豊田光紀 Toyoda Mitsunori

研究者番号	40375168
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 東京工芸大学, 工学部, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2025年度: 東京工芸大学, 工学部, 教授 2017年度 – 2021年度: 東京工芸大学, 工学部, 准教授 2013年度 – 2017年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 2007年度 – 2011年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助教 2005年度 – 2006年度: 東北大学, 多元物質科学研究所, 助手
審査区分/研究分野	研究代表者光工学・光量子科学 / 小区分30020:光工学および光量子科学関連 / 薄膜・表面界面物性 / 中区分30:応用物理工学およびその関連分野 / 応用光学・量子光工学研究代表者以外光工学・光量子科学 / 小区分30020:光工学および光量子科学関連 / 工学 / 理工系
キーワード	研究代表者多層膜ミラー / 軟X線 / 顕微鏡 / 極紫外 / 対物鏡 / 収差論 / 多層膜 / リソグラフィ / 極紫外線 / ポリマーブレンド … もっと見る / 反射光学系 / 光学設計 / 非球面 / 反射結像系 / 斜入射光学系 / 斜入射 / 超深度イメージング / 集光光学系 / 色収差 / 回折限界 / 高次高調波 / 階層構造 / CCD検出器 / 高倍率 / 応用光学・量子光工学 / EUV顕微鏡 / 高分子 / multi layer mirror / EUV / フレネル数 / 軟X線顕微鏡 / 結像論 / フーリエ結像論 … もっと見る研究代表者以外構造観察 / アブレーション / レーザー干渉計 / 軟X線顕微鏡 / 軟X線レーザー / 高次高調波発生 / アト秒科学 / コヒーレント軟X線 / 高次高調波 / スピントロニクス / 量子エレクトロニクス / Growth rate monitor / Ellipsometer / Sputtering / Period thickness distribution control / Laser Plasma / Microscope / Multilayer / Soft X-ray / 成膜レートモニター / エリプソメーター / スパッタリング / 周期膜厚分布制御 / レーザープラズマ / 顕微鏡 / 多層膜 / 軟X線 / 応用光学・量子光工学 / アト秒パルス / 光学素子隠す

10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2027
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分30:応用物理工学およびその関連分野
- 研究機関
  東京工芸大学
軟X線レーザー干渉顕微鏡の開発とアブレーションによる損傷形成過程の解明
- 研究代表者
  
  石野雅彦
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分30020:光工学および光量子科学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構
高分解能50nm結像を実現する斜入射軟X線多層膜ミラー光学系の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(A))
- 審査区分
  
  小区分30020:光工学および光量子科学関連
- 研究機関
  東京工芸大学
EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分30020:光工学および光量子科学関連
- 研究機関
  東京工芸大学
円偏光フェムト秒コヒーレント軟X線の発生と超高速スピンダイナミクスへの展開
- 研究代表者
  
  高橋栄治
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2020
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  国立研究開発法人理化学研究所
レーザープラズマ光源EUV顕微鏡の開発と広視野マルチスケール観察への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  東京工芸大学
   東北大学
サブ100nm集光で非摂動論的な非線形現象を励起するXUV用集光ミラーの開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2017
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  東北大学
孤立アト秒パルスの回折限界集光と世界最高強度 XUV 場発生
- 研究代表者
  
  高橋栄治
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  国立研究開発法人理化学研究所
フレネル数が減少した軟X線高倍率光学系の結像特性の解明研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2015
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  光工学・光量子科学
- 研究機関
  東北大学
高分解能の軟X線ビデオ観察を実現する実用超高倍率顕微対物鏡の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2011
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  東北大学
新型合わせ鏡式サブ100nm解像の軟X線実用顕微対物鏡の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2009
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  東北大学
実用アライメント誤差を許容する軟X線用結像光学系の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  豊田光紀
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東北大学
レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発
- 研究代表者
  
  山本正樹
- 研究期間 (年度)
  2003 – 2007
- 研究種目
  
  特別推進研究
- 審査区分
  
  理工系
   工学
- 研究機関
  東北大学

[雑誌論文] High-irradiance illumination system for transmission extreme ultraviolet microscopy2023
- 著者名/発表者名
  Waki Shuntaro、Uchida Takayuki、Chen Jun、Toyoda Mitsunori
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 62 号: 5 ページ: 050901-050901
- DOI
  10.35848/1347-4065/accd32
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[雑誌論文] Conservation of energy between pupil and image for point spread function2022
- 著者名/発表者名
  Shibuya Masato、Tanabe Takao、Toyoda Mitsunori
- 雑誌名
  
  Optik
  
  巻: 249 ページ: 168189-168189
- DOI
  10.1016/j.ijleo.2021.168189
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[雑誌論文] 極紫外多層膜ミラー光学系による回折限界結像とポリマーブレンドの無染色観察への展開2022
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 雑誌名
  
