大曲新矢 Ohmagari Shinya

研究者番号	40712211
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2021年度 – 2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 2023年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員 2018年度 – 2020年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員 2017年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 研究員 2015年度 – 2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 研究員 2013年度: 独立行政法人産業技術総合研究所, ユビキタスエネルギー研究部門, 研究員
審査区分/研究分野	研究代表者小区分29020:薄膜および表面界面物性関連 / 小区分26020:無機材料および物性関連 / 電子・電気材料工学 / 電子デバイス・電子機器研究代表者以外小区分21030:計測工学関連 / 小区分26020:無機材料および物性関連 / 中区分64:環境保全対策およびその関連分野 / 小区分30010:結晶工学関連 / 薄膜・表面界面物性
キーワード	研究代表者ダイヤモンド / 結晶成長 / 欠陥 / 転位 / パワーデバイス / 化学気相成長法 / ウェハ / 低抵抗 / ホウ素ドープ / 歪み … もっと見る / ラマン分光 / 薄膜 / ショットキー / 金属 / デバイス / ショットキーバリアダイオード / 化学気相成長法（CVD） / 低損失 / 省エネルギー / ドーピング / 厚膜合成 / 結晶構造 / 低抵抗ウェハ / 縦型パワーデバイス / フィラメントCVD / 高温高圧法 / 欠陥解析 … もっと見る研究代表者以外ダイヤモンド / ドーピング / 化学気相堆積法 / NV中心 / 量子センシング / 強誘電体 / 圧電体 / 薄膜 / 窒素化合物 / X線吸収分光 / ボロンドープダイヤモンド / ナノ粒子 / 洗浄技術 / 長期モニタリング / IoT / 自己洗浄 / ホウ素ドープダイヤモンド / 電気化学 / インチサイズウェハ / 導電性エピ成長 / 熱流体シミュレーション / 不純物ドープ / 熱フィラメントCVD / 超ワイドバンドギャップ半導体材料 / シミュレーション / 熱フィラメントＣＶＤ / 結晶成長 / 表面・界面物性隠す

巨大な格子歪み導入によるダイヤモンド結晶の高品質化とデバイス緩衝層への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  大曲新矢
- 研究期間 (年度)
  2025 – 2028
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
超高密度電子スピン集団による量子もつれセンシングの実現
- 研究代表者
  
  蔭浦泰資
- 研究期間 (年度)
  2023 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21030:計測工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
長期環境モニタリングに向けた化学センサのIoT化を実現する自己洗浄技術開発
- 研究代表者
  
  岩崎渉
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2023
- 研究種目
  
  挑戦的研究(萌芽)
- 審査区分
  
  中区分64:環境保全対策およびその関連分野
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
多元窒化物の高い圧電性の実態に迫るオペランドXASによる局所構造と元素物性の解析
- 研究代表者
  
  上原雅人
- 研究期間 (年度)
  2022 – 2025
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
インチサイズダイヤモンド単結晶ウェハ上の結晶成長メカニズムの解明
- 研究代表者
  
  山田英明
- 研究期間 (年度)
  2021 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分30010:結晶工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
金属原子導入によるダイヤモンド貫通転位の終端と電子デバイス緩衝層への応用研究代表者
- 研究代表者
  
  大曲新矢
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2020
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分26020:無機材料および物性関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
低損失縦型ダイヤモンドパワーMOSFET
- 研究代表者
  
  徳田規夫
- 研究期間 (年度)
  2017 – 2019
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  薄膜・表面界面物性
- 研究機関
  金沢大学
超低損失パワーデバイス用途ダイヤモンド低抵抗ウェハの合成研究代表者
- 研究代表者
  
  大曲新矢
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
ダイヤモンド高濃度ホウ素ドープウェハ創製に向けた基盤研究研究代表者
- 研究代表者
  
  大曲新矢
- 研究期間 (年度)
  2013
- 研究種目
  
  研究活動スタート支援
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  独立行政法人産業技術総合研究所

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すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Enhanced in-plane uniformity and breakdown strength of diamond Schottky barrier diodes fabricated on heteroepitaxial substrates2021
- 著者名/発表者名
  Sittimart Phongsaphak、Ohmagari Shinya、Yoshitake Tsuyoshi
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 60 号: SB ページ: SBBD05-SBBD05
- DOI
  10.35848/1347-4065/abd537
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[雑誌論文] High yield uniformity in pseudo-vertical diamond Schottky barrier diodes fabricated on half-inch single-crystal wafers2020
- 著者名/発表者名
  Hanada Takanori、Ohmagari Shinya、Kaneko Junichi H.、Umezawa Hitoshi
- 雑誌名
  
