松谷晃宏 Matsutani Akihiro

… 別表記

松谷晁宏マツタニアキヒロ

研究者番号	40397047
その他のID	https://orcid.org/0000-0003-4073-7894
所属 (現在)	2024年度: 東京科学大学, オープンファシリティセンター, 上席技術専門員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2024年度: 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 上席技術専門員 2021年度 – 2024年度: 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 主任技術専門員 2020年度: 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 技術職員 2019年度: 東京工業大学, オープンファシリティセンター, 主任技術専門員 2017年度 – 2018年度: 東京工業大学, 技術部, 主任技術専門員 … もっと見る 2014年度 – 2016年度: 東京工業大学, 技術部, 技術専門員 2013年度 – 2016年度: 東京工業大学, 技術部, 技術職員 2013年度: 東京工業大学, 学内共同利用施設等, その他 2012年度: 東京工業大学, 学内共同利用施設等, 技術職員 2007年度 – 2012年度: 東京工業大学, 技術部, 技術専門員 2009年度: 東京工業大学, 精密工学研究所, 技術専門員 2007年度: 東京工業大学, 技術部半導体MEMS支援センター, 技術専門員 2005年度 – 2007年度: 東京工業大学, 精密工学研究所, 技術専門員隠す
審査区分/研究分野	研究代表者ナノマイクロシステム / マイクロ・ナノデバイス / 小区分09080:科学教育関連研究代表者以外電子デバイス・電子機器 / 通信・ネットワーク工学 / 小区分36020:エネルギー関連化学 / 中区分16:天文学およびその関連分野 / 電子・電気材料工学 / 無機材料・物性 / 応用光学・量子光工学 / 理工系
キーワード	研究代表者半導体プロセス技術 / 単一細胞分離 / ナノマイクロバイオシステム / プラズマ加工 / リソグラフィ / バイオチップ / 細胞分離 / 微生物細胞 / 球状微粒子 / コーヒーリング効果 … もっと見る / STEAM教育 / 光学実験 / 細胞操作技術 / エッチング / マイクロ凹面鏡 / 細胞マニピュレーション / 凹面鏡 / スンプ法 / 細胞捕獲 / optical devices / ultraviolet / high density plasma / fluorite / dry etching / micromachine / semiconductor microfabrication / plasma processing / 固体ソース / 水蒸気 / プラズマ / 光デバイス / 紫外光源 / 高密度プラズマ / 蛍石 / ドライエッチング / マイクロマシン / 半導体微細化 / 流路レス凝集 / 流路レス凝集法 / マイクロプロセス / マイクロレンズ / ナノ・マイクロ科学 / 液体定在波 / 半導体プロセス / マイクロ流路 / マイクロ・ナノデバイス / プラズマプロセス / 単一細胞 / マイクロバイオシステム … もっと見る研究代表者以外光デバイス / 光通信 / 面発光レーザ / 光集積回路 / 半導体レーザ / マイクロマシン / 光物性 / 電子デバイス・機器 / フォトニックネットワーク / 光インターコネクト / 光信号処理 / SDGs / ゼロカーボンエネルギー / 低炭素社会 / ゼロエミッション / 半導体 / 熱電 / ゼロカーボン / 熱エネルギー / 酸化還元 / 色素増感型太陽電池 / 熱励起電荷 / 再生可能エネルギー / 熱エネルギー変換 / コロナグラフ / 直接撮像 / 太陽系外惑星 / 光学的波面形状の直接計測 / FPGAによる多入出力で高速な制御 / 極限補償光学 / 装置開発 / 直接撮像観測 / 太陽系外惑星探査 / 赤外線天文学 / 電子・電気材料 / optical physics / electronic device / photonic network / フナトニックネットワーク / 傾斜エッチング / 太陽電池 / 誘電率 / 屈折率 / 電解液 / 反応性イオンエッチング / ナノ構造作製 / 自己集積 / 微細構造 / ナノ加工 / 光圧 / 光熱変換 / プラズモン / ナノ構造 / ボトムアップ / 酸化チタン / ３次元 / リソグラフィー / 電気化学 / フォトニック結晶 / 回折格子 / 光回路 / スローライト / 波長可変レーザ / 高速変調 / マイロマシン隠す

球状微粒子とコーヒーリング効果の光学実験によるSTEAM教育のための教材開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松谷晃宏
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2026
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分09080:科学教育関連
- 研究機関
  東京工業大学
増感型熱利用発電における使用熱量測定と効率の定義
- 研究代表者
  
  松下祥子
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分36020:エネルギー関連化学
- 研究機関
  東京工業大学
分割主鏡望遠鏡での直接撮像による木星類似型太陽系外惑星の特性観測
- 研究代表者
  
  長田哲也
- 研究期間 (年度)
  2018 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 審査区分
  
  中区分16:天文学およびその関連分野
- 研究機関
  京都大学
2次元マイクロ凹面鏡アレイとケーラー照明による単一細胞2次元アレイ操作技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松谷晃宏
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東京工業大学
半導体微細加工プロセスとクラドニ図形の融合による細胞の輸送と単一分離技術の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  松谷晃宏
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  ナノマイクロシステム
- 研究機関
  東京工業大学
新規２次元ダイヤモンドシート膜による超低消費電力デバイスの創製
- 研究代表者
  
  波多野睦子
- 研究期間 (年度)
  2014 – 2015
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  東京工業大学
発光抑制する電気化学フォトニック結晶の作製
- 研究代表者
  
  松下祥子
- 研究期間 (年度)
  2013 – 2016
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  無機材料・物性
- 研究機関
  東京工業大学
半導体プロセスによる極狭スリット細胞分離マイクロ流路形成と単一細胞分離構造の融合研究代表者
- 研究代表者
  
  松谷晃宏
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  東京工業大学
超低消費電力光配線のための集積フォトニクスの進化
- 研究代表者
  
  小山二三夫
- 研究期間 (年度)
  2010 – 2014
- 研究種目
  
  基盤研究(S)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京工業大学
面発光レーザ集積アレイの波長エンジニアリング
- 研究代表者
  
  小山二三夫
- 研究期間 (年度)
  2010
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  東京工業大学
超高速光信号誤り訂正技術に関する研究
- 研究代表者
  
  植之原裕行
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  通信・ネットワーク工学
- 研究機関
  東京工業大学
面発光レーザフォトニクスの新展開
- 研究代表者
  
  小山二三夫
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2009
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  応用光学・量子光工学
- 研究機関
  東京工業大学
水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究研究代表者
- 研究代表者
  
  松谷晃宏
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  東京工業大学
中空光導波路における巨大可変特性発現とその光ネットワークデバイスへの展開
- 研究代表者
  
  小山二三夫
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2008
- 研究種目
  
  特定領域研究
- 審査区分
  
  理工系
- 研究機関
  東京工業大学
光データ処理による超高速光信号誤り検出に関する研究
- 研究代表者
  
  植之原裕行
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  通信・ネットワーク工学
- 研究機関
  東京工業大学

[雑誌論文] Laboratory demonstration of the birefrigent point-diffraction interferometer wavefront sensor2023
- 著者名/発表者名
  Tsukui Ryo、Kino Masaru、Yamamoto Kodai、Sato Mina、Tohnishi Mie、Matsutani Akihiro、Kurita Mikio
- 雑誌名
  
  Optics Continuum
  
  巻: 2 号: 2 ページ: 382-382
- DOI
  10.1364/optcon.476318
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03613, KAKENHI-PROJECT-18H03719
[雑誌論文] Surface Treatment of Polyimide Using Solid-source H2O Plasma for Fabrication of Ge Electrode2023
- 著者名/発表者名
  Mie Tohnishi, Mina Sato, Akihiro Matsutani, Takashi Ubukata, Sachiko Matsushita.
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 35 号: 3 ページ: 1023
- DOI
  10.18494/SAM4276
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 年月日
  2023-03-23
- 言語
  英語
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[雑誌論文] Direct observation of spherical aberration under microscope using concave micromirrors2020
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani
- 雑誌名
  
  European Journal of Physics
  
  巻: －号: 5 ページ: 055303-055303
- DOI
  10.1088/1361-6404/ab90df
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[雑誌論文] Microfabrication of Concave Micromirror for Microbial Cell Trapping Using K?hler Illumination by XeF2 Vapor Etching2019
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Mina Sato, Koichi Hasebe, Ayako Takada
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 31 号: 4 ページ: 1325
- DOI
  10.18494/SAM.2019.2235
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 年月日
  2019-04-30
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[雑誌論文] Celluloid Microenclosure and Microlens Array Fabricated by SUMP method and XeF2 Vapor Etching for Microbial Analysis2018
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Ayako Takada
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 30 ページ: 149
- DOI
  10.18494/SAM.2018.1729
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020, KAKENHI-PROJECT-15K14690
[雑誌論文] Optical performance of Au hemispheric sub-microstructure on polystyrene quadrumer2017
- 著者名/発表者名
  3.Tsuyoshi Takahashi, Akihiro Matsutani, Dai Shoji, Kunio Nishioka, Mina Sato, Takayuki Okamoto, Tomotarou Ezaki, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Sachiko Matsushita
- 雑誌名
  
