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清水 康雄  SHIMIZU Yasuo

研究者番号 40581963
その他のID
  • ORCIDhttps://orcid.org/0000-0002-6844-8165
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2020年度 – 2022年度: 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 磁性・スピントロニクス材料研究拠点, NIMS特別研究員
2010年度 – 2019年度: 東北大学, 金属材料研究所, 助教
審査区分/研究分野
研究代表者
小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連 / ナノ材料工学 / 生体医工学・生体材料学 / 電子・電気材料工学
研究代表者以外
原子力学 / 中区分31:原子力工学、地球資源工学、エネルギー学およびその関連分野 / 中区分21:電気電子工学およびその関連分野 / 電子デバイス・電子機器
キーワード
研究代表者
3次元アトムプローブ / 半導体 / 量子構造 / 同位体 / フォトニクス / ナノワイヤ / 透過電子顕微鏡 / 元素分析 / 硬さ / 元素分布 … もっと見る / 生体材料 / 歯学 / 複合クラスター / ナノ材料 / 電子・電気材料 … もっと見る
研究代表者以外
3次元アトムプローブ / 原子力材料 / 照射欠陥 / 劣化機構 / 陽電子消滅 / 原子炉高経年化 / 粒界脆化 / 粒界偏析 / 応力下その場観察 / ウィークビーム走査型透過電子顕微鏡法 / 応用下その場観察 / 量子計測 / 確率的情報処理回路・システム / 量子物性制御デバイス / 量子物性制御 / 決定論的ドーピング法 / 透過電子顕微鏡 / 微小欠陥分布 / 元素分布 / トモグラフィー / 3次元トモグラフィー / 電子顕微鏡 / 原子炉材料 / 拡散 / マイクロ・ナノデバイス / ドーパント / 粒界拡散 / アトムプローブ / 事故時加熱環境 / 圧力容器 / 圧力容器鋼 / ナノ組織変化 / 先端分析手法 / 高温環境 / 原子炉構造材料 / 電子炉高経年化 / レーザー / 真空破面蒸着 / 応力腐食割れ 隠す
  • 研究課題

    (10件)
  • 研究成果

    (204件)
  • 共同研究者

    (22人)
  •  高効率発光デバイスの実現に向けた共添加元素の3次元原子スケール分布の制御研究代表者

    • 研究代表者
      清水 康雄
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2021
    • 研究種目
      基盤研究(C)
    • 審査区分
      小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
    • 研究機関
      国立研究開発法人物質・材料研究機構
  •  サブナノ分解能応力下その場観察法の開拓による新たな照射硬化機構の解明

    • 研究代表者
      永井 康介
    • 研究期間 (年度)
      2020 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分31:原子力工学、地球資源工学、エネルギー学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  決定論的ドーピング法に基づく量子物性制御とその確率的情報処理・量子計測への応用

    • 研究代表者
      品田 賢宏
    • 研究期間 (年度)
      2018 – 2022
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 審査区分
      中区分21:電気電子工学およびその関連分野
    • 研究機関
      東北大学
  •  微小欠陥-元素分布トモグラフィー法による原子炉構造材料の照射劣化機構の解明

    • 研究代表者
      永井 康介
    • 研究期間 (年度)
      2016 – 2018
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      原子力学
    • 研究機関
      東北大学
  •  3次元アトムプローブと透過電子顕微鏡を組み合わせた単一ナノワイヤの解析法の確立研究代表者

    • 研究代表者
      清水 康雄
    • 研究期間 (年度)
      2015 – 2017
    • 研究種目
      若手研究(A)
    • 研究分野
      ナノ材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  拡散メカニズム解析に基づく3次元トランジスタ局所領域におけるドーパント分布制御

    • 研究代表者
      井上 耕治
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2016
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      東北大学
  •  人間の歯の健全性評価に向けた3次元アトムプローブによるナノスケール元素分析解析研究代表者

    • 研究代表者
      清水 康雄
    • 研究期間 (年度)
      2014 – 2015
    • 研究種目
      挑戦的萌芽研究
    • 研究分野
      生体医工学・生体材料学
    • 研究機関
      東北大学
  •  先端ナノ組織分析による事故時加熱環境を考慮した原子炉構造材料の劣化機構解明と予測

    • 研究代表者
      永井 康介
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2014
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      原子力学
    • 研究機関
      東北大学
  •  3次元アトムプローブによる半導体中に共注入した異種不純物間の相互作用の解明と制御研究代表者

    • 研究代表者
      清水 康雄
    • 研究期間 (年度)
      2012 – 2013
    • 研究種目
      若手研究(B)
    • 研究分野
      電子・電気材料工学
    • 研究機関
      東北大学
  •  アトムプローブによる原子炉材料の粒界偏析の原子レベル観察と粒界劣化機構の解明

    • 研究代表者
      永井 康介
    • 研究期間 (年度)
      2009 – 2011
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      原子力学
    • 研究機関
      東北大学

すべて 2022 2021 2020 2019 2018 2017 2016 2015 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 学会発表 図書 その他

  • [図書] 日本分析化学会編、試料分析講座半導体・電子材料分析, (第6章三次元アトムプローブ(APT)担当)2013

    • 著者名/発表者名
      朝山匡一郎、伊藤寛征、井上耕治、植田和弘、上殿明良、表和彦、小林慶規、齋藤正裕、笹川薫、清水康雄、末包高史、高野明雄、張利、永井康介、中村誠、福嶋球琳男、藤田高弥、藤村聖史、星野英樹、松下光英、山田隆、行嶋史郎
    • 出版者
      丸善出版 (ISBN-13: 978-4621087008)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [図書] 日本分析化学会編, 試料分析講座 半導体・電子材料分析2013

    • 著者名/発表者名
      朝山匡一郎,伊藤寛征,井上耕治,植田和弘,上殿明良,表和彦,小林慶規,齋藤正裕,笹川薫,清水康雄,末包高史,高野明雄,張利,永井康介,中村誠,福嶋球琳男,藤田高弥,藤村聖史,星野英樹,松下光英,山田隆,行嶋史郎
    • 総ページ数
      328
    • 出版者
      丸善出版
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] Variation in atomistic structure due to annealing at diamond/silicon heterointerfaces fabricated by surface activated bonding2022

    • 著者名/発表者名
      Ohno Yutaka、Liang Jianbo、Yoshida Hideto、Shimizu Yasuo、Nagai Yasuyoshi、Shigekawa Naoteru
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SF ページ: SF1006-SF1006

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac5d11

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359, KAKENHI-PROJECT-23K21083
  • [雑誌論文] Fabrication of β-Ga2O3/Si heterointerface and characterization of interfacial structures for high power device applications2022

    • 著者名/発表者名
      Liang Jianbo、Takatsuki Daiki、Higashiwaki Masataka、Shimizu Yasuo、Ohno Yutaka、Nagai Yasuyoshi、Shigekawa Naoteru
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SF ページ: SF1001-SF1001

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac4c6c

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359, KAKENHI-PROJECT-19H02182
  • [雑誌論文] Radiation-enhanced diffusion of copper in iron studied by three-dimensional atom probe2021

    • 著者名/発表者名
      Toyama T.、Zhao C.、Yoshiie T.、Yamasaki S.、Uno S.、Shimodaira M.、Miyata H.、Suzudo T.、Shimizu Y.、Yoshida K.、Inoue K.、Nagai Y.
    • 雑誌名

      Journal of Nuclear Materials

      巻: 556 ページ: 153176-153176

    • DOI

      10.1016/j.jnucmat.2021.153176

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19K05323, KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] Room temperature direct bonding of diamond and InGaP in atmospheric air2021

    • 著者名/発表者名
      Liang Jianbo、Nakamura Yuji、Ohno Yutaka、Shimizu Yasuo、Nagai Yasuyoshi、Wang Hongxing、Shigekawa Naoteru
    • 雑誌名

      Functional Diamond

      巻: 1 号: 1 ページ: 110-116

    • DOI

      10.1080/26941112.2020.1869435

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] Insight into segregation sites for oxygen impurities at grain boundaries in silicon2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Ren, S. Tanaka, M. Kohyama, K. Inoue, Y. Shimizu, Y. Nagai, H. Yoshida
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 号: 4 ページ: 041003-041003

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abe80d

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18K05009, KAKENHI-PROJECT-20K04613, KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] 高性能Si太陽電池の3次元アトムプローブ解析2021

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 雑誌名

      応用物理

      巻: 90 号: 10 ページ: 610-616

    • DOI

      10.11470/oubutsu.90.10_610

    • NAID

      130008101098

    • ISSN
      0369-8009, 2188-2290
    • 年月日
      2021-10-05
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04613
  • [雑誌論文] Crystallite distribution analysis based on hydrogen content in thin-film nanocrystalline silicon solar cells by atom probe tomography2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Sai, T. Matsui, K. Taki, T. Hashiguchi, H. Katayama, M. Matsumoto, A. Terakawa, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 14 号: 1 ページ: 016501-016501

