神村共住 Kamimura Tomosumi

研究者番号	40353338
所属 (現在)	2025年度: 大阪工業大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2017年度 – 2021年度: 大阪工業大学, 工学部, 教授 2015年度 – 2016年度: 大阪工業大学, 工学部, 准教授
審査区分/研究分野	研究代表者小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連研究代表者以外無機工業材料 / 光工学・光量子科学 / 物性Ⅰ
キーワード	研究代表者剥離効率 / レジスト除去技術 / レジスト剥離メカニズム / レジスト剥離現象 / オゾンマイクロバブル水 / オゾン水 / オゾンマクロバブル / 有限要素法解析 / 高速イメージング / レジスト剥離 / レーザー照射 … もっと見る研究代表者以外 … もっと見る銅－インジウム硫化物コロイド / 量子ドット太陽電池 / チオシアン酸イオン / 硫化カドミウム / 多硫化物レドックスイオン / イミダゾリウム / CIS量子ドット太陽電池 / 量子ドット / ナノコロイド / CuInS2 / イオン液体 / p-nジャンクション / 全固体型太陽電池 / 中赤外光 / 赤外レーザー / 準周期疑似位相整合 / 赤外レーザ / タンパク質 / 光学活性 / レーザー分光 / 赤外吸収隠す

半導体製造での環境負荷低減を目指したレーザーを用いた高効率レジスト剥離技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  神村共住
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
- 研究機関
  大阪工業大学
タンパク質構造転移制御へ向けた高強度中赤外チャープパルス光源の開発と実証
- 研究代表者
  
  中村亮介
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  埼玉大学
   大阪大学
銅－インジウム硫化物コロイドを光増感剤に用いた全固体型量子ドット太陽電池の創出
- 研究代表者
  
  東本慎也
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  無機工業材料
- 研究機関
  大阪工業大学
シングルショット赤外吸収キラリティ分光法の開発
- 研究代表者
  
  中村亮介
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  物性Ⅰ
- 研究機関
  大阪大学

すべて 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] レーザー照射を用いたレジスト剥離技術開発におけるレジスト剥離過程の可視化2020
- 著者名/発表者名
  神村　共住
- 雑誌名
  
  真空ジャーナル
  
  巻: 1 ページ: 13-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[雑誌論文] A Comparison of Removal Phenomena in Photoresist Materials Using Laser Irradiation2019
- 著者名/発表者名
  Tomosumi Kamimura, Naoki Nishioka, Yuji Umeda, Daichi Shima, Yusuke Funamoto, Yoshiyuki Harada, Masashi Yoshimura, Ryosuke Nakamura, and Hideo Horibe
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 32 号: 4 ページ: 603-607
- DOI
  10.2494/photopolymer.32.603
- NAID
  130007744436
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2019-06-24
- 言語
  英語
- 査読あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[雑誌論文] Polarization sensitive femtosecond mid-infrared spectrometer with tunable Fabry-Perot filter and chirped-pulse upconversion2018
- 著者名/発表者名
  R. Nakamura, Y. Inagaki, T. Kamimura
- 雑誌名
  
  Applied Optics
  
  巻: 57 号: 36 ページ: 10517-10521
- DOI
  10.1364/ao.57.010517
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16KT0163, KAKENHI-PROJECT-17K05077
[雑誌論文] Analysis of Resist Removal Phenomenon Using Laser Irradiation2017
- 著者名/発表者名
  T. Kamimura, H. Kuramae, T. Yamashiro, K. Nuno, Y. Umeda, S. Tsujimoto, R. Nakamura, T. Nishiyama, H. Horibe
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 30 号: 3 ページ: 291-295
- DOI
  10.2494/photopolymer.30.291
- NAID
  130005950263
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16KT0163, KAKENHI-PROJECT-17K05077
[雑誌論文] Removal Technology of Poly-Vinyl Phenol Using Laser Irradiation2016
- 著者名/発表者名
  T. Kamimura, K. Nuno, Y. Kuroki, T. Yamashiro, S. Tsujimoto, R. Nakamura, S. Takagi, T. Nishiyama, H. Horibe
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 29 号: 4 ページ: 633-637
- DOI
  10.2494/photopolymer.29.633
- NAID
  130005284455
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 言語
  英語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[雑誌論文] Wide-bandgap nonlinear crystal LiGaS2 for femtosecond mid-infrared spectroscopy with chirped pulse upconversion2016
- 著者名/発表者名
  R. Nakamura, Y. Inagaki, H. Hata, N. Hamada, N. Umemura, T. Kamimura
- 雑誌名
  