  Colloids. Surf. A
  
  巻: 513 ページ: 51-56
- DOI
  10.1016/j.colsurfa.2016.11.033
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[雑誌論文] Mivrochannel-free collection and single-cell isolation of yeast cells in a suspension using liquid standing wave2016
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Ayako Takada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 55 号: 11 ページ: 118006-118006
- DOI
  10.7567/jjap.55.118006
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037, KAKENHI-PROJECT-15K14690
[雑誌論文] Compact Wavelength Selective Switch Using a Bragg Reflector Waveguide Array with Ultra-Large Number (>100) of Output-Ports2015
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu,Kenya Suzuki,Yuichiro Ikuma,Kazunori Seno,Hiromasa Tanobe,Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Journal of Lightwave Technology
  
  巻: vol. 33, no. 7 号: 7 ページ: 1358-1364
- DOI
  10.1109/jlt.2014.2386324
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008, KAKENHI-PROJECT-13J03062, KAKENHI-PROJECT-26630152
[雑誌論文] Single-Cell Isolation and Size Sieving Using Microenclosure Array for Microbial Analysis2015
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Ayako takada
- 雑誌名
  
  Sensors and Materials
  
  巻: 27 ページ: 383-390
- DOI
  10.18494/SAM.2015.1077
- ISSN
  0914-4935, 2435-0869
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037, KAKENHI-PROJECT-15K14690
[雑誌論文] Microfabrication for a polystyrene quadrupole by template-assisted self-assembly2015
- 著者名/発表者名
  Tsuyoshi Takahashi, Akihiro Matsutani, Dai Shoji, Kunio Nishioka, Mina Sato, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Sachiko Matsushita
- 雑誌名
  
  Colloid. Surf. A
  
  巻: 484 ページ: 75-80
- DOI
  10.1016/j.colsurfa.2015.07.057
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[雑誌論文] Simple fabrication of micro-polygons and micro-honeycombs utilizing thermal deformation of monolayer colloidal crystals during reactive ion etching2015
- 著者名/発表者名
  Shoya Sano, Kunio Nishioka, Akihiro Matsutani, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Sachiko Matsushita
- 雑誌名
  
  Colloid. Surf. A
  
  巻: 486 ページ: 1-5
- DOI
  10.1016/j.colsurfa.2015.09.019
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[雑誌論文] Athermalization and on-chip multi-wavelength integration of VCSELs employing thermally actuated micromachined mirrors2014
- 著者名/発表者名
  M. Nakahama, T. Sakaguchi, A. Matsutani, F. Koyama
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 105 号: 9
- DOI
  10.1063/1.4895337
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J08625, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Highly angular dependent high-contrast grating mirror and its application for transverse-mode control of VCSELs2014
- 著者名/発表者名
  Shunya Inoue,Junichi Kashino,Akihiro Matsutani,Hideo Ohtsuki,Takahiro Miyashita,Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: vol. 53, no. 9 号: 9 ページ: 090306-090306
- DOI
  10.7567/jjap.53.090306
- NAID
  210000144420
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Angled Etching of (001) Rutile Nb-TiO2 Substrate by SF6 Based Capacitive Coupled Plasma2014
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Kunio Nishioka, Mina Sato, Dai Shoji, Daito Kobayashi, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Tetsu Tatsuma, and Sachiko Matsushita
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: in press
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[雑誌論文] Fluorinated graphene FETs controlled by Ionic Liquid Gate2014
- 著者名/発表者名
  Furuyama, K. Tahara, A. Matsutani, T. Iwasaki, M. Hatano,
- 雑誌名
  
  IEEE Display Technology, Vol.10 , 962 - 965 (2014)
  
  巻: Vol.10 号: 11 ページ: 962-965
- DOI
  10.1109/jdt.2014.2332636
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630125
[雑誌論文] Lateral Integration of Vertical Cavity Surface Emitting Laser and Slow Light Bragg Reflector Waveguide Devices2014
- 著者名/発表者名
  Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Applied Optics
  
  巻: vol.53, no.9 号: 9 ページ: 1766-1774
- DOI
  10.1364/ao.53.001766
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Generation of vortex beam using Bragg reflector waveguide2014
- 著者名/発表者名
  Shota Mochizuki, Xiaodong Gu, Kenji Tanabe, Akihiro Matsutani, Moustafa Ahmed, Ahmed Bakry and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: vol.7, no.2 号: 2 ページ: 022502-022502
- DOI
  10.7567/apex.7.022502
- NAID
  210000136960
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] High Frequency Modulation of Transverse-Coupled-Cavity VCSELs for Radio over Fiber Applications2014
- 著者名/発表者名
  Hamed Dalir, Akihiro Matsutani , Moustafa Ahmed, Ahmed Bakry and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  IEEE Photonics Technology Letters
  
  巻: Vol.26 no. 3 号: 3 ページ: 281-284
- DOI
  10.1109/lpt.2013.2292577
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-12J09691, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Slow-light Bragg reflector waveguide array for two-dimensional beam steering2014
- 著者名/発表者名
  Kensuke Nakamura, Akihiro Matsutani, Moustafa Ahmed, Ahmed Bakry and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: vol. 53, no. 3 号: 3 ページ: 038001-038001
- DOI
  10.7567/jjap.53.038001
- NAID
  210000143457
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Athermal and widely tunable VCSEL with bimorph micromachined mirror2014
- 著者名/発表者名
  M. Nakahama, T. Sakaguchi, A. Matustani and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Optics Express
  
  巻: 22 号: 18 ページ: 21471-21479
- DOI
  10.1364/oe.22.021471
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J08625, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] 20 μm-long Slow-light Bragg Reflector Waveguide Modulator with over 20GHz Modulation Bandwidth2014
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu （顧　暁冬）, Ayako Suzuki, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: 7 号: 11 ページ: 114101-114101
- DOI
  10.7567/apex.7.114101
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J03062, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Wavelength tuning and controlled temperature dependence in vertical-cavity surface-emitting lasers with a thermally and electrostatically actuated cantilever structure2014
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Fumio Koyama, et al.
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 53 号: 1 ページ: 10303-10306
- DOI
  10.7567/jjap.53.010303
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J08625, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Fabrication of Silicon Microchannel for Transport of Bacterial Cells by Ar/F2 Vapor Etching Process2013
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, and A. Takada
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 4R ページ: 47001-47001
- DOI
  10.7567/jjap.52.047001
- NAID
  210000141963
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141, KAKENHI-PROJECT-23658073
[雑誌論文] Compact beam deflector based on slow-light Bragg reflector waveguide monolithically integrated with VCSEL2013
- 著者名/発表者名
  Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  IEICE Electronics Express
  
  巻: 10 号: 22 ページ: 20130842-20130842
- DOI
  10.1587/elex.10.20130842
- NAID
  130003383497
- ISSN
  1349-2543
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Low polarization dependent beam deflector based on Bragg reflector waveguide for C-band wavelength demultiplexing2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 114 号: 16
- DOI
  10.1063/1.4828715
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J03062, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] 35-μm Bragg Reflector Waveguide Modulator for High-Speed and Energy -Saving Operation2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani, Furnio Koyama
- 雑誌名
  
  IEEE Photonics Technology Letters
  
  巻: 25 号: 18 ページ: 1766-1769
- DOI
  10.1109/lpt.2013.2275190
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J03062, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Low-polarization dependent thermo-optic phase-shift in slow light Bragg reflector waveguide for beam steering and optical switching2013
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Moustafa Ahmed, Ahmed Bakry and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: vol. 53, no.1 号: 1 ページ: 010306-010306
- DOI
  10.7567/jjap.53.010306
- NAID
  210000143232
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Tuning Characteristics of Monolithic MEMS VCSELs With Oxide Anti-Reflection Laver2013
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Fumio Koyama, et. al.
- 雑誌名
  
  IEEE Photonics Technology Letters
  
  巻: 25 号: 18 ページ: 1747-1750
- DOI
  10.1109/lpt.2013.2272732
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J08625, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Compact Slow-Light Electro-Absorption Modulator Laterally2013
- 著者名/発表者名
  Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: no.6 号: 12 ページ: 122102-122102
- DOI
  10.7567/apex.6.122102
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Low-voltage electro-absorption optical modulator based on slow-light Bragg reflector waveguide2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Shoki Shimizu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett.
  