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abd13f

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04613
  • [雑誌論文] Segregation mechanism of arsenic dopants at grain boundaries in silicon2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, T. Yokoi, Y. Shimizu, J. Ren, K. Inoue, Y. Nagai, K. Kutsukake, K. Fujiwara, A. Nakamura, K. Matsunaga, and H. Yoshida
    • 雑誌名

      Science and Technology of Advanced Materials: Methods

      巻: 1 号: 1 ページ: 169-180

    • DOI

      10.1080/27660400.2021.1969701

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04613, KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] Multiscale characterization of the joint bonded by Cu@Ag core@shell nanoparticles2020

    • 著者名/発表者名
      Tu Y.、Zhu P. L.、Li G.、Ouyang Q. L.、Chang H.、Zhou F. R.、Shimizu Y.、Inoue K.、Nagai Y.、Sun R.、Wong C. P.
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 116 号: 21 ページ: 213101-213101

    • DOI

      10.1063/5.0007534

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] 3D impurity profiles of doped/intrinsic amorphous-silicon layers composing textured silicon heterojunction solar cells detected by atom probe tomography2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, N. Ebisawa, Y. Ichihashi, T. Hashiguchi, H. Katayama, M. Matsumoto, A. Terakawa, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 13 号: 12 ページ: 126503-126503

    • DOI

      10.35848/1882-0786/abcd70

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04613, KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] Oxidation-enhanced Si self-diffusion in isotopically modulated silicon nanopillars2020

    • 著者名/発表者名
      Kiga Ryotaro、Hayashi Sayaka、Miyamoto Satoru、Shimizu Yasuo、Nagai Yasuyoshi、Endoh Tetsuo、Itoh Kohei M.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 127 号: 4 ページ: 045704-045704

    • DOI

      10.1063/1.5134105

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [雑誌論文] Outstanding tensile properties of a precipitation-strengthened FeCoNiCrTi0.2 high-entropy alloy at room and cryogenic temperatures2019

    • 著者名/発表者名
      Tong Y.、Chen D.、Han B.、Wang J.、Feng R.、Yang T.、Zhao C.、Zhao Y.L.、Guo W.、Shimizu Y.、Liu C.T.、Liaw P.K.、Inoue K.、Nagai Y.、Hu A.、Kai J.J.
    • 雑誌名

      Acta Materialia

      巻: 165 ページ: 228-240

    • DOI

      10.1016/j.actamat.2018.11.049

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PLANNED-18H05456
  • [雑誌論文] Effect of carbon on boron diffusion and clustering in silicon: Temperature dependence study2018

    • 著者名/発表者名
      Tu Y.、Shimizu Y.、Kunimune Y.、Shimada Y.、Katayama T.、Ide T.、Inoue M.、Yano F.、Inoue K.、Nagai Y.
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 124 号: 15 ページ: 155702-155702

    • DOI

      10.1063/1.5048313

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [雑誌論文] Composition evolution of gamma prime nanoparticles in the Ti-doped CoFeCrNi high entropy alloy2018

    • 著者名/発表者名
      Han Bin、Wei Jie、Tong Yang、Chen Da、Zhao Yilu、Wang Jing、He Feng、Yang Tao、Zhao Can、Shimizu Yasuo、Inoue Koji、Nagai Yasuyoshi、Hu Alice、Liu Chain Tsuan、Kai Ji Jung
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: 148 ページ: 42-46

    • DOI

      10.1016/j.scriptamat.2018.01.025

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PLANNED-18H05456
  • [雑誌論文] Industrial application of atom probe tomography to semiconductor devices2018

    • 著者名/発表者名
      A. D. Giddings, S. Koelling, Y. Shimizu, R. Estivill, K. Inoue, W. Vandervorst, and W. K. Yeoh
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: 148 ページ: 82-90

    • DOI

      10.1016/j.scriptamat.2017.09.004

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [雑誌論文] Blocking of deuterium diffusion in poly-Si/Al2O3/HfxSi1?xO2/SiO2 high-k stacks as evidenced by atom probe tomography2018

    • 著者名/発表者名
      Tu Y.、Han B.、Shimizu Y.、Kunimune Y.、Shimada Y.、Katayama T.、Ide T.、Inoue M.、Yano F.、Inoue K.、Nagai Y.
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 112 号: 3 ページ: 032902-032902

    • DOI

      10.1063/1.5010256

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Atom probe study of erbium and oxygen co-implanted silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Shimizu Yasuo、Tu Yuan、Abdelghafar Ayman、Yano Maasa、Suzuki Yudai、Tanii Takashi、Shinada Takahiro、Prati Enrico、Celebrano Michele、Finazzi Marco、Ghirardini Lavinia、Inoue Koji、Nagai Yasuyoshi
    • 雑誌名

      Proceedings of 2017 Silicon Nanoelectronics Workshop

      巻: 2017 ページ: 99-100

    • DOI

      10.23919/snw.2017.8242316

    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [雑誌論文] Nanoscopic analysis of oxygen segregation at tilt boundaries in silicon ingots using atom probe tomography combined with TEM and ab initio calculations2017

    • 著者名/発表者名
      OHNO Y.、INOUE K.、FUJIWARA K.、KUTSUKAKE K.、DEURA M.、YONENAGA I.、EBISAWA N.、SHIMIZU Y.、INOUE K.、NAGAI Y.、YOSHIDA H.、TAKEDA S.、TANAKA S.、KOHYAMA M.
    • 雑誌名

      Microscopy

      巻: 268 号: 3 ページ: 230-238

    • DOI

      10.1111/jmi.12602

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H03535, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Room-temperature 1.54 um photoluminescence from Er:Ox centers at extremely low concentration in silicon2017

    • 著者名/発表者名
      M. Celebrano, L. Ghirardini, M. Finazzi, Y. Shimizu, Y. Tu, K. Inoue, Y. Nagai, T. Shinada, Y. Chiba, A. Abderghafar, M. Yano, T. Tanii, E. Prati
    • 雑誌名

      Opt. Lett. 42 (2017) 3311

      巻: 42 号: 17 ページ: 3311-3314

    • DOI

      10.1364/ol.42.003311

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17H02751, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Atom probe tomographic assessment of the distribution of germanium atoms implanted in a silicon matrix through nano-apertures2017

    • 著者名/発表者名
      Tu Y、Han B、Shimizu Y、Inoue K、Fukui Y、Yano M、Tanii T、Shinada T、Nagai Y
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 28 号: 38 ページ: 385301-385301

    • DOI

      10.1088/1361-6528/aa7f49

    • 査読あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-17H02751, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Influence of laser power on atom probe tomographic analysis of boron distribution in silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, H. Takamizawa, B. Han, Y. Shimizu, K. Inoue, T. Toyama, F. Yano, A. Nishida, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Ultramicroscopy

      巻: 173 ページ: 58-63

    • DOI

      10.1016/j.ultramic.2016.11.023

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [雑誌論文] Impact of local atomic stress on oxygen segregation at tilt boundaries silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Fujiwara, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka, M. Kohyama
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 110 号: 6

    • DOI

      10.1063/1.4975814

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-26246016, KAKENHI-PROJECT-15H03535, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Weak-beam scanning transmission electron microscopy for quantitative dislocation density measurement in steels2017

    • 著者名/発表者名
      K. Yoshida, M. Shimodaira, T. Toyama, Y. Shimizu, K. Inoue, T. Yoshiie, K. J. Milan, R. Gerard, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Microscopy

      巻: 66 ページ: 120-130

    • DOI

      10.1093/jmicro/dfw111

    • 査読あり / 謝辞記載あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-16H05966
  • [雑誌論文] Predoping effects of boron and phosphorous on arsenic diffusion along grain boundaries in polycrystalline silicon investigated by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nozawa, T. Toyama, F. Yano, M. Inoue, A. Nishida, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 9 号: 10 ページ: 253-256

    • DOI

      10.7567/apex.9.106601

    • NAID

      210000138076

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-26289097, KAKENHI-PROJECT-26709073
  • [雑誌論文] Suppression of segregation of the phosphorus δ-doping layer in germanium by incorporation of carbon2016

    • 著者名/発表者名
      M. Yamada, K. Sawano, M. Uematsu, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, and K. M. Itoh
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 3 ページ: 031304-031304

    • DOI

      10.7567/jjap.55.031304

    • NAID

      210000146129

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-25600079, KAKENHI-PROJECT-26220602, KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-26286044
  • [雑誌論文] Boron distributions in individual core-shell Ge/Si and Si/Ge heterostructured nanowires2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, J. Wipakorn, K. Nishibe, Y. Tu, K. Inoue, N. Fukata, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: 8 号: 47 ページ: 19811-19815

    • DOI

      10.1039/c6nr04384d

    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-26246021, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Recombination activity of nickel, copper, and oxygen atoms segregating at grain boundaries in mono-like silicon crystals2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, Y. Shimizu, N. Ebisawa, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 109 号: 14

