山崎謙治 YAMAZAKI Kenji

研究者番号	40393764
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2014年度: 日本電信電話株式会社, NTT物性科学基礎研究所・量子電子物性研究部, 主任研究員 2010年度: 日本電信電話株式会社NTT 物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 主任研究員 2010年度: 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 主任研究員 2009年度: 日本電信電話株式会社 NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 主任研究員 2008年度: 日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所, 量子電子物性研究部, 主任研究員
審査区分/研究分野	研究代表者以外マイクロ・ナノデバイス / 電子デバイス・電子機器
キーワード	研究代表者以外マイクロ / ナノマシン / マイクロマシン / 新規デバイス / 集積回路 / 電子デバイス / 電子デバイス・機器 / マイクロ・ナノデバイス / 化合物半導体 / 非線形素子 / マイクロメカニクス / ナノメカニクス

半導体非線形ナノメカニカル素子の研究
- 研究代表者
  
  山口浩司
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所
ナノ機械パラメトロン素子の研究
- 研究代表者
  
  山口浩司
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所

すべて 2013 2012 2011 2010 2009 2008

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Universal three-dimensional nanofabrication for hard materials2013
- 著者名/発表者名
  K. Yamazaki and H. Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: Vol. 31 号: 5
- DOI
  10.1116/1.4817177
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23241046
[雑誌論文] Electron beam lithography on vertical side faces of micrometer-order Si2012
- 著者名/発表者名
  Kenji Yamazaki and Hiroshi Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: 30 号: 4 ページ: 41601-41601
- DOI
  10.1116/1.4719561
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23241046
[雑誌論文] Resist Coating on Vertical Side Faces Using Conventional Spin Coating for Creating Three-Dimensional Nanostructures in Semiconductors2010
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Express
  
  巻: Volume 3 ページ: 106501-106501
- NAID
  10027441590
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Resist coating on vertical side faces using conventional spincoatingforcreating three-dimensional nanostructures insemiconductors2010
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi.
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express 3
  
  ページ: 106501-106501
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Fabrication of nano-mechanical Structures from bulk-GaAs using angled Ion Etching2009
- 著者名/発表者名
  V.K.Singh, K.Yamazaki, T.Tawara, H.Okamoto, H.Yamaguchi.
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express 2
  
  ページ: 65001-65001
- NAID
  10025086789
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Fabrication of Nanomechanical Structures from Bulk-GaAs Using Angled Ion Etching2009
- 著者名/発表者名
  V.K.Singh, K.Yamazaki, T.Tawara, H.Okamoto, H.Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express 2
- NAID
  10025086789
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Three-dimensional alignment with 10 nm order accuracy in electron-beam lithography on rotated sample for three-dimensional nanofabrication2008
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi.
- 雑誌名
  
  J.Vac. Sci. Technol. B26
  
  ページ: 2529-2529
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Three-dimensional alignment with 10nm order accuracy in electron-beam lithography on rotated sample for three-dimensional nanofabrication2008
- 著者名/発表者名
  K. Yamazaki, H. Yamaguchi
- 雑誌名
  
  J. Vac. Sci. Technol. B26
  
  ページ: 2529-2533
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Flexible nanofabrication in three- dimensional electron-beam lithography enhanced by suppression of proximity effect2008
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi.
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express 1
  
  ページ: 9701-9701
- NAID
  10025082548
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[雑誌論文] Flexible nanofabrication in three-dimensional electron-beam lithography enhanced by suppression of proximity effect2008
- 著者名/発表者名
  K. Yamazaki, H. Yamaguchi
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Express 1
  
