清水共 Shimizu Tomo

研究者番号	40455168
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所属 (現在)	2025年度: 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 准教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2023年度: 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 講師 2016年度 – 2018年度: 香川高等専門学校, 電子システム工学科, 講師
審査区分/研究分野	研究代表者以外小区分62030:学習支援システム関連 / 科学教育
キーワード	研究代表者以外デバイス / リソグラフィ / 熱拡散 / 微細化 / デバイスプロセス / フォトリソグラフィ / 半導体デバイス / 半導体 / 微細加工 / 電子デバイス・機器 … もっと見る / リソグラフィー / バイポーラトランジスタ / MOS FET / pn接合 / Sol Gel / 教育 / 簡素化 / 集積回路 / ｐｎ接合 / Sol-Geｌ / プロセス / 工学教育 / p-n接合 / Sol-Gel 隠す

理科室で構築したナノテクプラットフォームで実現する半導体デバイスファウンドリ
- 研究代表者
  
  長岡史郎
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分62030:学習支援システム関連
- 研究機関
  香川高等専門学校
理科室で構築するナノテクプラットフォーム
- 研究代表者
  
  長岡史郎
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  科学教育
- 研究機関
  香川高等専門学校

すべて 2024 2023 2019 2018 2017 2016

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Proposal for Reducing Pattern Position Alignment Error of A Simplified Photo Lithography Method for Education2018
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka, M. Yamamoto, T. Tsuji, K. Matsuda, T. Shimizu, R. W. Johnston, T. Shikama, F. Shimokawa and H. Horibe
- 雑誌名
  
  The Proceedings of 12th Internationa Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: 1 ページ: 512-517
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] Fundamental Study of the Simplified Micro Diffusion Bipolar Transistor as the Educational Resource2017
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka, M. Yamamoto, T. Tsuji, T. Shimizu, R. W. Johnston, H. Horibe, F. Shimokawa,T. Shikama and M. Rusop
- 雑誌名
  
  Transactions of ISATE 2017 The 11th International Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: 1 ページ: 275-279
- 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] A feasibility study of the selective and simultaneous thermal impurity diffusion process on the silicon substrate2016
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 雑誌名
  
  The Proceeding of the 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
  
  巻: - ページ: 166-171
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] A proposal of the Simplified IC Fab Establishied in the Average Science Laboratory for Cultivating Scientific Mind2016
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston，清水共，鹿間共一
- 雑誌名
  
  The Transactons of ISATE2016, The 10th International Symposium on Advances in Technology Education
  
  巻: - ページ: 13-16
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[雑誌論文] A Study of the Simplified IC FAB for the Science and Technical Education2016
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 雑誌名
  
