• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

片岡 俊彦  KATAOKA Toshihiko

ORCIDORCID連携する *注記
… 別表記

片岡 秀彦  タカオカ トシヒコ

隠す
研究者番号 50029328
その他のID
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 2007年度 – 2008年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
2005年度 – 2006年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
1998年度 – 2005年度: 大阪大学, 大学院・工学研究科, 教授
1998年度: 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授
1989年度 – 1997年度: 大阪大学, 工学部, 教授
1986年度 – 1988年度: 大阪大学, 工学部, 助教授
1987年度: Faculty og Engineering, Univ. of Osaka
審査区分/研究分野
研究代表者
機械工作・生産工学 / 金属物性 / 応用光学・量子光工学 / 生産工学・加工学 / 機械工作・生産工学
研究代表者以外
機械工作・生産工学 / 応用光学・量子光工学 / 理工系 / 航空宇宙工学 / 機械工作 … もっと見る / 機械材料・材料力学 / 電子デバイス・機器工学 / 電子デバイス・電子機器 / 金属物性 / 機械材料工学 隠す
キーワード
研究代表者
走査型近接場光学顕微鏡 / シングルモード光ファイバ / フォトレジスト / 回折球面波 / 光散乱 / 転位 / 塩化カリウム単結晶 / 大気圧・高周波プラズマ / 時空間分解発光分光計測 / 非発光励起種 … もっと見る / シース / 負グロー / 準安定粒子 / エバネセント場 / Tiサファイアレーザー / 微小共振球 / 極微小突起 / WGMモード / HeCdレーザー / SNOM / 点光源 / 位相シフト干渉法 / He-Neレーザー / 光干渉計測 / 高精度絶対形状計測 / 計測の再現性 / 光ファイバ / 位相シフト干渉計 / 近接場 / レーザ / scanning near-field optical microscope / 高空間分解能 / Helium / フェムト秒レーザー / 絶対形状計測 / fiber optic plate / トポグラフィ- / 共焦点法 / 破壊靭性 / 平均自由工程 / 吸収分光計測 / ボルツマン方程式 / 衝突断面積 / 輸送係数 / キャビティーリングダウン分光 / 近接場局所分光 / 点光源回折干渉計 / point diffraction interferometer / phase-shifting interferometer / デジタルホログラフ / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / 表面形状計測 / デジタルホログラフィー / ガラスレスCCDカメラ / 非球面形状計測 / 放物面計測 / トポグラフィ / レ-ザ- / その場観察 / アルゴンイオンレーザー / イメージインテンシファイヤー / 表面粗さ / 圧電素子 / 絶縁体表面 / 超精密加工表面 / ニアフィールド / near-field / surface roughness / piezo actuator / laser / surface of insulator / ultra precision machined surface / near field / 境界要素法 / ラテックス球プローブ / 高分解能 / 微小突起 / 光による微細加工 / Scanning Near-field Optical Microscope / Polystirene Latex Sphere / High Spatial Resolution / Boundary Element Method / 平均自由行程 / 吸収分光 / 温度計測 / 粒子密度計測 / 容量結合型プラズマ / 時空間分解発光分光 / 中性Heラジカル / 局所電界近似法 / プラズマシミュレーション / プラズマシース / Atmospheric VHF plasma / Spatiotemporal optical emission spectroscopy / Mean free path / Sheath / Free radicals / 極微小突起プローブ / 紫外線硬化性樹脂 / 3次元境界要素法 / 多光子吸収過程 / 光の近接場 / ポリスチレン微小球 / 進行波共振 / チタンサファイアレーザー / 極微細光加工 / evanescent field / femto-second laser / micro protrusion probe / ultraviolet resins / 3-dimensional finite element method / multi photon absorption process / high spatial resolution / 点光源回折干渉法 / EUVL露光装置 / diffracted Spherical wavefront / point light source / phase shift interferometry / single mode optical fiber / Helium-Neon laser / optical interferometry / absolute shape measurement / repeatability / 点回折干渉計測 / 位相シフト干渉計測 / 非球面計測 / 計測誤差 / 非球面観測 / 点回折球面波干渉計 / Point Diffraction Inteferometer / HeNeレーザー / 大口径光学素子 / 点回折干渉計測法 / 位相シフト干渉計測法 / 7フレームアルゴリズム / デジタルCCDカメラ / point diffraction interferometry / phase-shifting interferometry / single-mode optical fiber / absolute surface figure measurement / aspherical surface measurement / measurement error / spherical diffraction wave … もっと見る
