清野慧 KIYONO Satoshi

… 別表記

清野〓キヨノサトシ

研究者番号	40005468
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2006年度: 東北大学, 大学院工学研究科, 教授 1997年度 – 2005年度: 東北大学, 大学院・工学研究科, 教授 1993年度 – 1996年度: 東北大学, 工学部, 教授 1988年度 – 1991年度: 東北大学, 工学部, 助教授 1986年度: 東北大, 工学部, 助教授
審査区分/研究分野	研究代表者機械工作・生産工学 / 機械工作 / 設計工学・機械要素・トライボロジー / 知能機械学・機械システム / 機械要素 / 生産工学・加工学研究代表者以外機械工作 / 生産工学・加工学 / 設計工学・機械要素・トライボロジー / 知能機械学・機械システム
キーワード	研究代表者 accuracy / 精度 / 自律校正 / angle grid / sensor / 高速工具サーボ / 角度格子 / センサ / 角度情報 / 多自由度 … もっと見る / 位置姿勢検出 / self-calibration / 基準 / 形状 / autonomous / metrology / 自律 / 校正 / Precision measurement / 精密測定 / 形状測定 / ポリゴン鏡 / 計測 / Chain of Triangles for sampling points / 2-Points Method / Precision Lovel / Flatness / Straightness / Precision Measurement / ディジタルフィルタ / 3角形連鎖法 / 2点法 / 精密水準器 / 平面度 / 真直度 / closed-loop control / slope / multi-degee-of-freedom / surface motor / position measurement / 制御 / エンコーダ / 他自由度 / 高精度化 / クローズドループ制御 / サーフェスモータ / scanning laser beam / angle information / multi degrees of freedom / position and attitude detection / 光走査 / zero-adjustment error / three-probe method / probe / linear collider / long cylinder / straightness / 3点法 / 加速器 / 母線 / 円筒 / 測定 / reference / absolute / displacement / profile / in situ / サブナノメートル / 絶対 / 変位 / その場 / lapping pat / PZT actuator / actuator / lever / profile generation / machining / 砥粒 / 圧電アクチュエータ / 弾性レバ- / 圧力転写加工 / 形状創成 / 加工 / Absolute calibration / Critical angle / Self-calibration / Calibration / Angle sensor / 絶対校正 / 臨界角 / 角度センサ / Transmission error of gears / High speed shaft / Optical operation / Differential measurement / Autocollimator / Polygon mirror / Synchronism error / 半導体レ-ザ / 精密回転軸 / 歯車のかみ合い誤差 / 高速回転軸 / 歯車のかみ合いの誤差 / 光学的演算 / 差動測定 / オ-トコリメ-ション / 回転同期誤差 / レンズアクチュエータ / 傾斜補正 / 走査基準 / 光スキッド / 光触針 / 非接触測定 / 粗さ / 精密切削加工 / 駆動機構 / マイクロパターン / リニアモータ / モータ / 自動校正 / 回転円盤 / 分割誤差 / 角度基準 … もっと見る研究代表者以外 On Machine Measurement / Precision Measurement / Mirror Shape / Differential Measurement / Autocollimation / Laser Diode / レーザオートコリメーション / 迅速測定 / 走査基準 / 精密測定 / 鏡面 / オンマシン測定 / 差動測定 / 走査型測定 / 鏡面形状 / オ-トコリメ-ション / 半導体位置検出素子 / 半導体レ-ザ / fast tool servo / Force sensor / Stiffness / measurement force / Three-dimensional / Micro-structured surface / Nanofabrication / Nanometrology / 力センサ / 誤差 / 剛性 / 測定力 / 3次元 / 微細形状 / ナノ加工 / ナノ計測 / Active vibration control / Crystalline lattice / Virtual CMM / Miniature robot / Optical probe / Coordinate metrology / Software datum / Nanometer metrology / 微動テーブル / 超小型自走機械 / ナノCMM / 自律校正 / 能動制振 / 結晶格子 / 仮想三次元測定機 / 超小型精密自走機械 / 光プローブ / 座標計測 / ナノメートル計測 / ソフトウェアデータム / 角度センサ / マルチビーム / バルーン型プローブ / フォトダイオード / 硬さセンサ / マイクロセンサ / 生体内異物 / 触診 / 癌 / ドリフトの除去 / 走査範囲の拡大 / あらさ形状 / スキッド式 / 原子間力顕微鏡(AFM) / 走査型トンネル顕微鏡(STM) / He-Neレ-ザ / PSD(半導体位置検出素子) / 不変光路長 / 光学測定 / ステ-ジの移動精度 / ピッチ角とヨ-角 / 移動真直度隠す