  放射光
  
  巻: 35 ページ: 327-327
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[雑誌論文] Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere2021
- 著者名/発表者名
  Harada Tetsuo、Yamakawa Shinji、Toyoda Mitsunori、Watanabe Takeo
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 60 号: 8 ページ: 087005-087005
- DOI
  10.35848/1347-4065/ac15ef
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[雑誌論文] Removal of Mo/Si multilayer coatings on fused silica substrates by wet chemical etching2021
- 著者名/発表者名
  Toyoda Mitsunori、Yokoyama Ryo、Waki Shuntaro、Kakudate Toshiyuki、Chen Jun
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 14 号: 5 ページ: 052003-052003
- DOI
  10.35848/1882-0786/abf666
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[雑誌論文] Staining-free observation of polymer blend thin films on transmission extreme ultraviolet microscopy2020
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda, Shunsuke Aizawa, Shiori Gondai, Toshiyuki Kakudate, Masaki Ageishi, Hiroshi Jinnai, Jun Chen
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: 13 号: 8 ページ: 082011-082011
- DOI
  10.35848/1882-0786/aba882
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[雑誌論文] Global optimization of two-multilayer mirror objective for focusing soft X-ray high harmonics2019
- 著者名/発表者名
  Toyoda Mitsunori、Yamashita Shota、Chen Jun
- 雑誌名
  
  Proc. SPIE
  
  巻: 11032 ページ: 26-26
- DOI
  10.1117/12.2520543
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[雑誌論文] Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region2018
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, M. Yanagihara
- 雑誌名
  
  Springer Proceedings in Physics
  
  巻: 202 ページ: 287-290
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[雑誌論文] LOW-ORDER ABERRATIONS CORRECTION OF EXTREME ULTRAVIOLET IMAGING OBJECTIVE WITH DEFORMABLE MULTILAYER MIRRORS2017
- 著者名/発表者名
  Mitsunori TOYODA, Ryo SUNAYAMA, Mihiro YANAGIHARA
- 雑誌名
  
  Proceedings of the MEDSI 2016 Conference
  
  巻: 印刷中
- 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[雑誌論文] Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region2017
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, and M. Yanagihara
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers
  
  巻: 印刷中
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[雑誌論文] Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region2017
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, M. Yanagihara
- 雑誌名
  
  Proceedings of the 15th International Conference on X-Ray Lasers
  
  巻: 印刷中
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[雑誌論文] Imaging properties of an extreme ultraviolet microscope objective with reduced Fresnel number2017
- 著者名/発表者名
  Toyoda Mitsunori、Kuramitsu Kota、Yanagihara Mihiro
- 雑誌名
  
  Optics Communications
  
  巻: 405 ページ: 312-317
- DOI
  10.1016/j.optcom.2017.08.031
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693, KAKENHI-PROJECT-16H03877
[雑誌論文] Flat-field anastigmatic mirror objective for highmagnification extreme ultraviolet microscopy2015
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda
- 雑誌名
  
  Advanced Optical Technologies
  
  巻: 4 号: 4 ページ: 339-346
- DOI
  10.1515/aot-2015-0020
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[雑誌論文] EUV Multilayer Mirrors for Focusing Isolated Attosecond Pulse in 40 nm Wavelength Region2015
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa and M. Yanagihara
- 雑誌名
  
  UVSOR ACTIVITY REPORT 2015
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[雑誌論文] Demonstrating 30-nm spatial resolution of three-multilayer-mirror objective for extreme ultraviolet microscopy: Imaging test by observing lithography mask2014
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda,Kenjiro Yamasoe,Akifumi Tokimasa,Kentaro Uchida,Tetsuo Harada,Tsuneo Terasawa,Tsuyoshi Amano,Takeo Watanabe,Mihiro Yanagihara,Hiroo Kinoshita
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 7 号: 10 ページ: 102502-102502
- DOI
  10.7567/apex.7.102502
- NAID
  210000137252
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088, KAKENHI-PROJECT-26600122
[雑誌論文] Observation of Residual-Type Thin Absorber Defect on Extreme Ultraviolet Lithography Mask Using an Extreme Ultraviolet Microscope2013
- 著者名/発表者名
  Tsuyoshi Amano, Susumu Iida, Ryoichi Hirano, Tsuneo Terasawa, Hidehiro Watanabe, Kenjiro Yamasoe, Mitsunori Toyoda, Akifumi Tokimasa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe, Hiroo Kinoshita
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express
  
  巻: 6 号: 4 ページ: 046501-046501
- DOI
  10.7567/apex.6.046501
- NAID
  10031166440
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[雑誌論文] Simulation Analysis of the Characteristics of a High Magnification Imaging Optics for the Observation of Extreme Ultraviolet Lithography Mask to Predict Phase Defect Printability2013
- 著者名/発表者名
  Tsuneo Terasawa, Yukiyasu Arisawa, Tsuyoshi Amano, Takeshi Yamane, Hidehiro Watanabe, Mitsunori Toyoda, Tetsuo Harada, Hiroo Kinoshita
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 52 号: 9R ページ: 096601-096601
- DOI
  10.7567/jjap.52.096601
- NAID
  210000142809
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[雑誌論文] Aplanatic Three-Mirror Objective for High-Magnification Soft X-Ray Microscopy2011
- 著者名/発表者名
  M.Toyoda, T.Jinno, M.Yanagihara
- 雑誌名
  
