三田吉郎 Mita Yoshio

研究者番号	40323472
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所属 (現在)	2025年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2024年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 2016年度 – 2019年度: 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 2011年度 – 2016年度: 東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 2007年度 – 2010年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 准教授 2006年度: 東京大学, 大学院工学系研究科, 助教授 … もっと見る 2005年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 2001年度 – 2004年度: 東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 2000年度: 東京大学, 大規模集積システム設計教育研究センター, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者電子デバイス・電子機器 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野研究代表者以外電子・電気材料工学 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 中区分30:応用物理工学およびその関連分野 / 電子・電気材料工学 / 生産工学・加工学 / 電力工学・電気機器工学
キーワード	研究代表者 MEMS / CMOS-MEMS / マイクロマシン / 電子デバイス・集積回路 / Deep-RIE / VLSI / チップレット / テラヘルツ応用 / 三次元集積回路 / 知能ロボティックス … もっと見る / 電子デバイス・機器 / 知能ロボティクス / 先端機能デバイス / 精密部品加工 / バイオミメティクス / マイクロアクチュエータ / 電気浸透流 / 高電圧集積回路 / 太陽電池 / 自律分散 / ＶＬＳＩ / ＣＭＯＳ－ＭＥＭＳ / 自律分散システム / オンチップ太陽電池 / ポストプロセス / スマートセンサ情報システム / 三次元形状検出 / 光物性 / マイクロ・ナノデバイス / 沿面放電 / 深掘りRIE / 特徴抽出 / アスペクト比 / バルクマイクロマシーニング / 配線爆発 / 初期視覚処理 … もっと見る研究代表者以外画像認識 / VLSI / VLSIシステム / 心理学的脳モデル / Image recognition / 強誘電体メモリ / アナログVLSI / 連想プロセッサ / トポロジカル工学 / MEMS工学 / TopoMEMS / トポロジカル電気回路 / MEMSアニーリング・マシーン / トポロジカル物性物理学 / トポロジカル絶縁体 / トポロジカルMEMS工学 / トポロジカル電気工学 / トポロジカル・エレクトロニクス / トポロジカル5G技術 / トポロジカル電気機械システム / トポロジカルMEMS / メンブレン / メタマテリアル / 真空紫外光 / 非線形光学 / フォトニック結晶 / ego-motion perception / object tracking / gesture recognition / image recognition / directional edge detection / motion field / CMOS image sensor / brain processor / 時間領域演算回路 / Ego-Motion Detection / CMOSイメージセンサ / 動画像処理 / 動きの認識 / エッジ検出フィルター / Principal Motion Distribution / 隠れマルコフモデル / ジェスチャー理解 / 動き検出 / ego motion detection / エッヂ情報 / 動きベクトル検出 / ego-motion認識 / 動作認識 / 動き場生成 / 生体情報処理 / 物体追跡 / エゴモーション認識 / ジェスチャー認識 / 方向性エッジ検出 / 動きフィールド生成 / CMOSイメージセンサー / ブレインプロセッサー / Edge Filtering / Face Detection / DP Matching / Hetero Gate Floating Gate MOS / Ferroelectric Memory / VLSI System / Psychological Brain Model / ワイドバンドCDMA / CDMAマッチトフィルタ / 言語認識 / 音声認識 / 右脳・左脳統合プロセサ / アナログ連想回路 / Multiple Clueサーチ / PPEDベクトル / 遅延ロジック / シーケンスマッチング / エピソード連想 / エピソード記憶 / マッチトフィルタ / CDMA / エッジフィルタ / エッジ検出 / 顔検出 / DPマッチング / Hetero Gate Floatin Gate MOS / Ferroelectric memory / Analog VLSI / Psychological brain model / Brain computing / Medical radiograph analysis / Associative processor / エッヂ検出 / νMOS / 連想プロセサ / 特徴抽出 / ベクトル化 / 矯正歯科 / セファロ分析 / 特徴ベクトル / Generarized Lloidアルゴリズム / CMOS / 医用X線写真解析 / 集積回路 / 手書き文字認識 / 多重解像度 / 低消費電力 / Zoom Lens Metaphor / CMOS VLSI / 連想処理 / 心理学的モデル / 脳型コンピュータ / 医用X線写真診断 / メタマテラル・表面プラズモン / メタマテリアル・表面プラズモン / ナノマイクロ加工 / 正則化 / Lカーブ手法 / 沿面放電 / サブミクロン / 信号変換集積回路 / 帯電測定 / MEMS / 静電容量型表面電位計隠す

サブテラヘルツ電磁波利用を拓く高出力・高集積ｚ軸集積回路の設計試作学術基盤の構築研究代表者
- 研究代表者
  
  三田吉郎
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分21:電気電子工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
トポロジカルMEMS工学の創生
- 研究代表者
  
  江澤雅彦
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分21:電気電子工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
誘電体ナノメンブレン人工構造を用いた真空紫外コヒーレント光源技術の開拓
- 研究代表者
  
  小西邦昭
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分30:応用物理工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京大学
シリコン微細構造と有機素材の融合による液浸センサプラットフォームの学術基盤開拓研究代表者
- 研究代表者
  
  三田吉郎
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
Plasmonic nanostructures realizing miniaturized infrared spectrometric image-array-sensor for endoscopy
- 研究代表者
  
  J・J Delaunay
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  東京大学
高耐圧化ＣＭＯＳ回路のＭＥＭＳ集積で創るエネルギー自立型分散水上走行素子研究代表者
- 研究代表者
  
  三田吉郎
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2015
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
深掘りMEMSトレンチ受光素子集積化初期視覚処理プロセッサと動体検出応用研究代表者
- 研究代表者
  
  三田吉郎
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  若手研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
集積回路技術を活用した高時間・高空間分解アレイ型表面電荷密度分布センサの開発
- 研究代表者
  
  日高邦彦
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  萌芽研究
- 研究分野
  
  電力工学・電気機器工学
- 研究機関
  東京大学
LSI情報処理回路と集積化したMEMSナノプローブによる放電電荷分布の高精細測定研究代表者
- 研究代表者
  
  三田吉郎
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
動画像より物体の動きの意味を抽出する行動分析VLSIイメージセンサ・システム
- 研究代表者
  
  柴田直
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学
知覚情報処理回路の配線爆発を解消するMEMS融合型VLSI研究代表者
- 研究代表者
  
  三田吉郎
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2004
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京大学
意識下の情報処理をアナログ・デジタル融合演算で実現する心理学的脳モデルVLSI
- 研究代表者
  
  柴田直
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学
多重解像度νMOSピクレット抽出器を用いた知的画像認識ハードウェアの研究
- 研究代表者
  
  柴田直
- 研究期間 (年度)
  1999 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京大学

[図書] ＭＥＭＳデバイス徹底入門2018
- 著者名/発表者名
  三田　吉郎
- 総ページ数
  192
- 出版者
  日刊工業新聞社
- ISBN
  9784526078712
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[図書] ドライ・ウエットエッチング技術全集, 4章 9節, MEMSにおける高アスペクト、ノッチフリーのドライエッチング加工2009
- 著者名/発表者名
  三田吉郎, 他(分担執筆)
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[図書] ドライ・ウエットエッチング技術全集2009
- 著者名/発表者名
  三田吉郎他(分担執筆)
- 総ページ数
  425
- 出版者
  技術情報協会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[図書] 最新機械・機器要素技術 3章 15節, センサ・アクチュエータの加工(光学リソ含む)2008
- 著者名/発表者名
  吉川昌範(編著), 三田吉郎, 他(分担執筆)
- 出版者
  NGTコーポレーション
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[図書] 最新機械・機器要素技術 2章 10節, センサー2008
- 著者名/発表者名
  吉川昌範(編著), 三田吉郎, 他(分担執筆)
- 出版者
  NGTコーポレーション
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] On-Chip CMOS-MEMS-Based Electroosmotic Flow Micropump Integrated With High-Voltage Generator2020
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Ryoson Hiroyuki、Fujimoto Koji、Ohba Takayuki、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems
  