プロービング用マイクロモータのための新原理モータのフィジビリティテスト研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  2004
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東北大学
マイクロ角度センサアレイを用いた微小癌触診用小型硬さ分布測定プローブの開発
- 研究代表者
  
  高偉
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東北大学
次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  知能機械学・機械システム
- 研究機関
  東北大学
角度情報をベースとする多自由度位置・姿勢検出法の研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東北大学
直線加速器構築のための長尺円筒の直線母線形状の精密測定システムの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東北大学
サブナノメートルの変位,形状測定機の自律絶対校正システムの試作研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  東北大学
ポリゴン鏡角度形状の超精密測定用差動プローブの試作研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1995
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  東北大学
座標計測の高度化に関する研究
- 研究代表者
  
  下河辺明
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  設計工学・機械要素・トライボロジー
- 研究機関
  東京工業大学
圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1995 – 1996
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東北大学
臨界角プリズムを用いた超高精度角度センサとのその自律校正システムの試作研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1993 – 1994
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  機械工作・生産工学
- 研究機関
  東北大学
あらさ測定のためのスキッド式STMとAFMの研究
- 研究代表者
  
  鎌田治
- 研究期間 (年度)
  1990
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  東北大学
2本の回転軸の回転同期誤差の精密計測システムの試作研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  試験研究(B)
- 研究分野
  
  機械要素
- 研究機関
  東北大学
高速走り真直度の光学的評価法
- 研究代表者
  
  鎌田治
- 研究期間 (年度)
  1989
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  東北大学
粗さ測定における対象の多様化と測定の迅速化のための光スキッド法に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清野〓
- 研究期間 (年度)
  1988
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  東北大学
任意形状鏡面の迅速・高精度測定のための差動オ-トコリメ-ションプロ-ブの開発
- 研究代表者
  
  鎌田治
- 研究期間 (年度)
  1988 – 1989
- 研究種目
  
  試験研究
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  東北大学
超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  清野慧
- 研究期間 (年度)
  1985 – 1986
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械工作
- 研究機関
  東北大学

すべて 2006 2005 2004

すべて雑誌論文産業財産権

[雑誌論文] Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究2006
- 著者名/発表者名
  高偉, 鶴見直也, 渡辺陽司, 木村彰秀, 清野慧
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 72・3
  
  ページ: 382-386
- NAID
  130004655856
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] On-machine measurement of a cylindrical surface with sinusoidal micro-structures by an optical slope sensor2006
- 著者名/発表者名
  W.Gao, M.Tano, S.Sato, S.Kiyono
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 30(印刷中)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Precision measurement and decoupled control of a planar motion stage2006
- 著者名/発表者名
  Song Yi Dian, Wei Gao, Katsutoshi Horie, Satoshi Kiyono
- 雑誌名
  
  Journal of CSME Vol.27, No.5
  
  ページ: 567-574
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究-位置決めシステムの提案と微小位置決め実験-2005
- 著者名/発表者名
  高偉, 田野誠, 清野慧, 冨田良幸, 佐々木卓也
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 (印刷中)
- NAID
  110001824158
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Dynamic modeling, controller design and experimental validation of a planar motion stage for precision positioning2005
- 著者名/発表者名
  Shuichi DEJIMA, Wei GAO, Kei KATAKURA, Satoshi KIYONO
- 雑誌名
  
  Precision Engineering (印刷中)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究2005
- 著者名/発表者名
  渡辺陽司, 高偉, 清水浩貴, 清野慧
- 雑誌名
  
