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吉田 慎哉  Yoshida Shinya

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30509691
その他のID
所属 (現在) 2025年度: 芝浦工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2024年度: 芝浦工業大学, 工学部, 准教授
2016年度 – 2021年度: 東北大学, 工学研究科, 特任准教授
2015年度: 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授
2015年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 特任准教授
2014年度: 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教 … もっと見る
2013年度: 東北大学, 原子分子材料高等研究機構, 助教
2009年度 – 2011年度: 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助教
2008年度: 東北大学, 原子分子材料科学高等研究機構, 助手 隠す
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / ナノマイクロシステム / マイクロ・ナノデバイス / 応用物理学一般
研究代表者以外
小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連 / ナノマイクロシステム
キーワード
研究代表者
圧電MEMS / 圧電単結晶薄膜 / MEMSアクチュエータ / 圧電MEMSアクチュエータ / 単結晶 / エピタキシャル成長 / 圧電MEMS / 走査型プローブ顕微鏡 / 分子層堆積 / MEMS … もっと見る / 導電性高分子 / 微小電気機械システム / 破壊靭性 / 単結晶薄膜 / 圧電材料 / 圧電薄膜 / スパッタ膜 / リラクサ系単結晶薄膜 / PMN-PT / PZT / コンポジット / 巨大圧電 / スパッタ成膜 / キュリー点変調 / 微小電気機械システム(MEMS) / アクチュエータ / スパッタ法 / デバイス設計・製造プロセス / 電子デバイス・機器 / 電子・電気材料 / 先端機能デバイス / マイクロ・ナノデバイス / pMUT / レンジファインダー / pMUT / 超音波トランスデューサ / チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) / MEMSスイッチ / 圧電アクチュエータ / 化学気相堆積 / RF-MEMS / RF-スイッチ / 超高密度記録 / マルチプローブ超高密度記録 / 高密度記録 … もっと見る
研究代表者以外
圧電薄膜 / MEMS / エピタキシャル成長 / PZT / センサ / アクチュエータ / SmドープPMN-PT / ピエゾ抵抗 / 圧電MEMS / PMN-PT / 信頼性 / ピエゾ抵抗センサー / 圧電定数 / シリコン基板 / 単結晶膜 / スパッタ成膜 / チタン酸ジルコン酸鉛 / スパッタリング / キュリー点 / バッファ層 / 誘電率 / 急冷法 / 単結晶圧電薄膜 隠す
  • 研究課題

    (7件)
  • 研究成果

    (112件)
  • 共同研究者

    (2人)
  •  単結晶の巨大圧電性と多結晶の強靭性を併せ持つ革新的圧電トランスデューサ薄膜の創出研究代表者

    • 研究代表者
      吉田 慎哉
    • 研究期間 (年度)
      2022 – 2024
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分28050:ナノマイクロシステム関連
    • 研究機関
      芝浦工業大学
  •  高キュリー点を持つ巨大圧電トランスデューサ薄膜の創製と圧電MEMSの性能限界打破研究代表者

    • 研究代表者
      吉田 慎哉
    • 研究期間 (年度)
      2019 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分28050:ナノマイクロシステム関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  圧電薄膜アクチュエータの高安定・高信頼性センシングと高精度制御

    • 研究代表者
      田中 秀治
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2020
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
    • 研究機関
      東北大学
  •  超高性能圧電微小超音波レンジファインダの創製とロボット用センサシステムへの応用研究代表者

    • 研究代表者
      吉田 慎哉
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2017
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      東北大学
  •  Si基板上への理想配向PZT系単結晶薄膜の形成とそのMEMSへの適用可能性の実証

    • 研究代表者
      田中 秀治
    • 研究期間 (年度)
      2013 – 2015
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      ナノマイクロシステム
    • 研究機関
      東北大学
  •  導電性ソフトマテリアルを用いた長寿命・高信頼性RF-MEMSスイッチの研究研究代表者