  巻: 29 号: 1 ページ: 86-94
- DOI
  10.1109/jmems.2019.2953290
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345, KAKENHI-PROJECT-17J04382
[雑誌論文] Area-selective Cu Film Growth on TiN and SiO<sub>2</sub> by Supercritical Fluid Deposition2020
- 著者名/発表者名
  Usami Naoto、Ota Etsuko、Higo Akio、Momose Takeshi、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 140 号: 1 ページ: 31-36
- DOI
  10.1541/ieejsmas.140.31
- NAID
  130007779002
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2020-01-01
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18J10240, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Influence of Pretreatment on Adhesion Quality of Supercritical-fluid-deposited Cu Film on Si2019
- 著者名/発表者名
  Usami Naoto、Ota Etsuko、Momose Takeshi、Higo Akio、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 31 号: 8 ページ: 2481
- DOI
  10.18494/SAM.2019.2316
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 年月日
  2019-08-19
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18J10240, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] 局所的な微小粒子計測を目指した電極集積型微小孔デバイス2019
- 著者名/発表者名
  Takeshiro Yudai、Usami Naoto、Okamoto Yuki、Takada Takeaki、Higo Akio、Ikeno Rimon、Washizu Nobuei、Asada Kunihiro、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 139 号: 8 ページ: 271-276
- DOI
  10.1541/ieejsmas.139.271
- NAID
  130007686521
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2019-08-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18J10240, KAKENHI-PROJECT-16H04345, KAKENHI-PROJECT-17J04382
[雑誌論文] A Micro Racetrack Optical Resonator Test Structure to Optimize Pattern Approximation in Direct Lithography Technologies2019
- 著者名/発表者名
  Higo Akio、Sawamura Tomoki、Fujiwara Makoto、Ota Etsuko、Mizushima Ayako、Lebrasseur Eric、Arakawa Taro、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  2019 IEEE Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2019), 18-21 Mar, Kita-Kyushu, Japan
  
  巻: 1 ページ: 4-7
- DOI
  10.1109/icmts.2019.8730981
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Continuity assessment for supercritical-fluids-deposited (SCFD) Cu film as electroplating seed layer2019
- 著者名/発表者名
  Usami Naoto、Ota Etsuko、Higo Akio、Momose Takeshi、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  2019 IEEE Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2019), 18-21 Mar, Kita-Kyushu, Japan
  
  巻: 1 ページ: 54-57
- DOI
  10.1109/icmts.2019.8730945
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] A zero-power sensing MEMS shock sensor with a latch-reset mechanism for multi-threshold events monitoring2019
- 著者名/発表者名
  Reddy R. Ranga、Komeda Keisuke、Okamoto Yuki、Lebrasseur Eric、Higo Akio、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A: Physical
  
  巻: 295 ページ: 1-10
- DOI
  10.1016/j.sna.2019.05.036
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345, KAKENHI-PROJECT-17J04382
[雑誌論文] Experimental Comparison of Rapid Large-area Direct Electron Beam Exposure Methods with Plasmonic Devices2019
- 著者名/発表者名
  Higo Akio、Sawamura Tomoki、Fujiwara Makoto、Lebrasseur Eric、Mizushima Ayako、Ota Etsuko、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 31 号: 8 ページ: 2511
- DOI
  10.18494/SAM.2019.2443
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 年月日
  2019-08-19
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Stick-to-Analyze Zeta Potential Measurement Chip with Integrated Electroosmotic Micropump and Liquid Flow Sensor2019
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Fujimoto Koji、Ryoson Hiroyuki、Ohba Takayuki、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  The 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019)
  
  巻: 1 ページ: 437-440
- DOI
  10.1109/memsys.2019.8870895
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Damage Assessment Structure of Test-Pad Post-Processing on CMOS LSIs2019
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Mizushima Ayako、Usami Naoto、Kinoshita Jun、Higo Akio、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  2019 IEEE Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2019), 18-21 Mar, Kita-Kyushu, Japan
  
  巻: 1 ページ: 184-187
- DOI
  10.1109/icmts.2019.8730991
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] High-Resolution Piezoelectric Mems Scanner Fully Integrated With Focus-Tuning and Driving Actuators2019
- 著者名/発表者名
  Inagaki Shunsuke、Okamoto Yuki、Higo Akio、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  The 20th International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII), 23-27 June 2019, Berlin, Germany
  
  巻: 1 ページ: 474-477
- DOI
  10.1109/transducers.2019.8808636
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Z-Axis Controllable Mille-Feuille Electrode Electrorotation Device Utilizing Levitation Effect2019
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Tsuchiya Taku、Moslonka Charles、Lin Yu-Sheng、Tsang Sung、Marty Frederic、Mizushima Ayako、Sun Chen-li、Wang Hsiang-Yu、Tixier-Mita Agnes、Francais Olivier、Le Pioufle Bruno、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  The 20th International Conference on Solid State Sensors and Actuators (Transducers 2019 - EUROSENSORS XXXIII), 23-27 June 2019, Berlin, Germany
  
  巻: 1 ページ: 213-216
- DOI
  10.1109/transducers.2019.8808820
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] 粒子径の大きなゼオライトを用いたガスセンサの信頼性確保に向けた衝撃試験2018
- 著者名/発表者名
  Yamada Kentaro、Grand Julien、Okamoto Yuki、Reddy Rangareddygari Ranga、Denoual Matthieu、Mintova Svetlana、Tixier-Mita Agnes、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 138 号: 9 ページ: 430-434
- DOI
  10.1541/ieejsmas.138.430
- NAID
  130007479703
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2018-09-01
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17J04382, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] MEMS後加工のLSIの高耐圧化への利用に関するレビュー2018
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 138 号: 7 ページ: 319-326
- DOI
  10.1541/ieejsmas.138.319
- NAID
  130007387001
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2018-07-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17J04382, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] On-Chip High-Voltage Charge Pump With MEMS Post-Processed Standard 5-V CMOS on SOI for Electroosmotic Flow Micropumps2018
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Takehara Hiroaki、Fujimoto Koji、Ichiki Takanori、Ohba Takayuki、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  IEEE Electron Device Letters
  
  巻: 39 号: 6 ページ: 851-854
- DOI
  10.1109/led.2018.2829925
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17J04382, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Test structure for electrical assessment of UV laser direct fine patterned material2018
- 著者名/発表者名
  Usami Naoto、Higo Akio、Mizushima Ayako、Okamoto Yuki、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  IEEE 31st International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2018)
  
  巻: 1 ページ: 185-188
- DOI
  10.1109/icmts.2018.8383794
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] High-uniformity centimeter-wide Si etching method for MEMS devices with large opening elements2018
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Tohyama Yukiya、Inagaki Shunsuke、Takiguchi Mikio、Ono Tomoki、Lebrasseur Eric、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 4S ページ: 04FC03-04FC03
- DOI
  10.7567/jjap.57.04fc03
- NAID
  210000148868
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345, KAKENHI-PROJECT-17J04382
[雑誌論文] Progress and opportunities in high-voltage microactuator powering technology towards one-chip MEMS2018
- 著者名/発表者名
  Mita Yoshio、Hirakawa Atsushi、Stefanelli Bruno、Mori Isao、Okamoto Yuki、Morishita Satoshi、Kubota Masanori、Lebrasseur Eric、Kaiser Andreas
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 57 号: 4S ページ: 04FA05-04FA05
- DOI
  10.7567/jjap.57.04fa05
- NAID
  210000148853
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345, KAKENHI-PROJECT-17J04382
[雑誌論文] An on-chip test structure for studying the frictional behavior of deep-RIE MEMS sidewall surfaces2018
- 著者名/発表者名
  Reddy R Ranga、Okamoto Yuki、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  IEEE 31st International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2018)
  
  巻: 1 ページ: 173-178
- DOI
  10.1109/icmts.2018.8383792
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Microscale ultrahigh-frequency resonant wireless powering for capacitive and resistive MEMS actuators2018
- 著者名/発表者名
  Mita Yoshio、Sakamoto Naoyuki、Usami Naoto、Frapp? Antoine、Higo Akio、Stefanelli Bruno、Shiomi Hidehisa、Bourgeois Julien、Kaiser Andreas
- 雑誌名
  