  精密工学会誌 71・8
  
  ページ: 1051-1055
- NAID
  10016679183
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Development of a nanomachining probe with nanometrology function -On-machine nanometrology experiment by the probe -2005
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yasuto Kud, Satoshi Kiyono
- 雑誌名
  
  Proceedings of the JSPE Spring Meeting(in Japanese)
  
  ページ: 1293-1294
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] 形状測定機能を持つナノ加工プローブに関する研究-機上形状計測加工実験-2005
- 著者名/発表者名
  工藤康人, 高偉, 清野慧
- 雑誌名
  
  精密工学会春季大会講演論文集
  
  ページ: 1293-1294
- NAID
  130004657913
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] Precision Positioning of a Five Degree-of-Freedom Planar Motion Stage2005
- 著者名/発表者名
  Shuichi Dejima, Wei Gao, Hiroki Shimizu, Satoshi Kiyono, Yoshiyuki Tomita
- 雑誌名
  
  Mechatronics 15・8
  
  ページ: 969-987
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成2005
- 著者名/発表者名
  田野誠, 高偉, 荒木武, 清野慧
- 雑誌名
  
  日本機械学会論文集(C) 71・712
  
  ページ: 3602-3607
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] 形状測定機能を持つナノ加工プローブの研究-加工プローブにおける加工評価実験-2004
- 著者名/発表者名
  高偉, 工藤康人, 清野慧
- 雑誌名
  
  日本機械学会年次大会講演論文集
  
  ページ: 317-318
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] A Hybrid Nano-Probe for Precision Nanofabrication of Complex Surfaces2004
- 著者名/発表者名
  W.Gao, S.Genda, Y.Kudo, S.Kiyono, J.Patten
- 雑誌名
  
  Proceedings of 8th International Conference on Control, Automation, Robotics and Vision
  
  ページ: 173-177
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] Fabrication and Measurement of a cylinder surface with sinusoidal micro-structures2004
- 著者名/発表者名
  Makoto TANO, Shinji SATO, Wei GAO, Satoshi KIYONO
- 雑誌名
  
  Proc.of the 1st Int.Conf.on Positioning Technology
  
  ページ: 327-328
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Surface Motor-Driven Planar Motion Stage Integrated with an XYθ_Z A Surface Encoder for Precision Positioning2004
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Shuichi Dejima, Hiroaki Yanai, Kei Katakura, Satoshi Kiyono, Yoshiyuki Tomita
- 雑誌名
  
  Precision Engineering 28・3
  
  ページ: 329-337
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Development of a nanomachining probe with nanometrology function -Nanomachining experiment by the probe -2004
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yasuto Kud, Satoshi Kiyono
- 雑誌名
  
  Proceedings of the JSME Annual Meeting(in Japanese)
  
  ページ: 317-318
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] Fabrication of a Multi-cell Photodiode for a MDOF Surface Encoder2004
- 著者名/発表者名
  Y.Watanabe, W.Gao, H.Shimizu, S.Kiyono
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 2nd International Symposium on Nanomanufacturing
  
  ページ: 591-595
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Controller Design and Adjustment for a Three DOF Planar Motion2004
- 著者名/発表者名
  Shuichi Dejima, Wei Gao, Kei Katakura, Satoshi Kiyono, Yoshiyuki Tomita
- 雑誌名
  
  Proc.of the 1st Int.Conf.on Positioning Technology
  
  ページ: 343-344
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[雑誌論文] Design of a nanomachining probe with nanometrology function2004
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yasuto Kudo, Satoshi Kiyono, John A Patten
- 雑誌名
  
  Proceedings of First International Symposium on Standard Materials And Metrology for Nanotechnology
  
  ページ: 110-113
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] Evaluation of an Instrument for Nanomachining and Nanometrology2004
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yasuto Kudo, Satoshi Kiyono, John Patten
- 雑誌名
  
  Proceedings of The 2nd International Symposium on Precision Mechanical Measurements (CD-ROM)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] Design of a nanomachining probe with nanometrology function2004
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yasuto Kudo, Satoshi Kiyono, John A Patten
- 雑誌名
  