    • 研究代表者
      吉田 慎哉
    • 研究期間 (年度)
      2010 – 2011
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      東北大学
  •  マルチプローブ高密度記録のための分子レベルで構築された導電性高分子記録媒体の研究研究代表者

    • 研究代表者
      吉田 慎哉
    • 研究期間 (年度)
      2008 – 2009
    • 研究種目
      若手研究(スタートアップ)
    • 研究分野
      応用物理学一般
    • 研究機関
      東北大学

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すべて 雑誌論文 学会発表

  • [雑誌論文] Epitaxial SM-Doped PMN-Pt Film with High Piezoelectric Constant for MEMS Application2024

    • 著者名/発表者名
      Fukushi Kai、Yoshida Shinya、Qi Xuanmeng、Tanaka Shuji
    • 雑誌名

      Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

      巻: 23 ページ: 765-768

    • DOI

      10.1109/mems58180.2024.10439604

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [雑誌論文] Influence of underlayer roughness on the properties of Sc<sub>0.4</sub>Al<sub>0.6</sub>N thin films prepared via sputter deposition2024

    • 著者名/発表者名
      Teshigahara Akihiko、Enomoto Tetsuya、Yamada Hideo、Yoshida Shinya
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 5 ページ: 055501-055501

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad3da3

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [雑誌論文] Epitaxial P<sub>b</sub>(Z<sub>r</sub>,T<sub>i</sub>)O<sub>3</sub>-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer Fabricated on Silicon-On-Nothing (SON) Structure2023

    • 著者名/発表者名
      Sekiguchi Takuma、Yoshida Shinya、Kanamori Yoshiaki、Tanaka Shuji
    • 雑誌名

      Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

      巻: January ページ: 139-142

    • DOI

      10.1109/mems49605.2023.10052628

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [雑誌論文] Sputter Deposition and Characterization of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3?PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si toward Giant-Piezoelectric Thin Film for MEMS Actuator Application2022

    • 著者名/発表者名
      X. Qi, S. Yoshida, and S. Tanaka
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control.

      巻: - 号: 5 ページ: 1821-1828

    • DOI

      10.1109/tuffc.2022.3156881

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [雑誌論文] スパッタ法によるSm 添加PMN-PTのSi 基板上へのエピタキシャル成長2022

    • 著者名/発表者名
      福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治
    • 雑誌名

      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム予稿集

      巻: 11月

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [雑誌論文] Sm-doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 Sputter-Epitaxy on Si Towards Giant-Piezoelectric Thin Film for Mems2021

    • 著者名/発表者名
      Qi Xuanmeng、Yoshida Shinya、Tanaka Shuji
    • 雑誌名

      Proceedings of 2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

      巻: 34 ページ: 654-657

    • DOI

      10.1109/mems51782.2021.9375393

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [雑誌論文] Development of Sputter Epitaxy Technique of Pure-Perovskite (001)/(100)-Oriented Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3?PbTiO3 on Si2020

    • 著者名/発表者名
      Qi Xuanmeng、Yoshida Shinya、Tanaka Shuji
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

      巻: 67 号: 12 ページ: 2738-2744

    • DOI

      10.1109/tuffc.2020.3011649

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231, KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [雑誌論文] 良好な絶縁性を有するc軸配向PZT系単結晶薄膜のSi基板上への形成2020

    • 著者名/発表者名
      海老原凌, 吉田慎哉, 田中秀治
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E

      巻: 140 ページ: 137-143

    • NAID

      130007850137

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [雑誌論文] Epitaxial growth of metallic buffer layer structure and c-axis oriented PMnN-PZT thin film on Si for high performance pMUT2017

    • 著者名/発表者名
      Pham Ngoc Thao, Shinya Yoshida and Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 12 ページ: 127201-127201

    • DOI

      10.7567/jjap.56.127201

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [雑誌論文] Epitaxial PMnN-PZT/Si MEMS ultrasonic rangefinder with 2 m range at 1 V drive2017

