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Japanese Journal of Applied Physics
巻: - 号: SD ページ: SD1027-SD1027
10.35848/1347-4065/ac5d12
巻: - 号: 6 ページ: 065507-065507
10.35848/1347-4065/ac6a97
Journal of Medical Devices
巻: 15 号: 3 ページ: 31011-31011
10.1115/1.4051516
巻: 60 号: SC ページ: SCCB01-SCCB01
10.35848/1347-4065/abe683
電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
巻: 141 号: 9 ページ: 304-309
10.1541/ieejsmas.141.304
130008082227
Precision Engineering
巻: 62 ページ: 106-112
10.1016/j.precisioneng.2019.11.006
International Journal of Automation Technology
巻: 9 ページ: 662-667
130007673787
IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering
巻: Vol.8,No2 号: 2 ページ: 199-205
10.1002/tee.21840
Materials Science and Engineering : A
巻: Vol.541 ページ: 8-13
10.1016/j.msea.2012.01.075
IEICE Electronics Express
巻: 9 号: 5 ページ: 403-409
10.1587/elex.9.403
130001922362
巻: vol.50 号: 6R ページ: 066601-066601
10.1143/jjap.50.066601
210000070642
Applied Physics Express
巻: 50 号: 5R ページ: 055601-055601
10.1143/jjap.50.055601
40018812643
巻: vol.35No.4 号: 4 ページ: 537-546
10.1016/j.precisioneng.2011.05.004
巻: 3 号: 12 ページ: 125601-125601
10.1143/apex.3.125601
10027618627
巻: 3 ページ: 1256011-3
Applied Physics Express 3
ページ: 125601-125601
Materials Science Forum
巻: 654-656 ページ: 2426-2429
Journal Solid Mechanics and Materials Engineering 4
ページ: 1742-1753
130000421002
Journal Solid Mechanics and Materials Engineering
巻: 4 ページ: 1742-1753
Key Eng.Mater.
巻: 447-448 ページ: 661-665
巻: 654-656 ページ: 1066-1069
Jpn.J.Appl.Phys.
巻: 49 ページ: 0766011-7
Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 3
ページ: 1022-1032
130000127309
Applied Physics Express 2(in press)
10025085461
Precision Engineering (Available online)
Jpn. J. Appl. Phys 48
Applied Physics Express 2
ページ: 36501-36501
材料 58
ページ: 821-826
130000133210
Jpn. J. Appl. Phys. 48
ページ: 25503-25503
精密工学会誌 74
ページ: 252-263
Materials Science & Engineering B 148
ページ: 149-153
日本機械学会論文集(C編) 74
ページ: 1020-1025
110006655873
ページ: 252-257
110006647628
精密工学会誌 37
ページ: 254-257
ページ: 387-395
130000667672
日本機械学会論文集C編 74
Applied Surface Science 254
ページ: 720-724
Jpn. J. Applied Physics 46・No. 4A
ページ: 1590-1595
10018901041
Jpn. J. Appl. Phys 46
ページ: 738-742
Jpn.J.Appl.Phys. 45・4A
40007227498
Book of Abstracts in 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science & Technology
ページ: 41-41
ページ: 63-63
Jpn. J. Applied Physics 45. No4
ページ: 2708-2713
Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)
Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005
ページ: 479-482
Proc. of 2005 MRS Fall Metting (CD-ROM)
2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集
Proceedings of 2005 spring meeting of JSPE
ページ: 477-478
Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)
日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集
ページ: 18-19
2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
130004657459
Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11,Boston, MA, USA) (accept)
The 11th young scientist forum of the Iron and Steel Institute of Japan
Proceedings of 2005 Autumn JSAP annual meeting
2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
ページ: 555-556
130004655626
Proceedings of 2004 fall meeting of JSPE
Proc.Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems CD-ROM
Proc. of SPIE Micro- and Nanotechnology : Materials, Processes, Packaging, and Systems II
ページ: 260-267
Proceedings of JMRS
ページ: 541-541
Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE
ページ: 575-575
2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
ページ: 391-391
130005026769
Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (CD-ROM)
Micro System Technology 2003
ページ: 180-187
130005026971
日本金属学会講演概要
Micro System Technology 2003 (MST '03) (2003.10.7-8 Munich, Germany)
Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)
Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005 (2005.1. Miami, USA)
Proc.of SPIE Micro- and Nanotechnology : Materials, Processes, Packaging, and Systems II (2004.12. Sydney, Australia)
Jpn. J. Appl. Phys. (in press)
Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM'03) (2003.9.10-12 Nagoya, Japan) (CD-ROM)
Jpn.J.Appl.Phys. (in press)