  Applied Physics Letters
  
  巻: 117 号: 26 ページ: 262107-262107
- DOI
  10.1063/5.0027729
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[雑誌論文] Suppression of killer defects in diamond vertical-type Schottky barrier diodes2020
- 著者名/発表者名
  Kobayashi Atsushi、Ohmagari Shinya、Umezawa Hitoshi、Takeuchi Daisuke、Saito Takeyasu
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 59 号: SG ページ: SGGD10-SGGD10
- DOI
  10.7567/1347-4065/ab65b1
- NAID
  210000157937
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[雑誌論文] Doping-induced strain in heavily B-doped (100) diamond films prepared by hot-filament chemical vapor deposition2019
- 著者名/発表者名
  Ohmagari Shinya、Yamada Hideaki、Umezawa Hitoshi、Chayahara Akiyoshi、Mokuno Yoshiaki
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 680 ページ: 85-88
- DOI
  10.1016/j.tsf.2019.04.028
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[雑誌論文] Toward High‐Performance Diamond Electronics: Control and Annihilation of Dislocation Propagation by Metal‐Assisted Termination2019
- 著者名/発表者名
  Ohmagari Shinya、Yamada Hideaki、Tsubouchi Nobuteru、Umezawa Hitoshi、Chayahara Akiyoshi、Mokuno Yoshiaki、Takeuchi Daisuke
- 雑誌名
  
  physica status solidi (a)
  
  巻: 216 号: 21 ページ: 1900498-1900498
- DOI
  10.1002/pssa.201900498
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[雑誌論文] Growth and characterization of freestanding p+ diamond (100) substrates prepared by hot-filament chemical vapor deposition2018
- 著者名/発表者名
  Ohmagari Shinya、Yamada Hideaki、Umezawa Hitoshi、Tsubouchi Nobuteru、Chayahara Akiyoshi、Mokuno Yoshiaki
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 81 ページ: 33-37
- DOI
  10.1016/j.diamond.2017.11.003
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] Lifetime and migration length of B-related admolecules on diamond {1 0 0}-surface: Comparative study of hot-filament and microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition2017
- 著者名/発表者名
  Ohmagari Shinya、Ogura Masahiko、Umezawa Hitoshi、Mokuno Yoshiaki
- 雑誌名
  
  Journal of Crystal Growth
  
  巻: 479 ページ: 52-58
- DOI
  10.1016/j.jcrysgro.2017.09.022
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] Ohmic contact formation to heavily boron-doped p+ diamond prepared by hot-filament chemical vapor deposition2016
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, T. Matsumoto, H. Umezawa, and Y. Mokuno
- 雑誌名
  
  MRS Advances
  
  巻: 1 号: 51 ページ: 3489-3489
- DOI
  10.1557/adv.2016.471
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] ダイヤモンド単結晶ウェーハ開発の現状と課題2016
- 著者名/発表者名
  杢野由明、山田英明、茶谷原昭義、大曲新矢
- 雑誌名
  
  NEW DIAMOND
  
  巻: 32 ページ: 30-33
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] Boron inhomogeneity of HPHT-grown single-crystal diamond substrates: confocal micro-Raman mapping investigations2016
- 著者名/発表者名
  K. Srimongkon, S. Ohmagari, Y. Kato, V. Amornkitbamrung, and S. Shikata
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 63 ページ: 21-25
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.09.014
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] Submicron-scale diamond selective-area growth by hot-filament chemical vapor deposition2016
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, T. Matsumoto, H. Umezawa, and Y. Mokuno
- 雑誌名
  
  Thin Solid Films
  
  巻: 615 ページ: 239-239
- DOI
  10.1016/j.tsf.2016.07.017
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] Low resistivity p+ diamond (100) films fabricated by hot-filament chemical vapor deposition2015
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, K. Srimongkon, H. Yamada, H. Umezawa, N. Tsubouchi, A. Chayahara, S. Shikata, and Y. Mokuno
- 雑誌名
  
  Diamond and Related Materials
  
  巻: 58 ページ: 110-114
- DOI
  10.1016/j.diamond.2015.06.011
- 査読あり / 謝辞記載あり / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[雑誌論文] Carrier Transport and Photodetection in Heterojunction Photodiodes Comprising n-Type Silicon and p-Type Ultrananocrystalline Diamond/Hydrogenated Amorphous Carbon Composite Films2014
- 著者名/発表者名
  Shinya Ohmagari, Takanori Hanada, Yūki Katamune, Sausan Al-Riyami, and Tsuyoshi Yoshitake
- 雑誌名
  
  Jpn. J. Appl. Phys.
  