  AIP Conference Proceedings
  
  巻: 1365 ページ: 176-179
- DOI
  10.1063/1.3625333
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] Aplanatic Three-Mirror Objective for High-Magnification Soft X-Ray Microscopy2011
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, T. Jinno, and M. Yanagihara
- 雑誌名
  
  AIP Conf. Proc
  
  巻: 1365 ページ: 176-179
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] Closed-Form Representations for Third-Order Aberrations of Two-Aspherical Mirror Aplanats with the Mirror Tilt and Decenter2011
- 著者名/発表者名
  M.Toyoda
- 雑誌名
  
  Optical Review
  
  巻: 18 ページ: 441-447
- NAID
  10030156546
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] Closed-Form Representations for Third-Order Aberrations of Two-Aspherical Mirror Aplanats with the Mirror Tilt and Decenter2011
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 雑誌名
  
  Opt. Rev
  
  巻: 18 ページ: 441-447
- NAID
  10030156546
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms2010
- 著者名/発表者名
  T. Ejima, F. Ishida, H. Murata, M. Toyoda, T. Harada, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Mizutani
- 雑誌名
  
  Opt. Express
  
  巻: 18 ページ: 7203-7209
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] Theoretical investigation of the meaning of odd-order aspherical surface and numerical confirmation of effectiveness in rotational-symmetric but off-axis optics2010
- 著者名/発表者名
  Masato Shibuya, Kazuhisa Maehara, Yoshihito Ishikawa, Akira Takada, Kei Kobayashi, Mitsunori Toyoda, Masanori Tanikawa, Suezou Nakadate
- 雑誌名
  
  Opt. Eng
  
  巻: 49(7) ページ: 73003-73003
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] Theoretical investigation of the meaning of odd-order aspherical surface and numerical confirmation of effectiveness in rotational-symmetric but off-axis optics2010
- 著者名/発表者名
  M.Shibuya, M.Toyoda, et.al.
- 雑誌名
  
  Opt.Eng.
  
  巻: 49 ページ: 73003-73003
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms2010
- 著者名/発表者名
  T. Ejima, F. Ishida, H. Murata, M. Toyoda, T. Harada, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto, Haruo Mizutani
- 雑誌名
  
  Opt. Exp. 18
  
  ページ: 7203-7209
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] High throughput and wide field of view EUV microscope for blur-free one-shot imaging of living organisms2010
- 著者名/発表者名
  T.Ejima, M.Toyoda, et.al.
- 雑誌名
  
  Opt.Express
  
  巻: 18 ページ: 7203-7209
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[雑誌論文] Design study of two-aspherical-mirror anastigmat with reduced sensitivities to misalignments: correction of higher-order aberrations2009
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, M. Yanagihara
- 雑誌名
  
  J. Phys. Conf. Series 186
  
  ページ: 12076-12076
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Frustration of direct photoionization of Ar clusters in intense extreme ultraviolet pulses from a free electron laser2009
- 著者名/発表者名
  H.Iwayama, K.Ueda, M.Toyoda, et.al.
- 雑誌名
  
  J.Phys.B : At.Mol.Opt.Phys. 42
  
  ページ: 134019-134019
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Multi-coincidence ion detection system for EUV-FEL fragmentation experiments at Spring-82009
- 著者名/発表者名
  K.Motomura, K.Ueda, M.Toyoda, et.al.
- 雑誌名
  
  Nucl.Instrum.Methods A 606
  
  ページ: 770-773
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Dead-time-free ion momentum spectroscopy of multiple ionization of Xe clusters irradiated by euv free-electron laser pulses2009
- 著者名/発表者名
  H. Fukuzawa, X.-J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higashiya, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Ohashi, H. Kimura
- 雑誌名
  
  Phys. Rev. A 79
  
  ページ: 31201-3201
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Design study of two-aspherical-mirror anastigmat with reduced sensitivities to misalignments : correction of higher-order aberrations2009
- 著者名/発表者名
  M.Toyoda, M.Yanagihara
- 雑誌名
  
  J.Phys.Conf.Series 186
  
  ページ: 12076-12076
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Multi-coincidence ion detection system for EUV-FEL fragmentation experiments at Spring-82009
- 著者名/発表者名
  K. Motomura, L. Foucar, A. Czasch, N. Saito, O. Jagutzki, H. Schmidt-Boecking, R. Doerner, X.-J.Liu, H. Fukuzawa, G. Pruemper, K. Ueda, M. Okunishi, K. Shimada, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, A. Rudenko, J. Ullrich, M. Nagasono, A. Higashiya, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Ohashi, H. Kimura
- 雑誌名
  
  Nucl. Instrum. Methods A 606
  
  ページ: 770-773
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Frustration of direct photoionization of Ar clusters in intense extreme ultraviolet pulses from a free electron laser2009
- 著者名/発表者名
  H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, H. Fukuzawa, X.-J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higashiya, M. Yabashi, T. Ishikawa, H. Ohashi, H. Kimura
- 雑誌名
  
  J. Phys. B: At. Mol. Opt. Phys. 42
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[雑誌論文] Analytical designing of two-aspherical-mirror anastigmats permitting practical misalignments in a soft-X-ray optics2006
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 雑誌名
  