    • 著者名/発表者名
      Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A: Physical

      巻: 266 ページ: 352-360

    • DOI

      10.1016/j.sna.2017.09.058

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [雑誌論文] Development of buffer layer structure for epitaxial growth of (100)/(001)Pb(Zr,Ti)O 3 -based thin film on (111)Si wafer2017

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 56 号: 7 ページ: 071501-071501

    • DOI

      10.7567/jjap.56.071501

    • NAID

      210000147990

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [雑誌論文] MEMS用PZTの高性能化2016

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉
    • 雑誌名

      セラミックデータブック2016/17

      巻: 2016/17 ページ: 117-121

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [雑誌論文] Enhanced Curie Temperature and High Heat Resistivity of PMnN-PZT Monocrystalline Thin Film on Si.2016

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      Sensors & Actuators: A. Physical

      巻: 251 ページ: 100-107

    • DOI

      10.1016/j.sna.2016.10.009

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [雑誌論文] Fabrication and characterization of large figure-of-merit epitaxialPMnN-PZT/Si transducer for piezoelectric MEMS sensors2016

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A

      巻: 239 ページ: 201-208

    • DOI

      10.1016/j.sna.2016.01.031

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [雑誌論文] PZT薄膜とPZT MEMS2015

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉, 森山雅昭
    • 雑誌名

      金属

      巻: 85 ページ: 701-707

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [雑誌論文] Highly c-Axis Oriented Monocrystalline Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films on Si Wafer Prepared by Fast Cooling Immediately after Sputter Deposition2014

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Hiroaki Hanzawa, Kiyotaka Wasa, Masayosh Esashi, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Feroelectrics, and Frequency Control

      巻: 61 号: 9 ページ: 1552-1558

    • DOI

      10.1109/tuffc.2014.3069

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [雑誌論文] Conformal coating of poly-glycidyl methacrylate as lithographic polymer via initiated chemical vapor deposition2012

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Tatsuya Kobayashi, Masafumi Kumano, Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] Etching Technology Using Ozone for Chemically Stable Polymer in MEMS.2011

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Yanagida, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

      巻: 131 ページ: 122-127

    • NAID

      10027805324

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] Local electrical modification of a conductivity-switching polyimide film formed by molecular layer deposition2011

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono and Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 22 ページ: 335302-335302

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] Etching Technology Using Ozone for Chemically Stable Polymer in MEMS2011

    • 著者名/発表者名
      Hideaki Yanagida, Shinya Yoshida, Masayoshi Esashi, Shuji Tanaka
    • 雑誌名

      IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

      巻: 131(3) ページ: 122-127

    • NAID

      10027805324

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] Local electrical modification of a conductivity-switching polyimide film formed by molecular layer deposition2011

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 22 ページ: 335302-335302

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] Redox active polymers with phenothiazine moieties for nanoscale patterning via conductive scanning force microscopy2011

    • 著者名/発表者名
      Ali A. Golriz, Tassilo Kaule, Jeannine Heller, Maria B. Untch, Philipp Schattling, Patrick Theato, Masaya Toda, Shinya Yoshida, Takahito Ono, Hans-Jurgen Butt, Jochen Stefan Gutmann and Rudiger Berger
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: 3(12) ページ: 5049-5058

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] Deposition of conductivity-switching polyimide film by molecular layer deposition and electrical modification using scanning probe microscope2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      Micro & Nano Letters

      巻: 5(5) ページ: 321-323

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [雑誌論文] モノリシックPZT多軸マイクロステージ2009

    • 著者名/発表者名
      小野崇人、モハマドファイズル、吉田慎哉、江刺正喜
    • 雑誌名

      マテリアル インテグレーション 22(4)

      ページ: 39-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] モノリシックPZT多軸マイクロステージ2009

    • 著者名/発表者名
      小野崇人, モハマド ファイズル, 吉田慎哉, 江刺正喜
    • 雑誌名

      株式会社ティー・アイ・シィー マテリアル インテグレーション Vol.22(No.4)