  Sensors and Actuators A: Physical
  
  巻: 275 ページ: 75-87
- DOI
  10.1016/j.sna.2018.03.020
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18J10240, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] LSI一体集積のためのシリコン上PbS量子ドット赤外フォトダイオードの試作2018
- 著者名/発表者名
  Higo Akio、Mita Yoshio、Wang Haibin、Kubo Takaya、Segawa Hiroshi、Usami Naoto、Okamoto Yuki、Yamada Kentaro、Takeshiro Yudai、Sugiyama Masakazu
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 138 号: 7 ページ: 307-311
- DOI
  10.1541/ieejsmas.138.307
- NAID
  130007386998
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 年月日
  2018-07-01
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17J04382, KAKENHI-PROJECT-18J10240, KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Mask-programmable on-chip photovoltaic cell array2018
- 著者名/発表者名
  Takeshiro Y.、Okamoto Y.、Mita Y.
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series
  
  巻: 1052 ページ: 012144-012144
- DOI
  10.1088/1742-6596/1052/1/012144
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] A micromachined all-solid on-chip thin-film battery towards uninterruptible photovoltaic cells2018
- 著者名/発表者名
  Kuriyama Taisei、Suzuki Akiyoshi、Okamoto Yuki、Kimura Isao、Morikawa Yasuhiro、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  018 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 23-25 May, Roma, Italy,
  
  巻: 1 ページ: 153-156
- DOI
  10.1109/dtip.2018.8394215
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] 15-year educational experience on autonomous electronic information devices by flipped classroom and try-by-yourself methods2017
- 著者名/発表者名
  Mita Yoshio、Kawahara Yoshihiro
- 雑誌名
  
  IET Circuits, Devices & Systems
  
  巻: 11 号: 4 ページ: 321-329
- DOI
  10.1049/iet-cds.2016.0406
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] Test Structures for End-Point Visualization of All-Plasma Dry Release of Deep-RIE MEMS Devices and Application to Release Process Modal Analysis2017
- 著者名/発表者名
  Okamoto Yuki、Lebrasseur Eric、Mori Isao、Marty Frederic、Mita Yoshio
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
  
  巻: 30 号: 3 ページ: 201-208
- DOI
  10.1109/tsm.2017.2694845
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345, KAKENHI-PROJECT-17J04382
[雑誌論文] A scalable, optically-driven, high-voltage switch for remote MEMS device operation fabricated with a standard CMOS process2017
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Yuki Okamoto, Yoshio Mita
- 雑誌名
  
  IEICE Electronics Express
  
  巻: 14 号: 3 ページ: 20161174-20161174
- DOI
  10.1587/elex.14.20161174
- NAID
  130005330369
- ISSN
  1349-2543
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[雑誌論文] On-chip High-voltage Silicon Photovoltaic Cell Array Made by a CMOS Post-processed Device Isolation Method for Driving a MEMS Actuator in a Remote Manner2016
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Eric Lebrasseur, Masanori Kubota and Yoshio Mita
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 136 号: 2 ページ: 24-30
- DOI
  10.1541/ieejsmas.136.24
- NAID
  130005122064
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 言語
  英語
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] Characterization of zeolite-trench-embedded microcantilevers with CMOS strain gauge for integrated gas sensor applications2016
- 著者名/発表者名
  Shu Inoue, Matthieu Denoual, Hussein Awala, Julien Grand, Sveltana Mintova, Agnes Tixier-Mita and Yoshio Mita
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 4S ページ: 04EF14-04EF14
- DOI
  10.7567/jjap.55.04ef14
- NAID
  210000146337
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] A Nearest Neighbor Classifier Employing Critical Boundary Vectors for Efficient On-Chip Template Reduction2016
- 著者名/発表者名
  Wenjun Xia, Yoshio Mita, Tadashi Shibata
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Neural Networks and Learning Systems
  
  巻: 27 号: 5 ページ: 1094-1107
- DOI
  10.1109/tnnls.2015.2437901
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] Discharging-phototransistor-integrated high-voltage Si photovoltaic cells for fast driving demonstration of an electrostatic MEMS actuator by wavelength modulation2016
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Eric Lebrasseur and Yoshio Mita
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 4S ページ: 04EF12-04EF12
- DOI
  10.7567/jjap.55.04ef12
- NAID
  210000146335
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] Independent light-trapping cavity for ultra-sensitive plasmonic sensing2014
- 著者名/発表者名
  Y.-L. Ho, L.-C. Huang, E. Lebrasseur, Y. Mita, and J.-J. Delaunay
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 105 号: 6 ページ: 061112-061112
- DOI
  10.1063/1.4893275
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14J09884, KAKENHI-PROJECT-23686053, KAKENHI-PROJECT-25630019, KAKENHI-PROJECT-26289013
[雑誌論文] A heat balanced sigma-delta uncooled bolometer2014
- 著者名/発表者名
  M Denoual, D Brouard, A Veith, O De Sagazan, M Pouliquen, P Attia, E Lebrasseur, Y Mita and G Allegre
- 雑誌名
  
  Meas. Sci. Technol.
  
  巻: 25 号: 6 ページ: 065101-065101
- DOI
  10.1088/0957-0233/25/6/065101
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] Power-Regulated Thermal Actuator Based on UV-Patterned Polyimides for a Ciliary Motion System2013
- 著者名/発表者名
  Julien Malapert, Satoshi Morishita, Manabu Ataka, Hiroyuki Fujita, Dominique Collard and Yoshio Mita
- 雑誌名
  
  電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
  
  巻: 133 号: 3 ページ: 77-84
- DOI
  10.1541/ieejsmas.133.77
- NAID
  10031155389
- ISSN
  1341-8939, 1347-5525
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] Silicon sub-micron-gap deep trench Pirani vacuum gauge for operation at atmospheric pressure2011
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Yoshio Mita, Masakazu Sugiyama
- 雑誌名
  
  J.Micromech.Microeng.
  
  巻: 21 ページ: 45034-45034
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Silicon sub-micron-gap deep trench Pirani vacuum gauge for operation at atmospheric pressure2011
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Yoshio Mita, and Masakazu Sugiyama
- 雑誌名
  
  J. Micromech. Microeng.
  
  巻: 21 号: 4 ページ: 45034-45034
- DOI
  10.1088/0960-1317/21/4/045034
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[雑誌論文] Demonstration of a wireless driven MEMS pond skater that uses EWOD technology2009
- 著者名/発表者名
  Y.Mita, et.al
- 雑誌名
  
  Journal of Solid-State Electronics
  
  巻: Vol.53 ページ: 798-802
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Test Structure for Characterizing Low Voltage Coplanar EWOD System2009
- 著者名/発表者名
  Yifan Li, Yoshio Mita, Leslie I. Haworth, William Parkes, Masanori Kubota, Anthony J. Walton
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions
  
  巻: Vol. 22, No. 1 ページ: 88-95
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Demonstration of a wireless driven MEMS pond skater that uses EWOD technology2009
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Y. Li, M. Kubota, S. Morishita, W. Parkes, L.I. Haworth, B.W. Flynn, J.G. Terry, T.-B. Tang, A.D. Ruthven, S. Smith and A.J. Walton
- 雑誌名
  
  Journal of Solid-State Electronics
  
  巻: Vol. 53 ページ: 798-802
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Polarization transmissive photovoltaic film device consisting of Siphotodiode wire-grid2008
- 著者名/発表者名
  Kenichiro Hirose, Yoshio Mita, et.al.
- 雑誌名
  
  J. Opt. A : Pure Appl. Opt. 10
  
  ページ: 44014-44014
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Polarization transmissive photovoltaic film device consisting of Si photodiode wire-grid2008
- 著者名/発表者名
  Kenichiro Hirose, Yoshio Mita, Yoshiaki Imai, Freederic Marty, Tarik Bourouina, Kunihiro Asada, Shuichi Sakai, Tadashi Kawazoe and Motoichi Ohtsu
- 雑誌名
  
  Journal of Optics A: Pure Appl. Opt.
  