  Opt. Rev. 13
  
  ページ: 149-157
- NAID
  10019176674
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Anastigmats Permitting Practical Misalignments in Soft-X-Ray Optics2006
- 著者名/発表者名
  M.Toyoda
- 雑誌名
  
  Optical Review 13
  
  ページ: 149-157
- NAID
  10019176674
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760037
[雑誌論文] Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Anastigmat Permitting Practical Misalignments for Soft-X-Ray Imaging2006
- 著者名/発表者名
  M.Toyoda
- 雑誌名
  
  IPAP Conference Series 7
  
  ページ: 186-188
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[雑誌論文] Analytical designing of two-aspherical-mirror anastigmat permitting practical misalignments for soft-X-ray imaging2006
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 雑誌名
  
  IPAP Conference Series 7
  
  ページ: 186-188
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[産業財産権] 反射型投影光学装置2009
- 発明者名
  豊田光紀
- 権利者名
  東北大学
- 産業財産権番号
  2009-152742
- 出願年月日
  2009-06-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[産業財産権] 反射型投影光学装置2008
- 発明者名
  豊田光紀
- 権利者名
  東北大学
- 産業財産権番号
  2008-220382
- 出願年月日
  2008-08-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[産業財産権] 投影光学装置2005
- 発明者名
  豊田光紀, 山本正樹
- 権利者名
  東北大学
- 産業財産権番号
  2005-086418
- 出願年月日
  2005-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17760037
[学会発表] Imaging Objective for Higher Energy Region2023
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda, Shota Yamashita, Jun Chen
- 学会等名
  Fraunhofer IISB Lithography Simulation Workshop
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] Removal of Mo/Si Multilayer Coatings on Fused Silica Substrates by Wet Chemical Etching2023
- 著者名/発表者名
  Mitsunori TOYODA, Ryo YOKOYAMA, Shuntaro WAKI, Jun CHEN
- 学会等名
  The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 202
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] Design Study of Soft X-Ray Aplanat with Four Multilayer Mirrors in Grazing Incidence Configuration2023
- 著者名/発表者名
  S. Yamashita, M. Toyoda
- 学会等名
  The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 202
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] 高倍率EUV対物ミラーの100pm精度波面制御と高エネルギー領域への展開2023
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  X線・EUV結像光学のフロンティア2023, OPJ2023
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] ４面斜入射多層膜ミラーによるaplanatic対物系の検討2023
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 陳軍
- 学会等名
  第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] 石英基板に成膜したMo/SI多層膜ミラーの精密除去法2023
- 著者名/発表者名
  豊田光紀、横山諒、脇俊太郎、角館俊行、陳軍
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] High Irradiance Illuminator for Transmission Extreme Ultraviolet Microscopy2023
- 著者名/発表者名
  Shuntaro Waki, Yusuke Tsukui, Jun Chen, Mitsunori Toyoda
- 学会等名
  The International Conference on Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures 202
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] レーザープラズマ光源の輝度分布を考慮したEUV照明系照度の精密評価2023
- 著者名/発表者名
  脇俊太郎、津久井雄祐、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] デフォーカス収差の直交展開式の解析的導出と干渉計測の補正精度向上2023
- 著者名/発表者名
  田邊貴大,豊田光紀、渋谷眞人
- 学会等名
  第48回光学シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] レーザープラズマEUV反射率計の絶対値補正2022
- 著者名/発表者名
  脇俊太郎、津久井雄祐、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] Diffraction-limited imaging by extreme ultraviolet multilayer mirror objective and its application to staining-free observation of polymer blend samples2022
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda
- 学会等名
  seminaires generaux du Laboratoire Charles Fabry
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] 実験室EUV顕微鏡照明光学系の高照度化(2)2022
- 著者名/発表者名
  脇俊太郎、津久井雄祐、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] EUV顕微対物ミラーの高精度波面計測法の開発(2)2022
- 著者名/発表者名
  津久井雄祐、脇俊太郎、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] 極紫外顕微鏡用の高倍率対物ミラ-で生じるコマ収差の精密補正2022
- 著者名/発表者名
  津久井雄祐、脇俊太郎、増根伊織、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20KK0312
[学会発表] 実験室EUV顕微鏡の開発と高分子の無染色可視化への応用2021
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 桃野幸文, 角館俊行, 陳軍
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] 実験室EUV顕微鏡用の高倍率多層膜ミラー対物光学系の開発2021
- 著者名/発表者名
  脇俊太郎, 陳軍, 豊田光紀
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] EUV顕微鏡照明光学系の高照度化2021
- 著者名/発表者名
  脇俊太郎、津久井雄祐、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] ２面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索（５）2021
- 著者名/発表者名
  山下正汰, 陳軍, 豊田光紀
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] EUV顕微対物ミラーの高精度波面計測法の開発2021
- 著者名/発表者名
  津久井雄祐、脇俊太郎、陳軍、豊田光紀
- 学会等名
  応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] 軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計2020
- 著者名/発表者名
  相澤駿介,豊田光紀
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会（上智大学四谷キャンパス）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] 軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計2020
- 著者名/発表者名
  相澤駿介,豊田光紀
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会（上智大学四谷キャンパス）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] EUV顕微鏡付加拡大系用の凹面Mo/Si多層膜ミラーの作製2019
- 著者名/発表者名
  相澤駿介,角館俊行,豊田光紀
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会（北海道大学札幌キャンパス）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K05314
[学会発表] Global optimization of two-multilayer mirror objective for focusing soft X-ray high harmonics2019
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, S. Yamashita, J. Chen
- 学会等名
  SPIE, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space VI
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] Observation of Polymer Blend Films on Transmission EUV Microscopy2018
- 著者名/発表者名
  Syunsuke Aizawa, Toshiyuki kakudate, Shiori Gondai, Mitunori Toyoda
- 学会等名
  PXRNMS2018 International Workshop
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法2018
- 著者名/発表者名
  金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[学会発表] 回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発2018
- 著者名/発表者名
  金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[学会発表] ポリマーブレンドのEUV顕微観察に適した試料準備条件2018
- 著者名/発表者名
  相澤駿介, 角館俊行, 権代詩織, 豊田光紀
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] Extreme Ultraviolet Microscope Based on Multilayer Mirror Optics with Diffraction-Limited Spatial Resolution2017
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda
- 学会等名
  The 24th General Congress of the International Commission for Optics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] Extreme Ultraviolet Microscope Based on Multilayer Mirror Optics with Diffraction-Limited Spatial Resolution2017
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda
- 学会等名
  The 24th General Congress of the International Commission for Optics
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[学会発表] 回折限界EUV顕微鏡の開発とポリマー試料のモルフォロジー解析への応用2017
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第14回X線結像光学シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[学会発表] 回折限界EUV顕微鏡の開発とポリマー試料のモルフォロジー解析への応用2017
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第14回X線結像光学シンポジウム
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] 30nm分解能を実現する実験室EUV顕微鏡の開発2017
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  日本顕微鏡学会　マルチディメンジョナルトモグラフィ研究部会「様々な量子ビームによる３次元イメージング」
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] Point Diffraction Interferometer for Inspection of High-Magnification Objective for Extreme Ultraviolet Microscopy2017
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda, Ryo Sunayama, Mihiro Yanagihara
- 学会等名
  The 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication,USA,Orlando.
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[学会発表] Point Diffraction Interferometer for Inspection of High-Magnification Objective for Extreme Ultraviolet Microscopy2017
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda, Ryo Sunayama, Mihiro Yanagihara
- 学会等名
  The 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] LOW-ORDER ABERRATIONS CORRECTION OF EXTREME ULTRAVIOLET IMAGING OBJECTIVE WITH DEFORMABLE MULTILAYER MIRRORS2016
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda,Ryo Sunayama,Mihiro Yanagihara
- 学会等名
  9th edition of the Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation (MEDSI) conference
- 発表場所
  バルセロナ (スペイン)
- 年月日
  2016-09-11
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] Multilayer Mirror Objective for Focusing Isolated Attosecond Pulse in 40 nm Wavelength Region2016
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda,Y. Tamaru,S. Mori1,K. Sawada,Y. Fu,E. J. Takahashi,A. Suda,F. Kannari,K. Midorikawa,M. Yanagihara
- 学会等名
  The 15th International Conference on X-Ray Lasers
- 発表場所
  奈良春日野国際フォーラム（奈良県・奈良市）
- 年月日
  2016-05-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発2016
- 著者名/発表者名
  金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ（新潟県・新潟市）
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発（2）2016
- 著者名/発表者名
  金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
- 学会等名
  第71回応用物理学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  青葉記念会館(宮城県・仙台市)
- 年月日
  2016-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発2016
- 著者名/発表者名
  金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ(新潟県・新潟市)
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] Multilayer Mirror Objective for Focusing Isolated Attosecond Pulse in 40 nm Wavelength Region2016
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda,Y. Tamaru,S. Mori1,K. Sawada,Y. Fu,E. J. Takahashi,A. Suda,F. Kannari,K. Midorikawa,M. Yanagihara
- 学会等名
  The 15th International Conference on X-Ray Lasers
- 発表場所
  奈良春日野国際フォーラム(奈良県・奈良市))
- 年月日
  2016-05-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K13693
[学会発表] Design, fabrication, and test of extreme ultraviolet microscope with 30-nm spatial resolution2016
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda
- 学会等名
  Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures Workshop 2016
- 発表場所
  エンスヘーデ (オランダ)
- 年月日
  2016-11-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16H03877
[学会発表] マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発（2）2016
- 著者名/発表者名
  金子明誉,豊田光紀,高田昌樹
- 学会等名
  第71回応用物理学会東北支部学術講演会
- 発表場所
  青葉記念会館（宮城県・仙台市）
- 年月日
  2016-12-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] 単一アト秒パルス用回折限界集光シテムの開発32016
- 著者名/発表者名
  田丸裕基、森哲、澤田和寛、Fu Yuxi、高橋栄治、須田亮、神成文彦、緑川克美、豊田光紀
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東工大　大岡山キャンパス (東京)
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] EUV用極限集光システムに向けた高反射率多層膜鏡の製作2015
- 著者名/発表者名
  田丸裕基、森哲、澤田和寛、Fu Yuxi、高橋栄治、須田亮、神成文彦、緑川克美、豊田光紀
- 学会等名
  軟X線イメージングの描く未来
- 発表場所
  分子科学研究所 (愛知県・岡崎市）
- 年月日
  2015-09-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] 単一アト秒パルス用回折限界集光システムの開発22015
- 著者名/発表者名
  田丸裕基、森哲、澤田和寛、Fu Yuxi、高橋栄治、須田亮、神成文彦、緑川克美、豊田光紀
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場 (愛知県・名古屋市)
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] 広視野を30nm解像するEUV顕微鏡の開発2015
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  分子研研究会（学協会連携）・放射光学会第8回若手研究会"軟X線イメージングの描く未来
- 発表場所
  分子科学研究所(岡崎市)
- 年月日
  2015-09-07
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] 単一アト秒パルス用回折限界集光システムの開発22015
- 著者名/発表者名
  田丸裕基,森哲,澤田和寛,Fu Yuxi,高橋栄治,須田亮,神成文彦,緑川克美,豊田光紀
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場(名古屋市)
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] 点回折干渉計による高倍率EUV顕微対物ミラーの１nm精度波面制御2015
- 著者名/発表者名
  豊田光紀,砂山諒,柳原美広
- 学会等名
  The 13th Symposium on X-Ray Imaging Optics
- 発表場所
  名古屋大学(名古屋市)
- 年月日
  2015-11-17
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] EUV用極限集光システムに向けた高反射多層膜鏡の製作2015
- 著者名/発表者名
  田丸裕基、澤田和寛、森哲、豊田光紀、高橋栄治、神成文彦、須田亮、緑川克美、柳原美廣
- 学会等名
  第15回レーザー学会東京支部研究会
- 発表場所
  東海大学高輪キャンパス
- 年月日
  2015-03-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] Ir レプリカX線反射鏡製作とNi トップレイヤーの性能評価2015
- 著者名/発表者名
  吉川駿, 田村啓輔, 松本浩典, 田原譲, 山下広順, 宮澤拓也, 三石郁之, 佐治重孝, 小林洋明, 松本竜弦, 豊田光紀, 柳原美広
- 学会等名
  日本天文学会2015年秋季年会
- 発表場所
  甲南大学(神戸市)
- 年月日
  2015-09-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] 多層膜ミラーによるEUV回折限界結像系の開発の現状と展開2014
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  レーザー学会第469回研究会
- 発表場所
  喜多方市
- 年月日
  2014-12-05
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] EUV結像系用点回折干渉計の波面測定精度の検証2014
- 著者名/発表者名
  砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣
- 学会等名
  応用物理学会東北支部第69回学術講演会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2014-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] 多層膜ミラーによるEUV回折限界結像系の開発の現状と展開2014
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  レーザー学会第469回研究会
- 発表場所
  喜多方市
- 年月日
  2014-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] 小型フォトニック結晶波長板による点回折干渉計の高精度化2014