    • DOI

      10.1063/1.4964440

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H03535, KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [雑誌論文] Impact of carbon co-implantation on boron distribution and activation in silicon studied by atom probe tomography and spreading resistance measurements2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, K. Inoue, F. Yano, S. Kudo, A. Nishida, T. Toyama, and Y. Nagai
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 55 号: 2 ページ: 026501-026501

    • DOI

      10.7567/jjap.55.026501

    • NAID

      210000146038

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-26289097, KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-26709073
  • [雑誌論文] Boron distributions in individual core-shell Ge/Si and Si/Ge heterostructured nanowires2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, J. Wipakorn, K. Nishibe, Y. Tu, K. Inoue, N. Fukata, and Y. Nagai
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: 8 ページ: 19811-19815

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [雑誌論文] Evolution of shape, size, and areal density of a single plane of Si nanocrystals embedded in SiO2 matrix studied by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. Ben Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, and M. Perego
    • 雑誌名

      RSC Advances

      巻: 6 号: 5 ページ: 3617-3622

    • DOI

      10.1039/c5ra26710b

    • 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [雑誌論文] Quantitative analysis of hydrogen in SiO2/SiN/SiO2 stacks using atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Kunimune, Y. Shimada, Y. Sakurai, M. Inoue, A. Nishida, B. Han, Y. Tu, H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, F. Yano, Y. Nagai, T. Katayama, and T. Ide
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 6 号: 4

    • DOI

      10.1063/1.4948558

    • 査読あり / オープンアクセス
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446, KAKENHI-PROJECT-15H05413, KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [雑誌論文] Microstructural evolution of RPV steels under proton and ion irradiation studied by positron annihilation spectroscopy2015

    • 著者名/発表者名
      J. Jiang, Y.C. Wu, X.B. Liu, R.S. Wang, Y. Nagai, K. Inoue, Y. Shimizu, T. Toyama
    • 雑誌名

      J. Nucl. Mater.

      巻: 458 ページ: 326-334

    • DOI

      10.1016/j.jnucmat.2014.12.113

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [雑誌論文] Phosphorus and boron diffusion paths in polycrystalline silicon gate of a trench-type three-dimensional metal-oxide-semiconductor field effect transistor investigated by atom probe tomography2015

    • 著者名/発表者名
      B. Han, H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, F. Yano, Y. Kunimune, M. Inoue, and A. Nishida
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 107 号: 2 ページ: 023506-023506

    • DOI

      10.1063/1.4926970

    • 査読あり / 謝辞記載あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [雑誌論文] Effects of Post-irradiation Annealing and Reirradiation on Microstructure in Surveillance Test Specimens of the Loviisa-1 Reactor Studied by Atom Probe Tomography and Positron Annihilation2014

    • 著者名/発表者名
      T.Toyama, A.Kuramoto, Y.Nagai, K.Inoue, Y.Nozawa, Y.Shimizu, Y.Matsukawa, M.Hasegawa, M.Valo
    • 雑誌名

      Journal of Nuclear Materials

      巻: 449 号: 1-3 ページ: 207-212

    • DOI

      10.1016/j.jnucmat.2014.01.036

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-22686058, KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [雑誌論文] Behavior of phosphorous and contaminants from monolayer doping combined with a conventional spike annealing method2014

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, K. Inoue, F. Yano, Y. Nagai, L. Lamagna, G. Mazzeo, M. Perego, and E. Prati
    • 雑誌名

      Nanoscale

      巻: Vol. 6, Issue 2 号: 2 ページ: 706-710

    • DOI

      10.1039/c3nr03605g

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] The diffusivity and solubility of copper in ferromagnetic iron at lower temperatures studied by atom probe tomography2014

    • 著者名/発表者名
      T. Toyama, F. Takahama, A. Kuramoto, H. Takamizawa, Y. Nozawa, N. Ebisawa, M. Shimodaira, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Scripta Materialia

      巻: 83 ページ: 5-8

    • DOI

      10.1016/j.scriptamat.2014.03.009

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155, KAKENHI-PROJECT-26709073
  • [雑誌論文] Three-dimensional evaluation of gettering ability of Σ3{111} grain boundaries in silicon by atom probe tomography combined with transmission electron microscopy2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, Y. Tokumoto, K. Kutsukake, I. Yonenaga, N. Ebisawa, H. Takamizawa, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida and S. Takeda
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Lett.

      巻: 103 号: 10

    • DOI

      10.1063/1.4820140

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-23656380, KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] Three-dimensional dopant characterization in actual metal-oxide-semiconductor devices of 65 nm node by atom probe tomography.2013

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, H. Takamizawa, Y. Shimizu, T. Toyama, F. Yano, A. Nishida, T. Mogami, K. Kitamoto, T. Miyagi, J. Kato, S. Akahori, N. Okada, M. Kato, H. Uchida, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 4 号: 4 ページ: 046502-046502

    • DOI

      10.7567/apex.6.046502

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J08082, KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] Three-dimensional characterization of deuterium implanted in silicon using atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      H. Takamizawa, K. Hoshi, Y. Shimizu, F. Yano, K. Inoue, S. Nagata, T. Shikama, and Y. Nagai
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: Vol. 6 号: 6 ページ: 066602-066602

    • DOI

      10.7567/apex.6.066602

    • NAID

      10031181995

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] Atomic-scale characterization of germanium isotopic multilayers by atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, Y. Kawamura, M. Uematsu, T. Toyama, K. Inoue, E.. E.. Haller, K. M. Itoh, Y. Nagai
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 113 号: 2 ページ: 0261011-3

    • DOI

      10.1063/1.4773675

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J08082, KAKENHI-PROJECT-22241024, KAKENHI-PROJECT-24560413, KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] 3 次元アトムプローブによる半導体ナノ構造の元素分布解析2013

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, 井上耕治, 高見澤悠, 矢野史子, 永井康介
    • 雑誌名

      Journal of the Vacuum Society of Japan

      巻: 56 号: 9 ページ: 340-347

    • DOI

      10.3131/jvsj2.56.340

    • NAID

      10031195256

    • ISSN
      1882-2398, 1882-4749
    • 言語
      日本語
    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] Correlation between threshold voltage and channel boron concentration in silicon-based negative-type metal-oxide-emiconductor field-effect transistors studied by atom probe tomography.2012

    • 著者名/発表者名
      H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, T.Toyama, F. Yano, A. Nishida, T. Mogami, N. Okada, M. Kato, H. Uchida, K. Kitamoto, T. Miyagi, J, Kato, and Y. Nagai
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 100 号: 25

    • DOI

      10.1063/1.4730437

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-12J08082, KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [雑誌論文] レーザー3次元アトムプローブによる半導体材料中のドーパント分布解析2012

    • 著者名/発表者名
      井上耕治, 清水康雄, 高見澤悠
    • 雑誌名

      日本物理学会誌

      巻: 67 ページ: 645-649

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Grain boundary segregation of arsenic dopants in silicon crystal revealed by atom probe tomography combined with low-temperature focused ion beam2022

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, T. Yokoi, A. Nakamura, K. Matsunaga, H. Yoshida
    • 学会等名
      Summit of Materials Science 2022
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] GaN/ダイヤモンド接合界面の特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      梁剣波、清水康雄、大野裕、永井康介、重川直輝
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] シリコン粒界におけるヒ素ドーパントの偏析機構2021

    • 著者名/発表者名
      大野裕, 清水康雄, JieRen, 横井達也, 井上耕治, 永井康介, 吉田秀人, 沓掛健太朗, 藤原航三, 中村篤智, 松永克志
    • 学会等名
      2021年度大洗・アルファ合同研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Nanostructural analysis of Al/β-Ga2O3 interface fabricated using surface activated bonding2021

    • 著者名/発表者名
      K. Sawai, J. Liang, Y. Shimizu, Y. Ohno, Y. Nagai, N. Shigekawa
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Fabrication of Ga2O3/3C-SiC direct bonding for efficient surface heat dissipation2021

    • 著者名/発表者名
      H. Nagai, K. Kawamura, Y. Sakaida, H. Uratani, Y. Shimizu, Y. Ohno, Y. Nagai, N. Shigekawa, and J. Liang
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Fabrication of GaN/SiC/diamond structure for efficient thermal management of power device2021

    • 著者名/発表者名
      R. Kagawa, K. Kawamura, Y. Sakaida,S. Ouchi,H. Uratani, Y. Shimizu, Y. Ohno, Y. Nagai, N. Shigekawa, and J. Liang
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Fabrication of Ga2O3/Si direct bonding interface for high power device applications2021

    • 著者名/発表者名
      J. Liang, D. Takatsuki, Y. Shimizu, M. Higashiwaki, Y. Ohno, Y. Nagai, and N. Shigekawa
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] 3DAPとWB-STEMを組み合わせた中性子照射 鋼材中の硬化因子の定量解析2021

