滝沢優 TAKIZAWA Masaru

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ORCID連携する *注記

研究者番号	30516357
その他のID
所属 (現在)	2026年度: 立命館大学, 理工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2023年度 – 2024年度: 立命館大学, 理工学部, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者以外小区分18020:加工学および生産工学関連
キーワード	研究代表者以外電気化学機械研磨 / 砥粒 / パワー半導体 / 炭化ケイ素 / 電解酸化 / 研磨加工 / SiC / 陽極酸化 / 固体電解質

固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築
- 研究代表者
  
  村田順二
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  立命館大学

すべて 2024 2023

すべて雑誌論文

[雑誌論文] Ultrafast Solid‐State Electrochemical Imprinting Utilizing Polymer Electrolyte Membrane Stamps for Static/Dynamic Structural Coloration and Letter Encryption2024
- 著者名/発表者名
  Yamazaki Katsuma, Tsuji Atsuki, Takizawa Masaru, Murata Junji
- 雑誌名
  
  Small Methods
  
  巻: In press 号: 12 ページ: 2301787-2301787
- DOI
  10.1002/smtd.202301787
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K17725, KAKENHI-PROJECT-23K26015
[雑誌論文] Sustainable Electrochemical Mechanical Polishing (ECMP) for 4H-SiC wafer using chemical-free polishing slurry with hydrocarbon-based solid polymer electrolyte2024
- 著者名/発表者名
  Naoki Inada, Masaru Takizawa, Mariko Adachi, Junji Murata
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science
  
  巻: 664 ページ: 160241-160241
- DOI
  10.1016/j.apsusc.2024.160241
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26015
[雑誌論文] Environment-friendly electrochemical mechanical polishing using solid polymer electrolyte/CeO2 composite pad for highly efficient finishing of 4H-SiC (0001) surface2023
- 著者名/発表者名
  Murata Junji, Hayama Kenshin, Takizawa Masaru
- 雑誌名
  
  Applied Surface Science
  
  巻: 625 ページ: 157190-157190
- DOI
  10.1016/j.apsusc.2023.157190
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04117, KAKENHI-PROJECT-23K26015

1. 村田順二 (70531474)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件