- 著者名/発表者名
  砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] EUV結像系用点回折干渉計の波面測定精度の検証2014
- 著者名/発表者名
  砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣
- 学会等名
  応用物理学会東北支部第69回学術講演会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2014-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] 小型フォトニック結晶波長板による点回折干渉計の高精度化2014
- 著者名/発表者名
  砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣
- 学会等名
  第75回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2014-09-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122
[学会発表] Design, fabrication, and test of an EUV mask imaging microscope for lithography generations with sub-16 nm half pitch2013
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, K. Yamasoe, M. Yanagihara, T. Amano, T. Terasawa, A. Tokimasa, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita
- 学会等名
  2013 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography
- 発表場所
  Toyama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] Design, fabrication, and test of a novel wide field microscope objective for extreme ultraviolet multiscale imaging.2013
- 著者名/発表者名
  Mitsunori Toyoda
- 学会等名
  The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25390088
[学会発表] 軟X線多層膜による高倍率対物鏡の開発と生体試料観察への展開2011
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  先端計測シンポジウム
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2011-03-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] 軟X線多層膜光学系による顕微鏡開発の現状とコヒーレント軟X線集光への展開2010
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第11回エクストリームフォトニクス研究
- 発表場所
  和光市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] Development of Wide Field of View EUV Microscope Using Normal-Incident Multilayer Optics with LPP Light Source2010
- 著者名/発表者名
  F. Ishida, T. Ejima, M. Toyoda, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, H. Mizutani
- 学会等名
  The 10th international conference on x-ray microscopy
- 発表場所
  USA, Chicago
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] フレネル数の小さい軟X線用顕微光学系の結像特性2010
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 倉光康太, 柳原美廣
- 学会等名
  第35回光学シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] Super-Hierarchical Microscope in EUV Region2010
- 著者名/発表者名
  T. Ejima, M. Toyoda, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara
- 学会等名
  The 10th international conference on x-ray microscopy
- 発表場所
  USA, Chicago
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] 軟X線多層膜光学系による顕微鏡開発の現状とコヒーレント軟X線集光への展開2010
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第11回エクストリームフォトニクス研究
- 発表場所
  理化学研究所
- 年月日
  2010-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] Novel multilayer-mirror optics for a whole tissue imaging2010
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, T. Jinno, T. Harada, T. Hatano, M. Yanagihara
- 学会等名
  The 10th international conference on x-ray microscopy
- 発表場所
  Chicago
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] 軟X線用高倍率対物鏡の結像特性2010
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 倉光康太, 柳原美広
- 学会等名
  応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  長崎市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22760020
[学会発表] 軟x線用超高倍率顕微対物鏡の開発2009
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広
- 学会等名
  第34回光学シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] EUV-FEL光と運動量イメージングを用いたクラスター解離ダイナミクスの研究:クラスターサイズ依存性2009
- 著者名/発表者名
  岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 福澤宏宣, X. -J. Liu, G. Pruemper, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村浩治, 齋藤則生, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Fouca, A. Czasch, R. Doerner, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭
- 学会等名
  第22回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] EUV-FEL光と運動量イメージングを用いたクラスター解離ダイナミクスの研究:光強度依存性2009
- 著者名/発表者名
  永谷清信, 岩山洋士, 八尾誠, 福澤宏宣, X. -J. Liu, G. Pruemper, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村浩治, 齋藤則生, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭
- 学会等名
  第22回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] 広視野と高倍率を両立した軟x線多層膜顕微鏡の開発2009
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第10回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  つくば市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM32009
- 著者名/発表者名
  江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹
- 学会等名
  第22回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] 広視野と高倍率を両立した軟X線多層膜顕微鏡の開発2009
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第10回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  つくば国際会議場
- 年月日
  2009-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] EUV-FEL利用実験に用いる多粒子同期計測システムの開発と評価2009
- 著者名/発表者名
  本村浩治, 齋藤則生, 福澤宏宣, Liu XiaoJing, Pruemper Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, Rudenko Artem, Ullrich Joachim, Foucar Lutz, Czasch Achim, Doerner Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭
- 学会等名
  第22回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] 極紫外自由電子レーザー照射によるN2およびO2分子多光子多重イオン化2009
- 著者名/発表者名
  福澤宏宣, Liu XiaoJing, Pruemper Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村浩治, 齋藤則生, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, Rudenko Artem, Ullrich Joachim, Foucar Lutz, Czasch Achim, Doerner Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭
- 学会等名
  第22回日本放射光学会・放射光科学合同シンポジウム
- 発表場所
  東京
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発32008
- 著者名/発表者名
  江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  春日井
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] 炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0. 1%オーダー精度波長マッチング技術の開発2008
- 著者名/発表者名
  原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会講演奨励賞受賞記念講演
- 発表場所
  日井
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] Multiple ionization of rare gas clusters using the EUV-FEL at SPring-82008
- 著者名/発表者名
  G. Pruemper, H. Fukuzawa, X.J. Liu, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda,T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, N. Saito, K. Motomura, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higashiya, M. Yabashi, T. Ishikawa, R. Tanaka, H. Ohashi, H. Kimura
- 学会等名
  11th International Coference on Multiphoton Processes
- 発表場所
  Germany, Heidelberg