    • 著者名/発表者名
      吉田 健太、嶋田 雄介、清水 康雄、杜 玉峰、外山 健、井上 耕治、永井 康介
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会第77回学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Precise analysis of segregation sites for As dopants at Si grain boundaries2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, T. Yokoi, Y. Shimizu, J. Ren, K. Inoue, Y. Nagai, K. Kutsukake, K. Fujiwara, A. Nakamura, K. Matsunaga, H. Yoshida
    • 学会等名
      Materials Research Meeting 2021
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Fabrication and Characterization of GaN/Diamond bonding interface2021

    • 著者名/発表者名
      A. Kobayashi, Y. Shimizu, Y. Ohno, S. W. Kim, K. Koyama, M. Kasu, Y. Nagai, N. Shigekawa, and J. Liang
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Structural analysis of diamond/silicon heterointerfaces fabricated by surface activated bonding at room temperature2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, H. Yoshida, Y. Shimizu, Y. Nagai and N. Shigekawa
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Polarization inverted GaN/GaN junctions fabricated by surface-activated bonding2021

    • 著者名/発表者名
      K. Sawai, J. Liang, Y. Shimizu, Y. Ohno, Y. Nagai, and N. Shigekawa
    • 学会等名
      2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Mechanism of direct bonding via surface activation to fabricate Si/GaAs heterointerfaces towards tandem solar cells2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, H. Yoshida, S. Takeda, R. Miyagawa, Y. Shimizu, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2020 European Materials Research Society
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Microscopic picture of direct bonding via surface activation for low-resistance Si/wide-gap semiconductor heterointerfaces2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, H. Yoshida, R. Miyagawa, Y. Shimizu, and Y. Nagai
    • 学会等名
      PRiME2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによる純鉄粒界中のCu拡散係数の直接導出2020

    • 著者名/発表者名
      宮田 穂高、外山 健、下平 昌樹、趙 燦、柴原 理恵、藏野 功、野沢 康子、清水 康雄、井上 耕治、永井 康介
    • 学会等名
      日本金属学会2020年秋期講演大会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Direct bonding of GaAs and diamond for high power device applications2020

    • 著者名/発表者名
      J. Liang, Y. Nakamura, Y. Ohno, Y. Shimizu, T.Z. Zhan, T. Watanabe, N. Kamiuchi, Y. Nagai, and N. Shigekawa
    • 学会等名
      PRiME2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Direct observation of Cu diffusivity in Pure Iron Grain Boundary by Atom Probe Tomography2020

    • 著者名/発表者名
      H. Miyata, T. Toyama, M. shimodaira, C. Zhao, R. Shibahara, K. Kurano, Y. Nozawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      GIMRT REMAS 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Mechanism of low-temperature direct bonding via surface activation for Si/diamond and Si/GaAs heterointerfaces2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, H. Yoshida, R. Miyagawa, Y. Shimizu, and Y. Nagai
    • 学会等名
      International Conference on the Physics of Semiconductors 2020
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] How to fabricate low-resistance heterointerfaces for tandem cells by direct bonding at low temperatures2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, H. Yoshida, R. Miyagawa, Y. Shimizu, and Y. Nagai
    • 学会等名
      37th EU PVSEC
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Atom probe analysis of dopant distribution in commercial solar cells2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu
    • 学会等名
      GIMRT Joint International Symposium on Radiation Effects in Materials and Actinide Science
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04613
  • [学会発表] Mechanism of surface activated bonding for low-resistance Si/diamond and Si/GaAs heterointerfaces2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, H. Yoshida, R. Miyagawa, Y. Shimizu, and Y. Nagai
    • 学会等名
      The 15th International Conference Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Characterization of the diamond/GaAs direct bonding interfaces fabricated by surface activated bonding2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakamura, Y. Shimizu, Y. Ohno, S. W. Kim, K. Koyama, H. X. Wang, N. Shigekawa, and J. Liang
    • 学会等名
      14th International Conference on New Diamond and Nano Carbons
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Formation process of high thermal-stability diamond/Si and diamond/GaAs heterointerfaces by surface activated bonding2020

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, J. Liang, Y. Shimizu, H. Yoshida, N. Shigekawa
    • 学会等名
      2020 Joint MRS Spring and Fall Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] Characterization of GaN/diamond interface prepared by surface activated bonding for thermal management2020

    • 著者名/発表者名
      J. Liang, A. Kobayashi, Y. Shimizu, Y. Ohno, S. W. Kim, K. Koyama, M. Kasu, and N. Shigekawa
    • 学会等名
      Compound Semiconductor Week
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20H00359
  • [学会発表] 3次元アトムプローブを用いた薄膜微結晶シリコン太陽電池の微結晶分布の視覚化2020

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, 瀧謙司, 橋口大樹, 片山博貴, 松本光弘, 寺川朗, 齋均, 松井卓矢, 井上耕治, 永井康介
    • 学会等名
      第17回「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-20K04613
  • [学会発表] MOSトランジスタへのErイオン注入と1.5 μm帯光励起電流の計測2019

    • 著者名/発表者名
      藤本宇郁, 魏啓楠, 鈴木雄大, 清水康雄, 井上耕治, 永井康介, M.Celebrano, E. Prati, L. Ghirardini, M. Finazzi, 品田高宏, 谷井孝至
    • 学会等名
      東北大学金属材料研究所付属量子エネルギー材料科学国際研究センター 2019年度大洗アルファ合同研究会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [学会発表] シリコン同位体ナノピラー構造中における酸化増速自己拡散のアトムプローブ 観測2019

    • 著者名/発表者名
      木我亮太郎, 林彩弥佳, 宮本聡, 清水康雄, 永井康介, 遠藤哲郎, 伊藤公平
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] 3次元PLイメージング法で同定したハイパフォーマンス多結晶シリコンインゴット中の転位発生点近傍の透過電子顕微鏡解析2019

    • 著者名/発表者名
      大野裕, 田島和哉, 沓掛健太朗, 清水康雄, 永井康介, 宇佐美徳隆
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Opportunities of deterministic doping technology for quantum and stochastic processing2019

    • 著者名/発表者名
      Takahiro Shinada, Takashi Tanii, Takahide Oya, Yasuo Shimizu, Koji Inoue, Yukio Kawano and Enrico Prati
    • 学会等名
      235th ECS Meeting
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [学会発表] 表面活性化接合によるGaAs/GaAs界面における元素分布評価2019

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, 海老澤直樹, 大野裕, 梁剣波, 重川直輝, 井上耕治, 永井康介
    • 学会等名
      第66回応用物理学会春季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Recombination activity of inclined Σ3{111} asymmetric grain boundaries in high-performance Si ingots2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Kutsukake, T. Tamaoka, S. Takeda, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, and N. Usami
    • 学会等名
      The 8th Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] シリコン結晶中のΣ9{111}/{115}非対称粒界に形成される多形構造2018

    • 著者名/発表者名
      大野裕、吉田秀人、竹田精治、横井達也、中村篤智、松永克志、清水康雄、永井康介
    • 学会等名
      第74回日本電子顕微鏡学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Effect of coimplanted carbon on boron behavior in silicon: SIMS and atom probe study2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, Y. Tu, F. Yano, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      20th Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-20)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Controlled Creation of Erbium-Oxygen Centers in Silicon by Deterministic Ion Implantation for Room-Temperature Photoluminescence at Telecom Wavelength2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tanii, Y. Suzuki, K. Gi, M. Celebrano, L. Ghirardini, P. Biagioni, M. Finazzi, Y. Shimizu, Y. Tu, K. Inoue, Y. Nagai, E. Prati, T. Shinada
    • 学会等名
      22nd International Conference on Ion Implantation Technology
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [学会発表] Chemical nanoanalyses at grain boundaries by joint use of scanning transmission electron microscopy and atom probe tomography2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Fujiwara, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka, and M. Kohyama
    • 学会等名
      AiMES 2018 ECS and SMEQ Joint International Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Σ3{111}対称傾角粒界の不純物偏析能とキャリア再結合速度に対する傾角のずれの影響2018

    • 著者名/発表者名
      大野 裕、沓掛健太朗、玉岡武泰、竹田精治、清水康雄、海老澤直樹、井上耕治、永井康介、 宇佐美徳隆
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Recombination activity of inclined Σ3{111} grain boundaries in high-performance Si ingots2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K Kutsukake, T. Tamaoka, S. Takeda, Y. Shimizu, N. Ebisawa, K. Inoue, Y. Nagai, and N. Usami
    • 学会等名
      2018 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Chemical nano-analysis at Si grain boundaries by atom probe tomography combined with STEM and ab-initio calculations2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Kutsukake, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, T. Yokoi, A. Nakamura, and K. Matsunaga
    • 学会等名
      The 8th Forum on the Science and Technology of Silicon Materials 2018
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Mechanism of Oxygen Sergegation in Multicrystalline Sillicon2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Fujiwara, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue,Y. Nagai, T. Yokoi, K. Nakamura, K. Matsunaga, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka, M. Kohyama
    • 学会等名
      10th International Workshop on Crystalline Silicon for Solar Cells (CSSC-10)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Structural bistability in Σ9{111}/{115} asymmetric grain boundary in Si ingots2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, H. Yoshida, S. Takeda, T. Yokoi, A. Nakamura, K. Matsunaga, Y. Shimizu, Y. Nagai
    • 学会等名
      19th International Conference on Extended Defects in Semiconductors (EDS2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Oxidation-enhanced Si self-diffusion in isotopically modulated nanopillars2018

