久住孝幸 Kusumi Takayuki

研究者番号	40370233
所属 (現在)	2025年度: 秋田県産業技術センター, 先進プロセス開発部, 上席研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度: 秋田県産業技術センター, 先進プロセス開発部, 上席研究員 2018年度 – 2019年度: 秋田県産業技術センター, 先進プロセス開発部, 主任研究員 2016年度 – 2017年度: 秋田県産業技術センター, 素形材プロセス開発部, 主任研究員 2015年度: 秋田県産業技術センター, その他部局等, 主任研究員 2012年度 – 2015年度: 秋田県産業技術センター, その他部局等, 研究員 … もっと見る 2014年度: 秋田県産業技術センター, 素形材プロセス開発部, 主任研究員 2011年度: 秋田県産業技術センター, 素形材プロセス開発部, 主任研究員 2010年度 – 2011年度: 秋田県産業技術センター, 主任研究員 2009年度: 秋田県産業技術総合研究センター, 主任研究員隠す
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連研究代表者以外生産工学・加工学
キーワード	研究代表者砥粒 / 電界 / ワイヤーソー / 半導体 / スラリー / 電流 / 精密加工 / ワイヤー切断 / 遊離砥粒 / 周波数 / ウェーハ / ラッピング / 研磨 … もっと見る研究代表者以外 … もっと見る電界砥粒制御技術 / 砥粒 / スラリー / 遊離砥粒研磨 / pH / ゼータ電位 / 電界活性化 / 基板研磨 / 電界活性化技術 / 電界撹拌技術 / 電界 / ＣＭＰ / 電界砥粒制御研磨技術 / サファイア / 研磨 / 電界砥粒制御 / 交流電界隠す

脱炭素社会の一翼を担うパワー半導体向け電界スパイキングスライス技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久住孝幸
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  秋田県産業技術センター
次世代ワイドギャップ半導体向け革新的切断加工を実現する電界スライシング技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久住孝幸
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  秋田県産業技術センター
電界活性化スラリー研磨技術
- 研究代表者
  
  赤上陽一
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  秋田県産業技術センター
SiC半導体デバイス基板の汎用加工技術を実現する電界ラッピング技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  久住孝幸
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  秋田県産業技術センター
電界高速ＣＭＰ技術による革新的高効率・高品位仕上げ方法の開発
- 研究代表者
  
  赤上陽一
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  秋田県産業技術センター
スラリー保持機能を発現する電界砥粒制御技術による高能率加工メカニズムの確立
- 研究代表者
  
  赤上陽一
- 研究期間 (年度)
  2009 – 2011
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  秋田県産業技術センター

すべて 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 2011 その他

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] 樹脂パッドと電界砥粒制御技術を適用した先進結晶基板への低ダメージ機械研磨技術2020
- 著者名/発表者名
  千葉翔悟，久住孝幸，赤上陽一，野老山貴行，村岡幹夫
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 64
- NAID
  130007926222
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[雑誌論文] 研磨スラリーの電界活性化技術2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、池田洋、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 号: 5 ページ: 275-276
- DOI
  10.11420/jsat.61.275
- NAID
  130005679553
- ISSN
  0914-2703, 1880-7534
- 言語
  日本語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05745, KAKENHI-PROJECT-17K06106
[雑誌論文] 研磨スラリーの電界活性化技術2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸,中村竜太,赤上陽一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: Vol.61 No.5 ページ: 275-276
- NAID
  130005679553
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05745
[雑誌論文] 研磨スラリーの電界活性化技術2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、池田洋、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 ページ: 43-44
- NAID
  130005679553
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[雑誌論文] 水ベーススラリーへの電界砥粒制御技術の適用2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸，赤上陽一
- 雑誌名
  
  砥粒加工学会誌
  
  巻: 61 ページ: 639-642
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[雑誌論文] 炭化ケイ素基板研磨のための電界砥粒分布制御研磨に関する研究2013
- 著者名/発表者名
  久住孝幸, 佐藤安弘, 池田洋, 赤上陽一, 梅原徳次
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 79 号: 1 ページ: 87-92
- DOI
  10.2493/jjspe.79.87
- NAID
  130003369772
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560151
[雑誌論文] New polishing method using water-based slurry under AC electric field for glass substrate2011
- 著者名/発表者名
  T. Kusumi, H. Ikeda, Y. Sato, Y. Akagami, N. Umehara
- 雑誌名
  
  Journal of Magnetism and Magnetic Materials
  
  巻: 323 ページ: 1394-1397
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560138
[雑誌論文] New polishing method using water-based slurry under AC.electric field for glass substrate2011
- 著者名/発表者名
  T.Kusumi, H.Ikeda, Y.Sato, Y.Akagami, N.Umehara
- 雑誌名
  