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] 直入射非球面鏡による広視野軟X線結像系2008
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 山本正樹, 柳原美広
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会X線結像光学の最前線
- 発表場所
  中部大学
- 年月日
  2008-09-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Optics for Soft X-Ray Imaging2008
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda, M. Yamamoto, M. Yanagihara
- 学会等名
  9th International Conference on X-Ray Microscopy
- 発表場所
  Switzerland, Zurich
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] Exact Period Thickness Control of Soft X-ray Multilayers on Curved Substrates2008
- 著者名/発表者名
  T. Harada, T. Jinno, M. Toyoda, T. Hatano, M. Yamamoto
- 学会等名
  9th International Conference on X-Ray Microscopy
- 発表場所
  Switzerland, Zurich
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] 軟X線用非球面対物鏡の解析的光学設計2008
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  先端計測シンポジウム2008-軟X線顕微計測-
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-03-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 直入射非球面鏡による広視野軟X線結像系2008
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 山本正樹, 柳原美広
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会x線結像光学の最前線
- 発表場所
  春日井
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] Analytical designing of two-aspherical-mirror optics for soft X-ray imaging[in Japanese]2008
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 1st Symposium of CAMS
- 発表場所
  Japan, Sendai
- 年月日
  2008-03-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] EUV自由電子レーザー集光用直入射光学系の開発2008
- 著者名/発表者名
  豊田光紀, 原田哲男, 山本正樹, 柳原美広, 福澤宏宣, X.J. Liu, G. Prumper, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸治, 齋藤則生, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dorner, 石川顕一, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 田中隆次, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  春日井
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20760018
[学会発表] ミラーの偏心誤差に強い軟X線用2枚凹面アブラナディック対物鏡の開発2007
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of two-concave-mirror aplanat tolerating large misalignments for soft X-ray imaging[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 68th Autumn Meeting, 2007, Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Sapporo
- 年月日
  2007-09-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 偏心・チルト外乱に強く軟X線適用の“合わせ鏡"2枚凹面アプラナート顕微対物2007
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  Optics & Photonics Japan 2007 第10回光設計賞受賞記念講演
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2007-11-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] ミラーの偏心誤差に強い軟X 線用2枚凹面アプラナティック対物鏡の開発2007
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第9回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Design of two-concave-mirror aplanat tolerating large alignment errors for soft X-ray microscope[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  Optics & Photonics Japan 2007
- 発表場所
  Japan, Osaka
- 年月日
  2007-11-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Design of Aspherical lmaging Optics Tolerating Practical Misalignments for Soft-X-Ray Microscopes2007
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics
- 発表場所
  Germany, Berlin
- 年月日
  2007-07-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Design of Aspherical Imaging Optics Tolerating Practical Misalignments for Soft-X-Ray Microscopes2007
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics
- 発表場所
  Germany, Berlin
- 年月日
  2007-07-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 偏心・チルト外乱に強く軟X線適用の"合わせ鏡"2枚凹面アプラナート顕微対物2007
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  Optics & Photonics Japan 2007第10回光設計賞受賞記念講演
- 発表場所
  大阪
- 年月日
  2007-11-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] ミラーの偏心誤差に強い軟X線用2枚凹面アプラナティック対物鏡の開発2007
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  北海道工業大学
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] ミラーの偏心誤差に強い軟X線用2枚凹面アブラナディック対物鏡の開発2007
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第9回X線結像光学シンポジウム
- 発表場所
  名古屋
- 年月日
  2007-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Development of two-concave-mirror aplanat tolerating large alignment errors for soft X-ray imaging[in Japanese]2007
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 9th Symposium of X-ray Imaging Optics
- 発表場所
  Japan, Nagoya
- 年月日
  2007-11-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Analytical designing of two-aspherical-mirror anastigmat permitting practical misalignments for soft-X-ray imaging2006
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 8th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures (PXRMS)
- 発表場所
  Japan, Sapporo
- 年月日
  2006-03-13
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 実用的なアライメント誤差を許容する軟X線用結像光学系の設計2005
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第52回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  さいたま
- 年月日
  2005-03-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Analytical designing of two-aspherical-mirror anastigmats permitting practical misalignments for soft-X-ray imaging2005
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 8th International Conference on X-ray Microscopy (XRM)
- 発表場所
  Japan, Himeji
- 年月日
  2005-07-26
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 瞳の遮光に着目した2面非球面高スループット対物鏡の新設計手法2005
- 著者名/発表者名
  豊田光紀
- 学会等名
  第52回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  さいたま
- 年月日
  2005-03-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] New design strategy for the two-aspherical-mirror anastigmat[in Japanese]2005
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 52nd Spring meeting, 2005, Japan Society of Applied Phvsics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Saitama
- 年月日
  2005-03-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] Design of soft x-ray imaging optics tolerating practical alignment errors[in Japanese]2005
- 著者名/発表者名
  M. Toyoda
- 学会等名
  The 52nd Spring meeting, 2005, Japan Society of Applied Phvsics and Related Societies
- 発表場所
  Japan, Saitama
- 年月日
  2005-03-31
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15002001
[学会発表] 単一アト秒パルス用回折限界集光システムの開発
- 著者名/発表者名
  澤田和寛、森哲、田丸裕基、豊田光紀、高橋栄治、神成文彦、須田亮、緑川克美、柳原美廣
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26600122