  ページ: 97001-3
- NAID
  10025082548
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] Siブロックの真横からのエッチングと３次元ナノ構造作製（２）2013
- 著者名/発表者名
  山崎　謙治，山口浩司
- 学会等名
  第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学　厚木
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23241046
[学会発表] Siブロックの真横からのエッチングと3次元ナノ構造作成2012
- 著者名/発表者名
  山崎謙治，山口浩司
- 学会等名
  第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23241046
[学会発表] New Technique of Three-Dimensional Nanofabrication in Semiconductor by Using Electron Beam Lithography2012
- 著者名/発表者名
  K. Yamazaki and H. Yamaguchi
- 学会等名
  EIPBN2012
- 発表場所
  Waikoloa, US
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23241046
[学会発表] Resist coating on vertical side faces using conventional spin coating for creating three-dimensional nanostructures in semiconductors2011
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi
- 学会等名
  International Symposium on Nanoscale Transport and Technology (ISNTT2011)
- 発表場所
  Atsugi
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] 半導体ナノ構造作製のためのSiブロック垂直側面上レジスト塗布2011
- 著者名/発表者名
  山崎謙治、山口浩司
- 学会等名
  第58回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2011-03-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] Resist-coating on vertical side faces using conventional spin coating for creating three-dimensional nanostructures in semiconductor2010
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi
- 学会等名
  23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2010)
- 発表場所
  Kokura
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] ブロック共重合体の面内ハーフシリンダー相の転写特性2009
- 著者名/発表者名
  山口徹, 林順三, 山崎謙治, 山口浩司
- 学会等名
  第70回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  富山大学
- 年月日
  2009-09-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] 3次元EBリソにおける近接効果抑制によるアスペクト比・構造自由度の向上2009
- 著者名/発表者名
  山崎謙治, 山口浩司
- 学会等名
  第56回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  筑波大学
- 年月日
  2009-04-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] A new angled ion etching method to fabricate a nanostructure and its resonance characteristics2009
- 著者名/発表者名
  V. K. Singh, K. Yamazaki, T. Tawara, H. Okamoto, H. Yamaguchi
- 学会等名
  2009 International Symposium on Nanoscale Transport and Technology (ISNTT2009)
- 発表場所
  Atsugi, Japan
- 年月日
  2009-01-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] ブロック共重合体の面内ハーフシリンダー相の高速配向(2)2009
- 著者名/発表者名
  山口徹, 林順三, 山崎謙治, 山口浩司
- 学会等名
  第56回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  筑波大学
- 年月日
  2009-04-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] Pattern Transferability of In-Plane Half-Cylinders of Diblock Copolymers Formd by Rapid Graphoepitaxy2009
- 著者名/発表者名
  T.Yamaguchi, K.Yamazaki, H.Yamaguchi
- 学会等名
  22bd International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC2009)
- 発表場所
  Sapporo
- 年月日
  2009-11-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] A new technique of directional angles ion etching to suspend a nanobeam and its resonance2008
- 著者名/発表者名
  V. K. Singh, K. Yamazaki, T. Tawara, H. Yamaguchi
- 学会等名
  21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] ブロック共重合体の面内ハーフシリンダー相の高速配向2008
- 著者名/発表者名
  山口徹, 尾崎泰野, 林順三, 山崎謙治, 割澤伸一, 石原直, 山口浩司
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学(春日井キャンパス)
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] 3Dalignment with 10-nm order accuracy in electron-beam lithography on rotatedsample for 3D nanofabrication2008
- 著者名/発表者名
  K.Yamazaki, H.Yamaguchi.
- 学会等名
  52ndInternational Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication
- 発表場所
  Portland, US
- 年月日
  2008-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] Rapid Directed Self-Assembly of Clynder-Forming Diblock Copolymers2008
- 著者名/発表者名
  T. Yamaguchi, Y. Ozaki, K. Yamazaki, S. Warisawa, S. Ishihara, H. Yamaguchi
- 学会等名
  21st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2008)
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] EBリソを用いた3次元ナノ加工における10nmオーダの3次元アライメント2008
- 著者名/発表者名
  山崎謙治, 山口浩司
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  中部大学(春日井キャンパス)
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064
[学会発表] 3D alignment with 10-nm order accuracy in electron-beam lithography on rotated sample for 3D nanofabrication2008
- 著者名/発表者名
  K. Yamazaki, H. Yamaguchi
- 学会等名
  52nd International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN2008)
- 発表場所
  Portland, US
- 年月日
  2008-05-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20246064

1. 山口浩司 (60374071)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 27件
2. 山口徹 (30393763)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 27件
3. 岡本創 (20350465)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 3件
4. 小野満恒二 (30350466)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 永瀬雅夫 (20393762)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
6. マブーブイムラン (80417097)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 中ノ勇人 (60393774)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

山崎 謙治 YAMAZAKI Kenji

研究課題

研究成果

共同研究者

半導体非線形ナノメカニカル素子の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ機械パラメトロン素子の研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Universal three-dimensional nanofabrication for hard materials2013

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Electron beam lithography on vertical side faces of micrometer-order Si2012

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Resist Coating on Vertical Side Faces Using Conventional Spin Coating for Creating Three-Dimensional Nanostructures in Semiconductors2010

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Resist coating on vertical side faces using conventional spincoatingforcreating three-dimensional nanostructures insemiconductors2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Fabrication of nano-mechanical Structures from bulk-GaAs using angled Ion Etching2009

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Fabrication of Nanomechanical Structures from Bulk-GaAs Using Angled Ion Etching2009

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Three-dimensional alignment with 10 nm order accuracy in electron-beam lithography on rotated sample for three-dimensional nanofabrication2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Three-dimensional alignment with 10nm order accuracy in electron-beam lithography on rotated sample for three-dimensional nanofabrication2008

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Flexible nanofabrication in three- dimensional electron-beam lithography enhanced by suppression of proximity effect2008

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[雑誌論文] Flexible nanofabrication in three-dimensional electron-beam lithography enhanced by suppression of proximity effect2008

著者名/発表者名

雑誌名

NAID

データソース

[学会発表] Siブロックの真横からのエッチングと３次元ナノ構造作製（２）2013

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] Siブロックの真横からのエッチングと3次元ナノ構造作成2012

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] New Technique of Three-Dimensional Nanofabrication in Semiconductor by Using Electron Beam Lithography2012

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] Resist coating on vertical side faces using conventional spin coating for creating three-dimensional nanostructures in semiconductors2011

著者名/発表者名

山崎謙治 YAMAZAKI Kenji