  巻: 53 号: 5 ページ: 050307-050307
- DOI
  10.7567/jjap.53.050307
- NAID
  210000143736
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-24656389, KAKENHI-PROJECT-25889074
[雑誌論文] Heterojunction Diodes Comprising p-Type Ultrananocrystalline Diamond Films Prepared by Coaxial Arc Plasma Deposition and n-Type Silicon Substrates2013
- 著者名/発表者名
  Yūki Katamune, Shinya Ohmagari, Sausan Al-Riyami, Seishi Takagi, Mahmoud Shahan, and Tsuyoshi Yoshitake
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 52 号: 6R ページ: 65801-65801
- DOI
  10.7567/jjap.52.065801
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-13J07294, KAKENHI-PROJECT-24656389, KAKENHI-PROJECT-25889074
[産業財産権] 単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた半導体素子2017
- 発明者名
  大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，杢野由明
- 権利者名
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-243965
- 出願年月日
  2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[産業財産権] 不純物ドープダイヤモンド2016
- 発明者名
  大曲新矢、山田英明、梅沢仁、茶谷原昭義、杢野由明
- 権利者名
  大曲新矢、山田英明、梅沢仁、茶谷原昭義、杢野由明
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2016-141305
- 出願年月日
  2016-07-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[産業財産権] ホウ素ドープダイヤモンド2016
- 発明者名
  大曲新矢、梅沢仁、山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 権利者名
  大曲新矢、梅沢仁、山田英明、茶谷原昭義、杢野由明
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2016-141306
- 出願年月日
  2016-07-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[産業財産権] 不純物ドープダイヤモンド及びその製造方法2015
- 発明者名
  大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一，杢野由明
- 権利者名
  大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一，杢野由明
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2015-098261
- 出願年月日
  2015-05-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] XAFS解析によるScxGa1-xN薄膜の配位構造変化の評価2024
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  日本セラミックス協会2024年年会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] X線吸収分光法によるScGaN膜の局所構造解析2024
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] X線吸収分光法によるScxGa1-xNの配位構造変化の解明2024
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] XANES解析によるSc添加が与えるGaNの配位構造の評価2023
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  第26回XAFS討論会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] スパッタリング法により作製したScxGa1-xN過飽和固溶体のXANES解析2023
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  日本金属学会2023年秋期講演大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] CO2添加による熱フィラメントCVD法製高濃度ホウ素ドープダイヤモンドの結晶性向上2023
- 著者名/発表者名
  蔭浦泰資，笹栗優，吉武剛，大曲新矢
- 学会等名
  第20回 Cat-CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26123
[学会発表] 尖端放電型プラズマCVD法を用いたダイヤモンド成長におけるCO2添加の影響評価2023
- 著者名/発表者名
  桂健斗, 笹栗優, 大曲新矢, 吉武, 蔭浦泰資
- 学会等名
  第37回ダイヤモンドシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K26123
[学会発表] ScxGa1-xNにおけるXANESスペクトルの第一原理計算2023
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  第70回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] ScxGa1-xNのXANESスペクトル評価による配位構造の解明2023
- 著者名/発表者名
  池本勇、平田研二、瀬戸山寛之、大曲新矢、Anggraini Sri Ayu、山田浩志、秋山守人、上原雅人
- 学会等名
  化学関連支部合同九州大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] ScGaN薄膜のX線吸収分光法による局所構造評価2022
- 著者名/発表者名
  上原雅人、大曲新矢、瀬戸山寛之、平田研二、池本勇
- 学会等名
  日本セラミックス協会第35回秋季シンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23K23052
[学会発表] ダイヤモンド結晶中への金属原子ドーピングとエレクトロニクス展開2021
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、P. Sittimart、吉武剛、山田英明
- 学会等名
  第68回応用物理学会春季学術講演会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 熱フィラメントCVD法による単結晶ダイヤモンドホモエピ成長と不純物ドーピング2020
- 著者名/発表者名
  大曲新矢
- 学会等名
  第17回Cat-CVD研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 二光子励起フォトルミネッセンス法によるダイヤモンド貫通転位の三次元イメージング2020
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、坪内信輝、小林篤史、山田英明
- 学会等名
  先進パワー半導体分科会第6回講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 金属援用終端法によるダイヤモンド中貫通転位の低減と縦型 SBD の特性改善2019
- 著者名/発表者名
  小林篤史，大曲新矢，梅沢仁，竹内大輔，齊藤丈靖
- 学会等名
  第16回Cat-CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] Improved vertical Schottky barrier diodes characteristics by eliminating killer defects in heavily B doped diamond substrates2019
- 著者名/発表者名
  小林篤史，大曲新矢，梅沢仁，竹内大輔，齊藤丈靖
- 学会等名
  SSDM2019
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] Improved homogeneity of diamond vertical SBDs: dislocation reduction to suppress the killer defects in type-IIb substrates2019
- 著者名/発表者名
  小林篤史，大曲新矢，梅沢仁，竹内大輔，齊藤丈靖
- 学会等名
  13th New Diamond and Nano Carbons Conference
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 金属援用終端法によるダイヤモンド高濃度ホウ素ドープ基板のキラー欠陥低減2019
- 著者名/発表者名
  小林篤史，大曲新矢，梅沢仁，齊藤丈靖，竹内大輔
- 学会等名