  巻: 10 ページ: 44014-44014
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Electric Ejection of Viscous Inks From MEMS Capillary Array Head for Direct Drawing of Fine Patterns2008
- 著者名/発表者名
  R. Ohigashi, K. Tsuchiya, Yoshio Mita, and H. Fujita
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems 17
  
  ページ: 272-277
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Electric Ejection of Viscous Inks From MEMS Capillary Array Head for Direct Drawing of Fine Patterns2008
- 著者名/発表者名
  Ryoichi Ohigashi, Katsunori Tsuchiya, Yoshio Mita, and Hiroyuki Fujita
- 雑誌名
  
  Journal of Microelectromechanical Systems
  
  巻: Vol. 17, No.2 ページ: 272-277
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] Test Structure for Characterizing Low Voltage Coplanar EWOD System2008
- 著者名/発表者名
  Yifan Li, Yoshio Mita et.al.
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 22
  
  ページ: 88-95
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[雑誌論文] SOIウェハ上における沿面放電現象2007
- 著者名/発表者名
  林純也, 安井遼, 熊田亜紀子, 日高邦彦, 三田吉朗
- 雑誌名
  
  平成19年電気学会全国大会論文集 Vol. 1
  
  ページ: 79-79
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17656092
[雑誌論文] SOIウェハ上における沿面放電現象2007
- 著者名/発表者名
  林純也, 安井遼, 熊田亜紀子, 日高邦彦, 三田吉郎
- 雑誌名
  
  平成19年電気学会全国大会 K327-C2
  
  ページ: 1-66
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Silicon on PDMS' : SOI Extra Thin Active Layer Transfered to Organic Film for Flexible Applications2007
- 著者名/発表者名
  Sakda Srisomrun, Yoshio Mita, Kazunori Hoshino, Masakazu Sugiyama, Tadashi Shibata
- 雑誌名
  
  IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2007) Jan.22-25
  
  ページ: 263-266
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] ナノ開口・大開口のエッチングを可能とする輪郭描画法2006
- 著者名/発表者名
  久保田雅則, 三田吉郎, マーティー・フレデリック, ブルイナ・タリク, 柴田直
- 雑誌名
  
  電気学会センサ・マイクロマシン部門誌 Volume 126-E Number 6
  
  ページ: 235-240
- NAID
  10017582286
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Design, fabrication, and control of MEMS-based actuator arrays for air-flow distributed micromanipulation2006
- 著者名/発表者名
  Yamato Fukuta, Yves Andre Chapuis, Yoshio Mita, Hiroyuki Fuiita
- 雑誌名
  
  IEEE Journal of Micro-Electro-Mechanical Systems Vol.15,No.4
  
  ページ: 212-226
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Contour Lithography Methods for DRIE Fabrication of Nanometre-Millimetre-Scale Coexisting Microsystems2006
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Masanori Kubota, Tomoyuki Harada, Frederic Marty, Bassam Saadany, Tarik Bourouina, Tadashi Shibata
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering Vol.16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] An improved LOCOS-contour method for fabricating nanometer-and-millimeter-scale coexisting structures2006
- 著者名/発表者名
  M.Kubota, Y.Mita, F.Marty, T.Bourouina, T.Shibata
- 雑誌名
  
  MicroMechanics Europe Workshop, Goteborg, 1
  
  ページ: 107-110
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Aspect Ratio Dependent Scalloping Attenuation in DRIE and an Application to Low-Loss Fiber-Optical Switch2006
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, M.Kubota, M.Sugiyama, F.Marty, T.Bouroina, T.Shibata
- 雑誌名
  
  IEEE International Conference on MicroElectro Mechanical Systems (MEMS2006), Istanbul 1
  
  ページ: 114-117
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] A highly simple failure detection method for electrostatic microactuators : application to automatic testing and accelerated lifetime estimation2006
- 著者名/発表者名
  B.Caillard, Y.Mita, Y.Fukuta, T.Shibata, H.Fujita
- 雑誌名
  
  IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 19,No.1
  
  ページ: 35-42
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Free-Space Tunable and Drop Optical Filters Using Vertical Bragg Mirros on Silicon2006
- 著者名/発表者名
  Bassam Saadany, Maurine Malak, Masanori Kubota, Frederic Marty, Yoshio Mita, Diaa Khalil, Tarik Bourouina
- 雑誌名
  
  IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics Vol.12,No.6
  
  ページ: 1480-1488
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] High Aspect Ratio Nano-Structures (HARNS) for Photonic MEMS Based on Vertical DBR Architecture2005
- 著者名/発表者名
  F.Marty, B.Saadany, T.Bourouina, Yoshio Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Int.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '05)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760236
[雑誌論文] An Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects2005
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Y.Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol.44,No.4B
  
  ページ: 2119-2124
- NAID
  10022538747
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] An Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects2005
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Y.Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (印刷中)
- NAID
  10022538747
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] An Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects2005
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Y.Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics Vol. 44, No. 4B
  
  ページ: 2119-2124
- NAID
  10022538747
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] An-Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects2005
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Y.Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 44,No.4B
  
  ページ: 2119-2124
- NAID
  10022538747
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Advanced Etching of Silicon Based On Deep Reactive Ion Etching For Silicon High Aspect Ratio Micro Structures And Three-Dimensional Micro- And Nano-Structures2005
- 著者名/発表者名
  F.Marty, L.Rousseau, B.Saadany, B.Mercier, O.Francais, Y.Mita, T.Bourouina
- 雑誌名
  
  Microelectronics Journal, Circuits and Systems section Vol.36
  
  ページ: 673-677
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] Electrical Critical Dimension Measurement Method by Integration of Test Structure into MEMS Devices2005
- 著者名/発表者名
  K.Ito, Yoshio Mita, M.Kubota, F.Marty, T.Bourouina, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Int.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '05)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760236
[雑誌論文] A Contour-Lithography-Method for Rapid and Precise Deep-Etched Nano-MEMS Structure Fabrication2005
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Yoshio Mita, Frederic Marty, Tarik Bourouina, Tadashi Shibata
- 雑誌名
  
  In Proc. of International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Microsystems (Transducers 2005), Seoul 2
  
  ページ: 1449-1452
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760274
[雑誌論文] A Contour-Lithography Method for Rapid and Precise Deep-Etched Nano-MEMS Structure Fabrication2005
- 著者名/発表者名
  M.Kubota, Yoshio Mita, K.Ito, F.Marty, T.Bourouina, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Int.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '05)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760236
[雑誌論文] Batch bulk-micromachined high-precision metal-on-insulator microspires and their application to scanning tunneling microscopy2004
- 著者名/発表者名
  D.Kobayashi, Y.Mita, T.Shibata, T.Bourouina, H.Fujita
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering Vol.14, No.9
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] Batch bulk-micromachined high-precision metal-on-insulator micro-spires and their application to scanning tunneling microscopy2004
- 著者名/発表者名
  D.Kobayashi, Y.Mita, T.Shibata, T.Bourouina, H.Fujita
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering 14,No.9
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760236
[雑誌論文] Batch bulk-micromachined high-precision metal-on-insulator microspires and their application to scanning tunneling microscopy2004
- 著者名/発表者名
  D.Kobayashi, Y.Mita, T.Shibata, T.Bourouina, H.Fujita
- 雑誌名
  
  Journal of Micromechanics and Microengineering vol.14,no.9
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] An Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects2004
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Y.Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Ext. Abstracts of the International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM 2004), Sep., Tokyo, Japan
  
  ページ: 356-357
- NAID
  10022538747
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] An Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects,2004
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Y.Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Extended Abstracts of the International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM '04), Tokyo Japan
  
  ページ: 356-357
- NAID
  10022538747
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] Conveyor for Pneumatic Two-Dimensional Manipulation Realized by Arrayed MEMS and its Control2004
- 著者名/発表者名
  Y.Fukuta, M.Yanada, A.Ino, Yoshio Mita, Y.Chapuis, S.Konishi, H.Fujita
- 雑誌名
  