  巻: 102 号: 3
- DOI
  10.1063/1.4789533
- NAID
  120006582236
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] スローライトを利用した全反射光スイッチ2012
- 著者名/発表者名
  淵田歩, 松谷晃宏, 小山二三夫
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会論文誌C
  
  巻: J95-C, No.4 ページ: 75-83
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Wavelength Trimming of Micro-Machined VCSELs2012
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  IEICE Trans.Electron.
  
  巻: vol.E95-C ページ: 237-242
- NAID
  10030609942
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Ultra-compact Beam Steering Device based on Bragg Reflector Waveguide Amplifier with Number of Resolution Points over 1002012
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Akihiro Imamura, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Electron.Lett.
  
  巻: Vol.48, no.6 ページ: 336-337
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Microfabrication of Si and GaAs by Plasma Etching Process Using Bacterial Cells as an Etching Mask Material2012
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys
  
  巻: 51 号: 8R ページ: 87001-87001
- DOI
  10.1143/jjap.51.087001
- NAID
  40019395655
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141, KAKENHI-PROJECT-23658073
[雑誌論文] Ultra-high channel-count wavelength demultiplexer based on a Bragg reflector waveguide with large angular dispersion2012
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani, and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  OPTICS EXPRESS
  
  巻: vol.20, no.26 号: 26 ページ: B331-B331
- DOI
  10.1364/oe.20.00b331
- NAID
  120006582216
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] スローライトを利用した全反射型光スイッチ2012
- 著者名/発表者名
  淵田歩, 松谷晃宏, 小山二三夫
- 雑誌名
  
  電子情報通信学会論文誌
  
  巻: Vol.J, 95-C, no.4 ページ: 75-83
- NAID
  110009436643
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Athermal and Tunable Operations of 850nm Vertical Cavity Surface Emitting Lasers with Thermally Actuated T-shape Membrane Structure2012
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 101 号: 12 ページ: 121115-121115
- DOI
  10.1063/1.4753807
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-10J09480, KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Fabrication and Characterization of Bragg Reflector Slow Light Waveguide with Oxide Lateral Confinement2012
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys.
  
  巻: Vol.51, no.4
- NAID
  40019280020
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Giant Wavelength-temperature Dependence of a Micro-machined VCSEL with a Thermally Actuated Cantilever Structure2012
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Applied Physics
  
  巻: Vol.51, no.4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Miniature Non-mechanical Beam Deflector Based on Bragg Reflector Waveguide with a Number of Resolution-points Larger than 10002012
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  IEEE Photon. J.
  
  巻: Vol.4, no.5 号: 5 ページ: 1712-1719
- DOI
  10.1109/jphot.2012.2214206
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Electro-thermal Tuning of MEMS VCSEL with Giant Wavelength-temperature Dependence2012
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Electronics Express
  
  巻: Vol.9, no.5 ページ: 416-421
- NAID
  130001922364
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Microfabrication of Si-Based High-Index-Contrast-Grating Structure by Thermal Nanoimprint Lithography and Cl2/Xe-Inductively Coupled Plasma Etching2012
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Yuuki Hashidume, Hideo Ohtsuki and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: Vol. 51 (2012), 06FF05 号: 6S ページ: 1-4
- DOI
  10.1143/jjap.51.06ff05
- NAID
  210000140770
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Giant wavelength-temperature dependence of a micro-machined VCSEL with a thermally actuated cantilever structure2012
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys.
  
  巻: Vol.51, no.4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Electro-Thermal Beam Steering Using Bragg Reflector Waveguide Amplifier2012
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Akihiro Imamura, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys.
  
  巻: vol.51
- NAID
  40019170201
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Beam Steering in GalnAs/GaAs Slow-light Bragg Reflector Waveguide Amplifier2011
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Akihiro Imamura, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Lett.
  
  巻: vol.99, no.21
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Inductively Coupled Plasma Etching of Silicon Using Solid Iodine as an Etching Gas Source2011
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys.
  
  巻: vol.50
- NAID
  210000070710
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Multiplexing of Multi-Wavelength 1060-nm-Band GalnAs/GaAs Vertical Cavity Surface Emitting Laser Array Using Tapered Hollow Waveguide2011
- 著者名/発表者名
  Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani, Fumio Koyatna
- 雑誌名
  
  Applied Physics Express
  
  巻: vol.4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Slow-light total-intemal-reflection switch with bending angle of 30 deg2011
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Optics Letters
  
  巻: vol.36, no.14. ページ: 2644-2646
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Reactive Ion Etching of Si Using Ar/F_2 Plasma2010
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.App.Phys.
  
  巻: vol.49, no.6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22246047
[雑誌論文] Reactive Ion Etching of Si Using Ar/F_2 Plasma2010
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.App.Phys.
  
  巻: vol.49, no.6
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[雑誌論文] Smooth and Vertical Profile Dry Etching od Si Using XeF2 Plasma2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. vol.48
  
  ページ: 1-3
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Smooth and Vertical Profile Dry Etching of Si Using XeF2 Plasma2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys vol.48,06FE09
  
  ページ: 1-3
- NAID
  210000066933
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Athermal 850nm Vertical Cavity Surface Emitting Lasers with Thermally Actuated Cantilever Structure2009
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Exp. vol.2,
- NAID
  10025087183
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Multiple-Wavelength Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers by Grading a Spacer Layer for Short-Reach Wavelength Division Multiplexing Applications2009
- 著者名/発表者名
  Padullaparthi Babu Dayal, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Exp. vol.2,no.9
- NAID
  10025517766
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Athermal 850nm Vertical Cavity Surface Emitting Lasers with Thermally Actuated Cantilever Structure2009
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Exp. vol.2
- NAID
  10025087183
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Multiple-Wavelength Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers by Grading a Spacer Layer for Short-Reach Wavelength Division Multiplexing Applications2009
- 著者名/発表者名
  Padullaparthi Babu Dayal, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Appl.Phys.Exp. vol.2, no.9
- NAID
  10025517766
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Characterization of H_2O-inductively coupled plasma for dry etching2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series 100
  
  ページ: 62022-62022
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Generation of Solid-Source H_2O Plasma and Its Application to Dry Etching of CaF_22008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47(掲載決定)
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Generation of Solid-Source H2O Plasma and Its Application to Dry Etching of CaF22008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, and Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. vol.47
  
  ページ: 5113-5115
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Characterization of H2O-inductively coupled plasma for dry etching2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  J. Phys.
  
  ページ: 1-4
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Characterization of H_2O-inductively coupled plasma for dry etching2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Journal of Physics: Conference Series(電子ジャーナル) 100
  
  ページ: 62022-62022
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Generation of Solid-Source H_2O Plasma and Its Application to Dry Etching of CaF_22008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47(In press)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Characterization of H_2O-inductively coupled plasma for dry etching2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro, Matsutani, Hideo, Ohtsuki, Fumio, Koyama
- 雑誌名
  
  Journal of Physics 100, 062022(CONCERNED)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Generation of solid-source H2O plasma and its application to dry etching of CaF22008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. Vol.47,no.6
  
  ページ: 5113-5115
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[雑誌論文] Generation of Solid-Source H2O Plasma and Its Application to Dry Etching of CaF22008
- 著者名/発表者名
  Akihiro, Matsutani, Hideo, Ohtsuki, Fumio, Koyama
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of. Appl. Phys 47(in press)(CONCERNED)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Generation of Solid-Source H2O Plasma and Its Application to Dry Etching of CaF22008
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 47, no. 6
  
  ページ: 5113-5115
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] 水蒸気導入によるエッチング用H_2O-ICPのプラズマ観測2007
- 著者名/発表者名
  松谷彰宏, 大槻秀夫, 小山不二夫
- 雑誌名
  
  第24回「プラズマプロセシング研究会(SPP-24)」プロシーディングス
  
  ページ: 139-140
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] 水蒸気導入によるエッチング用H_2O-誘導結合プラズマ(ICP)の発光分光分析2007
- 著者名/発表者名
  松谷彰宏, 大槻秀夫, 小山不二夫
- 雑誌名
  
  第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 No.3
  
  ページ: 1480-1480
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] 液体ソースドライエッチングプロセスのためのH_2Oプラズマの生成2007
- 著者名/発表者名
  松谷彰宏
- 雑誌名
  
  平成18年度名古屋大学総合技術研究会報告集装置技術分科会
  
  ページ: 114-115
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[雑誌論文] Wavelength Tuning of Double-Cavity Micromachined Filter with Electrical and Thermal Actuations2007
- 著者名/発表者名
  Wiganes Janto, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  OPTICAL REVIEW vol.14, no. 2
  
