木津良祐 Kizu Ryosuke

研究者番号	40760294
その他のID
所属 (現在)	2025年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2024年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 2021年度 – 2022年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 主任研究員 2017年度 – 2021年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 研究員 2016年度: 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 工学計測標準研究部門, 研究員
審査区分/研究分野	研究代表者小区分21030:計測工学関連 / 小区分18020:加工学および生産工学関連 / 計測工学研究代表者以外小区分21030:計測工学関連
キーワード	研究代表者 AFM / 原子間力顕微鏡(AFM) / 原子間力顕微鏡（AFM） / 長さ標準 / 結晶格子 / 走査トンネル顕微鏡 / 半導体ナノ構造 / 走査電子顕微鏡(SEM) / ラインエッジラフネス(LER) / ナノ構造 … もっと見る / 走査電子顕微鏡（SEM） / ラインエッジラフネス（LER） / 粗さ計測 / 走査プローブ顕微鏡 / 原子間力顕微鏡 / 線幅 / 不確かさ / ナノ計測 / 線幅校正 … もっと見る研究代表者以外 SIトレーサビリティー / 試料加工 / 不確かさ / 測長 / 試料調製 / シリコン / 倍率校正 / ナノメトロロジー / 原子間力顕微鏡 / 透過電子顕微鏡隠す

測長型走査トンネル顕微鏡による結晶格子間隔の絶対計測研究代表者
- 研究代表者
  
  木津良祐
- 研究期間 (年度)
  2024 – 2028
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 審査区分
  
  小区分21030:計測工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
測長原子間力顕微鏡を介した格子面間隔の透過電子顕微鏡によるSIトレーサブルな測長
- 研究代表者
  
  小林慶太
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分21030:計測工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
半導体ナノ構造の超精密形状計測：sub-nm精度の粗さ計測研究代表者
- 研究代表者
  
  木津良祐
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  若手研究
- 審査区分
  
  小区分18020:加工学および生産工学関連
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
AFMによる線幅計測の不確かさ低減のための探針形状の絶対評価技術開発研究代表者
- 研究代表者
  
  木津良祐
- 研究期間 (年度)
  2016 – 2018
- 研究種目
  
  若手研究(B)
- 研究分野
  
  計測工学
- 研究機関
  国立研究開発法人産業技術総合研究所

すべて 2023 2022 2021 2020 2019 2018 2017

すべて雑誌論文学会発表産業財産権

[雑誌論文] Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM2023
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Proc. SPIE
  
  巻: 12496 ページ: 1249605-1249605
- DOI
  10.1117/12.2655566
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[雑誌論文] Enhancing the precision of 3D sidewall measurements of photoresist using atomic force microscopy with a tip-tilting technique2023
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Journal of Applied Physics
  
  巻: 133 号: 6 ページ: 065302-065302
- DOI
  10.1063/5.0130459
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[雑誌論文] Unbiased line edge roughness measurement using profile-averaging method for precise roughness parameters measurement2022
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
  
  巻: 21 号: 02 ページ: 024001-024001
- DOI
  10.1117/1.jmm.21.2.024001
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[雑誌論文] Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan2021
- 著者名/発表者名
  Misumi Ichiko、Kizu Ryosuke、Itoh Hiroshi、Kumagai Kazuhiro、Kobayashi Keita、Sigehuzi Tomoo
- 雑誌名
  
  Nanomanufacturing and Metrology
  
  巻: - 号: 2 ページ: 83-90
- DOI
  10.1007/s41871-021-00119-1
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04511
[雑誌論文] Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM2021
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Proc. SPIE
  
  巻: 11611 ページ: 1161117-1161117
- DOI
  10.1117/12.2583475
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[雑誌論文] Direct comparison of line edge roughness measurements by SEM and a metrological tilting-atomic force microscopy for reference metrology2020
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
  
  巻: 19 号: 04 ページ: 044001-044001
- DOI
  10.1117/1.jmm.19.4.044001
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[雑誌論文] Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology2020
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Proc. of SPIE
  
  巻: 11325 ページ: 21-21
- DOI
  10.1117/12.2551468
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[雑誌論文] Accurate vertical sidewall measurement by a metrological tilting-AFM for reference metrology of line edge roughness2019
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Proc. of SPIE
  
  巻: 10959 ページ: 82-82
- DOI
  10.1117/12.2511712
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119
[雑誌論文] Linewidth calibration using a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism2018
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Kinoshita Kazuto、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 30 号: 1 ページ: 015004-015004
- DOI
  10.1088/1361-6501/aaf02a
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119
[雑誌論文] Development of a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism for 3D nanometrology2018
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Kinoshita Kazuto、Gonda Satoshi
- 雑誌名
  
