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村越 庸一  ムラコシ ヨウイチ

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 40358156
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2007年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, 先進製造プロセス研究部門, 主任研究員
審査区分/研究分野
研究代表者以外
機械材料・材料力学
キーワード
研究代表者以外
SOI / 静電アクチュエータ / 電子ビーム露光 / 静電容量 / 引張試験 / 機械特性 / MEMS / フラーレン
  • 研究課題

    (1件)
  • 共同研究者

    (1人)
  •  カーボンナノ構造体力学特性評価のための静電力駆動、静電容量検出MEMSデバイス

    • 研究代表者
      土屋 智由
    • 研究期間 (年度)
      2007
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      京都大学
  • 1.  土屋 智由 (60378792)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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