研究代表者以外
STM / EEM / STS / 転位 / 第一原理分子動力学 / 局所状態密度 / Si(001)2×1表面 / 走査型近接場光学顕微鏡 / エバネセント場 / Tiサファイアレーザー / 微小共振球 / 極微小突起 / フォトレジスト / WGMモード / HeCdレーザー / 極低温 / 塑性変形 / 負荷速度 / 破壊じん性 / Fracture Toughness / 超精密加工 / Dislocation / 表面反応素過程 / プラズマプロセス / 反応性イオンエッチング / スパッタリング成膜 / Si単結晶薄膜 / ZrN,AlN / 近接場 / プローブ / 相変化 / 共振 / 細胞 / 蛍光 / 二光子 / 顕微鏡 / ファイバ / 相転移 / 微小共振器 / 退色 / フェムト秒レーザー / 極微小突起プローブ / 高空間分解能 / 3次元境界要素法 / 回折球面波 / 点回折干渉計測法 / シングルモード光ファイバ / 位相シフト干渉計測法 / HeNeレーザー / 非球面計測 / 7フレームアルゴリズム / デジタルCCDカメラ / 超電導マグネット / 構造材料 / 引張試験法 / 破壊じん性試験法 / KCl単結晶 / KClーKBr固溶体単結晶 / 応力遮蔽効果 / 延性ーぜい性遷移 / Kcl単結晶 / 延性-ぜい遷移 / Dislocation Emission / Alkali Halide Single Crystal / Birefringence Observation / Brittle-to-Ductile Transition / Termal Activation Mechanism / プラズマCVD / 粉末粒子 / 表面処理 / コーティング / マイクロ波プラズマ / plasma CVD / ultra-fine particle / surface preparation / coating / イオンガン / 表面改質 / シリコン / 薄膜 / 低温成膜 / シリコン薄膜 / イオン照射 / 薄膜用基板 / 表面制御 / Ion gun / Surface modification / Silicon / Thin film / Low temperature deposition / Ab-initio分子軌道法 / 水素終端化Si表面 / Si (001) 2×1表面 / 元素分析 / Siウェーハ / 走査型トンネル顕微鏡 / 走査型トンネル分光 / 水素終端化 / 走査型トンネル分光法 / シリコンウェーハ / 金属汚染物 / 表面分析 / 電子構造 / Ab-inito MO / H-terminated Si surface / First principle MD / Local density of states / Si (001) 2*1 surface / Elementary analysis / Si wafer / 光化学反応 / 低温凝集相 / 2光子吸収 / 1光子吸収 / エキシマレーザー / Si系薄膜 / C系薄膜 / 凝集相 / μc-Si / ダイヤモンド合成 / 無定形炭素 / ArF / KrF / 凝集用 / 原子状水素 / ダイヤモンド成膜 / photochemical reaction / deposition / condensed phase / cryogenic substrate / excimer laser / silane / crystalline silicon / two-photon absorption / 完全表面 / プラズマCVM / 大気圧プラズマCVD / 超純水電解加工 / 第一原理分子動力学シミュレーション / ウルトラクリーンテクノロジー / 超純粋電解加工 / 第一原理分子動力学シュミレーション / Perfect surfaces / Ultra precision machining / Plasma CVM / Atmospheric pressure plasma CVD / Electrochemical machining in ultrapure water / First-principles molecular dynamics simulation / Ultra clean technology / WGMs / MDRs / 三次元境界要素法 / 光の近接場 / 走査系近接場光学顕微鏡 / SNOM / ポリスチレン微小球 / 進行波共振 / 時間領域差分法 / Scanning Near-field Optical Microscope / spherical micro resonator / Whispering Gallery Modes / Morphology Dependent Resonances / photoresist / HeCd laser / micro protrusion / three dimensional boundary element method / 走査トンネル顕微鏡 / 走査トンネル分光法 / 絶縁体 / 表面キャラクタリゼーション / 高周波パルス / 表面微細構造 / 表面欠陥 / scanning tunneling microscope / scanning tunneling spectroscopy / insulator / ultra-precision machining / surface characterization / high-frequency pulse / surface morphology / surface defect / 半導体デバイス製造 / 極端紫外光 / プラズマ / レーザー / パルスパワー / デバイス設計・製造プロセス / パルス放電 / Semiconductor production / Extreme-ultraviolet (EUV) / Plasma / Laser / Pulse-power / セラミックス / 強度 / 格子欠陥 / 粒界 / 塑性 / パイエルス力 / 辷り系 / Ceramics / Strength / Lattice Defects / Grain Boundary / 高ひずみ速度 / 変形応力 / 降伏応力 / 熱活性化過程 / 双晶 / Cryogenic Temperature / High Strain Rate / Flow Stress / Yield Stress / Thermal Activation Theoty 隠す
  • 研究課題

