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宇佐美 茂佳  Usami Shigeyoshi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 30897947
所属 (現在) 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2022年度 – 2025年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教
2021年度: 大阪大学, 工学研究科, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究代表者以外
中区分30:応用物理工学およびその関連分野 / 小区分30010:結晶工学関連
キーワード
研究代表者
OVPE法 / GaN / 活性化アニール / Mgイオン注入 / ダイオード / 窒化物半導体 / pnダイオード / GaNパワーデバイス / パワーデバイス / pn接合ダイオード / 伝導度変調 … もっと見る
研究代表者以外
… もっと見る GaN / 酸素不純物 / ファセット成長 / 三次元成長 / 転位 / 口径維持・拡大 / 気相成長 / インゴット / 口径制御 / OVPE法 / 高速成長 / GaNバルク成長 / 気相法 / 高純度 / 熱力学計算 / OVPE / 酸化ガリウム 隠す
  • 研究課題

    (5件)
  • 研究成果

    (15件)
  • 共同研究者

    (6人)
  •  OVPE法を用いたMgイオン注入GaNの新規活性化プロセス開発研究代表者

    • 研究代表者
      宇佐美 茂佳
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  Naフラックス法における三次元成長モードを活用したデバイスキラー欠陥抑制技術の開発

    • 研究代表者
      今西 正幸
    • 研究期間 (年度)
      2025 – 2027
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 審査区分
      小区分30010:結晶工学関連
    • 研究機関
      大阪大学
  •  OVPE法による口径拡大・超厚膜GaNインゴット作製技術

    • 研究代表者
      森 勇介
    • 研究期間 (年度)
      2023 – 2025
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分30:応用物理工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  毒性ガスフリーのOVPE法による高品質酸化ガリウム結晶成長技術

    • 研究代表者
      今西 正幸
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2022
    • 研究種目
      挑戦的研究(萌芽)
    • 審査区分
      中区分30:応用物理工学およびその関連分野
    • 研究機関
      大阪大学
  •  極低抵抗・低転位密度自立基板を利用した窒化ガリウムにおける大規模伝導度変調制御研究代表者

    • 研究代表者
      宇佐美 茂佳
    • 研究期間 (年度)
      2021 – 2023
    • 研究種目
      若手研究
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      大阪大学

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 学会発表

  • [学会発表] 炭素ドープしたOVPE-GaNの電気特性評価2024

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳, 東山律子, 今西正幸, 滝野淳一, 隅智亮, 岡山芳央, 吉村政志, 秦雅彦, 伊勢村雅士, 森勇介
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23H00275
  • [学会発表] Origin of reverse leakage current in vertical pn junction diode on OVPE-GaN substrate2024

    • 著者名/発表者名
      Shigeyoshi Usami, Junichi Takino, Masayuki Imanishi, Tomoaki Sumi, Hirotaka Watanabe, Shugo Nitta,
    • 学会等名
      LEDIA 2024
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • [学会発表] OVPE-GaN成長における異なるGa酸化剤の変換効率調査2024

    • 著者名/発表者名
      中園 翼, 宇佐美 茂佳, 今西 正幸, 隅 智亮, 滝野 淳一, 岡山 芳央, 丸山 美帆子, 吉村 政志, 秦 雅彦, 伊勢村 雅士, 森 勇介
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23H00275
  • [学会発表] OVPE法を用いたGaNのエピタキシャル成長とパワーデバイス応用2023

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳,東山律子, 滝野淳一, 太田博, 渡邉浩崇, 今西正幸, 隅智亮, 岡山芳央, 三島友義, 新田州吾, 本田善央, 吉村政志, 秦雅彦, 伊勢村雅士, 天野浩, 森勇介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23H00275
  • [学会発表] Effect of hydrogen partial pressure on GaN high-speed growth by OVPE2023

    • 著者名/発表者名
      Shigeyoshi Usami, Masayuki Imanishi, Junichi Takino, Tomoaki Sumi, Yoshio Okayama, Masashi Yoshimura, Masahiko Hata, Masashi Isemura, Yusuke Mori
    • 学会等名
      International Conference on Nitride Semiconductors 14
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23H00275
  • [学会発表] ドリフト層の異なるGaN pnダイオードを用いた伝導度変調の解析2023

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳,太田博,渡邉浩崇,今西正幸,新田州吾,本田善央,森勇介, 三島友義,天野浩
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • [学会発表] OVPE法を用いたGaNのエピタキシャル成長とパワーデバイス応用2023

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳,東山律子, 滝野淳一, 太田博, 渡邉浩崇, 今西正幸, 隅智亮, 岡山芳央, 三島友義, 新田州吾, 本田善央, 吉村政志, 秦雅彦, 伊勢村雅士, 天野浩, 森勇介
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • [学会発表] Ga2O, H2O原料ガスを用いた高温・高速酸化ガリウム成長の熱力学的検討2022

    • 著者名/発表者名
      富樫 理恵,鈴木 明香里,石田 遥夏, 宇佐美 茂佳,今西 正幸, 秦 雅彦,森 勇介
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18910
  • [学会発表] OVPE基板上pnダイオードにおける伝導度変調の解析2022

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳, 太田博, 滝野淳一, 渡邉浩崇, 隅智亮, 今西正幸, 新田州吾, 本田善央, 森勇介, 三島友義, 岡山芳央, 天野浩
    • 学会等名
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • [学会発表] OVPE法によるβ相酸化ガリウム結晶のエピタキシャル成長2022

    • 著者名/発表者名
      今西 正幸, 細川 敬介, 奥村 加奈子, 宇佐美 茂佳, 富樫 理恵, 湊 雅彦, 森 勇介
    • 学会等名
      第51回結晶成長国内会議(JCCG-51)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18910
  • [学会発表] OVPE法によるサファイア及びGa2O3基板上β-Ga2O3結晶成長2022

    • 著者名/発表者名
      今西 正幸, 小林 大也, 奥村 加奈子, 細川 敬介, 宇佐美 茂佳, 富樫 理恵, 秦 雅彦, 森 勇介
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18910
  • [学会発表] OVPE法によるサファイア及びGa2O3基板上β-Ga2O3結晶成長2022

    • 著者名/発表者名
      今西 正幸, 小林 大也, 奥村 加奈子, 細川 敬介, 宇佐美 茂佳, 富樫 理恵, 秦 雅彦, 森 勇介
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K18910
  • [学会発表] OVPE法で育成したGaNのグロースピット径制御2022

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳, 香川美幸, 今西正幸, 滝野淳一, 隅智亮, 岡山芳央, 秦雅彦, 伊勢村雅士, 森勇介
    • 学会等名
      第51回結晶成長国内会議
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • [学会発表] 低転位自立基板を用いたOVPE-GaN結晶の転位低減2022

    • 著者名/発表者名
      相原 正実, 宇佐美 茂佳, 今西 正幸, 丸山 美帆子, 吉村 政志, 秦 雅彦, 伊勢村 雅士, 森 勇介
    • 学会等名
      第41回 Electronic Materials Symposium(EMS-41)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • [学会発表] OVPE-GaN基板上MOVPE成長におけるピット低減と表面平坦性の改善2021

    • 著者名/発表者名
      宇佐美茂佳、今西正幸、滝野淳一、隅智亮、岡山芳央、丸山美帆子、吉村政志、秦雅彦、伊勢村雅士、森勇介
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-21K14210
  • 1.  今西 正幸 (00795487)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 8件
  • 2.  富樫 理恵 (50444112)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 3.  森 勇介 (90252618)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 4.  本田 善央 (60362274)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  藤平 哲也 (00463878)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  津坂 佳幸 (20270473)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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