  Journal of Robotics and Mechatronics (JRM) 16,No.2
  
  ページ: 163-170
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760236
[雑誌論文] An Analog Edge-Filtering Processor Employing Only-Nearest-Neighbor Interconnects2004
- 著者名/発表者名
  Y.Nakashita, Yoshio Mita, T.Shibata
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
- NAID
  10022538747
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15760236
[雑誌論文] High-Precision Metal-on-Insulator Micro Spires for Use in Non-magnetic-Probe Magnetic Microscopy,2003
- 著者名/発表者名
  D.Kobayashi, Y.Mita, T.Shibata, T.Bourouina, H.Fujita, P.Beauvillan
- 雑誌名
  
  Proc. 14th MicroMechanics Europe Workshop (MME'03),Delft, The Netherlands
  
  ページ: 131-134
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] High-Precision Metal-on-Insulator Micro Spires for Use in Nonmagnetic-Probe Magnetic Microscopy2003
- 著者名/発表者名
  D.Kobayashi, Y.Mita, T.Shibata, T.Bourouina, H.Fujita, P.Beauvillan
- 雑誌名
  
  Proc. 14th MicroMechanics Europe Workshop (MME'03),Nov. 2-4, Delft, Netherlands.
  
  ページ: 131-134
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] Bulk Micromachined Image-Forwarding Mirror Array for Feature Extraction VLSI Sensor System2002
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Tadashi Shibata
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Lugano, Switzerland, Aug. 2002.
  
  ページ: 205-206
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[雑誌論文] Bulk Micromachined Image-Forwarding Mirror Array for Feature Extraction VLSI Sensor System,2002
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Tadashi Shibata
- 雑誌名
  
  Proceedings of International Conference on Optical MEMS and Their Applications, Lugano, Switzerland
  