  ページ: 86-90
- NAID
  10018912664
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Wavelength Tuning of Double-Cavity Micromachined Filter with Electrical and Thermal Actuations2007
- 著者名/発表者名
  W. Janto, A. Matsutani and F. Koyama
- 雑誌名
  
  OPTICAL REVIEW vol. 14, no. 2
  
  ページ: 86-90
- NAID
  10018912664
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Tunable Planar Air-Core Resonator Based on Tunable Hollow Waveguide2006
- 著者名/発表者名
  Yasuki Sakurai, Akihiro Matsutani, Takahiro Sakaguchi, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys vol.45,no.11(掲載決定)
- NAID
  10018158678
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Tunable stop-band hollow waveguide Bragg reflector with tapered air-core for adaptive dispersion-compensation2006
- 著者名/発表者名
  Yasuki Sakurai, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters (掲載決定)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Tunable stop-band hollow waveguide Bragg reflector with tapered air-core for adaptive dispersion-compensation2006
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, A. Matsutani and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Appl. Phys. Lett. vol.88, no. 12
  
  ページ: 121103-121103
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Tunable Planar Air-Core Resonator Based on Tunable Hollow Waveguide2006
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, A. Matsutani, T. Sakaguchi and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys vol.45, no. 11
- NAID
  10018158678
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Solid Source Dry Etching Process for GaAs and InP2006
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys vol.45, no. 10B
  
  ページ: 8374-8377
- NAID
  10018339878
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Design, Fabrication, and Characterization of Tunable Micromachined Filter with Double-Cavity Structure2006
- 著者名/発表者名
  Wiganes Janto, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys vol.45, no. 10A
  
  ページ: 7732-7736
- NAID
  40007462494
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Solid Source Dry Etching Process for GaAs and InP2006
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, Hideo Ohtsuki and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. vol. 45, no. 10B
  
  ページ: 8374-8377
- NAID
  10018339878
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Giant Bragg wavelength tuning of tunable hollow waveguide Bragg reflector2005
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, A. Matsutani, T. Sakaguchi and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. vol. 44, no. 37
- NAID
  130004533548
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Tunable Stop-Band Hollow Waveguide Bragge Reflector with Tapered Air-Core for Adaptive Dispersion-Compensation2005
- 著者名/発表者名
  Yasuki Sakurai, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  CLEO2005 CMP5
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] 160nm Continuous Wavelength Tuning of Tunable Hollow Waveguide Bragg Reflector2005
- 著者名/発表者名
  Yasuki Sakurai, Akihiro Matsutani, Takahiro Sakaguchi, Fumio Koyama
- 雑誌名
  