1. 高橋栄治 (80360577)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 10件
2. 津留俊英 (30306526)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
3. 山本正樹 (00137887)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 柳原美廣 (40174552)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 羽多野忠 (90302223)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. 江島丈雄 (80261478)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 大東琢治 (50375169)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 菊池伸明 (80436170)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 原田哲男 (30451636)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
10. 浅川直紀 (80270924)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 佐藤庸平 (70455856)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 高田昌樹 (60197100)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 石野雅彦 (80360410)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 長谷川登 (50360409)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. ヂンタンフン (20744808)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

豊田 光紀 Toyoda Mitsunori

研究課題

研究成果

共同研究者

10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

軟X線レーザー干渉顕微鏡の開発とアブレーションによる損傷形成過程の解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

高分解能50nm結像を実現する斜入射軟X線多層膜ミラー光学系の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

円偏光フェムト秒コヒーレント軟X線の発生と超高速スピンダイナミクスへの展開

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザープラズマ光源EUV顕微鏡の開発と広視野マルチスケール観察への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

サブ100nm集光で非摂動論的な非線形現象を励起するXUV用集光ミラーの開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

孤立アト秒パルスの回折限界集光と世界最高強度 XUV 場発生

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

フレネル数が減少した軟X線高倍率光学系の結像特性の解明研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高分解能の軟X線ビデオ観察を実現する実用超高倍率顕微対物鏡の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

新型合わせ鏡式サブ100nm解像の軟X線実用顕微対物鏡の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

実用アライメント誤差を許容する軟X線用結像光学系の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

豊田光紀 Toyoda Mitsunori