  The Proceeding of the 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
  
  巻: - ページ: 161-165
- 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Study of Resolution Improvement of the Simplified Contact Photo Lithography Using Phase Shift Method for EE Education2024
- 著者名/発表者名
  S. Nagaoka*, T. Shimizu, M. Yamamoto, R. W. Johnston, K. Matsuda and H. Horibe
- 学会等名
  5th Malaysia-Japan International Conference on Nanoscience, Nanotechnology and Nanoengineering 2024 (MJIC2024)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] A Study of Resolution an Overlay Accuracy of a Simplified Photo Lithography Process for EE Education Use2023
- 著者名/発表者名
  (4)T.Shimizu, M.Yamamoto, R.Johnston, K.Matsuda, H. Horibe and S.Nagaoka,
- 学会等名
  4th MALAYSIA- JAPAN International Conference on Nanoscience, Nanotechnology & Nanoengineering 2023 (MJIC 2023)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] Feasibility Study of a Simplified Nanotech Platform and Device Evaluation Procedure Established for Average Educational Science Laboratories2023
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka, M.Yamamoto, T.Shimizu, R.Johnston, K.Matsuda and H.Horibe
- 学会等名
  4th MALAYSIA-JAPAN International Conference on Nanoscience, Nanotechnology & Nanoengineering 2023 (MJIC 2023),
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] 教育用簡素化微細加工プロセスのレジストパタン解像度と重ね合せ精度改善に関する一考察2023
- 著者名/発表者名
  土井彩乃、清水共、川染勇人、山本雅史、ロバートジョンストン、松田和典、堀邊英夫、長岡史郎
- 学会等名
  令和５年度電気・電子・情報関係学会四国支部連合大会、11ー5
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-22K12308
[学会発表] A study for reducing pattern position alignment error of a simplified photo lithography method for the nanotech platform established at the average science laboratory2019
- 著者名/発表者名
  H. Kunisawa, M. Yamamoto, T. Shimizu, R. W. Johnston, F. Shimokawa, H. Horibe, M. Rusop, and S. Nagaoka
- 学会等名
  The 10th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2019 (NANO-SciTech 2019)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Proposal of Totally Simplified Educational Semiconductor Device Fabrication Process under Normal Air Environment2018
- 著者名/発表者名
  S.Nagaoka,M.Yamamoto,T.Tsuji,T.Shimizu,R.W.Johnston, T. Shikama, and H.Horibe
- 学会等名
  9th International Conference on Nanoscience and Nanotechnology 2018, (Nano-SciTech2018)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 二層フォトレジストのドライ現像と不純物の熱拡散プロセスへの応用2017
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺、長岡史郎、辻琢人、山本雅史、ロバート・ジョンストン、堀邊英夫、清水共
- 学会等名
  第14回CAT－CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A p-n Junction Study for nMOS FET Fabrication using Alignment-less Lithography2017
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  NANO-SciTech2017, International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM),Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Boron Selective Thermal Impurity Diffusion Method that Support a Simplified pMOS FET Fabrication Process2017
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  NANO-SciTech2017, International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM),Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A p-n Junction for the Simplified nMOS FET Fabrication using Alignment-less Lithography2017
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎、辻琢人，山本雅史，R.W.Jhonston,堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Feasibility Study of Selective and Simultaneous Thermal Diffusions for Simplified MOS Devie Fabrication2017
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，塩田幸輝，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnsotn, 堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017（NANO-SciTech2017),
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM), Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Measurement of Rate of Photoresist Removal by Hydrogen Radicals using Thin Film Interference2017
- 著者名/発表者名
  山本雅史，長岡史郎，鹿間共一，堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  NANO-SciTech2017, International Conference on Nanoscience & Nanotechnology 2017
- 発表場所
  Institute of Business Excellence (IBE), Universiti Teknologi MARA (UiTM), Malaysia
- 年月日
  2017-02-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] Boron Selective Thermal Diffusion for the Simplified pMOS FET Fabrication Process2017
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎、辻琢人，山本雅史，R.W.Jhonston,堀邊英夫，清水共
- 学会等名
  The International Seminar on Electronics Engineering and NANO Technology (ISEENT2017)
- 発表場所
  香川高専　詫間キャンパス，香川県
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] 二層レジストを用いた酸素プラズマによるドライ現像2017
- 著者名/発表者名
  高垣信巨、長岡史郎、辻琢人、山本雅史、ロバート・ジョンストン、堀邊英夫、清水共
- 学会等名
  第14回CAT－CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A Study of the Simplified IC FAB for the Science and Technical Education2016
- 著者名/発表者名
  高垣信巨，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  the 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
- 発表場所
  Vocational College Universitas Gadjah MADA, Indonesia
- 年月日
  2016-10-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A feasibility study of the selective and simultaneous thermal impurity diffusion process on the silicon substrate2016
- 著者名/発表者名
  西園寺嶺，長岡史郎，辻琢人，山本雅史，R.W.Johnston,清水共，鹿間共一
- 学会等名
  The 6th International Symposium on Technology for Sustainability (ISTS2016) & 2nd International Students Seminar on Leadership and Networking (ISSLN 2016)
- 発表場所
  Vocational College Universitas Gadjah MADA, Indonesia
- 年月日
  2016-10-04
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992
[学会発表] A proposal of the Simplified IC Fab Establishied in the Average Science Laboratory for Cultivating Scientific Mind2016
- 著者名/発表者名
  長岡史郎，辻琢人，鹿間共一，山本雅史，R.W.Johnsotn，清水共
- 学会等名
  The 10th International Symposium on Advances in Technology Education
- 発表場所
  School of Engineering, TOHOKU University, Miyagi Japan
- 年月日
  2016-09-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K00992

1. 長岡史郎 (30300635)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 22件
2. 堀邊英夫 (00372243)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 14件
3. 山本雅史 (60733821)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 22件
4. JOHNSTON ROBERT (60743698)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 17件
5. 鹿間共一 (70206069)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 24件
6. 下川房男 (90580598)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 3件
7. 松田和典 (10192337)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 4件

清水 共 Shimizu Tomo

研究課題

研究成果

共同研究者

理科室で構築したナノテクプラットフォームで実現する半導体デバイスファウンドリ

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

理科室で構築するナノテクプラットフォーム

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Proposal for Reducing Pattern Position Alignment Error of A Simplified Photo Lithography Method for Education2018

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] Fundamental Study of the Simplified Micro Diffusion Bipolar Transistor as the Educational Resource2017

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] A feasibility study of the selective and simultaneous thermal impurity diffusion process on the silicon substrate2016

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] A proposal of the Simplified IC Fab Establishied in the Average Science Laboratory for Cultivating Scientific Mind2016

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[雑誌論文] A Study of the Simplified IC FAB for the Science and Technical Education2016

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

[学会発表] A Study of Resolution Improvement of the Simplified Contact Photo Lithography Using Phase Shift Method for EE Education2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] A Study of Resolution an Overlay Accuracy of a Simplified Photo Lithography Process for EE Education Use2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Feasibility Study of a Simplified Nanotech Platform and Device Evaluation Procedure Established for Average Educational Science Laboratories2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 教育用簡素化微細加工プロセスのレジストパタン解像度と重ね合せ精度改善に関する一考察2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] A study for reducing pattern position alignment error of a simplified photo lithography method for the nanotech platform established at the average science laboratory2019

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] A Proposal of Totally Simplified Educational Semiconductor Device Fabrication Process under Normal Air Environment2018

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 二層フォトレジストのドライ現像と不純物の熱拡散プロセスへの応用2017

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] A p-n Junction Study for nMOS FET Fabrication using Alignment-less Lithography2017

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] A Boron Selective Thermal Impurity Diffusion Method that Support a Simplified pMOS FET Fabrication Process2017

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

年月日

データソース

[学会発表] A p-n Junction for the Simplified nMOS FET Fabrication using Alignment-less Lithography2017

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

清水共 Shimizu Tomo