    • 著者名/発表者名
      R. Kiga, S. Hayashi, S. Miyamoto, Y. Shimizu, T. Endoh, Y. Nagai, and K. M. Itoh
    • 学会等名
      2018 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Impurity distribution at Si/GaAs heterointerfaces fabricated by surface-activated bonding analyzed by atom probe tomography2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, N. Ebisawa, Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2018 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Dopant Behavior in Semiconductor Materials and Nanostructures Analyzed by Atom Probe Tomography2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu
    • 学会等名
      第19回「イオンビームによる表面・界面解析」特別研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [学会発表] シリコン中におけるエルビウム-酸素複合体の室温での光学的活性の理解2018

    • 著者名/発表者名
      清水 康雄、Y. Tu、アブデルガファ 愛満、鈴木 雄大、魏 啓楠、谷井 孝至、品田 高宏、Prati Enrico、Celebrano Michele、Finazzi Marco、Ghirardini Lavinia、井上 耕治、永井 康介
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [学会発表] 鉄中の銅拡散に対する電子線照射効果2018

    • 著者名/発表者名
      外山 健、Zhao Can、義家 敏正、下平 昌樹、 清水 康雄、井上 耕治、永井 康介
    • 学会等名
      日本原子力学会2018年春の年会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe study of silicon-based device structures2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      Atom Probe Tomography and Microscopy (APT&M) 2018
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Controlled Creation of Erbium-Oxygen Centers in Silicon by Deterministic Ion Implantation for Room-Temperature Photoluminescence at Telecomm Wavelength2018

    • 著者名/発表者名
      T. Tanii, Y. Suzuki, K. Gi, M. Celebrano, L. Ghirardini, P. Biagioni, M. Finazzi, Y. Shimizu, Y. Tu, K. Inoue, Y. Nagai, E. Prati, and T. Shinada
    • 学会等名
      22nd International Conference on Ion Implantation Technology (IIT 2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe study of impurity distribution at Si/GaAs heterointerfaces fabricated by surface-activated bonding2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, N. Ebisawa, Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      Summit of Materials Science 2018 (SMS2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] シリコン中におけるエルビウム-酸素複合体の室温での光学的活性の理解2018

    • 著者名/発表者名
      清水康雄、Tu Yuan、アブデルガファ愛満、鈴木雄大、魏 啓楠、谷井孝至、品田高宏、P. Enrico、C. Michele、F. Marco、G. Lavinia、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe study of silicon-based device structures2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu
    • 学会等名
      Atom Probe Tomography and Microscopy (APT&M) 2018
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-18H03766
  • [学会発表] Atom probe tomography investigation of silicon self-diffusion in isotopically modulated nanopillars2018

    • 著者名/発表者名
      R. Kiga, S. Hayashi, S. Miyamoto, Y. Shimizu, T. Endoh, Y. Nagai, and K. M. Itoh
    • 学会等名
      20th Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-20)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Growth mechanism of polymorphism of asymmetric Sigma-9{115}/{111} interfaces in silicon2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, T. Yokoi, A. Nakamura, K. Matsunaga, H. Yoshida, S. Takeda, Y. Shimizu, Y. Nagai
    • 学会等名
      34th International Conference on the Physics of Semiconductors (ICPS2018)
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] データ科学を活用した高品質多結晶材料創製に向けて2018

    • 著者名/発表者名
      宇佐美徳隆、沓掛健太朗、松本哲也、工藤博章、横井達矢、清水康雄、大野裕
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第31回秋季シンポジウム
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Oxidation-enhanced Si self-diffusion in isotopically modulated nanopillars2018

    • 著者名/発表者名
      R. Kiga, S. Hayashi, S. Miyamoto, Y. Shimizu, T. Endoh, Y. Nagai, and K. M. Itoh
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Impurity distribution at Si/GaAs heterointerfaces fabricated by surface-activated bonding analyzed by atom probe tomography2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, N. Ebisawa, Y. Ohno, J. Liang, N. Shigekawa, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Recombination activity of inclined Σ3{111} grain boundaries in high-performance Si ingots2018

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K Kutsukake, T. Tamaoka, S. Takeda, Y. Shimizu, N. Ebisawa, K. Inoue, Y. Nagai, and N. Usami
    • 学会等名
      2018 MRS Fall Meeting and Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] アトムプローブ法を用いたシリコン中のエルビウム不均一分布評価2017

    • 著者名/発表者名
      清水康雄、Y. Tu、アブデルガファ愛満、矢野真麻、鈴木雄大、谷井孝至、品田高宏、E. Prati、M. Celebrano、M. Finazzi、L. Ghirardini、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      第133回東北大学金属材料研究所講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] 3D-APで調べた鉄中の銅拡散に対する電子線照射効果2017

    • 著者名/発表者名
      外山健、下平昌樹、C. Zhao、戸村恵子、海老澤直樹、吉田健太、清水康雄、井上耕治、永井康介、義家敏正
    • 学会等名
      日本金属学会2017年春期大会
    • 発表場所
      首都大学東京
    • 年月日
      2017-03-15
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Direct observation of trapping of implanted deuterium in poly-Si/Al2O3/HfxSi1-xO2/SiO2 high-k stacks2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, M. Inoue, Y. Kunimune, Y. Shimada, T. Katayama, T. Ide, S. Nagata, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 Materials Research Society Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Direct Observation of Trapping of Implanted Deuterium in Poly-Si/Al2O3/HfxSi1-xO2/SiO2 High-k Stacks2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, M. Inoue, Y. Kunimune, Y. Shimada, T. Katayama, T. Ide, S. Nagata, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Chemicalnanoanalysesat grain boundariesby joint use of atom probe tomography and TEMcombined with ab-initio calculations2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Fujiwara, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka M. Kohyama
    • 学会等名
      European Materials Research Society (E-MRS) 2017 Spring Meeting
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] シリコン中に形成されたエルビウム不均一分布の3次元アトムプローブ評価2017

    • 著者名/発表者名
      清水康雄、Y. Tu, アブデルガファ愛満、矢野真麻、鈴木雄大、谷井孝至、品田高宏、Prati Enrico、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Irradiation effects on diffusivity of copper in ferromagnetic iron studied by atom probe tomography2017

    • 著者名/発表者名
      T. Toyama, M. Shimodaira, K. Tomura, N. Ebisawa, K. Nagumo, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 TMS Annual Meeting & Exhibition
    • 発表場所
      San Diego, California, USA
    • 年月日
      2017-02-26
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] 3次元アトムプローブ法を用いた材料解析:原理と応用2017

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      日本学術振興会 結晶加工と評価技術 第145委員会第156回研究会
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Effect of carbon on boron clustering and diffusion in silicon studied by atom probe tomography2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, Y. Shimizu, M. Inoue, Y. Kunimune, Y. Shimada, T. Katayama, T. Ide, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Dopant Distribution Analysis Core-Shell Nanowires by Atom Probe Tomography2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, W. Jevasuwan, K. Nishibe, Y. Tu, K. Inoue, N. Fukata, Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 MRS Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom Probe Study of Erbium and Oxygen Co‐Implanted Silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, Y. Tu, A. Abdelghafar, M. Yano, Y. Suzuki, T. Tanii, T. Shinada, E. Prati, M. Celebrano, M. Finazzi, L. Ghirardini, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe study of semiconductor-based nanostructure2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu
    • 学会等名
      15th International Conference on Advanced Materials
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] シリコン中の傾角粒界における酸素の偏析機構2017

    • 著者名/発表者名
      大野裕、井上海平、藤原航三、沓掛健太朗、出浦桃子、米永一郎、海老澤直樹、清水康雄、井上耕治、永井康介、吉田秀人、竹田精治、田中真悟、香山正憲
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe tomographic study on implanted deuterium in Al2O3/HfxSi1-xO2/SiO2 stacks2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, Y. Kunimune, Y. Shimada, M. Inoue, K. Inoue, S. Nagata, and Y. Nagai
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜、横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] モノライクシリコンにおける不純物の粒界偏析機構2017

