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坂井 一文  SAKAI Kazufumi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 40205703
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1992年度: 学習院大学, 理学部, 助手
1988年度 – 1989年度: 学習院大学, 理学部, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者以外
応用物性
キーワード
研究代表者以外
格子欠陥 / 光散乱 / SIMOX / intrinsic gettering / denuded zone / 赤外線散乱 / 光散乱トモグラフィー / CHARACTERIZATION OF WAFERS / LATTICE DEFECTS / LIGHT SCATTERING … もっと見る / ION-IMPLANTATION / EPITAXIAL LAYER / SEMICONDUCTOR / イオン注入量の測定 / イオン注入層の評価 / 表面観察 / 赤外線暗視野顕微鏡法 / エピタクシャル膜 / ウエハ-の評価 / イオン注入 / エピタクシャル成長膜 / 半導体 / Crystal Growth / Lattice defects / Compound Semiconductors / Resonance Scattering / Infrared Light Scattering / 画像処理 / 結晶成長 / 化合物半導体 / 共鳴散乱 / diffraction of light / multi-quantum layr / GaAs wafer / Cz-Si / Si wafer / チタン・サファイャー・レーザ / 半導体レーザー / 固体表面状態 / 超薄膜干渉縞 / 干渉縞 / Device Technology / Liquid Crystal Display / Integrated Circuits / Surface Roughness / Diffraction / Interference Fringes / 面の粗さ / 光の回折 / 多重量子井戸構造積層膜 / 高温超伝導被膜の均質性 / 析出酸化物微粒子の粒径 / CZ-Siウエハ- / EL2 center / dislocation / lattice defects / tomography (LST) / ZnSe single crystal / GaAs single crystal / silicon wafers / semiconductors / 結晶欠陥 / 非接触検査 / 非破壊検査 / 半導体ウエハー / Brewster角照明 / Characterization / Semiconductors / Defects in Crystals / Light Scattering / イントリンシック・ゲッタリング / 赤外線 / シリコン・ウエハ- / 転位組織 / セレン化亜鉛単結晶 / 砒化カリュゥム単結晶 / シリコン単結晶 / トモグラフィー 隠す
  • 研究課題

    (4件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  赤外線散乱法による半導体結晶内の欠陥の検出と評価

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(A)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      学習院大学
  •  超薄膜干渉計の試作

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1994
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      学習院大学
  •  赤外線表面波光および導波光による半導体エピタクシャル膜の評価

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1989
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      学習院大学
  •  赤外線共鳴散乱トモグラフィー装置

    • 研究代表者
      小川 智哉
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1988
    • 研究種目
      試験研究
    • 研究分野
      応用物性
    • 研究機関
      学習院大学
  • 1.  小川 智哉 (50080437)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  馬 敏雅 (60255263)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  雄山 泰直 (20265573)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  楢岡 清威
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  南郷 脩史
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  小島 崇弘 (50070272)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  川井 頼能 (30158860)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  大塚 謙一 (30101588)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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