  Measurement Science and Technology
  
  巻: 印刷中号: 7 ページ: 075005-075005
- DOI
  10.1088/1361-6501/aabe1a
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119
[産業財産権] 粗さ解析のための方法及び情報処理システム2021
- 発明者名
  木津良祐
- 権利者名
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2021-112800
- 出願年月日
  2021
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[産業財産権] 走査型プローブ顕微鏡のドリフト補正方法及びドリフト補正機能を備えた走査型プローブ顕微鏡2017
- 発明者名
  木津　良祐
- 権利者名
  国立研究開発法人産業技術総合研究所
- 産業財産権種類
  特許
- 産業財産権番号
  2017-154999
- 出願年月日
  2017
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119
[学会発表] 電子線を遮蔽する構造をもつ試料のTEM観察で現れる特異な回折図形と回折波からなる像2023
- 著者名/発表者名
  小林慶太, 木津良佑
- 学会等名
  日本顕微鏡学会第79回学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K04511
[学会発表] Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM2023
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography+Patterning 2023
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[学会発表] ラインエッジラフネスが制御されたシリコンラインパターンの作製と評価2022
- 著者名/発表者名
  木津良祐、三隅伊知子、平井亜紀子、権太聡、高橋哲
- 学会等名
  2022年度精密工学会春季大会学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[学会発表] High-resolution sidewall observation and LER measurement of a photoresist pattern by a metrological tilting-AFM2022
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography+Patterning 2022
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[学会発表] 傾斜探針型測長原子間力顕微鏡によるラインエッジラフネスの参照計測2021
- 著者名/発表者名
  木津良祐、三隅伊知子、平井亜紀子、権太聡
- 学会等名
  次世代リソグラフィワークショップ 2021
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[学会発表] Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM2021
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2021
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[学会発表] Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology2020
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2020
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K14865
[学会発表] Accurate vertical sidewall measurement by a metrological tilting-AFM for reference metrology of line edge roughness2019
- 著者名/発表者名
  Kizu Ryosuke、Misumi Ichiko、Hirai Akiko、Gonda Satoshi
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography 2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119
[学会発表] 傾斜探針型測長AFMによる線幅計測における実効探針幅の補正2017
- 著者名/発表者名
  木津良祐、三隅伊知子、平井亜紀子、木下和人、権太聡
- 学会等名
  精密工学会
- 発表場所
  慶應義塾大学（神奈川県）
- 年月日
  2017-03-15
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119
[学会発表] 走査型プローブ顕微鏡像のドリフト補正2017
- 著者名/発表者名
  木津良祐、三隅伊知子、平井亜紀子、権太聡
- 学会等名
  第78回応用物理学会秋季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-16K18119

1. 小林慶太 (40556908)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 2件
2. 堀泰明 (50443221)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件

木津 良祐 Kizu Ryosuke

研究課題

研究成果

共同研究者

測長型走査トンネル顕微鏡による結晶格子間隔の絶対計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

測長原子間力顕微鏡を介した格子面間隔の透過電子顕微鏡によるSIトレーサブルな測長

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

半導体ナノ構造の超精密形状計測：sub-nm精度の粗さ計測研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

AFMによる線幅計測の不確かさ低減のための探針形状の絶対評価技術開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Photoresist shrinkage observation by a metrological tilting-AFM2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Enhancing the precision of 3D sidewall measurements of photoresist using atomic force microscopy with a tip-tilting technique2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Unbiased line edge roughness measurement using profile-averaging method for precise roughness parameters measurement2022

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Research Activities of Nanodimensional Standards Using Atomic Force Microscopes, Transmission Electron Microscope, and Scanning Electron Microscope at the National Metrology Institute of Japan2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Evaluating SEM-based LER metrology using a metrological tilting-AFM2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Direct comparison of line edge roughness measurements by SEM and a metrological tilting-atomic force microscopy for reference metrology2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Comparison of SEM and AFM performances for LER reference metrology2020

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Accurate vertical sidewall measurement by a metrological tilting-AFM for reference metrology of line edge roughness2019

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Linewidth calibration using a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Development of a metrological atomic force microscope with a tip-tilting mechanism for 3D nanometrology2018

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[産業財産権] 粗さ解析のための方法及び情報処理システム2021

発明者名

木津良祐 Kizu Ryosuke