    • 著者名/発表者名
      大野裕、沓掛健太朗、出浦桃子、米永一郎、清水康雄、井上耕治、海老澤直樹、永井康介、吉田秀人、竹田精治
    • 学会等名
      日本物理学会第72回年次大会
    • 発表場所
      大阪大学豊中キャンパス
    • 年月日
      2017-03-17
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Dislocations on Sigma-5{013} grain boundaries in mono-cast Si; atomistic structure and effects on mechanical properties2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, H. Yoshida, S. Takeda, Y. Shimizu, N. Ebisawa, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 MRS Spring Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Dopant distribution analysis core-shell nanowires by atom probe tomography2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, W. Jevasuwan, K. Nishibe, Y. Tu, K. Inoue, N. Fukata, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 Materials Research Society Fall Meeting & Exhibit
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Effect of carbon on boron clustering and diffusion in silicon studied by atom probe tomography2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, Y. Shimizu, M. Inoue, Y. Kunimune, Y. Shimada, T. Katayama, T. Ide, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] シリコン中に形成されたエルビウム不均一分布の3次元アトムプローブ評価2017

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, Yuan Tu, アブデルガファ愛満, 矢野真麻, 鈴木雄大, 谷井孝至, 品田高宏, Enrico Prati, 井上耕治, 永井康介
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜、横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Atom probe study of erbium and oxygen co-implanted silicon2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, Y. Tu, A. Abdelghafar, M. Yano, Y. Suzuki, T. Tanii, T. Shinada, E. Prati, M. Celebrano, M. Finazzi, L. Ghirardini, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2017 Silicon Nanoelectronics Workshop
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Atom Probe Tomographic Study on Implanted Deuterium in Al2O3/HfxSi1-xO2/SiO2 Stacks2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, Y. Kunimune, Y. Shimada, M. Inoue, K. Inoue, S. Nagata, Y. Nagai
    • 学会等名
      第64回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      パシフィコ横浜
    • 年月日
      2017-03-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Dopant detection in silicon nanostructures by atom probe tomography2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and K. Inoue
    • 学会等名
      4th Bilateral Italy-Japan Seminar: Innovative Solutions for Single Atom Applications in Photonics and Nanoelectronics
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] 3次元アトムプローブ-TEM複合法によるSi中の格子間酸素不純物の粒界偏析評価2017

    • 著者名/発表者名
      大野裕、井上海平、藤原航三、沓掛健太朗、出浦桃子、米永一郎、海老澤直樹、清水康雄、井上耕治、永井康介、吉田秀人、竹田清治、田中真悟、香山正憲
    • 学会等名
      第73回日本顕微鏡学会学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] シリコン中に共注入した酸素がエルビウム分布に与える影響2017

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, Yuan Tu, アブデルガファ愛満, 鈴木雄大, 魏啓楠, 谷井孝至, 品田高宏, Enrico Prati, Michele Celebrano, Marco Finazzi, Lavinia Ghirardini, 井上耕治, 永井康介
    • 学会等名
      第78回応用物理学会秋季学術講演会
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Mechanism of oxygen segregation at tilt boundaries in Siingots2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Fujiwara, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka M. Kohyama
    • 学会等名
      ICDS 2017 29th International Conference on Defects in Semiconductors
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Dopant detection in silicon nanostructures by atom probe tomography2017

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu
    • 学会等名
      4th Bilateral Italy-Japan Seminar: Innovative Solutions for Single Atom Applications in Photonics and Nanoelectronics
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Influence of high power laser on B distribution in Si obtained by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      5.Y. Tu, H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, T. Toyama, F. Yano, A. Nishida, and Y. Nagai:
    • 学会等名
      Atom Probe Tomography & Microscopy (APT&M)
    • 発表場所
      Gyeongju, South Korea
    • 年月日
      2016-06-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [学会発表] Characterization of Si nanocrystals embedded in SiO2 matrix by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. Ben Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, and M. Perego
    • 学会等名
      Energy Materials and Nanotechnology (EMN) Meeting on Nanocrystals
    • 発表場所
      西安、中国
    • 年月日
      2016-10-17
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Atom probe study of structural characteristics of Si nanocrystals embedded in SiO2 matrix2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. Ben Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, and M. Perego
    • 学会等名
      Atom Probe Tomography & Microscopy 2016
    • 発表場所
      慶州、韓国
    • 年月日
      2016-06-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Characterization of boron doping in individual Ge/Si core-shell nanowires investigated by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, K. Inoue, W. Jevasuwan, N. Fukata, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2016 Materials Research Society Spring Meeting
    • 発表場所
      Phoenix, Arizona, USA
    • 年月日
      2016-03-28
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Influence of high power laser on B distribution in Si obtained by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, T. Toyama, F. Yano, A. Nishida, and Y. Nagai
    • 学会等名
      Atom Probe Tomography & Microscopy 2016
    • 発表場所
      慶州、韓国
    • 年月日
      2016-06-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] 先端ナノエレクトロニクス材料の元素分布分析2016

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      第106回総研セミナー
    • 発表場所
      東京都市大学総合研究所
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Nanoscopic segregation ability of large-angle tilt boundaries in Si2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, R. Taniguchi, H. Otubo, S. R. Nishitani
    • 学会等名
      Extended Defects in Semiconductors 2016
    • 発表場所
      Les Issambres, France
    • 年月日
      2016-09-25
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Grain boundary segregation of nickel, copper, and oxygen atoms in a mono-like Si crystal2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, Y. Shimizu, K. Inoue, N. Ebisawa, Y. Nagai, H. Yoshida, and S. Takeda
    • 学会等名
      9th International Workshop on Crystalline Silicon for Solar Cells (CSSC-9) & 3rd Silicon Materials Workshop
    • 発表場所
      Arizona State University, USA
    • 年月日
      2016-10-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Segregation mechanism at small angle tilt boundaries in Si2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, R. Taniguchi, H. Otubo, S. R. Nishitani
    • 学会等名
      Extended Defects in Semiconductors 2016
    • 発表場所
      Les Issambres, France
    • 年月日
      2016-09-25
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Direct Observation of Single Ion Implanted Dopants Distribution in Silicon by Atom Probe Tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, K, Inoue, Y, Nagai, M. Yano, Y. China, T. Tanji, T. Shinada
    • 学会等名
      2016 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts, USA
    • 年月日
      2016-11-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] シリコン中の大角粒界における不純物の偏析能2016

    • 著者名/発表者名
      大野裕、井上海平、藤原航三、沓掛健太朗、出浦桃子、米永一郎、清水康雄、井上耕治、海老澤直樹、永井康介、吉田秀人、竹田清治、田中真悟、香山正憲
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] モノライクシリコンにおける不純物の粒界偏析2016

    • 著者名/発表者名
      大野裕、沓掛健太朗、出浦桃子、米永一郎、清水康雄、井上耕治、海老澤直樹、永井康介、吉田秀人、竹田清治
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Segregation abilities of large-angle tilt boundaries in silicon2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, N. Ebisawa, Y. Shimizu, K. Inoue, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka, M. Kohyama
    • 学会等名
      第131回東北大学金属材料研究所講演会(100周年記念国際会議Summit of Materials Science 2016 (SMS2016))
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2016-05-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe tomographic study of dopant distribution controlling for future silicon nanoelectronics,2016

    • 著者名/発表者名
      1Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, and Y. Nagai:
    • 学会等名
      Summit of Materials Science 2016 (SMS2016),
    • 発表場所
      Tohoku University, Sendai
    • 年月日
      2016-05-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [学会発表] Atom Probe Study on Phosphorus-Doped Si Nanocrystals Embedded in SiO2 Matrix2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. Ben Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, M. Perego
    • 学会等名
      第132回東北大学金属材料研究所講演会
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2016-11-24
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] 半導体・酸化物材料の3次元アトムプローブ分析2016

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      第26回日本MRS年次大会
    • 発表場所
      産業貿易センタービル、横浜
    • 年月日
      2016-12-19
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Atom Probe Tomography Study of Boron Distribution in Individual Si / Ge Core-Shell Nanowires2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, W. Jevasuwan, K. Nishibe, K. Inoue, N. Fukata, Y. Nagai
    • 学会等名
      第131回東北大学金属材料研究所講演会(100周年記念国際会議Summit of Materials Science 2016 (SMS2016))
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2016-05-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] TEM-3次元アトムプローブ複合法によるSi中の傾角粒界の不純物偏析能の評価2016

    • 著者名/発表者名
      大野裕、井上海平、出浦桃子、沓掛健太朗、米永一郎、海老澤直樹、清水康雄, 井上耕治, 永井康介, 吉田秀人, 竹田精治, 田中真悟, 香山正憲
    • 学会等名
      日本顕微鏡学会 第72回学術講演会
    • 発表場所
      仙台国際センター
    • 年月日
      2016-06-14
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom probe tomographic study of human tooth materials2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, T. A. Bakhsh, A. Sadr, J. Espigares, J. Tagami, B. Han, Y. Tu, K. Yoshida, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      Atom Probe Tomography & Microscopy 2016
    • 発表場所
      慶州、韓国
    • 年月日
      2016-06-12
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26560234
  • [学会発表] 先端デバイス開発のための3次元アトムプローブ分析技術の応用例2016

