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マティアル R・ハウラダル  HOWLADER Matiar R

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

ハウラダル マティアル R  ハウラダル マティアル R

HOWLADER M. M. R.  ハウラダル エムエムアール

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研究者番号 40334354
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2006年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教授
2004年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
2002年度 – 2003年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 寄付研究部門教員
2001年度: 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教員
審査区分/研究分野
研究代表者以外
マイクロ・ナノデバイス / 理工系
キーワード
研究代表者以外
イオン衝撃 / 表面活性化 / ウエハ接合 / 常温接合 / nitrogen radical / ion irradiation / silicon direct bonding / wafer bonding / surfaace activation / room temperature bonding … もっと見る / low temperature bonding / plasma activation / 気密封止 / ガラス接合 / 表件活性化 / 酸素ラジカル / サファイア接合 / シリコン接合 / タンタル酸リチウム / 酸素プラズマ / 窒素ラジカル / シリコン直接接合 / 低温接合 / プラズマ活性化 / 接合 / 水素ラジカル / 異種半導体接合 / マイクロシステム / 接触率 / バンプ / 接合面積 / 接触解析 / FEM 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 研究成果

    (38件)
  • 共同研究者

    (4人)
  •  常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ

    • 研究代表者
      須賀 唯知
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      マイクロ・ナノデバイス
    • 研究機関
      東京大学
  •  常温接合によるマイクロシステムインテグレーション

    • 研究代表者
      須賀 唯知
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      東京大学

すべて 2007 2006 2005 2004 その他

すべて 雑誌論文

  • [雑誌論文] Surface Activated Bonding Method for Flexible Lamination2007

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga
    • 雑誌名

      International IEEE Conference on Polymers and Adhesives in Microelectronics and Photonics (Polytronic 2007), 6th

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] A Novel Method for Bonding of Ionic Wafers at Room Temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga
    • 雑誌名

      IEEE, Electronic Components & Technology Conf. (ECTC), 56th., Proceedings. May 31

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] A Novel Method for Bonding of Ionic Wafers at Room Temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga
    • 雑誌名

      IEEE, Electronic Components & Technology Conf.(ECTC), 56th.Proceedings May31

      ページ: 552-558

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] A Novel Method for Bonding of Ionic Wafers at Room Temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, T. Suga
    • 雑誌名

      IEEE, Electronic Components & Technology Conf.(ECTC), 56th. Proceedings. May 31

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] SAB Method for Bonding of Ionic Wafers at Room Temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga
    • 雑誌名

      Int. Conf. on Electronics Packaging (ICEP2006), Proceedings. Apr. 19-21

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Room temperature wafer level glass-glass bonding2006

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, S. Suehara, T. Suga
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A127

      ページ: 31-31

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Room temperature wafer level glass-glass bonding2006

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, S.Suehara, T.Suga
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A127

      ページ: 31-36

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] SAB Method for Bonding of Ionic Wafers at Room Temperature2006

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga
    • 雑誌名

      Int.Conf.on Electronics Packaging (ICEP2006), Proceedings Apr.19-21

      ページ: 342-347

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Room temperature microfluidics packaging using sequential plasma activation process2005

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, S.Suehara, H.Takagi, T.H.Kim, R.Maeda, T.Suga
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Advanced Packaging

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Sequential Plasma Activation Process for Microfluidics Packaging at Room Temperature2005

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, S.Suehara, T.H.Kim, T.Suga
    • 雑誌名

      Proc.Electronic Component and Technology Conference 55

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Combined Process of Radical and RIE for Si Direct Bonding2005

    • 著者名/発表者名
      H. Itoh, M. M. R. Howlader, H. Li, T. Suga, M. J. Kim
    • 雑誌名

      Proc. International Conference on Electronics Packaging ICEP 13-15/4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surface activated bonding for MEMS and microfluidics2005

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, S. Suehara, H. Takagi, R. Maeda, and T. Suga
    • 雑誌名

      Proc. Int. Symposium on Wafer Bonding 8

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surface activated bonding for MEMS and microfluidics2005

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, S.Suehara, H.Takagi, R.Maeda, T.Suga
    • 雑誌名

      Proc.Int.Symposium on Wafer Bonding 8

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Room temperature microfluidics packaging using sequential plasma activation process2005

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, S. Suehara, H. Takagi, T. H. Kim, R. Maeda, T. Suga
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Advanced Packaging

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Room temperature microfiuidics packaging using sequential plasma activation process2005

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, S.Suehara, H.Takagi, T.H.Kim, R.Maeda, and T.Suga
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Advanced Packaging

      ページ: 446-456

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Bonding Processes and Mechanisms for Ionic and Piezoelectric Wafers2005

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, T. Suga
    • 雑誌名

      Proc. International Conference on Electronics Packaging ICEP 13-15/4

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Combined Process of Radical and RIE for Si Direct Bonding2005

    • 著者名/発表者名
      H.Itoh, M.M.R.Howlader, H.Li, T.Suga, M.J.Kim
    • 雑誌名

      Proc.International Conference on Electronics Packaging ICEP

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Sequential Plasma Activation Process for Microfluidics Packaging at Room Temperature2005

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, S. Suehara, T. H. Kim, T. Suga
    • 雑誌名