  CLEO2005 CPDA6
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[雑誌論文] Iodine Solid Source Inductively Coupled Plasma Etching of InP2005
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys. vol.44, no.19
- NAID
  10015726485
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] 点回折干渉計方式による極限補償光学用波面センサの開発2023
- 著者名/発表者名
  津久井遼, 木野勝, 山本広大, 佐藤美那, 遠西美重, 松谷晃宏, 栗田光樹夫
- 学会等名
  2023年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H03719
[学会発表] Fabrication of nonreflective black germanium in near-infrared region up to a wavelength of 2.5 micro m by SF6+O2/C4F8-plasma-based deep reactive ion etching2023
- 著者名/発表者名
  Mie Tohnishi, Sachiko Matsushita, Akihiro Matsutani
- 学会等名
  2023 International Symposium on Dry Process (DPS 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[学会発表] Deep-RIE により作製したブラックGe 微細構造側壁のEDX 分析2023
- 著者名/発表者名
  遠西美重, 松谷晃宏, 松下祥子
- 学会等名
  2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[学会発表] ポリイミドシート上へスパッタ成膜したCr/Ge電極の固体ソースH2Oプラズマを用いた前処理による低抵抗化2022
- 著者名/発表者名
  遠西美重, 佐藤美那, 松下祥子, 松谷晃宏
- 学会等名
  応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[学会発表] ポジ型電子線レジストSML1000をマスクとして用いたSF6-RIEによるGeのドライエッチング2022
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏, 遠西美重, 藤本美穂, 松下祥子
- 学会等名
  応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[学会発表] ポジ型電子線レジストSML1000をマスクとして用いたSF6-RIEによるGeのドライエッチング2022
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,遠西美重,藤本美穂,松下祥子
- 学会等名
  2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[学会発表] 点回折干渉計方式を用いた補償光学用波面センサの開発 (V245b)2021
- 著者名/発表者名
  津久井遼、木野勝、山本広大、栗田光樹夫(京都大学)、松谷晃宏(東京工業大学)
- 学会等名
  日本天文学会2021年秋季年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H03719
[学会発表] 固体ソースH2Oプラズマを用いて表面処理したポリイミドテープ上のCr/Cu電極の折り曲げ耐久性2021
- 著者名/発表者名
  遠西美重, 佐藤美那, 松下祥子, 松谷晃宏
- 学会等名
  応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K21145
[学会発表] せいめい望遠鏡での極限補償光学に向けた波面センサの開発2021
- 著者名/発表者名
  津久井遼、木野勝、山本広大、栗田光樹夫（京都大学）、松谷晃宏（東京工業大学）
- 学会等名
  赤外線学会第88回定例研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18H03719
[学会発表] スンプ法によるセルロイドマイクロ時計皿アレイ細胞集積チップの製作2020
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] Siマイクロ凹面鏡とケーラー照明光による酵母細胞の捕獲2019
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，佐藤美那，長谷部浩一，髙田綾子
- 学会等名
  第66回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] Optical Characterization of Concave Micromirror Array for Microbial Cell Trapping Fabricated by Laser Lithography and SUMP Method2019
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, A. Takada
- 学会等名
  MNC2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] スンプ法とレーザー描画により製作したマイクロ凹面鏡の集光特性2019
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第80回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] XeF2気相エッチングにより製作した微生物細胞捕獲用Siマイクロ凹面鏡の集光実験2018
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏, 佐藤美那, 長谷部浩一, 髙田綾子
- 学会等名
  第79回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] XeF2気相エッチングによるSiマイクロ凹面鏡構造の製作2018
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏, 西岡國生，佐藤美那
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] Microfabrication of Si-based Concave Micromirror Array for Microbial Cell Trapping by XeF2 Vapor Etching2018
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, M. Sato, K. Hasebe, A. Takada
- 学会等名
  MNC 2018, 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] XeF2 気相エッチングとスンプ法により製作したセルロイドマイクロレンズによる酵母細胞の捕獲実験2017
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] XeF2気相エッチングとスンプ法によるセルロイドマイクロレンズアレイの製作2017
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  横浜市
- 年月日
  2017-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] Profile Control in Si Etching by Two-step Etching Process Using XeF2 Vapor for Fabrication of Concave Micromirror2017
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, A. Takada
- 学会等名
  39th International Symposium on Dry Process (DPS2017)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17K05020
[学会発表] Si/SiO2上金ナノ円盤の表面電位の光照射依存およびその構造依存性2016
- 著者名/発表者名
  江崎智太郎, 松谷晃宏, 西岡國生, 庄司大, 佐藤美那, 岡本隆之, 磯部敏宏, 中島章, 松下祥子
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  朱鷺メッセ
- 年月日
  2016-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] 液体定在波を利用した微生物細胞の流路レス凝集法におけるマイクロ囲いアレイを用いた大きさによる篩い分けと単一分離2016
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2016-03-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] Kelvin Probe Force Microscopic Images on Gold Nanodisks with and without Light Irradiation2016
- 著者名/発表者名
  T. Ezaki, A. Matsutani, K. Nishioka, D. Shoji, M. Sato, T. Okamoto, T. Isobe, A. Nakajima, S. Matsushita
- 学会等名
  MRS 2016 fall meeting
- 発表場所
  Boston, Massachusetts, USA
- 年月日
  2016-11-27
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] スンプ法により形成したセルロイド製単一細胞分離用プレートによる酵母細胞の分離2016
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第77回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  新潟市
- 年月日
  2016-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] Single-cell isolation of S. Cerevisiae using celluloid microenclosure array formed by the SUMP method2016
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Ayako Takada
- 学会等名
  29th international microprocesses and nanotechnology conference (MNC2016)
- 発表場所
  Kyoto
- 年月日
  2016-11-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] Si上に形成した金ナノ円盤が示す表面電位差の光照射依存2016
- 著者名/発表者名
  2.江崎智太郎、松谷晃宏、西岡國生、庄司大、佐藤美那、岡本隆之、磯部敏宏、中島章、松下祥子
- 学会等名
  第６３回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] 液体定在波を利用した酵母細胞の流路レス凝集パターンの形成における励振波形の効果2015
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] Microfabrication of polystylene quadrupole combined with top-down and bottom-up approach2015
- 著者名/発表者名
  T. Takahashi, A. Matsutani, D. Shoji, K. Nishioka, T. Isobe, A. Nakajima, S. Matsushita
- 学会等名
  Western Pacific Colloids Meeting 2015
- 発表場所
  Western Pacific Colloids Meeting 2015
- 年月日
  2015-11-15
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] 液体定在波を利用した酵母細胞の流路レス凝集パターンの振動周波数による制御2015
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，高田綾子
- 学会等名
  第62回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東海大学
- 年月日
  2015-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] タッピングによる酵母細胞の流路レス凝集パターン形成と単一細胞分離2015
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第7回集積化MEMSシンポジウム
- 発表場所
  朱鷺メッセ
- 年月日
  2015-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] 低周波鉛直加振による液体定在波を利用した酵母細胞の流路レス凝集2014
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，高田綾子
- 学会等名
  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  くにびきメッセ
- 年月日
  2014-10-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26390037
[学会発表] 傾斜ドライエッチングを用いた酸化チタンフォトニック結晶の作製と評価2014
- 著者名/発表者名
  小林大斗，松谷晃宏，西岡國生，庄司大，佐藤美那，磯部敏宏，中島章，立間徹，松下祥子
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  青山学院大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] Characteristics of Fluorinated Graphene Field Effect Transistors2014
- 著者名/発表者名
  K. Tahara,T. Iwasaki, A. Matsutani, and M. Hatano,
- 学会等名
  Education Forum on Environment and Energy Science
- 発表場所
  Perth, Australia
- 年月日
  2014-12-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630125
[学会発表] フッ化グラフェン中のスピン緩和2014
- 著者名/発表者名
  田原康佐，岩崎孝之，松谷晃宏，波多野睦子
- 学会等名
  第２８回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  東京電機大学東京千住キャンパス
- 年月日
  2014-11-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-26630125
[学会発表] Electro-thermally Tunable 850nm VCSELs with metal/semiconductor Thermally Actuated Mirror2013
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Shunya Inoue, Akihiro Matsutani, Takahiro Sakaguchi and Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO-PR
- 発表場所
  Kyoto, Japan. Kyoto International conference Center
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Wavelength tuning and controlled temperature dependence of MEMS VCSELs with thermally and electrostatically actuated micromachined mirror2013
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Shunya Inoue, Takahiro Sakaguchi, AkihiroMatsutani, and Fumio Koyama
- 学会等名
  MOC2013
- 発表場所
  Tokyo, Japan. Tokyo Institute of Technology
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Miniature Bragg Reflector Waveguide Beam Deflector for Full C-band Wavelength Demultiplexing with Low Polarization Dependence and High Resolution2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Kensuke Nakamura, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO 2013
- 発表場所
  San Jose, USA. San Jose Convention Center
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Super-high Resolution Beam Steering Using Bragg Reflector Waveguides2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  iNOW2013
- 発表場所
  Corsica, France
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Sub-1V and Sub-100μm Electro-absorption Modulator Based on Bragg Reflector Waveguide2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Syouki Shimizu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO-PR
- 発表場所
  Kyoto, Japan. Kyoto International conference Center
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Creation of Vortex Beam based on Integrated Ring-shape Bragg Reflector Waveguide2013
- 著者名/発表者名
  Shota Mochizuki, Xiaodong Gu, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO 2013
- 発表場所
  San Jose, USA. San Jose Convention Center
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Sub-50μm Long Slow-light Electro-absorption Modulator Laterally Integrated with VCSEL2013
- 著者名/発表者名
  Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO-PR
- 発表場所
  Kyoto, Japan. Kyoto International conference Center
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] High-speed and low-voltage operation of compact Bragg reflector waveguide modulator2013
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Shouki Shimizu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  MOC2013
- 発表場所
  Tokyo, Japan. Tokyo Institute of Technology
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Transverse Mode Control of VCSELs Using Angular Dependent High-contrast Grating Mirror2013
- 著者名/発表者名
  Junichi Kashino, Shunya Inoue, Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Takahiro Miyashita and Fumio Koyama
- 学会等名
  IPC2013
- 発表場所
  Seattle, USA. Hyatt Regency Bellevue
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] マイクロピラー構造を用いた大腸菌と酵母の単一細胞分離とサイズ分離2013
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  2013年第60回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  神奈川工科大学
- 年月日
  2013-03-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] InP 基板上に製作したマイクロ囲いを用いた出芽酵母の培養2013
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  第28回化学とマイクロ・ナノシステム学会
- 発表場所
  イーグレ姫路
- 年月日
  2013-12-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] マイクロ牧場アレイを用いた出芽酵母の培養2013
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- 年月日
  2013-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Ar/F_2気相エッチングにより製作したSiマイクロ流路を用いた大腸菌細胞の輸送2013
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  第4回集積化MEMS技術研究ワークショップ
- 発表場所
  大阪府立大学
- 年月日
  2013-07-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Modulation of Spatial Intensity Distribution of Laterally Coupled Twin VCSELs2013
- 著者名/発表者名
  Hamed Dalir, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO-PR
- 発表場所
  Kyoto, Japan. Kyoto International conference Center
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] SF6 プラズマによるNb-TiO2 結晶基板のドライエッチング2013
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，西岡國生，庄司大，佐藤美那, 小林大斗，磯部敏宏，中島章，立間徹，松下祥子
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] Single-Cell Isolation of Bacteria Using Microenclosure and Its Applications2012
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 学会等名
  RSC Tokyo Conference
- 発表場所
  Makuhari, Japan, 幕張メッセ
- 年月日
  2012-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Athermal and Tunable VCSELs with a Thermally Actuated Cantilever Structure for WDM Optical Interconnects2012
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  ICSJ2012
- 発表場所
  Miyako-Messe(Kyoto), Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Switching Characteristics of 30μm×30μm Compact Optical Switch with Slowing Light2012
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  OFC/NFOEC2012
- 発表場所
  Los Angeles, USA
- 年月日
  2012-03-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Single-Cell Isolation and Sizing of Microorganisms by Microenclosure Array with Multipillar Structure2012
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 学会等名
  MNC2012
- 発表場所
  Kyot, Japan, 神戸メリケンパークオリエンタルホテル
- 年月日
  2012-11-01
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Ar/F_2 気相エッチングによる細菌細胞輸送用Si マイクロ流路の形成2012
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- 年月日
  2012-03-18
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Modeling and Experiment on Low Voltage Slow-Light2012
- 著者名/発表者名
  Syoki Shimizu, Xiadong Gu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  ICSJ2012
- 発表場所
  Miyako-Messe(Kyoto), Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Microfabrication of Single-Cell Isolation Structure on Vertical Cavity Surface Emitting Laser Wafer2012
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 学会等名
  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
- 発表場所
  北九州国際会議場
- 年月日
  2012-10-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] 半導体プロセスを用いた細胞サイズ分離用マイクロピラー構造の製作2012
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,高田綾子
- 学会等名
  2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  愛媛大学・松山大学
- 年月日
  2012-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Microfabrication of Si based Microchannel for Transport of Bacterial Cells by Ar/F_2 Vapor Etching and Cl_2 Inductively Coupled Plasma Etching2012
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and A. Takada
- 学会等名
  11^<th> APCPST
- 発表場所
  Kyot, Japan, 京都大学
- 年月日
  2012-10-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Ar/F2 気相エッチングによる細菌細胞輸送用Si マイクロ流路の形成2011
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，高田綾子
- 学会等名
  2012年春季第59回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  早稲田大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Fabrication of Si based Microchannel by Ar/F2 Vapor Etching and Plasma Etching2011
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 学会等名
  Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)
- 発表場所
  石川県立音楽堂
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Athermal Operations and Giant Temperature Dependence of Micromachined VCSELs2011
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Nakata Norihiko, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  International Nano-Optoelectronics Workshop, iNOW2011
- 発表場所
  St.Petersburg and Wurzburg, Russia and Germany
- 年月日
  2011-07-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Miniature Slow Light Total-Intemal-Reflection Switch with Carrier Injection2011
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  EEE PHOTONICS 2011, IPC2011
- 発表場所
  Arlington, USA
- 年月日
  2011-10-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Dry Etching of Escherichia coli by O_2-, Ar-, Air-, and H2_O- Plasma2011
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 学会等名
  Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)
- 発表場所
  石川県立音楽堂
- 年月日
  2011-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Giant Wavelength-Temperature Dependence of VCSEL with Thermally Actuated Cantilever Structure2011
