吉冨健一郎 Yoshitomi Kenichiro

研究者番号	40546149
所属 (現在)	2025年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2023年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 教授 2017年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群), システム工学群, 准教授 2016年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 准教授 2014年度 – 2015年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, その他部局等, 准教授 2012年度 – 2013年度: 防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工, システム工学群, 准教授
審査区分/研究分野	研究代表者生産工学・加工学 / 小区分18020:加工学および生産工学関連
キーワード	研究代表者薄型基板 / 冷凍液 / 冷凍ピンチャック / 反り / 石英ガラス基板 / ディスペンサ / 半導体デバイス / 水膜チャック / 研磨パッド / 高平坦化 … もっと見る / 高能率研磨 / スラリ / 水膜ポーラスチャック / 溝パターン / 研磨パット / 加工レート / 高回転高圧研磨 / 凝固保持 / 研磨 / 石英ガラス / 真空チャック / 基板変形 / ウエハ保持 / 石英ガラスウエハ / 研削・研磨 / 石英ウエハ / マスク基板 / 凝固固着 / 平坦化研磨隠す

ディスペンサを用いた精密パルス供給による高回転高圧研磨に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  吉冨健一郎
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2024
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
冷凍ピンチャックによる無反り薄型基板創成研磨に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  吉冨健一郎
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工学群)
無反り薄型基板創成技術の基礎研究研究代表者
- 研究代表者
  
  吉冨健一郎
- 研究期間 (年度)
  2012 – 2014
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  生産工学・加工学
- 研究機関
  防衛大学校(総合教育学群、人文社会科学群、応用科学群、電気情報学群及びシステム工

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Development of High-Speed Rotation Polishing System with Slurry Confinement and Friction-State Control2023
- 著者名/発表者名
  Kenichiro Yoshitomi , Yoshinori Shimada, Atsunobu Une
- 雑誌名
  
  International Journal of Automation Technology
  
  巻: 17 号: 1 ページ: 55-63
- DOI
  10.20965/ijat.2023.p0055
- ISSN
  1881-7629, 1883-8022
- 年月日
  2023-01-05
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[雑誌論文] 研磨用冷凍ピンチャックの開発 (第2報)2016
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 82 号: 1 ページ: 82-86
- DOI
  10.2493/jjspe.82.82
- NAID
  130005118321
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[雑誌論文] 研磨用冷凍ピンチャックの開発 (第1報)2014
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，小笠原永久，餅田正秋
- 雑誌名
  
  精密工学会誌
  
  巻: 80 号: 10 ページ: 950-955
- DOI
  10.2493/jjspe.80.950
- NAID
  130004696414
- ISSN
  0912-0289, 1882-675X
- 言語
  日本語
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] 水膜チャック用微細気孔ポーラス材の平坦化研磨とチャック特性2023
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎、宇根篤暢
- 学会等名
  2023年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[学会発表] 水膜ポーラスチャックの開発2022
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎、宇根篤暢
- 学会等名
  2022年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[学会発表] 水膜ポーラスチャックの基板保持特性2022
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎、宇根篤暢
- 学会等名
  2022年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-21K03800
[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー2017
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎,宇根篤暢,餅田正秋
- 学会等名
  2017年度砥粒加工学会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[学会発表] Grinding characteristics using a freezing pin chuck for a warped quartz glass wafer2017
- 著者名/発表者名
  K. Yoshitomi, A. Une, M. Mochida
- 学会等名
  The 20th International Symposium on Advancesin Abrasive Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[学会発表] Development of a freezing pin chuck system to prevent a thin substrate from deformation2016
- 著者名/発表者名
  K. Yoshitomi,K. Tada,A. Une,M. Mochida
- 学会等名
  The 19th International Symposium on Advancesin Abrasive Technology
- 発表場所
  Stockholm, Sweden
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化2016
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎,多田一生,宇根篤暢,餅田正秋
- 学会等名
  砥粒加工学会
- 発表場所
  兵庫県立大学（兵庫県，姫路市）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－2015
- 著者名/発表者名
  多田一生，吉冨健一郎，餅田正秋，宇根篤暢
- 学会等名
  精密工学会
- 発表場所
  宮城県，仙台市
- 年月日
  2015-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K05748
[学会発表] 冷凍ピンチャックにおける冷凍液の最適塗布法2015
- 著者名/発表者名
  多田一生，吉冨健一郎，餅田正秋，宇根篤暢
- 学会等名
  2015年度精密工学会春季大会学術講演会
- 発表場所
  東洋大学
- 年月日
  2015-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] 研磨用冷凍ピンチャックの基板保持特性2014
- 著者名/発表者名
  多田一生，吉冨健一郎，餅田正秋，宇根篤暢
- 学会等名
  2014年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  鳥取大学
- 年月日
  2014-09-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] 研磨による無反りウエハの創成（第3報）－冷凍ピンチャックの冷却特性と研磨への適用－2013
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎，竹鼻亮道，宇根篤暢，餅田正秋
- 学会等名
  2013年度精密工学会春季大会
- 発表場所
  目黒区，東京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] Development of a freezing pin chuck for polishing to fabricate a nonwarped substrate: Fixing characteristics to polish a quartz glass wafer2013
- 著者名/発表者名
  K. Yoshitomi, A. Une, K. Takehana and M. Mochida
- 学会等名
  13th Euspen International Conference
- 発表場所
  ベルリン，ドイツ
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] Development of a freezing pin chuck for fabricating a nonwarped substrate: Peeling due to thermal stress during polishing and deformation during fixing2012
- 著者名/発表者名
  K. Takehana, A. Une, N. Ogasawara, K. Yoshitomi, M. Mochida
- 学会等名
  12th Euspen International Conference
- 発表場所
  ストックホルム，スウェーデン
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] 研磨による無反りウエハの創成（第2報）－揺動速度制御型塗布法と研磨熱によるはく離メカニズムの解明－2012
- 著者名/発表者名
  竹鼻亮道，宇根篤暢，吉冨健一郎，餅田正秋
- 学会等名
  2012年度精密工学会秋季大会
- 発表場所
  北九州市，福岡県
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113
[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた石英ウエハの研磨加工（第1 報）－低温度条件下における研磨速度－2012
- 著者名/発表者名
  吉冨健一郎，餅田正秋
- 学会等名
  2012年度砥粒加工学会学術講演会
- 発表場所
  京田辺市，京都
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24760113

1. 宇根篤暢 (10535371)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 5件

吉冨 健一郎 Yoshitomi Kenichiro

研究課題

研究成果

共同研究者

ディスペンサを用いた精密パルス供給による高回転高圧研磨に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

冷凍ピンチャックによる無反り薄型基板創成研磨に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

無反り薄型基板創成技術の基礎研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Development of High-Speed Rotation Polishing System with Slurry Confinement and Friction-State Control2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] 研磨用冷凍ピンチャックの開発 (第2報)2016

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[雑誌論文] 研磨用冷凍ピンチャックの開発 (第1報)2014

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

言語

データソース

[学会発表] 水膜チャック用微細気孔ポーラス材の平坦化研磨とチャック特性2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 水膜ポーラスチャックの開発2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 水膜ポーラスチャックの基板保持特性2022

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた石英ガラス基板の平坦化研磨ーピン間冷却液の効果ー2017

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Grinding characteristics using a freezing pin chuck for a warped quartz glass wafer2017

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Development of a freezing pin chuck system to prevent a thin substrate from deformation2016

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた基板保持手順の最適化2016

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

データソース

[学会発表] 冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－2015

著者名/発表者名

学会等名

発表場所

吉冨健一郎 Yoshitomi Kenichiro