  第33回ダイヤモンドシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] Control and annihilation of dislocation propagation in diamond by metal-assisted termination (MAT)2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，坪内信輝，梅沢仁，茶谷原昭義，竹内大輔
- 学会等名
  The 9th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS2019)
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 熱フィラメントCVD法によるダイヤモンド薄膜ホモエピタキシャル成長と金属不純物導入効果2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢
- 学会等名
  第16回Cat-CVD研究会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 二光子励起PLイメージングによるダイヤモンド中の貫通転位観測2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢
- 学会等名
  分子・物質合成プラットフォーム令和元年ユーザーズミーティング
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の結晶性とSBD特性2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，小林篤史，田中孝治，坪内信輝，山田英明
- 学会等名
  第67回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 金属援用終端法によるヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の結晶性改善2019
- 著者名/発表者名
  小林篤史，大曲新矢，梅沢仁，竹内大輔，齊藤丈靖
- 学会等名
  第33回ダイヤモンドシンポジウム
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] Reduction of dislocation density in diamond by hot-filament CVD accompanying metal incorporations"2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，坪内信輝，梅沢仁，茶谷原昭義，杢野由明，竹内大輔
- 学会等名
  13th New Diamond and Nano Carbons Conference
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 二光子励起フォトルミネッセンス法によるダイヤモンド貫通転位の三次元イメージング2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，坪内信輝，小林篤史，山田英明
- 学会等名
  先進パワー半導体分科会第6回講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] Dislocation reduction in diamond by metal-assisted termination (MAT) and their improvements in Schottky barrier diode characteristics2019
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，坪内信輝，梅沢仁，茶谷原昭義，杢野由明，竹内大輔
- 学会等名
  13th Topical Workshop on Heterostructure Microelectronics
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K15295
[学会発表] 異原子導入によるダイヤモンド貫通転位の伝搬抑制効果2018
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、山田英明、坪内信輝、田中真悟、茶谷原昭義、梅沢仁、杢野由明
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Inversion channel MOSFET on lightly impurity doped n-type diamond2018
- 著者名/発表者名
  T. Matsumoto, H. Kato, T. Makino, S. Ohmagari, M. Ogura, D. Takeuchi, T. Inokuma, S. Yamasaki and N. Tokuda
- 学会等名
  ACSIN-14 & ICSPM26
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17H02786
[学会発表] 熱フィラメントCVD法で合成した低抵抗ダイヤモンド自立基板評価2017
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、山田英明、梅沢仁、坪内信輝、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Hot-filament CVD growth of low-resistivity diamond for power device applications2017
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari
- 学会等名
  化学工学会第82年会
- 発表場所
  芝浦工業大学豊洲キャンパス，東京都江東区
- 年月日
  2017-03-06
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] 熱フィラメントCVD法によるパワーデバイス用ダイヤモンド結晶成長2017
- 著者名/発表者名
  大曲新矢
- 学会等名
  Cat-CVD研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Structural and Chemical Bonding Analysis of Diamond Semiconductors using Synchrotron Radiation2017
- 著者名/発表者名
  Shinya Ohmagari
- 学会等名
  ASEAN Workshop on Photoemission Electron Spectroscopy and Microscopy (AWPESM2017)
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] 高出力縦型パワーデバイス用ダイヤモンド低抵抗ウェハ開発2017
- 著者名/発表者名
  大曲新矢
- 学会等名
  第66回CVD研究会
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] ダイヤモンド選択成長：フィラメントCVDとメタルマスク併用による微細パターニング2016
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，松本猛，梅沢仁，杢野由明
- 学会等名
  第30回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  東京大学駒場リサーチキャンパス，東京都目黒区
- 年月日
  2016-11-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Homoepitaxial Diamond Growth by Hot-Filament CVD For Future Diamond Power Devices2016
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, H. Yamada, H. Umezawa, N. Tsubouchi, A. Chayahara, and Y. Mokuno
- 学会等名
  HWCVD9
- 発表場所
  Chemical Heritage Foundation，フィラデルフィア，アメリカ
- 年月日
  2016-09-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Selective-Area Growth of Single-Crystal Diamond Films by Hot-Filament CVD Using Metal Masks2016
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, T. Matsumoto, H. Umezawa, and Y. Mokuno
- 学会等名
  HWCVD9
- 発表場所
  Chemical Heritage Foundation，フィラデルフィア，アメリカ
- 年月日
  2016-09-06
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Strategy to grow high-quality p+ diamond substrates: doping efficiency, lattice mismatch, and resistivity controls2016
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, H. Yamada, H. Umezawa, N. Tsubouchi, A. Chayahara, and Y. Mokuno
- 学会等名
  European Materials Research Society (E-MRS)
- 発表場所
  ワルシャワ工科大学，ワルシャワ，ポーランド
- 年月日
  2016-09-19
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] 超低損失パワーデバイス用途ダイヤモンド低抵抗ウェハの開発2016