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO2011
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2011-05-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Reflection-type Slow Light Optical Switches Using Current Injection2011
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO2011
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2011-05-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Giant Wavelength-Temperature Dependence of VCSEL with Thermally Actuated Cantilever Structure2011
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO2011
- 発表場所
  U.S.A, Baltimore
- 年月日
  2011-05-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Giant Wavelength-temperature Dependence and Electro-thermal Tuning of MEMSVCSEL2011
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Norihiko Nakata, Hayato Sano, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  EEE PHOTONICS 2011, IPC2011
- 発表場所
  Arlington, USA
- 年月日
  2011-10-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Ar/F_2 気相エッチングによる極微小径Si マイクロ流路の形成2011
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  第24回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
- 発表場所
  大阪府立大学
- 年月日
  2011-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Ar/F2気相エッチングによる極微小径Siマイクロ流路の形成2011
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，高田綾子
- 学会等名
  第24回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
- 発表場所
  大阪府立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Experimental Demonstration of Beam-Steering Based on Slow-Light Waveguide Amplifier2011
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Ayumi Fuchida, Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  17th Microoptics Conference, MOC'11
- 発表場所
  Sendai, Japan
- 年月日
  2011-10-31
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Si based High-index-contrast-grating Structure fabricated by High Temperature Cl_2 Inductively Coupled Plasma Etching using Thermal Nanoimprint Resist Mask2011
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Yuuki Hashidume, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  24th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC2011
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2011-10-26
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] 低圧プラズマプロセスによる細菌細胞の分解と細菌細胞を用いた半導体のドライエッチング2011
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏,髙田綾子
- 学会等名
  電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2011-12-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Fabrication of Si based Microchannel by Ar/F_2 Vapor Etching and Plasma Etching2011
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani and A. Takada
- 学会等名
  Plasma Conference 2011 (PLASMA2011)
- 発表場所
  石川県立音楽堂
- 年月日
  2011-11-23
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Wavelength Tuning and Athermal Operations of Micro-machined VCSELs for Uncooled WDM2011
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO2011
- 発表場所
  U.S.A, Baltimore
- 年月日
  2011-05-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Fabrication and Characterization of Si/SiO2 High Contrast Grating using Nanoimprint Lithography2011
- 著者名/発表者名
  Yuuki Hashizume, Yasumitsu Miyake, Akihiro Matsutani, Hideo Obtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  Photonics West 2012, SPIE
- 発表場所
  San Francisco, USA
- 年月日
  2011-01-22
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Wavelength Tuning and Athermal Operations of Micro-machined VCSELs for Uncooled WDM2011
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO2011
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2011-05-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Reflection-type Slow Light Optical Switches Using Current Injection2011
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO2011
- 発表場所
  U.S.A, Baltimore
- 年月日
  2011-05-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Wavelength Trimming of MEMS VCSELs for Post-process Wavelength Allocation2010
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  22nd IPRM
- 発表場所
  Japan, Kanazawa
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Wavelength Control of VCSELs with a Thermally Actuated MEMS Structure2010
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  iNOW 2010
- 発表場所
  China, Beijing and Changchun
- 年月日
  2010-08-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Tapered hollow waveguide multiplexer for multi-wavelegth VCSEL array2010
- 著者名/発表者名
  Akihiko Imanura, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  iNOW 2010
- 発表場所
  China, Beijing and Changchun
- 年月日
  2010-08-03
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Controlled temperature dependence of lasing wavelength of VCSELs with a thermally actuated cantilever2010
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  International Semiconductor Laser Conf.
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Compact Reflection-type Optical Switch with Slowing Light2010
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  OECC2010
- 発表場所
  Japan, Sapporo
- 年月日
  2010-07-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Dry Etching of Si by Solid Source I_2 Inductively Coupled Plasma2010
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  MNC2010
- 発表場所
  Japan, Fukuoka
- 年月日
  2010-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Multi-wavelength 1060nm-band VCSEL Array with Tapered Hollow Waveguide Multiplexer2010
- 著者名/発表者名
  Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  International Semiconductor Laser Conf.
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2010-09-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Characterizations of Reflection-type Slow Light Optical Switches2010
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, Takeru Sakairi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  MOC2010
- 発表場所
  Taiwan, Hsinchu
- 年月日
  2010-11-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Proposal of Multi-Wavelength Integration of Athermal GAASVCSEL Array with Thermally Actuated Cantilever Structure2010
- 著者名/発表者名
  Norihiko Nakata, Hayato Sano, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  22nd IPRM
- 発表場所
  Japan, Kanazawa
- 年月日
  2010-06-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Tapered hollow waveguide multiplexer for multi-wavelength VCSEL array2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  iNOW2009
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2009-08-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Athermal and Tunable Operations of 850nm VCSEL with Thermally Actuated Cantilever Structure2009
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  35th European Conference and Exhibition on Optical Communication, ECOC2009
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Athermal and Tunable Operations of 850nm VCSEL with Thermally Actuated Cantilever Structure2009
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  ECOC2009
- 発表場所
  Vienna, Austria
- 年月日
  2009-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] High-Speed Optical Modulation based on Frequency-Modulated VCSELs and Optical Filters2009
- 著者名/発表者名
  Koichi Hasebe, Yusuke Mada, Takeru Sakairi, Akihiro Matsutani, fumio Koyama
- 学会等名
  IPRM2009
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2009-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Multiple-Wavelength GaInAs/GaAs VCSELs with Gradinga Spacer Layer for Short Reach WDM Applications2009
- 著者名/発表者名
  P.Babu Dayal, Akihiro Imamura, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  IPRM2009
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2009-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Tapered hollow waveguide multiplexer for multi-wavelength VCSEL array2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Imamura, Koichi Hasebe, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  Photonic West 2009
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2009-01-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Adjustable Polarization Mode Dispersion Compensation using 3D Hollow Waveguide Bragg Reflector (CThB5)2009
- 著者名/発表者名
  M. Kumar, T. Sakaguchi, A. Matsutani and F. Koyama
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics, CLEO/IQEC2009
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2009-06-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Dry Etching of Si using Ar/F2 Plasma2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  MNC2009,
- 発表場所
  Sapporo, Japan
- 年月日
  2009-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Multiple-Wavelength GaInAs/GaAs VCSELs with Grading a Spacer Layer for Short Reach WDM Applications2009
- 著者名/発表者名
  P. Babu Dayal, Akihiro Imamura, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  2009 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, IPRM2009
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2009-05-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] High-Speed Optical Modulation based on Frequency-Modulated VCSELs and Optical Filters2009
- 著者名/発表者名
  Koichi Hasebe, Yusuke Mada, Takeru Sakairi, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  2009 International Conference on Indium Phosphide and Related Materials, IPRM2009
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2009-05-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Tapered hollow waveguide multiplexer for multi-wavelength VCSEL array2009
- 著者名/発表者名
  Akihiro Imamura, Koichi Hasebe, Akihiro Matsutani, and Fumio Koyama
- 学会等名
  Photonic West 2009
- 発表場所
  San Jose, USA
- 年月日
  2009-01-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Multiple-wavelength VCSEL arrays using surface nano-machining process for WDM applications2008
- 著者名/発表者名
  P. Babu Dayal, Jun Nakajima, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  21st Annual Meeting of The IEEE Lasers & Electro-Optics Society, LEOS2008
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2008-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Miniature optical gate with VCSEL-based slow light bragg reflector waveguide2008
- 著者名/発表者名
  Keisuke Kuroki, Ayumi Fuchida, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  21st IEEE International Semiconductor Laser Conference, ISLC2008
- 発表場所
  Sorrento, Italy
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Dry Etching of CaF_2 by Solid Source H_2O Plasma2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  The 25th Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  山口県教育会館
- 年月日
  2008-01-24
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Dry Etching of Si by XeF2 Plasma and Investigation of Emission Intensities from Xe and F in XeF2 Plasma2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutanil, Hideo Ohtsuki and Fumio Koyama
- 学会等名
  MNC2008
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Dry Etching of CaF_2 by Solid Source H_2O Plasma2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  The 25th Symposium on Plasma Processing
- 発表場所
  Yamaguchi, Japan
- 年月日
  2008-01-24
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Low Polarization Dependence of Bragg Reflector Slow Light Waveguides2008
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, P. Babu Dayal, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  LEOS2008
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2008-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Dry Etching of Si by XeF2 Plasma and Investigation of Emission Intensities from Xe and F in XeF2 Plasma2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutanil, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  MNC2008
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-10-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Dry Etching of Si by XeF2 Plasma and Investigation of Emission Intensities from Xe and F in XeF2 Plasma (29D-9-58)2008
- 著者名/発表者名
  A. Matsutanil, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 学会等名
  1st International Microprocessees and Nanotechnology Conference, MNC2008
- 発表場所
  Fukuoka, Japan
- 年月日
  2008-09-29
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] 固体ソースH_2Oプラズマの生成とCaF_2のドライエッチングへの応用2008
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏, 大槻秀夫, 小山二三夫
- 学会等名
  第55回応用物理学会関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学
- 年月日
  2008-03-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Dry Etching of CaF2 by Solid Source H 2O Plasma2008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  The 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-24)
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2008-01-24
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] 固体ソースH_2Oプラズマの生成とCaF_2のドライエッチングへの応用2008
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏, 大槻秀夫, 小山二三夫
- 学会等名
  第55回応用物理学会関係連合講演会
- 発表場所
  日本大学理工学部船橋キャンパア
- 年月日
  2008-03-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Multiple-wavelength VCSEL arrays using surface nano-machining process for WDM applications2008
- 著者名/発表者名
  P. Babu Dayal, Jun Nakajima, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  LEOS2008
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2008-11-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Generation of Solid Source H 2O Plasma and Its Application to Dry Etching of CaF 22008
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  The 55th Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2008-03-30
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Low Polarization Dependence of Bragg Reflector Slow Light Waveguides2008
- 著者名/発表者名
  Ayumi Fuchida, P. Babu Dayal, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  21st Annual Meeting of The IEEE Lasers & Electro-Optics Society, LEOS2008
- 発表場所
  Newport Beach, USA
- 年月日
  2008-11-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] 固体ソースH_2OプラズマによるCaF_2(蛍石)のドライエッチングプロセス2008
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏
- 学会等名
  Proceedings of Symposium on Technology in Laboratories by Department Service
- 発表場所
  岐阜
- 年月日
  2008-05-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Dry Etching of CaF_2by Solid Source H_2O (ice) Plasma2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki and Fumio Koyama
- 学会等名
  20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Plasma characterization of H 2O-inductively coupled plasma for dry etching2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  17th International Vacuum Congress
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2007-07-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Plasma characterization of H20-inductively coupled plasma for dry etching2007
- 著者名/発表者名
  A.Matsutani, H.Ohtsuki and F.Koyama
- 学会等名
  IVC-17
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Generation of Solid Source H 2O Plasma Liquid Source Dry Etching2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani
- 学会等名
  2007 Symposium on Technology in Laboratories by Department Service
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-03-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Plasma characterization of H2O-inductively coupled plasma for dry etching2007
- 著者名/発表者名
  A.Matsutani, H.Ohtsuki and F.Koyama
- 学会等名
  IVC-17
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Tapered Hollow Waveguide Multiplexer for Multi-wavelength VCSEL array2007