      ページ: 39-44

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] Advanced materials for MEMS.2009

    • 著者名/発表者名
      江刺正喜, 吉田慎哉, Masanori Muroyama
    • 雑誌名

      WPI-AIMR NEWS 6

      ページ: 85-95

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] Advanced materials for MEMS2009

    • 著者名/発表者名
      Masayoshi Esashi, Shinya Yoshida, Masanori Muroyama
    • 雑誌名

      WPI-AIMR NEWS 6

      ページ: 85-95

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] Formation of a Flat Conductive Polymer Film Using Template-Stripped Gold (TSG) Surface and Surface-Graft Polymerization for Scanning Multiprobe Data Storage2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology 6

      ページ: 202-208

    • NAID

      130004439098

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage system2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, and Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      Proceeding of International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 5

      ページ: 127-128

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] Conductive polymer patterned media fabricated by diblock copolymer lithography for scanning multiprobe data storage2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      Nanotechnology 19(47)

      ページ: 475302-475400

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [雑誌論文] CONDUCTIVE POLYMER PATTERNED MEDIA FABLICATED USING DIBLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY FOR SCANNING MULTIPROBE DATA STORAGE2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 雑誌名

      The proceedings of the 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies 4

      ページ: 1-4

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] バッファ層の領域選択的ウェットエッチングを利用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜のスパッタ成膜2024

    • 著者名/発表者名
      片貝 有作、勅使河原 明彦、吉田 慎哉
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] EPITAXIAL SM-DOPED PMN-PT FILM WITH HIGH PIEZOELECTRIC CONSTANT FOR MEMS APPLICATION2024

    • 著者名/発表者名
      Kai Fukushi, Shinya Yoshida, Xuanmeng Qi, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      IEEE MEMS2024
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] 圧電薄膜積層MEMSアクチュエータへの応用を目指したPZT/LaNiO3/PZTエピタキシャル積層構造の作製2024

    • 著者名/発表者名
      加藤 創吉、勅使河原 明彦、吉田 慎哉
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] DEVELOPMENT OF PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER WITH DUAL HETEROGENEOUS PIEZOELECTRIC THIN FILM STACKING2023

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Mohssen Moridi, Sarah Risquez, Anirban Ghosh, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      Transducers 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] 高圧電定数を示すSm添加PMN-PT単結晶薄膜のスパッタ堆積と組成依存性の調査2023

    • 著者名/発表者名
      福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治
    • 学会等名
      第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] 圧電MEMSの高性能化のための高性能圧電単結晶薄膜の研究2023

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉
    • 学会等名
      第34回マイクロシステム融合研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] MEMS応用のための高性能圧電単結晶薄膜のSi基板上への形成2023

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉
    • 学会等名
      令和5年 電気学会 A部門大会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] Si 基板上への圧電薄膜のエピタキシャル成長と高性能圧電MEMS デバイスの創出2022

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉
    • 学会等名
      第186回電子セラミック・プロセス研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] Development of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer with PZT-based Monocrystalline Thin Film2022

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      Piezoelectric Materials and Applications in Actuators 2022
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] 多結晶を用いた区画化によるPZTエピタキシャル薄膜の亀裂進展抑制2022

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉,勝又 優,田中 秀治
    • 学会等名
      第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] EPITAXIAL PB(ZR,TI)O3-BASED PIEZOELECTRIC MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER FABRICATED ON SILICON-ON-NOTHING (SON) STRUCTURE2022

    • 著者名/発表者名
      Takuma Sekiguchi, Shinya Yoshida, Yoshiaki Kanamori, and Shuji Tanaka
    • 学会等名
      IEEE MEMS 2023
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] スパッタ法によるSm 添加PMN-PTのSi 基板上へのエピタキシャル成長2022

    • 著者名/発表者名
      福士 海伊, 吉田 慎哉, Qi Xuanmeng, 田中 秀治
    • 学会等名
      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] 圧電MEMSのための鉛複合酸化物のスパッタエピタキシー2022