- 著者名/発表者名
  大曲新矢、山田英明、梅沢仁、坪内信輝、茶谷原昭義、杢野由明
- 学会等名
  応用物理学会関西支部平成２８年度第１回講演会
- 発表場所
  産業技術総合研究所関西センター，大阪府池田市
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Low Resistivity P+ Single-Crystal Diamond Prepared by Hot-Filament CVD2016
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, and Y. Mokuno
- 学会等名
  2016 MRS Spring Meeting & Exhibit
- 発表場所
  Phoenix, Arizona
- 年月日
  2016-03-28
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] cTLM法によるダイヤモンドp-/p++界面の接触抵抗評価2015
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，梅沢仁，松本猛, 杢野由明
- 学会等名
  先進パワー半導体分科会第2回講演会
- 発表場所
  大阪国際交流センター
- 年月日
  2015-11-09
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] フィラメントCVD 法による高濃度ホウ素ドープダイヤモンド(100) 薄膜の擬似格子整合成長2015
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一，杢野由明
- 学会等名
  第29回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2015-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Defects analysis of HPHT-grown heavily boron-doped diamond (100) by dry etching technique2015
- 著者名/発表者名
  K. Srimongkon, S. Ohmagari, N. Tsubouchi, Y. Kato, V. Amornkitbamrung, and S. Shikata
- 学会等名
  International Conference on New Diamond & Nano Carbon 2015
- 発表場所
  Shizuoka GRANSHIP, Japan
- 年月日
  2015-05-25
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] フィラメントCVD法による低抵抗 (1 mΩcm) ダイヤモンドの合成2015
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，梅沢仁，茶谷原昭義，鹿田真一，杢野由明
- 学会等名
  第76回応用物理学会秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋国際会議場
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Heavily boron-doped single-crystal diamond (100) films prepared by hotfilament CVD2015
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, K. Srimongkon, H. Yamada, H. Umezawa, N. Tsubouchi, A. Chayahara, and S. Shikata
- 学会等名
  International Conference on New Diamond & Nano Carbon 2015
- 発表場所
  Shizuoka GRANSHIP, Japan
- 年月日
  2015-05-25
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Characterization of low-resistivity diamond (100) films fabricated by hot-filament chemical vapor deposition2015
- 著者名/発表者名
  S. Ohmagari, K. Srimongkon, H. Yamada, H. Umezawa, N. Tsubouchi, A. Chayahara, S. Shikata, and Y. Mokuno
- 学会等名
  The 35th Electron Materials Symposium
- 発表場所
  ラフォーレ琵琶湖
- 年月日
  2015-07-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] HPHT 製p+ダイヤモンド (100) 基板の共焦点ラマンマッピング評価2015
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，K.Srimongkon， V.Amornkitbamrung，加藤有香子，鹿田真一
- 学会等名
  第29回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  東京理科大学
- 年月日
  2015-11-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] 逆格子空間マッピング法による高濃度ホウ素ドープダイヤモンド (100) 薄膜の歪み評価2015
- 著者名/発表者名
  竹市悟志, 大曲新矢, 杢野由明，吉武剛
- 学会等名
  平成27年度応用物理学会九州支部学術講演会
- 発表場所
  琉球大学工学部
- 年月日
  2015-12-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K18043
[学会発表] Formation of Ultrananocrystalline Diamond/Amorphous Carbon Composite Films and Their Application to Photodetectors2014
- 著者名/発表者名
  Shinya Ohmagari, Sausan Al-Riyami, Yūki Katamune, Takanori Hanada, and Tsuyoshi Yoshitake
- 学会等名
  The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2014)
- 発表場所
  福岡大学
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25889074
[学会発表] 熱フィラメントCVD法で成長した単結晶ダイヤモンド膜の構造評価2014
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一
- 学会等名
  第61回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  青山学院大学相模原キャンパス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25889074
[学会発表] X-ray topography study of heavily boron-doped diamond substrates2014
- 著者名/発表者名
  Shinya Ohmagari, Yukako Kato, Hitoshi Umezawa, and Shin-ichi Shikata
- 学会等名
  The 15th IUMRS-International Conference in Asia (IUMRS-ICA 2014)
- 発表場所
  福岡大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25889074
[学会発表] Large-area homoepitaxial growth of single-crystalline diamond by hot filament CVD2014
- 著者名/発表者名
  Shinya Ohmagari, Hideaki Yamada, Hitoshi Umezawa, Akiyoshi Chayahara, and Shin-ichi Shikata
- 学会等名
  New Diamond and Nano Carbons Conference (NDNC 2014)
- 発表場所
  Chicago, Illinois, USA
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25889074
[学会発表] 熱フィラメントCVD法によるホモエピタキシャルダイヤモンド膜合成2013
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，山田英明，茶谷原昭義，鹿田真一
- 学会等名
  第27回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  日本工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25889074
[学会発表] 超ナノ微結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン混相膜の光キャリア伝導特性2013
- 著者名/発表者名
  大曲新矢，花田尊徳，片宗優貴，吉武剛
- 学会等名
  第27回ダイヤモンドシンポジウム
- 発表場所
  日本工業大学
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-25889074