- 著者名/発表者名
  Naoto Kitabayashi, Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Plasma characterization of H_2O-inductively coupled plasma for dry etching2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  17th International Vacuum Congress (IVC-17)
- 発表場所
  スットックホルム
- 年月日
  2007-07-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Transvers-mode and Polarization Characteristics of 1.55μm Micromachined VCSELs2007
- 著者名/発表者名
  Koichi Hasebe, Wiganes Janto, Nobuhiko Nishiyama, Catherine Caneau, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama and Chung-En Zah
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama. Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Dry Etching of CaF_2 by Solid Source H_2O(ice)Plasma2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2007-11-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Dry Etching of CaF_2by Solid Source H_2O(ice) Plasma (6A-4-94, pp. 248-249)2007
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 学会等名
  20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2007-11-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Plasma characterization of H_2O-inductively coupled plasma for dry etching2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  17th International Vacuum Congress(IVC-17)
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 年月日
  2007-07-05
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Transverse-mode and Polarization Characteristics of 1.55μm Micromachined VCSELs2007
- 著者名/発表者名
  Koichi Hasebe, Wiganes Janto, Nobuhiko Nishiyama, Catherine Caneau, Takahiro Sakaguchi, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama and Chung-En Zah
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Tapered Hollow Waveguide Multiplexer for Multi-wavelength VCSEL array," 12th Optoelectronics and Communications Conference/16th International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communication2007
- 著者名/発表者名
  Naoto Kitabayashi, Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] 液体ソースドライエッチングプロセスのためのH_2Oプラズマの生成2007
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏
- 学会等名
  平成18年度名古屋大学総合技術研究会装置技術研究会
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2007-03-02
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Dry Etching of CaF_2 by Solid Source H_2O (ice) Plasma2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
- 発表場所
  京都国際会館
- 年月日
  2007-11-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Decreasing of Residual Oxygen by using Si Solid Source in Cl2-ICP Etching of Al2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki and Fumio Koyama
- 学会等名
  ISPC18
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] 水蒸気導入によるエッチング用H_2O誘導結合プラズマ(ICP)の発光分光分析2007
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏, 大槻秀夫, 小山二三夫
- 学会等名
  第54回応用物理学関係連合講演会
- 発表場所
  青山学院大学
- 年月日
  2007-03-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Plasma Characterization of H_2O-Inductively Coupled Plasma for Dry Etching2007
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 学会等名
  The 24th Symposium on Plasma Processing(SPP-24)
- 発表場所
  Osaka, Japan
- 年月日
  2007-01-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Plasma Characterization by Optical Emission Analysis of H 2O-Inductively Coupled Plasma for Dry Etching2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  The 54th Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics and Related Societies
- 発表場所
  Aoyama Gakuin
- 年月日
  2007-03-27
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Tapered hollow waveguide multiplexer for multi-wavelength VCSEL array2007
- 著者名/発表者名
  Naoto Kitabayashi, Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  12th Optoelectronics and Communications Conference/16th International Conference on Integrated Optics and Optical Fiber Communication, OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Tapered Hollow Waveguide Multiplexer for Multi-wavelength VCSEL array,2007
- 著者名/発表者名
  Naoto Kitabayashi, Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Tapered Hollow Waveguide Multiplexer for Multi-wavelength VCSEL array2007
- 著者名/発表者名
  Naoto Kitabayashi, Akihiro Imamura, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Etching Characteristics of Low-k Polymer for Wide Modulation Bandwidth VCSELs2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Naoki Jogan, Fumio Koyama and Kohroh Kobayashi
- 学会等名
  OECC/IOOC2007
- 発表場所
  Yokohama, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19206012
[学会発表] Etching of CaF2 by Solid Source H 2O (ice) Plasma2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  20th International Microprocesses and "Dry Nanotechnology Conference
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-11-06
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Plasma Characterization of H 2O-Inductively Coupled Plasma for Dry Etching2007
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki, Fumio Koyama
- 学会等名
  The 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24)
- 発表場所
  Japan
- 年月日
  2007-01-29
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-18510108
[学会発表] Decreasing of Residual Oxygen by using Si Solid Source in Cl2-ICP Etching of Al (30P-118)2007
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 学会等名
  18th International Symposium on Plasma Chemistry, ISPC18
- 発表場所
  Kyoto, Japan
- 年月日
  2007-09-30
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Hollow Waveguide Distributed Bragg Reflector for Widely Tunable Optical Devices (OtuM4)2006
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, H. Yamakawa, Y. Yokota, A. Matsutani, T. Sakaguchi and F. Koyama
- 学会等名
  Optical Fiber Communications Conference 2006
- 発表場所
  Anaheim, USA
- 年月日
  2006-03-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Solid Source Dry Etching Process for III-V Compound Semiconductors (P-2A-42)2006
- 著者名/発表者名
  A. Matsutani, H. Ohtsuki and F. Koyama
- 学会等名
  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing, ICRP-6/SPP-23
- 発表場所
  Sendai, Japan
- 年月日
  2006-01-25
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Tunable Stop-Band Hollow Waveguide Bragge Reflector with Tapered Air-Core for Adaptive Dispersion-Compensation (Postdeadline Paper, CPDA6, CLEO2005, CMP5)2005
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, A. Matsutani and F. Koyama
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2005-05-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] Air-core Resonator with Widely Tunable Hollow Waveguide Bragg Reflectors2005
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, A. Matsutani, T. Sakaguchi and F. Koyama
- 学会等名
  31st European Conference on Optical Communication, ECOC2005
- 発表場所
  Glasgow, UK
- 年月日
  2005-10-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] 160nm Continuous Wavelength Tuning of Tunable Hollow Waveguide Bragg Reflector (Postdeadline Paper, CPDA6, CLEO2005, CPDA6)2005
- 著者名/発表者名
  Y. Sakurai, A. Matsutani, T. Sakaguchi and F. Koyama
- 学会等名
  Conference on Lasers and Electro-Optics
- 発表場所
  Baltimore, USA
- 年月日
  2005-05-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17068006
[学会発表] 半導体プロセスを用いた細胞サイズ分離用マイクロピラー構造の製作
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会，12p-PB3-3
- 発表場所
  愛媛大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Ar/F2気相エッチングにより製作したSiマイクロ流路を用いた大腸菌細胞の輸送
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第4回集積化ＭＥＭＳ技術研究ワークショップ
- 発表場所
  大阪府立大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Dry Etching of 4H-SiC using Ar/F2 Plasma
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  27th International Microprocesses and Nanotechnology Conference, MNC2014
- 発表場所
  Hilton Fukuoka Sea Hawk
- 年月日
  2014-11-04 – 2014-11-07
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Electro-Thermal Tuning of Athermal 850nm VCSELs with Thermally Actuated T-shape Membrane Structure
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  IPC2012
- 発表場所
  Burlingame, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] On-Chip Electro-Thermal Beam Steering based on Slow-light Bragg Reflector Waveguide Laterally Integrated with VCSEL
- 著者名/発表者名
  Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  IPC2012
- 発表場所
  Burlingame, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Single-Cell Isolation of Bacteria Using Microenclosure and Its Applications
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani and Ayako Takada
- 学会等名
  RSC Tokyo Conference, A001
- 発表場所
  幕張メッセ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Microfabrication of Single-Cell Isolation Structure on Vertical Cavity Surface Emitting Laser Wafer
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani and Ayako Takada
- 学会等名
  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，SPLN-10
- 発表場所
  北九州国際会議場
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Push-pull modulation of lateral coupling of dual VCSEL cavities using a bow-tie shape
- 著者名/発表者名
  Hamed Dalir, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  Photonics West 2013
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] マイクロピラー構造を用いた大腸菌と酵母の単一細胞分離とサイズ分離
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  2013年第60回応用物理学会春季学術講演会，27p-B6-10
- 発表場所
  神奈川工科大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Microfabrication of 4H-SiC by Reactive Ion Etching Using XeF2 Plasma
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  2014 International Symposium on Dry Process, DPS2014
- 発表場所
  Annex Hall of the PACIFICO YOKOHAMA
- 年月日
  2014-11-27 – 2014-11-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Giant Electro-thermal Phase-shift in Low-Polarization Dependent Slow Light Bragg Reflector Waveguide
- 著者名/発表者名
  Aumi Fuchida Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  IPC2012
- 発表場所
  Burlingame, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] InP基板上に製作したマイクロ囲いを用いた出芽酵母の培養
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第28回化学とマイクロ・ナノシステム学会
- 発表場所
  イーグレ姫路
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] マイクロ牧場アレイを用いた出芽酵母の培養
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  第74回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  同志社大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] トップダウン・ボトムアップ統合アプローチによるポリスチレン四重極子の作製
- 著者名/発表者名
  高橋毅、松谷晃宏、庄司大、西岡國生、佐藤美那、磯部敏宏、中島章、松下祥子
- 学会等名
  応用物理学会
- 発表場所
  東海大学
- 年月日
  2015-03-11 – 2015-03-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25420707
[学会発表] Large Enhancement in Modulation Bandwidth of Low-Voltage Slow Light Bragg Reflector Waveguide Modulator
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu,Ayako Suzuki,Hamed Dalir,Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  The OptoElectronics and Communication Conference 2014,
- 発表場所
  The Melbourne Convention and Exhibition Centre
- 年月日
  2014-07-06 – 2014-07-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Single-Cell Isolation and Sizing of Microorganisms by Microenclosure Array with Multipillar Structure
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani and Ayako Takada
- 学会等名
  MNC2012, 1P-7-83
- 発表場所
  Kobe
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Giant wavelength-temperature dependence of 850nm VCSELs with a metal/semiconductor thermally actuated mirror
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Hayato Sano, Syunya Inoue, Akihiro Matsutani, Takahiro Sakaguchi, Fumio Koyama
- 学会等名
  Photonics West 2013
- 発表場所
  San Francisco, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Compact Bragg Reflector Waveguide Modulator Based on VCSEL Structure with Low Driving Voltage below 0.5 V
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Satoshi Shimizu, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  ISLC2012
- 発表場所
  San Diego, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] High-resolution Wavelength Demultiplexer Based on a Bragg Reflector Waveguide Amplifier with Large Angular Dispersion
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Akihiro Matsutani, Fumio Koyama
- 学会等名
  ECOC2012
- 発表場所
  Amsterdam, Netherlands
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Athermal Operation and Wavelength Tuning of VCSELs　with Thermally Actuated MEMS Structure
- 著者名/発表者名
  Hayato Sano, Norihiko Nakata, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  iNOW 2012
- 発表場所
  Berkeley, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] 細菌細胞のプラズマエッチングマスクへの応用
- 著者名/発表者名
  松谷晃宏，髙田綾子
- 学会等名
  2012年度東京工業大学技術部技術発表会，6
- 発表場所
  東京工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Athermal multi-wavelength VCSEL array employing thermally actuated micromachined mirrors
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama,Takahiro Sakaguchi,Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  IEEE International Semiconductor Laser Conference
- 発表場所
  Meria Palas Atenea(Palma de Mallorca)
- 年月日
  2014-09-07 – 2014-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Beam scanner integrated VCSEL with electro-thermal wavelength tuning
- 著者名/発表者名
  Toshikazu Shimada,Hamed Dalir,Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  IEEE International Semiconductor Laser Conference
- 発表場所
  Meria Palas Atenea(Palma de Mallorca)
- 年月日
  2014-09-07 – 2014-09-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Fabrication of SiC Membrane HCG Blue Reflector Using Nanoimprint Lithography
- 著者名/発表者名
  Ying-Yu Lai,Akihiro Matsutani,Tien-Chang Lu,Shing-Chung Wang,Fumio Koyama
- 学会等名
  Photonics West2015
- 発表場所
  The Moscone Center(San Francisco)
- 年月日
  2015-02-07 – 2015-02-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Microfabrication of Si based Microchannel for Transport of Bacterial Cells by Ar/F2 Vapor Etching and Cl2 Inductively Coupled Plasma Etching
- 著者名/発表者名
  Akihiro Matsutani, Hideo Ohtsuki and Ayako Takada
- 学会等名
  11th APCPST, 2-P83
- 発表場所
  京都大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23510141
[学会発表] Athermal and Widely Tunable VCSEL with Bimorph Micromachined Mirror
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama,Takahiro Sakaguchi,Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  The OptoElectronics and Communication Conference 2014
- 発表場所
  The Melbourne Convention and Exhibition Centre
- 年月日
  2014-07-06 – 2014-07-10
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Improvement in Crosstalk of 200-Port Bragg Reflector Waveguides Array-based Wavelength Selective Switch
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu,Kenya Suzuki,Yuichiro Ikuma,Akihiro Matsutani,Fumio Koyama
- 学会等名
  IEEE Photonics Conference, IPC2014
- 発表場所
  Hyatt Regency La Jolla(San Diego)
- 年月日
  2014-10-12 – 2014-10-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Thermal and Electrical Beam Steering on a GaInAs/GaAs Slow-light Bragg Waveguide Amplifier
- 著者名/発表者名
  Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Ayumi Fuchida, Akihiro Matsutani, Akihiro Imamura, Fumio Koyama
- 学会等名
  CLEO 2012
- 発表場所
  San Jose, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008
[学会発表] Lateral Integration of MEMS VCSEL and Slow Light Amplifier for High Single-mode Output Power
- 著者名/発表者名
  Masanori Nakahama, Xiaodong Gu, Toshikazu Shimada, Hayato Sano, Akihiro Matsutani and Fumio Koyama
- 学会等名
  iNOW 2012
- 発表場所
  Berkeley, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22226008