  ページ: 205-206
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205043
[学会発表] Su-Schrieffer-Heeger Topological Electrical Circuit Using In-Plane Mutual Inductance2024
- 著者名/発表者名
  Ryohei TAKAHASHI, Kei MISUMI, Keigo TSUJI, Anne-Claire EILER, Shun YASUNAGA, Akio HIGO, Ryosho NAKANE, Tetsuya IIZUKA, Motohiko EZAWA, Yoshio MITA
- 学会等名
  Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00171
[学会発表] OPERATION OF ARRAYED LOGIC ELEMENTS FOR MEMS ISING MACHINE2023
- 著者名/発表者名
  Shun Yasunaga, Motohiko Ezawa, Keigo Tsuji, Kei Misumi, Tomoki Sawamura, Shinji Tsuboi, Ayako Mizushima, Yukinori Ochiai, Akio Higo, and Yoshio Mita
- 学会等名
  Transducers 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00171
[学会発表] "TopoMEMS varicaps'' - MEMS comb-drive variable capacitors with tailored stroke-to-capacitance2023
- 著者名/発表者名
  Yoshio MITA, Shun YASUNAGA, Keigo TSUJI, Akio HIGO, Tetsuya IIZUKA, Motohiko EZAWA
- 学会等名
  Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00171
[学会発表] MEMS イジングマシンの実現に向けた双安定演算素子配列2023
- 著者名/発表者名
  安永竣, 江澤雅彦, 辻啓吾, 三角啓, 澤村智紀, 坪井伸二, 水島彩子, 落合幸徳, 肥後昭男, 三田吉郎
- 学会等名
  第 40 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23H00171
[学会発表] CIRCULARLY POLARIZED VACUUM ULTRAVIOLET COHERENT LIGHT GENERATION USING A SQUARE LATTICE PHOTONIC CRYSTAL NANOMEMBRANE2021
- 著者名/発表者名
  Kuniaki Konishi, Daisuke Akai, Yoshio Mita, Makoto Ishida, Junji Yumoto, Makoto Kuwata-Gonokami
- 学会等名
  The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2021)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21H04660
[学会発表] Application of Open Target Research on CMOS-MEMS with New Materials to Industrial Innovation2019
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Yuta Nakayama, Kenji Suzuki, Takeshi Mizuno, Tokiko Endo, and Takeshi Yoshimura
- 学会等名
  International Symposium on Electronics and Smart Devices (ISESD 2019), 8-9, October, Bali, Indonesia.
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 積圧電アクチュエータによる自己変形を利用した可変焦点大面積MEMS 光スキャナ2019
- 著者名/発表者名
  稲垣俊典、岡本有貴、肥後昭男、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、19pm5-PS3-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] モノリシック集積多層電極による細胞電気回転測定の垂直位置制御2019
- 著者名/発表者名
  槌屋拓、岡本有貴、Moslonka Charles、Lin Yu-Sheng、Tsang Sung、Marty Frederic、水島彩子、Sun Chen-li、Wang Hsiang-Yu、Francais Olivier、Le Pioufle Bruno、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、19pm5-PS3-66
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 2 段階パラメータランピングによる高アスペクト垂直深掘りトレンチの作製2019
- 著者名/発表者名
  栗山大成、ルブラッスールエリック、平川顕二、岩瀬正幸、小笠原宗博、依田孝、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、19am3-PS3-7
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] ”Trust and Coordinate” - Case Study in UTokyo Nanofabrication Site with Nanotechnology Platform2019
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita
- 学会等名
  OECD Global Science Forum - Science Europe 2nd International Workshop on Optimising the operation and use of national Research Infrastructure, 28-29 Nov 2019, Sejong Hall, Seoul, Korea
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] ソフトマイクロアクチュエータを目指すP（VDF-TrFE）圧電薄膜加工2019
- 著者名/発表者名
  山口龍太郎、宇佐美尚人、松下裕司、吉村武、肥後昭男、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、19pm5-PS3-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] apanese Nanotechnology Platform, UTokyo VDEC Fabrication Site, and Collaboration Project with CNRS-RENATECH2019
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita and Michel de Labachererie
- 学会等名
  2nd European Nanofabrication Research Infrastructure Symposium (ENRIS 2019), 16-18 June 2019, Enschede, the Netherland,
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] マイクロモジュラーロボットに向けたサブミリメートルスケール静電着脱機構の検証2019
- 著者名/発表者名
  三角啓、宇佐美尚人、肥後昭男、Piranda Benoit、Bourgeois Julien、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、20am2-PS3-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 失敗は成功の元: ナノテクノロジープラットフォームで試して拓く先端集積MEMS2019
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  第17回ナノテクノロジー総合シンポジウム, 2019年2月1日, 東京ビッグサイト
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 高アスペクト比深掘りトレンチの均一な電解めっきを可能とする超臨界流体薄膜堆積法で作製された低抵抗銅薄膜種層2019
- 著者名/発表者名
  宇佐美尚人、太田悦子、肥後昭男、百瀬健、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、19am3-PS3-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] モノリシック高電圧駆動回路集積CMOS-MEMS 電気浸透流マイクロポンプ2019
- 著者名/発表者名
  岡本有貴、良尊弘幸、藤本興治、大場隆之、三田吉郎
- 学会等名
  第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2019、アクトシティ浜松、静岡県、19pm3-T-3
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 産学連携とナノテクプラットフォームで拓く集積化高感度超音波プローブの研究2019
- 著者名/発表者名
  三田吉郎, 吉村武, 水野隆, 鈴木謙次, 中山雄太, 遠藤登喜子
- 学会等名
  第32回回路とシステムワークショップ、22 - 23 Aug. 2019、東京電機大学、東京都、A2-1、pp. 77 - 79
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] In-Plane SOI MEMS as a Mechanical Material for Time and Frequency Studies on Vibration2018
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Eric Lebrasseur, and Akio Higo
- 学会等名
  European Workshop on Microelectroincs Education (EWME 2018), 24-26 Sep, Braunschweig Germany
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 機械的混合加振による圧電薄膜アクチュエータ集積2軸MEMS光スキャナ2018
- 著者名/発表者名
  稲垣俊典、岡本有貴、肥後昭男、三田吉郎
- 学会等名
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2018、札幌国際会議場、北海道、01pm1-PS-185
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Agile-Style Development of CMOS-Integrated Micro Electro Chemical Mechanical Systems by LSI Foundry and Nanotechnology Platform2018
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Eric Lebrasseur, Matthieu Denoual, Kentaro Yamada, Julien Grand, Yuki Okamoto, Rangareddygari Ranga Reddy, Tixier-Mita Agnes, Svetlana Mintova, and Akio Higo
- 学会等名
  International Symposium on Electronics and Smart Devices (ISESD 2018), 23-24, October, Bandung, Indonesia,
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 超臨界流体を用いたシリコン酸化膜上への銅薄膜直接成膜技術による高アスペクト比ナノ開口構造の埋め込みの実現2018
- 著者名/発表者名
  宇佐美尚人, 肥後昭男、太田悦子、三田吉郎
- 学会等名
  第35回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、19 - 21 Nov. 2018、札幌国際会議場、北海道、01pm1-PS-183
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] An arrayed test structure for transistor damage assessment induced by circuit analysis and repairing processes with back-side-accessing Focused Ion Beam2017
- 著者名/発表者名
  Naoto Usami, Jun Kinoshita, Rimon Ikeno, Yuki Okamoto, Masaaki Tanno, Kunihiro Asada and Yoshio Mita
- 学会等名
  2017 IEEE Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] "Yes We Can" - A Short-Cut Research and Development of Miniaturized Smart Devices and Sensors through Open Facility on MEMS Integrated VLSI (Keynote Speech)2017
- 著者名/発表者名
  Mita Yoshio
- 学会等名
  2017 IEEE International Symposium on Electronics and Smart Devices (ISESD)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Visualizing is Believing - Test Strucutures for Deep-Etched High Aspect Ratio MEMS Process and Device Characterization (Invited)2017
- 著者名/発表者名
  Mita Yoshio
- 学会等名
  10th IEEE/ACM Workshop on Variability, Modeling, and Characterization (VMC), Irvine, CA, USA
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 集積化MEMS の未来を拓くナノテクノロジープラットフォーム-新機能・高信頼センサシステムの実現とその課題〜(招待講演)2017
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  日本画像学会2017年度関東シンポジウム 2017年12月12日発明会館、東京
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Test Structures for Nano-Gap Fabrication Process Development for Nano-Electromechanical Systems2017
- 著者名/発表者名
  Stewart Smith, Yudai Takeshiro, Yuki Okamoto, Jonathan G. Terry, Anthony J. Walton, Rimon Ikeno, Kunihiro Asada and Yoshio Mita
- 学会等名
  2017 IEEE Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS 2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] IoT-MEMSに適した非接触エネルギー伝送手法の研究2017
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  エイトラムダフォーラム2017第4回会合、2017年12月14日フォレスト本郷
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Integration of a photovoltaic remote driver with high-voltage MEMS using standard CMOS technology (Invited Talk)2017
- 著者名/発表者名
  Mita Yoshio
- 学会等名
  Journee Nationale de la Technologie Emergente (CNRS-RENATECH), 20-22, Novemberm Orleans, France (2017.11.22)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Introduction to Electronic Information Devices - Try-by-yourself-style lecture on autonomous electronic devices2016
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita and Yoshihiro Kawahara
- 学会等名
  European Workshop on Microelectroincs Education (EWME 2016)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] 集積化CMOS-MEMSによる高機能流体素子とその展開-VDECとナノテクPFが拓く短TAT試作研究の試み2016
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  アドバンテスト展2016
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] An End-point Visualization Test Structure for All Plasma Dry Release of Deep-RIE MEMS2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Okamoto, Eric Lebrasseur, Isao Mori, and Yoshio Mita
- 学会等名
  IEEE 2016 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  メルパルク横浜,神奈川県横浜市
- 年月日
  2016-03-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Microfabricated test structures for thermal resonant gas sensor2016
- 著者名/発表者名
  Matthieu Denoual, M. Pouliquen, Julien Grand, Hussein Awala, Sveltana Mintova, O. de Sagazan, Shu Inoue, Agnes Tixier-Mita, Yoshio Mita, and D. Robbes
- 学会等名
  IEEE 2016 International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  メルパルク横浜,神奈川県横浜市
- 年月日
  2016-03-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Demonstration of 0-30V Comb-Drive MEMS Actuator by integrated switching circuit with post-mesa-isolated standard 5V CMOS transistors2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Okamoto, Isao Mori, and Yoshio Mita
- 学会等名
  Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), Budapest, Hungary
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] エネルギー自立IoTデバイス向け電圧・電流プログラマブル太陽電池アレイ2016
- 著者名/発表者名
  竹城雄大、岡本有貴、三田吉郎
- 学会等名
  、LSIとシステムのワークショップ2016
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Hotspot liquid microfluidic cooling: comparing the efficiency between horizontal flow and vertical flow2016
- 著者名/発表者名
  Yuki Okamoto, Hiroyuki Ryoson, Koji Fujimoto, Keiji Honjo, Takayuki Ohba, and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 16th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications, Paris, France
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H04345
[学会発表] Zeolite-trench-embedded micro cantilevers for CMOS strain-gauge integrated gas sensors2015
- 著者名/発表者名
  Shu Inoue, Ryota Setoguchi, Matthieu Denoual, Sveltana Mintova, and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  札幌コンベンションセンター,北海道札幌市
- 年月日
  2015-09-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] A Strain-Sensor-Integrated Test Bed for Electro Mechanical Characterization of VLSI Probe2015
- 著者名/発表者名
  Ryota Setoguchi, Eric Lebrasseur, Masanori Kubota, and Yoshio Mita
- 学会等名
  Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP)
- 発表場所
  Montpellier, France
- 年月日
  2015-04-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Wireless Drive of A Mems Ciliary Motion Actuator via Coupled Magnetic Resonances using Micro Inductors2015
- 著者名/発表者名
  Naoyuki Sakamoto, Antoine Frappe, Bruno Stefanelli, Andreas Kaiser and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
- 発表場所
  Anchorage, USA
- 年月日
  2015-06-21
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Discharging-Phototransistor-Integrated High-Voltage Si Photovoltaic Cells for Fast Driving of an Electrostatic MEMS Actuator byWavelength Modulation2015
- 著者名/発表者名
  Isao Mori and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 2015 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  札幌コンベンションセンター,北海道札幌市
- 年月日
  2015-09-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] An Integrated CMOS-MEMS Probe having Two-Tips per Cantilever for Individual Contact Sensing and Kelvin Measurement with Two Cantilevers2013
- 著者名/発表者名
  Kota Hosaka, Satoshi Morishita, Isao Mori, Masanori Kubota, and Yoshio Mita
- 学会等名
  25th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  大阪大学中之島センター, 大阪
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Evaluation of silicon fracture strength dependence on stealth dicing layers for "cleave-before-use" MEMS FREESTANDING cantilever probes2013
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Kota Hosaka, Masakazu Sugiyama, and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '13)
- 発表場所
  Barcelona, Spain
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] 省電力・長寿命MEMSメモリを目指すマイクロラッチ機構設計と作製2013
- 著者名/発表者名
  米田佳祐,久保田雅則,ティクシェ三田アニエス,森下賢志,森功,保坂航太,三田吉郎
- 学会等名
  電子情報通信学会LSIとシステムのワークショップ2013
- 発表場所
  北九州国際会議場, 福岡
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Experimental Evaluation of High Voltage Hold-off Capability of Post-Mesa-Isolated Standard CMOS Devices2013
- 著者名/発表者名
  Atsushi Hirakawa, Satoshi Morishita, Isao Mori, Masanori Kubota, and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '13)
- 発表場所
  Barcelona, Spain
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Integration of EWOD Pumping Device in Deep Microfluidic Channels using a Three-Dimensional Shadowmask2012
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, Masanori Kubota, and Yoshio Mita,
- 学会等名
  IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2012)
- 発表場所
  Paris, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] A 50 nm-Wide 5 μm-Deep Copper Vertical Gap Formation Method by a Gap-Narrowing Post-Process with Supercritical Fluid Deposition for Pirani Gauge Operating over Atmospheric Puressure2012
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Yoshio Mita, Takeshi Momose, Aiko Kondo, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano, Masakazu Sugiyama
- 学会等名
  IEEE International Conference on Micro ElectroMechanical Systems (MEMS 2012)
- 発表場所
  Paris, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Integration of EWOD Pumping Device in Deep Microfluidic Channels using a Three-Dimensional Shadowmask2012
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, Masanori Kubota, Yoshio Mita
- 学会等名
  IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2012)
- 発表場所