      Proc. Electronic Component and Technology Conference 55

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Combined Process of Radical and RIE for Si Direct Bonding2005

    • 著者名/発表者名
      H.Itoh, M.M.R.Howlader, H.Li, T.Suga, M.J.Kim
    • 雑誌名

      Proc.International Conference on Electronics Packaging ICEP 13-15/4

      ページ: 94-99

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Room temperature wafer level glass/glass bonding2005

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, S.Suehara, T.Suga
    • 雑誌名

      Sensors and Actuators A

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Wafer level and chip size direct wafer bondingat room temperature2004

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga, Moon J Kim
    • 雑誌名

      206th Electrochemical Society Meeting 3-8/10

      ページ: 150-160

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surface activated bonding for wafer scale glass/glass integration2004

    • 著者名/発表者名
      T.Suehara, M.M.R.Howlader, T.H.Kim.T.Suga
    • 雑誌名

      ECS, Int.Semiconductor Technology Conf., 3rd., (ISTC2004), Proceedings 15-17/9

      ページ: 424-431

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Wafer level surface activatedbonding tool for MEMS packaging2004

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, H.Okada, T. H. Kim, T. Itoh, T. Suga
    • 雑誌名

      Journal of Electrochemical Society 151

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surface activated bonding for microelectronics and MEMSpackaging2004

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga
    • 雑誌名

      The Electrochemical Society International Semiconductor Technology Conference

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Wafer level andchip size direct wafer bondingat room temperature2004

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, T. Suga, Moon J Kirn
    • 雑誌名

      206th Electrochemical Society Meeting 3-8/10

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Lamination and de-laminationprocesses for Cu/LCP for electronic packaging2004

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, K.Nanbu, T.Saizou, T.Suga
    • 雑誌名

      The Eleventh International Conference on Intergranular and Inetrphase Boundaries.

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Oxidation behavior of leadfree solder bumps and their bonding characteristics2004

    • 著者名/発表者名
      H. Ozawa, M. M. R. Howlader, M. Satou, H. Ozaki, T. Suga
    • 雑誌名

      14th Micro Electronics Symposium(MES) of Japan, Institute for Electronics Packaging

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Oxidation behavior of leadfree solder bumps and their bonding characteristics2004

    • 著者名/発表者名
      H.Ozawa, M.M.R.Howlader, M.Satou
    • 雑誌名

      14th Micro Electronics Symposium (MES) of Japan institute for Electronics Packaging

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Wafer level surface activatedbonding tool for MEMS packaging2004

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, H.Okada, T.H.Kim, T.Itoh, and T.Suga
    • 雑誌名

      Journal of Electrochemical Society 151

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surface activated bonding formicroelectronics and MEMSpackaging2004

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, T. Suga
    • 雑誌名

      ECS, Int. Semiconductor Technology Conf. 3rd.(ISTC2004) 15-17/9(Proceedings)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Sequential activation process for silicon direct bonding2004

    • 著者名/発表者名
      T. H. Kim, M. M. R. Howlader, T. Suga
    • 雑誌名

      The 4th International Conference on Alternative Substrate Technology 21-25/3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surface activated bonding for wafer scale glass/glass integration2004

    • 著者名/発表者名
      T. Suehara, M. M. R. Howlader, T. H. Kim, T. Suga
    • 雑誌名

      ECS, Int. Semiconductor Technology Conf., 3rd.,(ISTC20O4) 15-17/9(Proceedings)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Oxidation behavior of leadfree solder bumps and their bonding characteristics2004

    • 著者名/発表者名
      H.Oaawa, M.M.R.Howlader, M.Satou, H.Ozaki, T.Suga
    • 雑誌名

      14th Micro Electronics Symposium(MES)of Japan, Institute for Electronics Packaging

      ページ: 129-132

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Wafer level surface activatedbonding tool for MEMS packaging2004

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, H.Okada, T.H.Kim, T.Itoh, T.Suga
    • 雑誌名

      Journal of Electrochemical Society 151

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] MEMS packagingusing room temperature wafer bonding2004

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, T. H. Kim, T. Suga
    • 雑誌名

      The 4th International Conference on Alternative Substrate Technology 21-25/3

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Wafer level and chip size direct wafer bondingat room temperature2004

    • 著者名/発表者名
      M.M.R.Howlader, T.Suga, Moon J Kim
    • 雑誌名

      206th Electrochemical Society Meeting

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] Surfaceactivated bonding for Sn-Ag and their oxidation mechanism2004

    • 著者名/発表者名
      Y.Wang, M.M.R.Howlader, N.Hosoda.K, Okamoto, T.Suga.M.
    • 雑誌名

      The Electrochemical Society International Semiconductor Technology Conference

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • [雑誌論文] SAB Method for Bonding of Ionic Wafers at Room Temperature

    • 著者名/発表者名
      M. M. R. Howlader, T. Suga
    • 雑誌名

      Int. Conf. on Electronics Packaging(ICEP2006), Proceedings. Aor 2006

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16201028
  • 1.  須賀 唯知 (40175401)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 37件
  • 2.  日暮 栄治 (60372405)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  伊藤 寿浩 (80262111)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  細田 直江 (50280954)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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