  Journal of Magnetism and Magnetic Materials
  
  巻: 323 ページ: 1394-1397
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560138
[産業財産権] 切断方法及び切断装置2019
- 発明者名
  久住孝幸、赤上陽一、越後谷正見
- 権利者名
  久住孝幸、赤上陽一、越後谷正見
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2019
- 外国
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[産業財産権] 切断方法及び切断装置2018
- 発明者名
  久住孝幸、赤上陽一、越後谷正見
- 権利者名
  秋田県
- 産業財産権種類
  特許
- 出願年月日
  2018
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界砥粒制御技術を適用した硬脆材基板向けラッピング技術の開発2019
- 著者名/発表者名
  赤上陽一、千葉翔悟、久住孝幸
- 学会等名
  2019年度日本機械学会年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界砥粒制御技術を適用した先進結晶材基板の高効率ラップ技術に関する検討2019
- 著者名/発表者名
  千葉翔悟、久住孝幸、赤上陽一、野老山貴行
- 学会等名
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術を適用したSi向け小型片面研磨装置の開発2019
- 著者名/発表者名
  池田洋、大橋儀宗、久住孝幸、越後谷正見、赤上陽一
- 学会等名
  2019年度日本機械学会年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界砥粒制御技術を適用したオイルベーススラリーの砥粒分布挙動について2019
- 著者名/発表者名
  池田洋、奈良泰七、三浦　辰徳、久住孝幸、越後谷　正見、赤上陽一
- 学会等名
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] SiCウエハの高効率研磨における電界スラリー制御研磨を用いた均一研磨の検討2019
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、大久保義真、赤上陽一、河田研治、加藤智久
- 学会等名
  2019年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界撹拌技術を用いた電気穿孔法の開発電界砥粒制御技術を用いた新たな切断技術の開発2019
- 著者名/発表者名
  久住孝幸，越後谷正見，池田洋，大久保義真，中村竜太，赤上陽一
- 学会等名
  2019年度日本機械学会年次大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術の均一研磨性の検討2019
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、大久保義真、赤上陽一、河田研治、加藤智久
- 学会等名
  2019年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 小型片面研磨装置向け電界スラリー制御システムの開発2018
- 著者名/発表者名
  池田洋、原田響、久住孝幸、越後谷正見、赤上陽一
- 学会等名
  2018年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 小径工具における電界スラリー制御技術の開発2018
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  第12回生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界印加条件がスラリー分布とSiC基板の研磨特性に及ぼす影響2018
- 著者名/発表者名
  池田洋、泉泰秀、久住孝幸、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工の基礎検討　-第4報-2018
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2018年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] ガラスの研磨加工2018
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  ニューガラス大学院
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工の基礎検討-第3報-2018
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工法の開発 -第２報-2018
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2018年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術における電界条件とSiC基板の研磨特性との関係2018
- 著者名/発表者名
  池田洋、泉泰秀、久住孝幸、赤上陽一
- 学会等名
  第12回生産加工・工作機械部門講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工の基礎検討2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2017年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学　矢上キャンパス
- 年月日
  2017-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工法の開発2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2017年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工の基礎検討-第2報-2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] ガラスの研磨加工2017
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  ニューガラス大学院
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K06106
[学会発表] 電界砥粒制御技術をシーズ技術とした研究開発2016
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2016-03-15
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界ラッピング技術における研磨砥粒挙動の基礎検討2016
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、池田洋、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  機械学会　第11回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2016-10-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] コロイダルシリカスラリーの電界活性化技術2016
- 著者名/発表者名
  久住孝幸　池田洋　越後谷正見　中村竜太　赤上陽一
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2016-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 研磨スラリーの電界活性化技術2016
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、池田洋、越後谷正見、中村竜太、赤上陽一
- 学会等名
  砥粒加工学会（ABTEC2016）
- 発表場所
  兵庫県立大学姫路環境人間キャンパス
- 年月日
  2016-08-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] コロイダルシリカスラリーの電界活性化技術2016
- 著者名/発表者名
  久住　孝幸　中村　竜太，赤上　陽一
- 学会等名
  2016年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東京理科大学　野田キャンパス
- 年月日
  2016-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05745
[学会発表] 研磨スラリーの電界活性化技術2016
- 著者名/発表者名
  久住孝幸,中村竜太,赤上陽一
- 学会等名
  2016年度砥粒加工学会学術講演会（ABTEC2016）
- 発表場所
  兵庫県立大学　姫路環境人間キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05745
[学会発表] 新たな酸化セリウム砥粒再生技術及び再生装置の開発 -第3報-2016
- 著者名/発表者名
  久住孝幸、池田洋、中村竜太、赤上陽一、松下大作、照井伸太朗
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学　水戸キャンパス
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 新たな酸化セリウム砥粒再生技術及び再生装置の開発2015
- 著者名/発表者名
  久住孝幸，赤上陽一，松下大作，佐々木健二，照井伸太朗
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東洋大学
- 年月日
  2015-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 新たな酸化セリウム砥粒再生技術の開発及びその電界砥粒制御研磨2015
- 著者名/発表者名
  久住孝幸　中村竜太　赤上陽一　池田洋　松下大作　照井伸太朗
- 学会等名
  2015年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  慶應義塾大学
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 新たな酸化セリウム砥粒再生技術及び再生装置の開発 -第2報-2015
- 著者名/発表者名
  久住孝幸　赤上陽一　松下大作　佐々木健二　照井伸太朗
- 学会等名
  2015年度精密工学会秋季学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2015-09-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界砥粒制御技術を適用した硬脆材料向け高効率 CMP 技術の開発2014
- 著者名/発表者名
  池田洋, 中村竜太,久住孝幸,赤上陽一
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  鳥取大学
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 炭化ケイ素研磨材を用いた電界砥粒制御技術の基礎検討　‐第3報-2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学
- 年月日
  2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560151
[学会発表] 電界スラリー制御技術を適用した硬脆材料向け高効率研磨技術の開発2014
- 著者名/発表者名
  池田洋, 久住孝幸, 中村竜太, 佐藤安弘, 赤上陽一
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学
- 年月日
  2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 炭化ケイ素研磨材を用いた電界砥粒制御技術の基礎検討　-第3報-2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸, 中村竜太, 池田洋, 佐藤安弘, 赤上陽一
- 学会等名
  2014年度砥粒加工学会
- 発表場所
  岩手大学
- 年月日
  2014-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界砥粒制御技術における研磨下の砥粒挙動の基礎検討2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸, 池田洋,中村竜太,佐藤安弘, 赤上陽一
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  鳥取大学
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界砥粒制御技術における研磨下の砥粒挙動の基礎検討2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  鳥取大学
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560151
[学会発表] 電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第１報―2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  第10回　生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  徳島大学
- 年月日
  2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560151
[学会発表] 電界砥粒制御技術を用いたサファイア基板の高効率研磨加工2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸
- 学会等名
  平成26年度北東北ナノ・メディカルクラスター研究会
- 発表場所
  秋田県
- 年月日
  2014-12-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560151
[学会発表] 電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第２報―2014
- 著者名/発表者名
  池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一，千葉翔梧，伊賀美里
- 学会等名
  日本機械学会　第10回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  徳島大学
- 年月日
  2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界砥粒制御技術を用いた単結晶サファイア基板の高効率研磨加工―第１報―2014
- 著者名/発表者名
  久住孝幸，池田洋，中村竜太，赤上陽一，千葉翔梧，伊賀美里
- 学会等名
  日本機械学会　第10回生産加工・工作機械部門講演会
- 発表場所
  徳島大学
- 年月日
  2014-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26420068
[学会発表] 電界砥粒制御技術による研磨効率向上メカニズムの基礎検討2012
- 著者名/発表者名
  久住孝幸,黒木恵,佐藤安弘,赤上陽一,梅原徳次
- 学会等名
  2011年度精密工学会春季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21560138
[学会発表] 電界砥粒制御技術による研磨効率向上メカニズムの基礎検討　-第2報-
- 著者名/発表者名
  久住孝幸，新井晶大，佐藤安弘，赤上陽一，梅原徳次
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24560151