  Paris, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Blur-Range Test Structure of Collimation-Controller-Integrated Silicon Shadow Mask for Three-Dimensional Surface Patterning with Sputtering2012
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, Masanori Kubota, Yoshio Mita
- 学会等名
  25th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  San Diego, CA, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Blur-Range Test Structure of Collimation-Controller-Integrated Silicon Shadow Mask for Three-Dimensional Surface Patterning with Sputtering2012
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, Masanori Kubota, and Yoshio Mita,
- 学会等名
  25th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] A 50 nm-Wide 5 um-Deep Copper Vertical Gap Formation Method by a Gap-Narrowing Post-Process with Supercritical Fluid Deposition for Pirani Gauge Operating over Atmospheric Puressure2012
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Yoshio Mita, Takeshi Momose, Aiko Kondo, Yukihiro Shimogaki, Yoshiaki Nakano and Masakazu Sugiyama
- 学会等名
  IEEE International Conference on MicroElectroMechanical Systems (MEMS 2012)
- 発表場所
  Paris, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Value-Added VLSI devices by MEMS technology2011
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Satoshi Morishita, Isao Mori, and Masanori Kubota,
- 学会等名
  AWAD 2011
- 発表場所
  Daejeon, Korea
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] オンチップ光発電回路とMEMSの集積化研究動向2011
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  電子情報通信学会ソサイアティ大会
- 発表場所
  札幌,北海道,日本(招待講演)
- 年月日
  2011-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] MEMS-integrated VLSI Foundry Scheme in the University of Tokyo VDEC and its Application to Particle Sensor2011
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita
- 学会等名
  International Workshop on High Energy Geophysics 2011-Muon and Neutrino Radiography
- 発表場所
  Happon-en, Tokyo, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Monolithically-Integrated, Batch Post-Processed 17.8 V Silicon Solar Cell for Remote MEMS Driving2011
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Satoshi Morishita, Masanori Kubota, Kentaroh Watanabe, Yoshio Mita
- 学会等名
  The 2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Monolithically-Integrated, Batch Post-Processed 17.8 V Silicon Solar Cell for Remote MEMS Driving2011
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Satoshi Morishita, Masanori Kubota, Kentaroh Watanabe and Yoshio Mita
- 学会等名
  2011 International Conference on Solid State Devices and Materials
- 発表場所
  Nagoya, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Value-Added VLSI devices by MEMS technology2011
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Satoshi Morishita, Isao Mori, and Masanori Kubota
- 学会等名
  AWAD 2011
- 発表場所
  Daejeon, Korea(Invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] More-than-VLSI Devices by MEMS Deep Etching Technology2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita
- 学会等名
  IEICE ICD symposium in Vietnam (ICDV)
- 発表場所
  Ho Chi Minh City, Vietnam(招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Bridge-Connected Isolated Silicon Islands Post-Processing Method for Fine-Grain-Integrated±10V-Operating CMOS-MEMS by Standard 5V CMOS Process Technology2010
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, Masanori Kubota, Isao Mori, Kunihiro Asada, Frederic Marty, Yosbio Mita
- 学会等名
  Micromecanics and Microengineering Europe 2010
- 発表場所
  Enschede, Netherlands
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] "More-than-VLSI" Devices by MEMS Deep Etching Technology2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita
- 学会等名
  IEICE ICD symposium in Vietnam (ICDV)
- 発表場所
  Ho Chi Minh City, Vietnam(Invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A bulk micromachined vertical nano-gap Pirani wide-range pressure test structure for MEMS-integration2010
- 著者名/発表者名
  Masanori Kubota, Yoshio Mita, Masakazu Sugiyama, and Yoshiaki Nakano
- 学会等名
  23^<rd> IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  Hiroshima, Japan(pp.14-17)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Bridge-Connected Isolated Silicon Islands Post-Processing Method for Fine-Grain-Integrated ±10V-Operating CMOS-MEMS by Standard 5V CMOS Process Technology2010
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, Masanori Kubota, Isao Mori, Kunihiro Asada, Frederic Marty, and Yoshio Mita
- 学会等名
  21^<st> Workshop on Micromechanics and Microsystems Workshop, (MME 2010)
- 発表場所
  Enschede, Netherlands(A08 pp.48-51)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Methode d'lsolation a Posteriori des Composants Electronique Integre sur Puce Silicium2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Satoshi Morishita, Isao Mori, Masanori Kubota, Frederic Marty, Kunihiro Asada
- 学会等名
  Journee Francophone de la Recherche(フランス語による科学シンポジウム)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2010-11-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Autonomous Distributed MEMS Robots as Technology Drivers2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita
- 学会等名
  Japan-France Frontiers of Engineering (JFFoE)
- 発表場所
  Grenoble, France(招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Balanced-SeeSaw MEMS Swing Probe for Vertical Profilometry of Deep Micro Structures2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Jean-Bernard Pourciel, Masanori Kubota, Agnes Tixier-Mita, Satoshi Morishita, Takahisa Masuzawa
- 学会等名
  23rd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  Hiroshima, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Balanced-SeeSaw MEMS Swing Probe for Vertical Profilometry of Deep Micro Structures2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Jean-Bernard Pourciel, Masanori Kubota, Agnes Tixier-Mita, Satoshi Morishita, and Takahisa Masuzawa
- 学会等名
  23rd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  Hiroshima, Japan(pp.58-63)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Autonomous Distributed MEMS Robots as Technology Drivers2010
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita
- 学会等名
  Japan-France Frontiers of Engineering (JFFoE)
- 発表場所
  Grenoble, France(Invited)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A bulk micromachined vertical nano-gap Pirani wide-range pressure test structure for MEMS-integration2010
- 著者名/発表者名
  Masanori KUBOTA, Yoshio MITA, Masakazu SUGIYAMA, Yashiaki NAKANO
- 学会等名
  23rd IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  Hiroshima, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A CMOS Compatible Low Temperature Process for Photonic Crystal MEMS Scanner2009
- 著者名/発表者名
  K. Takahashi, I. W. Jung, A. Higo, Yoshio Mita, H. Fujita, H. Toshiyoshi, and O. Solgaard
- 学会等名
  IEEE/LEOS International Conference On Optical MEMS and Their Applications (OMEMS 2009)
- 発表場所
  (pp.77-78)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Curvature Controlled Flexible Silicon Micro Electrode Array to Wrap Neurons for Signal Analysis2009
- 著者名/発表者名
  Jun-Hyoung Kim, Masanori Kubota, Akio Higo, Hideki Abe, Yoshitaka Oka, Yoshio Mita
- 学会等名
  The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Three-Dimensional Silicon Shadowmask for Patterning On Trenches with Vertical Walls", The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems2009
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, JunHyong Kim, Frederic Marty, Yifan Li, Anthony J.Walton, Yoshio Mita
- 学会等名
  The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A CMOS Compatible Low Temperature Process for Photonic Crystal MEMS Scanner2009
- 著者名/発表者名
  K.Takahashi, I.W.Jung, A.Higo, Y.Mita, H.Fujita, H.Toshiyoshi, O.Solgaard
- 学会等名
  IEEE/LEOS International Conference On Optical MEMS and Their Applications (OMEMS 2009)
- 発表場所
  Florida, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] 高機能ＭＥＭＳ三次元構造形成のためのプロセス技術2009
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  応用物理学会秋季全国大会
- 発表場所
  (招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] An Active Swing Probing Method for High Aspect Ratio Deep Hole Profiler2009
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Jean-Bernard Pourciel, Masanori Kubota, Akio Higo, Shaojun Ma, Satoshi Morishita, Masakazu Sugiyama, and Takahisa Masuzawa
- 学会等名
  20^<th> Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, (MME 2009)
- 発表場所
  Toulouse, France(D12)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] An Active Swing Probing Method for High Aspect Ratio Deep Hole Profiler2009
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Jean-Bernard Pourciel, Masanori Kubota, Akio Higo, Shaojun Ma, Satoshi Morishita, Masakazu Sugiyama, Takahisa Masuzawa
- 学会等名
  20th Workshop on Micromachining, Micromechanics and Microsystems, (MME 2009)
- 発表場所
  Toulouse, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] 高機能MEMS三次元構造形成のためのプロセス技術2009
- 著者名/発表者名
  三田吉郎
- 学会等名
  応用物理学会秋季全国大会
- 発表場所
  Kumamoto, Japan(招待講演)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] La Methode "Swing-Probing" Pour la Profilom\`etrie de Microtrous Tr\`es Profonds2009
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Jean-Bernard Pourciel, Masanori Kubota, Shaojun Ma, Akio Higo, Agnes Tixier-Mita, Satoshi Morishita, Masakazu Sugiyama, et Takahisa Masuzawa
- 学会等名
  Journee Francophone de laRecherche (フランス語による科学シンポジウム)
- 発表場所
  Maison Franco-Japonaise, Tokyo, Japon
- 年月日
  2009-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] La Methode "Swing-Probing" Pour la Profilometrie de Microtrous Tres Profonds2009
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Jean-Bernard Pourciel, Masanori Kubota, Shaojun Ma, Akio Higo, Agnes Tixier-Mita, Satoshi Morishita, Masakazu Sugiyama, et Takahisa Masuzawa
- 学会等名
  Journee Francophone de la Recherche(フランス語による科学シンポジウム)
- 発表場所
  Tokyo, Japan
- 年月日
  2009-11-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Three-Dimensional Silicon Shadowmask for Patterning On Trenches with Vertical Walls2009
- 著者名/発表者名
  Satoshi Morishita, JunHyong Kim, Frederic Marty, Yifan Li, Anthony J. Walton, and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 15^<th> International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA(pp.1608-1611)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] A Curvature Controlled Flexible Silicon Micro Electrode Array to Wrap Neurons for Signal Analysis2009
- 著者名/発表者名
  Jun-Hyoung Kim, Masanori Kubota, Akio Higo, Hideki Abe, Yoshitaka Oka, and Yoshio Mita
- 学会等名
  The 15^<th> International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '09)
- 発表場所
  Denver, USA(pp.1810-1813)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Vision stereo pour la d'etection d'obstacles vulnerables : methode de≪recherche du voisin≫pour l'amelioration de la precision de mise en corresnondance2008
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, L.Bouraou et M.Parent
- 学会等名
  Journee Francophone de la Recherche
- 発表場所
  東京(日本)
- 年月日
  2008-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] 柔らかいシリコンマイクロ構造とその神経信号解析への応用2008
- 著者名/発表者名
  金俊亨、久保田雅則、肥後昭男、三田吉郎
- 学会等名
  応用物理学会第二回集積化MEMS技術研究会
- 発表場所
  東京大学(研究奨励賞受賞)
- 年月日
  2008-11-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Surface Corrugated P-N Junction on Deep Submicron Trenches for Polarization Detection With Improved Efficiency2008
- 著者名/発表者名
  Yoshiaki Imai, Yoshio Mita, Kenichiro Hirose, Masanori Kubota and Tadashi Shibata
- 学会等名
  Asia-Pacific Conference of Transducers (APCOT)
- 発表場所
  Taiwan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Vision stereo pour la detection d'obstacles vulnerables: methode de 《recherche du voisin》 pour l'amelioration de la precision de mise en correspondance(仏語)2008
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, L.Bouraoui et M.Parent
- 学会等名
  Journee Francophone de la Recherche(フランス語による化学シンポジウム)
- 発表場所
  東京(日本)
- 年月日
  2008-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] Wireless Driven EWOD Technology for MEMS Pond Skater Application2008
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Yifan Li, Masanori Kubota, William Parkes, Leslie I. Haworth, Brian W. Flynn, Jonathan G. Terry, T.B. Tang, Alec Ruthven, Stewart Smith, and Anthony J. Walton
- 学会等名
  38^<th> European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC 2008)
- 発表場所
  Edinburgh, UK, (pp.306-309)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20686024
[学会発表] UTokyo VDEC’s CMOS-MEMS Technology via Nanotechnology Platform for Prospective Integrated Magnetic Sensor
- 著者名/発表者名
  Yoshio Mita, Eric Lebrasseur, Tomoki Sawamura, Naoko Kondo, and Kunihiro Asada
- 学会等名
  20th IMEKO TC4 International Symposium and 18th International Workshop on ADC Modelling and Testing Research on Electric and Electronic Measurement for the Economic Upturn
- 発表場所
  Benevento, Italy
- 年月日
  2014-09-15 – 2014-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] A Test Structure of Bypass Diodes for On-chip High-Voltage Silicon Photovoltaic Cell Array
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Masanori Kubota and Yoshio Mita
- 学会等名
  2014 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS)
- 発表場所
  Udine, Italy
- 年月日
  2014-03-24 – 2014-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] Remote power feed and control of MEMS with 58 V silicon photovoltaic cell made by a CMOS post-process dry release and device isolation method
- 著者名/発表者名
  Isao Mori, Masanori Kubota, Eric Lebrasseur, Yoshio Mita,
- 学会等名
  Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2014)
- 発表場所
  Cannes, France
- 年月日
  2014-04-01 – 2014-04-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053
[学会発表] "MEMS de Piano" - an Experimental Course of Design, Fabrication, and Testing of MEMS Oscillator
- 著者名/発表者名
  Yoshio MITA, Masanori KUBOTA, Matthieu DENOUAL, Eric Lebrasseur, and Tomoki Sawamura
- 学会等名
  10th European Workshop on Micoelectronics Education (EWME 2014)
- 発表場所
  Tallinn, Estonia
- 年月日
  2014-05-10 – 2014-05-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23686053