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      カメカテクニカルセミナー2016
    • 発表場所
      くるまプラザ貸会議室、東京
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Three-Dimensional Analysis of Phosphorus-Doped Si Nanocrystals Embedded in SiO2 Matrix by Atom Probe Tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. B. Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, Mi. Perego
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      新潟朱鷺メッセ
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Segregation ability of oxygen and carbon atoms at large-angle grain boundaries in Si2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Ohno, K. Inoue, K. Fujiwara, K. Kutsukake, M. Deura, I. Yonenaga, Y. Shimizu, K. Inoue, N. Ebisawa, Y. Nagai, H. Yoshida, S. Takeda, S. Tanaka, and M. Kohyama
    • 学会等名
      9th International Workshop on Crystalline Silicon for Solar Cells (CSSC-9) & 3rd Silicon Materials Workshop
    • 発表場所
      Arizona State University, USA
    • 年月日
      2016-10-10
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Three-dimensional analysis of phosphorus-doped Si nanocrystals embedded in SiO2 matrix by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. Ben Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, and M. Perego
    • 学会等名
      第77回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      朱鷺メッセ、新潟
    • 年月日
      2016-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Effect of high power laser on analysis of B distribution in Si by Atom Probe Tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, T. Toyama, F. Yano, A. Nishida, Y. Nagai
    • 学会等名
      第131回東北大学金属材料研究所講演会(100周年記念国際会議Summit of Materials Science 2016 (SMS2016))
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2016-05-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] 3次元アトムプローブ法の半導体応用の現状と最近の話題2016

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      日本学術振興会 ナノプローブテクノロジー 第167委員会 第81回研究会
    • 発表場所
      東京大学駒場キャンパス
    • 年月日
      2016-01-12
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Hydrogen distribution analysis in Al2O3 films by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, F. Yano, M. Inoue, Y. Kunimune, Y. Shimada, T. Katayama, T. Ide, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2016 Materials Research Society (MRS) Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      Boston, Massachusetts, USA
    • 年月日
      2016-11-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Hydrogen distribution analysis in Al2O3 films by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, F. Yano, M. Inoue, Y. Kunimune, Y. Shimada, T. Katayama, T. Ide, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2016 Materials Research Society Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      ボストン、米国
    • 年月日
      2016-11-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Characterization of Si Nanocrystals Embedded in SiO2 Matrix by Atom Probe Tomography2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, G. Seguini, E. Arduca, C. Castro, G. B. Assayag, K. Inoue, Y. Nagai, S. Schamm-Chardon, M. Perego
    • 学会等名
      EMN Meeting on Nanocrystals
    • 発表場所
      Xi’an, China
    • 年月日
      2016-10-17
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Atom Probe Tomographic Study of Dopant Distribution Controlling for Future Silicon Nanoelectronics2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, Y. Nagai
    • 学会等名
      第131回東北大学金属材料研究所講演会(100周年記念国際会議Summit of Materials Science 2016 (SMS2016))
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2016-05-18
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16H02446
  • [学会発表] Characterization of dopant in individual Si/Ge core-shell nanowires investigated by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, W. Jevasuwan, K. Nishibe, K. Inoue, N. Fukata, and Y. Nagai
    • 学会等名
      第63回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東京工業大学大岡山キャンパス
    • 年月日
      2016-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Direct observation of single ion implanted dopants distribution in silicon by atom probe tomography2016

    • 著者名/発表者名
      Y. Tu, B. Han, Y. Shimizu, K. Inoue, M. Yano, Y. Chiba, T. Tanii, T. Shinada, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2016 Materials Research Society Fall Meeting & Exhibit
    • 発表場所
      ボストン、米国
    • 年月日
      2016-11-27
    • 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] Elemental distributions in semiconductor-based device structures analyzed by atom probe tomography2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2015 International Symposium for Advanced Materials Research
    • 発表場所
      台湾
    • 年月日
      2015-08-16
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [学会発表] Elemental distributions in semiconductor-based device structures analyzed by atom probe tomography2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, Y. Tu, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2015 International Symposium for Advanced Materials Research
    • 発表場所
      日月潭、台湾
    • 年月日
      2015-08-16
    • 招待講演 / 国際共著/国際学会である
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] 3D atomic-scale-analysis of elemental distribution in silicon nanoelectronics2015

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu and K. Inoue
    • 学会等名
      3rd Bilateral Italy-Japan Seminar Silicon nanoelectronics for advanced applications
    • 発表場所
      京都
    • 年月日
      2015-06-16
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [学会発表] Boron distribution in individual Ge/Si core-shell nanowires investigated by atom probe tomography2015

    • 著者名/発表者名
      B. Han, Y. Shimizu, K. Inoue, W. Jevasuwan, N. Fukata, and Y. Nagai
    • 学会等名
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-15H05413
  • [学会発表] 多結晶シリコントレンチゲート構造中のドーパント拡散の3次元評価2014

    • 著者名/発表者名
      高見澤悠, 清水康雄, 井上耕治, 矢野史子, 永井康介, 国宗依信, 井上真雄, 西田彰男, 池田昌弘
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによる原子炉圧力容器鋼中のCuの拡散係数の導出2014

    • 著者名/発表者名
      下平昌樹、外山健、高濱郁彦、海老澤直樹、野沢康子、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      第127回東北大学金属材料研究所講演会
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • 年月日
      2014-05-28
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3次元アトムプローブ法を用いた分子ドーピング形成によるシリコン表面上のリンと不純物原子の挙動評価2014

    • 著者名/発表者名
      清水康雄、高見澤悠、井上耕治、矢野史子、永井康介、L. Lamagna、G. Mazzeo、M. Perego、E. Prati
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス
    • 年月日
      2014-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブ法を用いた分子ドーピング形成によるシリコン表面上のリンと不純物原子の挙動評価2014

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, 高見澤悠, 井上耕治, 矢野史子, 永井康介, L. Lamagna, G. Mazzeo, M. Perego, E. Prati
    • 学会等名
      第61回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      青山学院大学相模原キャンパス(神奈川県相模原市)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによるFe中Cuの拡散係数および固溶限の測定2014

    • 著者名/発表者名
      永井康介、高濱郁彦、下平昌樹、藏本明、外山健、清水康雄、井上耕治
    • 学会等名
      日本物理学会第69回年次大会
    • 発表場所
      東海大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3次元アトムプローブを用いたA533B鋼中のCuの拡散係数の導出2014

    • 著者名/発表者名
      下平昌樹、高濱郁彦、外山健、海老澤直樹、野沢康子、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      日本金属学会2014年春期講演大会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによる半導体デバイス中の元素分布解析2013

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      電子情報技術産業協会半導体ロードマップ専門委員会WG14専門部会(メトロロジ:計測WG)
    • 発表場所
      JEITA会議室(東京)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] アトムプローブを用いたFe中のCuの拡散定数測定2013

    • 著者名/発表者名
      永井康介、高濱郁彦、藏本明、外山健、清水康雄、井上耕治
    • 学会等名
      日本物理学会2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3 次元アトムプローブ法を用いたFe 中のCu の拡散係数の導出2013

    • 著者名/発表者名
      高濱郁彦、藏本明、外山健、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      日本金属学会2013年春期講演大会
    • 発表場所
      東京理科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによるシリコン中の重水素分布観察2013

    • 著者名/発表者名
      高見澤悠, 星勝也, 清水康雄, 井上耕治, 矢野史子, 永田晋二, 四竈樹男, 永井康介
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 三次元アトムプローブによる溝埋め込み多結晶Si中の不純物分布評価2013

    • 著者名/発表者名
      矢野史子, 高見澤悠, 清水康雄, 井上耕治, 永井康介, 国宗依信, 井上真雄, 西田彰男, 池田昌弘
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Diffusion coefficient of Cu in Fe2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagai, T. Toyama, F. Takahama,A. Kuaramoto, Y. Shimizu, K. Inoue
    • 学会等名
      IGRDM-17
    • 発表場所
      Embiez Island, France
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3D analysis of arsenic diffusion in phosphorus or boron pre-doped polycrystalline silicon2013

    • 著者名/発表者名
      H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, F. Yano, and Y. Nagai
    • 学会等名
      JSAP-MRS Joint Symposia for 2013 JSAP Autumn Meeting
    • 発表場所
      Doshisha University (Kyoto)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Dopant analysis of semiconductor devices with atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, K. Inoue, F. Yano, and Y. Nagai
    • 学会等名
      14th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University
    • 発表場所
      Seikei University (Tokyo)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Elemental distribution analysis in semiconductor-based MOS devices with atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, K. Inoue, F. Yano, and Y. Nagai
    • 学会等名
      JSAP-MRS Joint Symposia for 2013 JSAP Autumn Meeting
    • 発表場所
      Doshisha University (Kyoto)
    • 年月日
      2013-09-17
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Dopant diffusion in poly-silicon filled in trench structures analyzed by atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, H. Takamizawa, Y. Shimizu, F. Yano, Y. Nagai, Y. Kunimune, M. Inoue, A. Nishida, and M. Ikeda
    • 学会等名
      JSAP-MRS Joint Symposia for 2013 JSAP Autumn Meeting
    • 発表場所
      Doshisha University (Kyoto)
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Dopant analysis of semiconductor devices with atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, K. Inoue, F. Yano, and Y. Nagai
    • 学会等名
      14th International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions at Seikei University
    • 発表場所
      Tokyo
    • 年月日
      2013-04-25
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] New applications in atom probe tomography2013