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉
    • 学会等名
      スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP 部会)第171 回定例研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23K23193
  • [学会発表] Sm-doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 Sputter-Epitaxy on Si Towards Giant-Piezoelectric Thin Film for MEMS2021

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] SM-DOPED PB(MG1/3, NB2/3)O3-PBTIO3 SPUTTER-EPITAXY ON SI TOWARDS GIANT-PIEZOELECTRIC THIN FILM FOR MEMS2021

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      34th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator2021

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Development of Piezoelectric Epitaxial Thin Film for High-Performance MEMS2021

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      8th PiezoMEMS Workshop
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si towards Giant-Piezoelectric MEMS Actuator2021

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      8th PiezoMEMS Workshop
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Sputter-Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3, Nb2/3)O3-PbTiO3 on Si for Creation of Giant-Piezoelectric MEMS Actuator2021

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida and Shuji Tanaka
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] 圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発2021

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉
    • 学会等名
      早稲田大学各務記念材料技術研究所オープンセミナー「次世代スマートフォン向けの圧電材料および弾性波デバイスの進展」
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] エピタキシャル圧電薄膜のSi基板上への成膜と高性能MEMSの創出2021

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉
    • 学会等名
      公益社団法人日本セラミックス協会 第34回秋季シンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si by Magnetron Sputter using Powder Target2020

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      Electroceramics XVII
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Fabrication of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3,Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film on Si by Magnetron Sputter using Powder Target2020

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Epitaxial Growth of Pure-Perovskite-Phase Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si by Magnetron Sputter using Powder Target2020

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      Electroceramics XVII
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] Development of Sputter Deposition Technology of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Epitaxial Thin Film with Pure Perovskite Phase on Si for Piezoelectric MEMS Actuator2020

    • 著者名/発表者名
      Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of Sm-Doped Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 Thin Film on Si for High-performance Piezoelectric MEMS Actuator2019

    • 著者名/発表者名
      Qi Xuanmeng, 吉田 慎哉, 田中 秀治
    • 学会等名
      第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05231
  • [学会発表] Si基板上c軸配向PZT系エピタキシャル成長への靭性付与法の探索2019

    • 著者名/発表者名
      勝又優, 吉田慎哉, 田中秀治
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] 良好な絶縁性を有するc軸配向PZT系単結晶薄膜のSi基板上への形成2019

    • 著者名/発表者名
      海老原凌, 吉田慎哉, 田中秀治
    • 学会等名
      第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] 圧電薄膜デバイスと基板の選択2019

    • 著者名/発表者名
      和佐清孝, 清水貴博, 足立英明, 吉田慎哉, 柳谷隆彦, 田中秀治
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2019
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] 良好な絶縁性を有するMEMS用PZT系単結晶薄膜の形成法の探索2019

    • 著者名/発表者名
      海老原凌, 吉田慎哉, 田中秀治
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H01390
  • [学会発表] 圧電MEMS超音波デバイスの高性能化と最新技術動向2018

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉
    • 学会等名
      第15回圧電MEMS研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] Ultrasonic MEMS Rangefinder with 2 m Range at 1 V Drive Based on Large Figure-of-Merit PMnN-PZT Epitaxial Thin Film2018

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      PiezoMEMS 2018 Workshop
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] エピタキシャルPMnN-PZT/Si トランスデューサを用いた高S/N 比pMUT レンジファインダー2017

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] MONOCRYSTALLINE PMNN-PZT THIN FILM ULTRASONIC RANGEFINDER WITH 2 METER RANGE AT 1 VOLT DRIVE2017

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] エピタキシャルPMnN-PZT/Si トランスデューサを用いた高S/N 比pMUTレンジファインダー2017

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉,周 朕,田中 秀治
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川県横浜市 パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] Deposition Temperature Dependency of Characteristics of PMnN-PZT Epitaxial Thin Film on Si Prepared by Sputter Deposition with Fast Cooling.2016

