志
- 学会等名
  第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  イーグレ姫路
- 年月日
  2010-01-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[学会発表] CCD型検出器を用いた高角度分解能マイクロX線回折計2010
- 著者名/発表者名
  今井康彦
- 学会等名
  第23回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  イーグレ姫路(姫路市)
- 年月日
  2010-01-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[学会発表] 高分解能マイクロx線回折装置の現状と応用研究2009
- 著者名/発表者名
  今井康彦、木村滋、坂田修身、田尻寛男
- 学会等名
  第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 年月日
  2009-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[学会発表] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2009
- 著者名/発表者名
  Y. Imai, S. Kimura, O. Sakata, A. Sakai
- 学会等名
  20th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis
- 発表場所
  Karlsruhe, Germany
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[学会発表] High-Angular-Resolution Microbeam X-ray diffraction with CCD Detector2009
- 著者名/発表者名
  Y.Imai
- 学会等名
  20th International Congress on X-Ray Optics and Microanalysis (ICXOM20)
- 発表場所
  Congress Center(Karlsruhe)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019
[学会発表] 高分解能マイクロX線回折装置の現状と応用研究2009
- 著者名/発表者名
  今井康彦
- 学会等名
  第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京大学, 東京
- 年月日
  2009-01-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18063019

1. 木村滋 (50360821)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 14件
2. 坂田修身 (40215629)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件
3. 田尻寛男 (70360831)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
4. 沖津康平 (50323506)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
5. 依田芳卓 (90240366)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
6. 酒井朗 (20314031)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 47件
7. 上エ地義徳 (10312985)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 林侑介 (00800484)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
9. 横川俊哉

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
10. 隅谷和嗣

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
11. 浜屋宏平

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
12. 上ヱ地義徳

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 2件

今井 康彦 Imai Yasuhiko

研究課題

研究成果

共同研究者

ナノビームX線回折による半導体デバイスの4次元断層解析

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

結晶特異構造およびその挙動のマルチスケール構造解析評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

異常散乱放射光マイクロ回折による混晶薄膜局所領域組成および歪みの独立決定法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノスケールX線回折マッピング法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

石英製屈折レンズを用いる放射光マイクロ回折によるInGaN層のピンポイント評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

放射光X線マイクロプローブによるナノデバイス材料・界面の物性評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

偏光X線多波回折法による結晶構造解析技術の開発と応用

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Local strain distribution analysis in strained SiGe spintronics devices2024

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Quantitative analysis of lattice plane microstructure in the growth direction of a modified Na-flux GaN crystal using nanobeam X-ray diffraction2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] 放射光ナノビームX線回折による結晶評価の現状2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Current status of nanobeam x-ray diffraction station at SPring-82019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Compound Refractive Lens Optics for Microbeam X-ray Diffraction Measurements at BL13XU in SPring-82018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Microstructural analysis in the depth direction of a heteroepitaxial AlN thick film grown on a trench-patterned template by nanobeam X-ray diffraction2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

今井康彦 Imai Yasuhiko

[雑誌論文] BL13XU（表面界面構造解析）の現状（2014）2014