1. 蔭浦泰資 (20801202)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 2件
2. 徳田規夫 (80462860)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
3. 山田英明 (90443233)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
4. 岩崎渉 (20712508)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
5. 加藤宙光 (00415655)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 1件
6. 嶋岡毅紘 (80650241)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
7. 竹村謙信 (10909831)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
8. 山下健一 (90358250)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 森田伸友 (90807554)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 上原雅人 (10304742)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
11. 瀬戸山寛之 (30450951)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
12. 平田研二 (40828282)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 8件
13. 小野田忍 (30414569)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
14. 川原田洋 (90161380)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 片宗優貴 (50772662)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 吉武剛

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 1件

大曲 新矢 Ohmagari Shinya

研究課題

研究成果

共同研究者

巨大な格子歪み導入によるダイヤモンド結晶の高品質化とデバイス緩衝層への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

超高密度電子スピン集団による量子もつれセンシングの実現

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

長期環境モニタリングに向けた化学センサのIoT化を実現する自己洗浄技術開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

多元窒化物の高い圧電性の実態に迫るオペランドXASによる局所構造と元素物性の解析

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

インチサイズダイヤモンド単結晶ウェハ上の結晶成長メカニズムの解明

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

金属原子導入によるダイヤモンド貫通転位の終端と電子デバイス緩衝層への応用研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

低損失縦型ダイヤモンドパワーMOSFET

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超低損失パワーデバイス用途ダイヤモンド低抵抗ウェハの合成研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ダイヤモンド高濃度ホウ素ドープウェハ創製に向けた基盤研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Enhanced in-plane uniformity and breakdown strength of diamond Schottky barrier diodes fabricated on heteroepitaxial substrates2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] High yield uniformity in pseudo-vertical diamond Schottky barrier diodes fabricated on half-inch single-crystal wafers2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Suppression of killer defects in diamond vertical-type Schottky barrier diodes2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

データソース

[雑誌論文] Doping-induced strain in heavily B-doped (100) diamond films prepared by hot-filament chemical vapor deposition2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Toward High‐Performance Diamond Electronics: Control and Annihilation of Dislocation Propagation by Metal‐Assisted Termination2019

大曲新矢 Ohmagari Shinya