    • 著者名/発表者名
      Zhen Zhou、Shinya Yoshida、Shuji Tanaka
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] Fabrication of pMUT Based on Large Figure-of-Merit Epitaxial PMnN-PZT/Si Transducer2016

    • 著者名/発表者名
      Zhen Zhou, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      The 8th Japan-China Symposium on Ferroelectric Materials and Their Applications (JCFMA8)
    • 発表場所
      筑波 つくば国際会議場
    • 年月日
      2016-09-29
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] Si基板上c軸配向PMnN-PZTエピタキシャル急冷薄膜の面内ひずみの高温XRD解析2016

    • 著者名/発表者名
      吉田 慎哉,田中 秀治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟県新潟市 朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] Sputtering Epitaxy of Highly c-Axis Oriented PMnN-PZT Thin Film on SrRuO3/Pt/Ir/YSZ/Si for Piezoelectric MEMS Sensors2016

    • 著者名/発表者名
      Pham Ngoc Thao,Shinya Yoshida,Shuji Tanaka
    • 学会等名
      第33回 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      長崎県 平戸 平戸文化センター
    • 年月日
      2016-10-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] Sputter Epitaxy of Large Figure-of-Merit PMnN-PZT thin film on Si for Ultrahigh-Performance Piezoelectric MEMS Sensor.2016

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 11th Korea-Japan Conference on Ferroelectrics
    • 発表場所
      韓国,ソウル
    • 年月日
      2016-08-07
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16K17500
  • [学会発表] MEMS研究者から見た見た圧電MEMS と圧電材料2015

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉, 田中秀治
    • 学会等名
      応用物理学会春季講演会
    • 発表場所
      名古屋, 名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] Advanced Piezoelectric Films for MEMS and Acoustic Wave Devices2015

    • 著者名/発表者名
      S. Tanaka, S. Yoshida, M. Kadota, K. Wasa
    • 学会等名
      Sixth International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
    • 発表場所
      千葉, 千葉大学
    • 年月日
      2015-11-24
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] Epitaxial Growth of (100)/(001) PZT-Based Thin Film on (111) Si Wafer Using SrRuO3/LaNiO3/Pt/CeO2 Buffer Layer2015

    • 著者名/発表者名
      Takeshi Hayasaka, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka
    • 学会等名
      IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric (ISAF)
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2015-05-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga, Structure and Ferroelectric Properties of High TcBi(Me)O3-PbTiO3 Single Crystal Thin Films2015

    • 著者名/発表者名
      K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, S. Tanaka, H. Adachi, T. Matsunaga
    • 学会等名
      IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric (ISAF)
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2015-05-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] LARGE FIGURE-OF-MERIT EPITAXIAL PB(MN,NB)O3-PB(ZR,TI)O3/SI TRANSDUCER FOR PIEZOELECTRIC MEMS SENSORS2015

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa, and Shuji Tanaka
    • 学会等名
      18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2015
    • 発表場所
      Anchorage, Alaska, USA
    • 年月日
      2015-06-21
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] Sputter Deposition of Epitaxial Yttria-Stabilized Zirconia (YSZ) Buffer Layer on Large Diameter Si Wafer for Epitaxial PZT Thin Film Transducer2015

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshida, S. Nishizawa, T. Hayasaka, K. Wasa and S. Tanaka
    • 学会等名
      IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectric (ISAF)
    • 発表場所
      Singapore
    • 年月日
      2015-05-24
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] 水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響2012

    • 著者名/発表者名
      羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 江刺正喜
    • 学会等名
      2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Conformal Coating of Lithographic Polymer on 3D Structure via Initiated Chemical Vapor Deposition for MEMS fabrication2012

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Tatsuya Kobayashi, Masafumi Kumano, and Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      Sendai
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] 複合酸化物と貴金属のための多元系原子層堆積装置の開発2012

