荻田陽一郎 OGITA Yoh-Ichirro

研究者番号	50016549
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所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	1998年度 – 2000年度: 神奈川工科大学, 工学部, 教授
審査区分/研究分野	研究代表者応用物性・結晶工学 / 電子・電気材料工学
キーワード	研究代表者 Subsurface characterization / Silicon wafer / 表面層評価 / 表面層ダメージ / シリコンウェーハ / Surface potential / Ion implantation damage / Polishing damage / Millimeter wave / Subsurface damage … もっと見る / Noncontact measurement / 光導電減衰 / キャリヤライフタイム / 光導電振幅 / シリコンウェーハ表面層 / 表面光起電力 / 水素イオン注入ダメージ / ケルビンプローブ / 非接触測定評価 / 表面電位 / イオン注入ダメージ / 研磨ダメージ / ミリ波 / 非接触測定 / Mirror polishing damage / Engineering tool / Ultrasonic vibration grinding / Grinding wheel / Polishing induced damage / Shear-mode grinding / 鏡面研削ダメージ / 鏡面研削 / 研磨加工変質層 / 光導電減衰法 / 非接触測定評価法 / 研削加工変質層 / 超音波振動研削 / エンジニアリングツール / 研削ホイール / 鏡面研磨ダメージ / シェアモード研削隠す