1. 小山二三夫 (30178397)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 138件
2. 坂口孝浩 (70215622)

共同の研究課題数: 4件

共同の研究成果数: 25件
3. 植之原裕行 (20334526)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 小西毅 (90283720)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 和田尚也 (20358873)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
6. 髙田綾子 (20401565)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 38件
7. 松下祥子 (50342853)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
8. 波多野睦子 (00417007)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
9. 岩崎孝之 (80454031)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
10. 長田哲也 (80208016)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 入部正継 (60469228)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 山本広大 (70738319)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
13. 松下・I 祥子

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 17件
14. 木野勝

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件
15. 顧暁冬

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 3件

松谷 晃宏 Matsutani Akihiro

松谷 晁宏 マツタニ アキヒロ

研究課題

研究成果

共同研究者

球状微粒子とコーヒーリング効果の光学実験によるSTEAM教育のための教材開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

2次元マイクロ凹面鏡アレイとケーラー照明による単一細胞2次元アレイ操作技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半導体微細加工プロセスとクラドニ図形の融合による細胞の輸送と単一分離技術の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

半導体プロセスによる極狭スリット細胞分離マイクロ流路形成と単一細胞分離構造の融合研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

松谷晃宏 Matsutani Akihiro

松谷晁宏マツタニアキヒロ