    • 著者名/発表者名
      熊野勝文, 西野仁, 吉田慎哉, 田中秀治, 江刺正喜
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] 水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響2012

    • 著者名/発表者名
      羽鹿亮, 吉田慎哉, 牧志渉, 金森義明, 江刺正喜
    • 学会等名
      第59回応用物理学関係連合講演会
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発2012

    • 著者名/発表者名
      原島卓也, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第47期総会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2012-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] MEMS用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発2012

    • 著者名/発表者名
      原島卓也, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第47期総会・講演会
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2012-03-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Fabrication of High-aspect-ratio PZT Structure by Nanocomposite Sol-gel Method for Laterally-driven Piezoelectric MEMS Switch2012

    • 著者名/発表者名
      Nan Wang, Shinya Yoshida, Masafumi Kumano, Yusuke Kawai, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      NEMS 2012
    • 発表場所
      京都
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Fabrication of High-aspect-ratio PZT Structure by Nanocomposite Sol-gel Method for Laterally-driven Piezoelectric MEMS Switch2012

    • 著者名/発表者名
      Nan WANG, Shinya YOSHIDA, Masafumi KUMANO, Yusuke KAWAI and Masayoshi ESASHI
    • 学会等名
      7th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems IEEE-NEMS 2012
    • 発表場所
      Kyoto
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] CONFORMAL COATING OF POLY(GLYCIDYL METHACRYLATE) AS A LITHOGRAPHIC POLYMER BY INITIATED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION2011

    • 著者名/発表者名
      S.Yoshida, T.Kobayashi, M.Kumano, M.Esashi
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers'11
    • 発表場所
      中国、北京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] 面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発2011

    • 著者名/発表者名
      王楠, 吉田慎哉, 熊野勝文, 江刺正喜
    • 学会等名
      日本機械学会第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] CONFORMAL COATING OF POLY(GLYCIDYL METHACRYLATE)AS A LITHOGRAPHIC POLYMER BY INITIATED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION.2011

    • 著者名/発表者名
      S. Yoshida, T. Kobayashi, M. Kumano, and M. Esashi
    • 学会等名
      The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers' 11
    • 発表場所
      中国, 北京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Electrical modification on a conductivity-switching polyimide film formed by molecular layer deposition using scanning probe microscope2011

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono and Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] 面内方向駆動型圧電MEMSスイッチのためのSi 鋳型を用いた高アスペクト比PZT構造体の作製法の開発2011

    • 著者名/発表者名
      王楠, 吉田慎哉, 熊野勝文, 江刺正喜
    • 学会等名
      第3回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
    • 発表場所
      東京
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Electrical modification on a conductivity-switching polyimide film formed by molecular layer deposition using scanning Probe microscope2011

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      仙台
    • 年月日
      2011-02-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Investigation of frictional and elastic properties of a conductive polymer brush by atomic force microscopy for scanning probe data storage system2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 2010 WPI-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Deposition of a conductivity-switching polyimide film by molecular layer deposition and electrical modification using scanning probe microscope.2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 36th international conference on Micro & Nano Engineering
    • 発表場所
      イタリア、ジェノバ
    • 年月日
      2010-09-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Investigation of Frictional and Elastic Properties of a Conductive Polymer Brush by Atomic Force Microscopy for MEMS Probe-Based Data Storage System2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, So Fujinami and Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010)
    • 発表場所
      オーストラリア, パース
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] MEMS用難除去高分子材料のオゾンエッチング2010

    • 著者名/発表者名
      柳田秀彰, 吉田慎哉, 江刺正喜, 田中秀治
    • 学会等名
      第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      島根
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Investigation of Frictional and Elastic Properties of a Conductive Polymer Brush by Atomic Force Microscopy for MEMS Probe-Based Data Storage System.2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT2010)
    • 発表場所
      オーストラリア、パース
    • 年月日
      2010-07-07
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Investigation of Frictional and Elastic Properties of a Conductive Polymer Brush by Atomic Force Microscopy for MEMS Probe-Based Data Storage System2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, So Fujinami, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      The 2010 WPI-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      仙台・日本
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Deposition of a conductivity-switching polyimide film by molecular layer deposition and electrical modification using scanning probe microscope2010