  Applied Optics
  
  巻: 55 号: 33 ページ: 9365-9369
- DOI
  10.1364/ao.55.009365
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502, KAKENHI-PROJECT-16KT0163
[学会発表] 高速イメージングを用いたレジスト剥離過程の観察2021
- 著者名/発表者名
  神村共住、西岡直樹、小泉敦司、松本祐樹、丸井春輝、吉村政志、兼松泰男、中村亮介、堀邊英夫
- 学会等名
  第３８回国際フォトポリマーコンファレンス（ICPST-38）
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[学会発表] Comparison of removal phenomenon in photoresist material using laser irradiation2019
- 著者名/発表者名
  Tomosumi Kamimura, Naoki Nishioka,Yuji Umeda, Daichi Shima,Yusuke Funamoto,Yoshinori Harada, Masashi Yoshimura, Ryosuke Nakamura,Hideo Horibe
- 学会等名
  ICPST-36(2019)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[学会発表] 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明I2019
- 著者名/発表者名
  西岡直樹、梅田悠史、舩本裕介、島大地、神村共住、堀邊英夫、吉村政志、中村亮介
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[学会発表] Time-resolved imaging of photoresist stripping dynamics induced by laser irradiation2019
- 著者名/発表者名
  N. Nishioka, Y. Umeda, D. Shima, K. Ono, T. Kamimura, H. Horibe, M. Yoshimura, and R. Nakamura
- 学会等名
  ALPS2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[学会発表] 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明2018
- 著者名/発表者名
  西岡直樹、梅田悠史、舩本裕介、島大地、倉前宏行、神村共住、堀邊英夫、吉村政志、中村亮介
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18K04273
[学会発表] Polarization Sensitive Femtosecond Mid-Infrared Spectrometer Using Chirped-Pulse Upconversion2018
- 著者名/発表者名
  R. Nakamura, Y. Inagaki, N. Umemura, T. Kamimura
- 学会等名
  Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO-PR)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05077
[学会発表] レーザー照射を用いたレジスト剥離現象の解析2017
- 著者名/発表者名
  神村共住，布晃輔，山城鷹之，梅田悠史，辻本慎吾，倉前宏行，中村亮介，西山聖，堀邊英夫
- 学会等名
  The 34th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05077
[学会発表] 和周波混合を用いた周波数領域2次元赤外分光法の開発II2016
- 著者名/発表者名
  稲垣嘉清, 畑秀文, 神村共住, 梅村信弘, 濱田格雄, 中村亮介
- 学会等名
  日本物理学会2016年秋季大会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Monitoring Microsecond Conformational Dynamics of Biomolecules Based on Realtime Detection of Fluorescence Photon Sequence2016
- 著者名/発表者名
  K. Kitabayashi, T. Kamimura, N. Hamada, and R. Nakamura
- 学会等名
  5th Advanced Lasers and Photon Sources
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Laser removal of PVP without causing laser-induced surface damage2016
- 著者名/発表者名
  K. Nuno, T. Yamashiro, S. Tuzimoto, R. Nakamura, S. Takagi, T. Nishiyama, H. Horibe, and T. Kamimura
- 学会等名
  48th Annual Symposium on Optical Materials for High-Power Lasers
- 発表場所
  Boulder, CO, USA
- 年月日
  2016-09-25
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Substrate material dependence of the thin film stress and its controle2016
- 著者名/発表者名
  H. Omatsu, M. Akimoto, T. Murakami, R. Nakamura, T. Kamimura, S. Tujimoto, and T. Ymasiro
- 学会等名
  5th Pacific-rim Laser Damage Conference
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Damage resistance of wide-bandgap nonlinear crystals for femtosecond mid-infrared spectrometer using chirped-pulse upconversion2016
- 著者名/発表者名
  M. Akimoto, Y. Inagaki, H. Hata, N. Hamada, R. Nakamura, N. Umemura, M. Yoshimura, and T. Kamimura
- 学会等名
  48th Annual Symposium on Optical Materials for High-Power Lasers
- 発表場所
  Boulder, CO, USA
- 年月日
  2016-09-25
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] 金属錯体の光かい離過程における中赤外フェムト秒時間分解分光2016
- 著者名/発表者名
  中村亮介, 畑秀文, 稲垣嘉清, 濱田格雄, 神村共住
- 学会等名
  日本物理学会第71回年次大会
- 発表場所
  東北学院大学
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] 和周波混合を用いた周波数領域二次元赤外分光法の開発2016
- 著者名/発表者名
  稲垣嘉清, 畑秀文, 中村亮介, 梅村信弘, 神村共住
- 学会等名
  日本物理学会第71回年次大会
- 発表場所
  東北学院大学
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Improvement of resist stripping efficiency without causing laser-induced surface damage2016
- 著者名/発表者名
  K. Nuno, Y. Kuroki, S. Takagi, T. Yamashiro, S. Tsujimoto, R. Nakamura, T. Nishiyama, T. Kamimura, and H. Horibe
- 学会等名
  5th Pacific-rim Laser Damage Conference
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Femtosecond Mid-Infrared Spectrometer Using Chirped-Pulse Upconversion in a Wide-Bandgap Nonlinear Crystal2016
- 著者名/発表者名
  Y. Inagaki, H. Hata, T. Kamimura, N. Umemura, N. Hamada, and R. Nakamura
- 学会等名
  5th Advanced Lasers and Photon Sources
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-05-17
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] リアルタイム時系列光子計測によるタンパク質のミリ秒構造追跡2016
- 著者名/発表者名
  北林和樹, 神村共住, 濱田格雄, 中村亮介
- 学会等名
  日本物理学会2016年秋季大会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] チャープパルスアップコンバージョンを用いたタンパク質の中赤外フェムト秒時間分解分光2015
- 著者名/発表者名
  畑秀文, 中村亮介, 濱田格雄, 神村共住
- 学会等名
  日本物理学会2015年秋季大会
- 発表場所
  関西大学
- 年月日
  2015-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] 中赤外フェムト秒時間分解分光のための和周波混合結晶の評価2015
- 著者名/発表者名
  稲垣嘉清, 畑秀文, 中村亮介, 神村共住, 梅村信弘
- 学会等名
  日本物理学会2015年秋季大会
- 発表場所
  関西大学
- 年月日
  2015-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502
[学会発表] Transient IR Pump-Probe Spectroscopy of Photoactive Molecules using Chirped Pulse Upconversion2015
- 著者名/発表者名
  H. Hata, R. Nakamura. N. Hamada, and T. Kamimura
- 学会等名
  3rd International Conference on Ultrafast Structural Dynamics
- 発表場所
  Zurich, Switzerland
- 年月日
  2015-06-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13502