1. 柴田直 (00187402)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 11件
2. J・J Delaunay (80376516)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
3. 岡本美孝 (40169157)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 田畑仁 (00263319)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 鈴木雄二 (80222066)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 日高邦彦 (90181099)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
7. 熊田亜紀子 (20313009)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
8. 松岡成居 (10114646)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 小西邦昭 (60543072)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
10. 江澤雅彦 (10504805)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件
11. 高野恭弥 (10822801)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

三田 吉郎 Mita Yoshio

研究課題

研究成果

共同研究者

サブテラヘルツ電磁波利用を拓く高出力・高集積ｚ軸集積回路の設計試作学術基盤の構築研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

トポロジカルMEMS工学の創生

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

誘電体ナノメンブレン人工構造を用いた真空紫外コヒーレント光源技術の開拓

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

シリコン微細構造と有機素材の融合による液浸センサプラットフォームの学術基盤開拓研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

Plasmonic nanostructures realizing miniaturized infrared spectrometric image-array-sensor for endoscopy

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高耐圧化ＣＭＯＳ回路のＭＥＭＳ集積で創るエネルギー自立型分散水上走行素子研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

深掘りMEMSトレンチ受光素子集積化初期視覚処理プロセッサと動体検出応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

集積回路技術を活用した高時間・高空間分解アレイ型表面電荷密度分布センサの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

LSI情報処理回路と集積化したMEMSナノプローブによる放電電荷分布の高精細測定研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

動画像より物体の動きの意味を抽出する行動分析VLSIイメージセンサ・システム

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

知覚情報処理回路の配線爆発を解消するMEMS融合型VLSI研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

意識下の情報処理をアナログ・デジタル融合演算で実現する心理学的脳モデルVLSI

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

多重解像度νMOSピクレット抽出器を用いた知的画像認識ハードウェアの研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

三田吉郎 Mita Yoshio