    • 著者名/発表者名
      D. J. Larson, J. W. Valley, T. Ushikubo, M. K. Miller, H. Takamizawa, Y. Shimizu, L. M. Gordon, D. Joester, A. D. Giddings, D. A. Reinhard, T. J. Prosa, D. P. Olson, D. F. Lawrence, P. H. Clifton, R. M. Ulfig, I. Y. Martin, and T. F. Kelly
    • 学会等名
      Microscopy & Microanalysis 2013 Meeting
    • 発表場所
      Indianapolis, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] シリコン中に共注入した炭素がホウ素活性化に与える影響2013

    • 著者名/発表者名
      清水康雄、高見澤悠、矢野史子、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      第60回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 年月日
      2013-03-27
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによる半導体デバイス中のドーパント分布解析2013

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      (独)日本学術振興会 材料の微細組織と機能性 第133委員会第1分科会 第218回研究会
    • 発表場所
      東京工業大学キャンパスイノベーションセンター(東京都港区)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブを用いた強磁性α-Fe中のCuの拡散係数の導出2013

    • 著者名/発表者名
      高濱郁彦、藏本明、外山健、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      日本金属学会2013年秋期講演大会
    • 発表場所
      金沢大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 半導体デバイスの3次元アトムプローブ解析2013

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, 高見澤悠, 井上耕治, 永井康介
    • 学会等名
      第29回分析電子顕微鏡討論会
    • 発表場所
      幕張メッセ国際会議場(千葉県美浜区)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによる半導体ナノ構造中の元素分布評価2013

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      カメカテクニカルセミナー2013
    • 発表場所
      くるまプラザ貸会議室(東京都港区)
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブを用いた強磁性α‐Fe中のCuの拡散係数と固溶限の導出2013

    • 著者名/発表者名
      髙濱郁彦、藏本明、外山健、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      金研ワークショップ「より安全な原子力技術、核融合技術に向けての材料研究の展開」
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3次元アトムプローブを用いたFe中のCuの拡散係数の導出2013

    • 著者名/発表者名
      髙濱郁彦、蔵本明、 外山健、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      第125回金研講演会
    • 発表場所
      東北大学金属材料研究所
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] Atom probe tomography of germanium isotopic multilayer structures2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, Y. Kawamura, M. Uematsu, K. M. Itoh, E. E. Haller, T. Toyama, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2012 Materials Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2012-11-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] 3次元アトムプローブ法を用いた同位体ゲルマニウム多層膜界面における平坦性評価2012

    • 著者名/発表者名
      清水康雄, 高見澤悠, 外山健, 河村踊子, 植松真司, 伊藤公平, E. E. Haller, 永井康介
    • 学会等名
      第73回秋季応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学・松山大学
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Atom probe tomography of fin-structure prepared by focused ion beam direct deposition2012

    • 著者名/発表者名
      H. Takamizawa, Y. Shimizu, Y. Nozawa, T. Toyama, H. Morita, Y. Yabuuchi, M. Ogura, and Y. Nagai
    • 学会等名
      2012 Materials Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Tomographic study of spatial resolution in laser-assisted atom probe using semiconductor isotopic heterostructures2012

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, H. Takamizawa, Y. Kawamura, M. Uematsu, K. M. Itoh, T. Toyama, and Y. Nagai
    • 学会等名
      The 53rd International Field Emission Symposium
    • 発表場所
      Tuscaloosa, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Enlarged boron concentration fluctuation in MOSFET channel after source/drain extension fabrication studied by atom probe tomography2012

    • 著者名/発表者名
      H. Takamizawa, Y. Shimizu, K. Inoue, T. Toyama, N. Okada, M. Kato, H. Uchida, F. Yano, A. Nishida, T. Mogami, and Y. Nagai
    • 学会等名
      The 53rd International Field Emission Symposium
    • 発表場所
      Tuscaloosa, USA
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24760246
  • [学会発表] Diffusivity and Solubility of Cu in Fe and A533B Measured by Atom Probe Tomography

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagai, M. Shimodaira, T. Toyama, Y. Shimizu, K. Inoue, N. Ebisawa
    • 学会等名
      TMS2015
    • 発表場所
      Orlando, Florida (USA)
    • 年月日
      2015-03-15 – 2015-03-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] Dopant Drive-in Path Analysis in Poly-silicon Filled in Trench type 3D-MOSFET using Atom Probe Tomography

    • 著者名/発表者名
      K. Inoue, H. Takamizawa, Y. Shimizu, B. Han, Y. Nagai, F. Yano,Y. Kunimune, M. Inoue and A. Nishida
    • 学会等名
      International Conference on Solid State Devices and Materials 2014
    • 発表場所
      筑波国際会議場(茨城県つくば市)
    • 年月日
      2014-09-08 – 2014-09-11
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26289097
  • [学会発表] Three-dimensional elemental analysis of human enamel and dentin by laser-assisted atom probe tomography

    • 著者名/発表者名
      Y. Shimizu, B. Han, H. Takamizawa, T. A. Bakhsh, A. Sadr, J. Tagami, K. Inoue, and Y. Nagai
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26560234
  • [学会発表] 3次元アトムプローブによって調べたA533B鋼中のCu拡散

    • 著者名/発表者名
      永井康介、高濱郁彦、下平昌樹、外山健、清水康雄、井上耕治
    • 学会等名
      日本物理学会2014年秋季大会
    • 発表場所
      中部大学
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-10
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] Nuclear Materials Study by Age-Momentum Correlation Method

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagai, K. Nagumo, K. Inoue, T. Toyama, M. Shimodaira, Y. Shimizu
    • 学会等名
      The International Workshop on Positron Studies of Defects 2014 (PSD-14)
    • 発表場所
      Kyoto University
    • 年月日
      2014-09-14 – 2014-09-19
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] Estimation of diffusivity and solubility by atom probe tomography: Revisit to traditional study using a state-of-the-art technique

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagai, M. Shimidaira, T. Toyama, N. Ebisawa, Y. Nozawa, Y. Shimizu, K. Inoue
    • 学会等名
      2014 Materials Research Society Fall Meeting
    • 発表場所
      Massachusetts (USA)
    • 年月日
      2014-11-30 – 2014-12-05
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] 3次元アトムプローブを用いた材料解析例

    • 著者名/発表者名
      清水康雄
    • 学会等名
      2014年夏の電子顕微鏡解析技術フォーラム
    • 発表場所
      時之栖(静岡県御殿場市)
    • 年月日
      2014-08-22 – 2014-08-23
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-26560234
  • [学会発表] A533B鋼中のCu拡散:粒界拡散の観察

    • 著者名/発表者名
      下平昌樹、外山健、海老澤直樹、清水康雄、井上耕治、永井康介
    • 学会等名
      日本金属学会2014年秋期講演大会
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-09-24 – 2014-09-26
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
  • [学会発表] Nuclear material studies by positron annihilation spectroscopy

    • 著者名/発表者名
      Y. Nagai, K. Inoue, T. Toyama, K. Nagumo, Y. Shimizu, N. Ebisawa, M. Hasegawa
    • 学会等名
      11th International Workshop on Positron and Positronium Chemistry (PPC-11)
    • 発表場所
      Cidade de Goa (India)
    • 年月日
      2014-11-09 – 2014-11-14
    • 招待講演
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-24246155
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  • 1.  永井 康介 (10302209)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 139件
  • 2.  井上 耕治 (50344718)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 120件
  • 3.  西山 裕孝 (60414596)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  外山 健 (50510129)
    共同の研究課題数: 4件
    共同の研究成果数: 27件
  • 5.  勝山 仁哉 (00403155)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  松川 義孝 (70566356)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 1件
  • 7.  南雲 一章 (40719259)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 3件
  • 8.  吉田 健太 (10581118)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 38件
  • 9.  畠山 賢彦 (30375109)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  山口 正剛 (50360417)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 11.  サダル アリレザ (20567755)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 12.  深田 直樹 (90302207)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 13.  品田 賢宏 (30329099)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 4件
  • 14.  谷井 孝至 (20339708)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 5件
  • 15.  大矢 剛嗣 (30432066)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 16.  河野 行雄 (90334250)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 17.  嶋田 雄介 (20756572)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 1件
  • 18.  鈴土 知明 (60414538)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  鈴土 智明
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  徳本 有紀
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 21.  米永 一郎
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 1件
  • 22.  大野 裕
    共同の研究課題数: 0件
    共同の研究成果数: 2件

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