1. 中村亮介 (70379147)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 22件
2. 梅村信弘 (40580098)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 7件
3. 東本慎也 (70368140)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 堀邊英夫 (00372243)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件

神村 共住 Kamimura Tomosumi

研究課題

研究成果

共同研究者

半導体製造での環境負荷低減を目指したレーザーを用いた高効率レジスト剥離技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

タンパク質構造転移制御へ向けた高強度中赤外チャープパルス光源の開発と実証

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

銅－インジウム硫化物コロイドを光増感剤に用いた全固体型量子ドット太陽電池の創出

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

シングルショット赤外吸収キラリティ分光法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] レーザー照射を用いたレジスト剥離技術開発におけるレジスト剥離過程の可視化2020

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] A Comparison of Removal Phenomena in Photoresist Materials Using Laser Irradiation2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Polarization sensitive femtosecond mid-infrared spectrometer with tunable Fabry-Perot filter and chirped-pulse upconversion2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Analysis of Resist Removal Phenomenon Using Laser Irradiation2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Removal Technology of Poly-Vinyl Phenol Using Laser Irradiation2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] Wide-bandgap nonlinear crystal LiGaS2 for femtosecond mid-infrared spectroscopy with chirped pulse upconversion2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[学会発表] 高速イメージングを用いたレジスト剥離過程の観察2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Comparison of removal phenomenon in photoresist material using laser irradiation2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明I2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Time-resolved imaging of photoresist stripping dynamics induced by laser irradiation2019

神村共住 Kamimura Tomosumi