  Proceedings First International Symposium on Standard Materials And Metrology for Nanotechnology
  
  ページ: 110-113
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] Evaluation of an Instrument for Nanomachining and Nanometrology2004
- 著者名/発表者名
  Wei Gao, Yasuto Kudo, Satoshi Kiyono, John Patten
- 雑誌名
  
  The 2nd International Symposium on Precision Mechanical Measurements (CD-ROM)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[雑誌論文] A Hybrid Nano-Probe for Precision Nanofabrication of Complex Surfaces2004
- 著者名/発表者名
  W.Gao, S.Genda, Y.Kudo, S.Kiyono, J.Patten
- 雑誌名
  
  8th International Conference on Control, Automation, Robotics and Vision
  
  ページ: 173-177
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[産業財産権] 計測加工一体型装置2004
- 発明者名
  高偉, 清野慧
- 権利者名
  株式会社東北テクノアーチ
- 産業財産権番号
  2004-349434
- 出願年月日
  2004-12-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15360063
[産業財産権] ステージ装置2004
- 発明者名
  高偉, 清野慧, 富田良幸, 田野誠
- 権利者名
  (株)東北テクノアーチ
- 出願年月日
  2004-03-19
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[産業財産権] 検出装置及びステージ装置2004
- 発明者名
  高偉, 清野慧, 富田良幸, 渡辺陽司
- 権利者名
  (株)東北テクノアーチ
- 出願年月日
  2004-04-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[産業財産権] 検出装置2004
- 発明者名
  清野慧, 渡辺陽司, 高偉, 清水浩貴
- 権利者名
  (株)東北テクノアーチ
- 出願年月日
  2004-05-07
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017
[産業財産権] 検出装置及びステージ装置2004
- 発明者名
  高偉, 清野慧, 渡辺陽司, 富田良幸, 牧野健一, 平田徹
- 権利者名
  (株)東北テクノアーチ
- 出願年月日
  2004-06-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14102017

1. 高偉 (70270816)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 22件
2. 荒川章 (60184264)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 0件
3. 清水浩貴 (50323043)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 3件
4. 張世宙 (30282099)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
5. 鎌田治 (00006131)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
6. 山中将 (20292229)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
7. 青木純 (40374954)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 宇田豊

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
9. 下河辺明 (40016796)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 高増潔 (70154896)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 三好隆志 (00002048)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 高田孝次 (80126474)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 大園成夫 (10010878)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 厨川常元 (90170092)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 井澤義明 (00143016)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 人見宣輝 (30300669)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 東保男 (70208742)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
18. 居冰峰 (10431529)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
19. 佐藤松雄 (00006149)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
20. 林玉地 (90270818)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
21. 松本健郎 (30209639)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
22. 田牧純一 (30005516)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
23. 丸山昇

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
24. 小泉晋

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
25. 遠山退三

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
26. 岡崎祐一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
27. 佐藤栄一

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
28. 高津宣夫

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
29. 単学伝

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
30. SHAN Xuechan

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

清野 慧 KIYONO Satoshi

清野 〓 キヨノ サトシ

研究課題

研究成果

共同研究者

プロービング用マイクロモータのための新原理モータのフィジビリティテスト研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

マイクロ角度センサアレイを用いた微小癌触診用小型硬さ分布測定プローブの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

次世代3軸精密ステージ用のサーフェスエンコーダの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

角度情報をベースとする多自由度位置・姿勢検出法の研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

直線加速器構築のための長尺円筒の直線母線形状の精密測定システムの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

サブナノメートルの変位,形状測定機の自律絶対校正システムの試作研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ポリゴン鏡角度形状の超精密測定用差動プローブの試作研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

座標計測の高度化に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

圧力転写型加工による自律的超精密形状創成の実現のための基礎的研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

臨界角プリズムを用いた超高精度角度センサとのその自律校正システムの試作研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

あらさ測定のためのスキッド式STMとAFMの研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

2本の回転軸の回転同期誤差の精密計測システムの試作研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

清野慧 KIYONO Satoshi

清野〓キヨノサトシ