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida, Takahito Ono, Masayoshi Esashi
    • 学会等名
      The 36th International Conference on Micro & Nano Engineering
    • 発表場所
      イタリア, ジェノバ
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22710119
  • [学会発表] Scanning multiprobe data storage system based on reversible co nductance change of conductive polymer2009

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      2009 WPE-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      日本、仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Scanning multiprobe data storage system based on reversible conductance change of conductive polymer2009

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      2009 WPI-AIMR Annual Workshop
    • 発表場所
      仙台
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] CONDUCTIVE POLYMER PATTERNED MEDIA FABLICATED USING DIBLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY FOR SCANNING MULTIPROBE DATA STORAGE2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies
    • 発表場所
      台湾、台南
    • 年月日
      2008-06-22
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage system2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008
    • 発表場所
      ドイツ、マインツ
    • 年月日
      2008-05-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Conductive polymer recording media for MEMS-based multiprobe data storage system2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      Nanotech in Japan, the 4th International Nanotechnology Conference on Communications and Cooperation (INC4)
    • 発表場所
      東京都千代田区
    • 年月日
      2008-04-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] マルチプローブ高密度記録のための導電性高分子記録媒体2008

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛知県春日井市
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] マルチプローブ高密度記録のための導電性高分子記録媒体2008

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉
    • 学会等名
      第69回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      日本、愛知県
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Conductive polymer recording media for MEMS-based multiprobe data storage system2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      Nanotech in Japan, the 4th International Nanotechnology Conference on Communications and Cooperation (INC4)
    • 発表場所
      日本, 東京
    • 年月日
      2008-04-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] CONDUCTIVE POLYMER PATTERNED MEDIA FABLICATED USING DIBLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY FOR SCANNING MULTIPROBE DATA STORAGE2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      The 4th Asia Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies
    • 発表場所
      台湾
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] Conductive polymer recording media for scanning multiprobe data storage system2008

    • 著者名/発表者名
      Shinya Yoshida
    • 学会等名
      International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors 2008
    • 発表場所
      ドイツ, Mainz
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20860005
  • [学会発表] 圧電MEMSのためのスパッタ堆積による大口径Si基板上へのYSZバッファ層のエピタキシャル成長

    • 著者名/発表者名
      西澤信典, 吉田慎哉, 和佐清孝, 田中秀治
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス,平塚,神奈川
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] 高性能圧電MEMSセンサのためのc軸配向PMnN-PZTエピタキシャル薄膜のSi基板上への形成

    • 著者名/発表者名
      吉田慎哉, 半澤弘明, 和佐清孝, 田中秀治
    • 学会等名
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
    • 発表場所
      東北大学,仙台,宮城
    • 年月日
      2015-02-18 – 2015-02-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] 急冷法によってc軸配向させたSi基板上のPMnN-PZT単結晶薄膜の高温特性

    • 著者名/発表者名
      半澤弘明, 吉田慎哉, 和佐清孝, 田中秀治
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス,平塚,神奈川
    • 年月日
      2015-03-11 – 2015-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • [学会発表] Highly c-Axis Oriented Monocrystalline Pb(Zr, Ti)O3 based Thin Film on Si Wafer by Sputter Deposition with Fast Cooling Process

    • 著者名/発表者名
      Hiroaki Hanzawa, Shinya Yoshida, Kiyotaka Wasa and Shuji Tanaka
    • 学会等名
      2014 IEEE International Ultrasonics Symposium
    • 発表場所
      Chicago, Illinois, USA
    • 年月日
      2014-09-03 – 2014-09-06
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-25286033
  • 1.  田中 秀治 (00312611)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 20件
  • 2.  塚本 貴城 (70646413)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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