1. 赤上陽一 (00373217)

共同の研究課題数: 5件

共同の研究成果数: 40件
2. 中村竜太 (00634213)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 3件
3. 池田洋 (90573098)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 12件

久住 孝幸 Kusumi Takayuki

研究課題

研究成果

共同研究者

脱炭素社会の一翼を担うパワー半導体向け電界スパイキングスライス技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

次世代ワイドギャップ半導体向け革新的切断加工を実現する電界スライシング技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

電界活性化スラリー研磨技術

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

SiC半導体デバイス基板の汎用加工技術を実現する電界ラッピング技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

電界高速ＣＭＰ技術による革新的高効率・高品位仕上げ方法の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

スラリー保持機能を発現する電界砥粒制御技術による高能率加工メカニズムの確立

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] 樹脂パッドと電界砥粒制御技術を適用した先進結晶基板への低ダメージ機械研磨技術2020

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] 研磨スラリーの電界活性化技術2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] 研磨スラリーの電界活性化技術2017

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] 研磨スラリーの電界活性化技術2017

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] 水ベーススラリーへの電界砥粒制御技術の適用2017

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] 炭化ケイ素基板研磨のための電界砥粒分布制御研磨に関する研究2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] New polishing method using water-based slurry under AC electric field for glass substrate2011

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] New polishing method using water-based slurry under AC.electric field for glass substrate2011

久住孝幸 Kusumi Takayuki

[学会発表] 電界スラリー制御技術を用いた小径工具による研磨加工の基礎検討　-第4報-2018