笹子勝 Sasago Masaru

研究者番号	40727145
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科 , 客員教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2023年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 2020年度 – 2021年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 客員研究員
審査区分/研究分野	研究代表者小区分28050:ナノマイクロシステム関連
キーワード	研究代表者三次元 / 最適化 / デザインルール / シードパターン / 3次元リソグラフィ / ３次元構造 / フォトマスク / 位相振幅 / ３次元リソグラフィ / 一括露光 … もっと見る / ３次元結像 / ビルトインレンズマスク / 三次元結像 / 複素透過率 / マスク / 複素振幅 / 波面 / 3次元加工 / フォトリソグラフィ隠す

三次元フォトリソグラフィ研究代表者
- 研究代表者
  
  笹子勝
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  大阪公立大学
   大阪府立大学

すべて 2024 2023 2021

すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023
- 著者名/発表者名
  Hirai Yoshihiko、Osumi Tomoaki、Tanaka Toshiaki、Yasuda Masaaki、Sasago Masaru
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE Advanced Lithography + Patterning
  
  巻: 12497 ページ: 1-7
- DOI
  10.1117/12.2658128
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[雑誌論文] Automatic design of the build-in lens mask for three-dimensional photo lithography2021
- 著者名/発表者名
  Osumi Tomoaki、Sasago Masaru、Yasuda Masaaki、Hirai Yoshihiko
- 雑誌名
  
  Proceedings Volume 11908, Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology
  
  巻: 11908 ページ: 1-5
- DOI
  10.1117/12.2598156
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[雑誌論文] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021
- 著者名/発表者名
  Osumi Tomoaki、Misaka Akio、Sato Kousuke、Yasuda Masaaki、Sasago Masaru、Hirai Yoshihiko
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 34 号: 2 ページ: 123-126
- DOI
  10.2494/photopolymer.34.123
- NAID
  130008119664
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2021-06-11
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] ビルトインレンズマスクを用いた三次元フォトリソグラフィによるパターン形成2024
- 著者名/発表者名
  田中敏章, 安田雅昭，笹子勝, 平井義彦
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会(3月,2024,東京)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023
- 著者名/発表者名
  Hirai Yoshihiko、Osumi Tomoaki、Tanaka Toshiaki、Yasuda Masaaki、Sasago Masaru
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography + Patterning
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021
- 著者名/発表者名
  T. Osumi, A. Misaka, K. Sato, M. Yasuda, M. Sasago, Y. Hirai,
- 学会等名
  The 38th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-38)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ(マスクパターンの最適化検討)2021
- 著者名/発表者名
  大住知暉、安田雅昭、笹子勝、平井義彦、
- 学会等名
  68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Automatic Design of the Built-in Lens Mask for ThreeDimensional Photo Lithography2021
- 著者名/発表者名
  T. Osumi, M. Sasago, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Optimization of the Built-in Lens Mask for Three-Dimensional Photo Lithography2021
- 著者名/発表者名
  T. Osumi, M. Sasago, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  The 64th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2021),
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ2021
- 著者名/発表者名
  大住　知暉, 安田　雅昭，笹子　勝, 平井義彦
- 学会等名
  応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289

1. 平井義彦 (50285300)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件

笹子 勝 Sasago Masaru

研究課題

研究成果

共同研究者

三次元フォトリソグラフィ研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

[雑誌論文] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Automatic design of the build-in lens mask for three-dimensional photo lithography2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[学会発表] ビルトインレンズマスクを用いた三次元フォトリソグラフィによる パターン形成2024

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ(マスクパターンの最適化検討)2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Automatic Design of the Built-in Lens Mask for ThreeDimensional Photo Lithography2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] Optimization of the Built-in Lens Mask for Three-Dimensional Photo Lithography2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

[学会発表] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ2021

著者名/発表者名

学会等名

データソース

笹子勝 Sasago Masaru

[学会発表] ビルトインレンズマスクを用いた三次元フォトリソグラフィによるパターン形成2024