    (28件)
  • 研究成果

    (24件)
  • 共同研究者

    (33人)
  •  FOW援用型PDI形状計測装置の開発:大口径非球面の高い再現性での絶対形状計測研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      2007 – 2008
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ナノ秒レーザー誘起円錐プラズマの中心軸集束放電を用いた高輝度極端紫外光源の開発

    • 研究代表者
      中野 元博
    • 研究期間 (年度)
      2005 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・電子機器
    • 研究機関
      大阪大学
  •  大口径光学素子の絶対形状評価へのファイバ型2光源PDI形状計測装置の応用

    • 研究代表者
      押鐘 寧
    • 研究期間 (年度)
      2004
    • 研究種目
      特定領域研究
    • 審査区分
      理工系
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光ファイバからの回折球面波を絶対計測基準とした非球面形状のサブナノ計測研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      2004 – 2006
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      生産工学・加工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  回折点光源・位相シフト干渉法を応用した平担面の超高精度絶対形状計測法の検討研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      2002 – 2003
    • 研究種目
      萌芽研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  高周波パルスSTM/STSによる絶縁体超精密加工表面のキャラクタリゼーション

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  回折球面波を絶対基準とする位相シフト干渉計の開発と大口径光学素子の高精度形状計測研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      2001 – 2003
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微小共振球をプローブとした走査型キャビティーリングダウン顕微分光(CRDMS)法

    • 研究代表者
      押鐘 寧
    • 研究期間 (年度)
      2000 – 2001
    • 研究種目
      奨励研究(A)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  微小球共振器をプローブとした走査型CRDS顕微システムによる極微細構造の分光診断研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超短パルス光によるナノ微小領域への近接場の局在化と極微細加工への応用研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2001
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      応用光学・量子光工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光リング共振器と微小共振球とを検出系とした走査型近接場光学顕微鏡の開発

    • 研究代表者
      押鐘 寧
    • 研究期間 (年度)
      1998 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      電子デバイス・機器工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  ニアフィールドのマイクロスコピー

    • 研究代表者
      大津 元一
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1999
    • 研究種目
      特定領域研究(A)
    • 研究機関
      東京工業大学
  •  粒子コードを用いた大気圧・高周波プラズマの構造解析(シース領域を構成する粒子群の振る舞いとその制御パラメータの診断)研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1997 – 1998
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  STM/STSによる成膜・エッチングプロセスにおける固体表面反応素過程の解明

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1997
    • 研究種目
      萌芽的研究
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  大気圧・高周波プラズマプロセスの時空間分解発光分光計測とその制御研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 1998
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  完全表面の創成

    • 研究代表者
      森 勇藏 (森 勇蔵)
    • 研究期間 (年度)
      1996 – 2002
    • 研究種目
      特別推進研究(COE)
    • 研究機関
      大阪大学
  •  エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      1995 – 1997
    • 研究種目
      基盤研究(A)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  STM/STSによるシリコンウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

    • 研究代表者
      遠藤 勝義
    • 研究期間 (年度)
      1994 – 1996
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究

    • 研究代表者
      森 勇蔵 (森 勇藏)
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1994
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械材料・材料力学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光の近接場を利用した微細加工研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      一般研究(B)
    • 研究分野
      機械工作・生産工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  EEM(Elastic Emission Machining)用粉末粒子の表面コーティングに関する研究

    • 研究代表者
      森 勇藏
    • 研究期間 (年度)
      1992 – 1993
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      機械工作
    • 研究機関
      大阪大学
  •  き裂先端での転位の生成と運動ー光散乱トポグラフィ-によるその場観察研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦 (片岡 秀彦)
    • 研究期間 (年度)
      1990 – 1991
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  温度・負荷速度をパラメ-タとした破壊のメカニズムに関する転位論的研究

    • 研究代表者
      岸田 敬三
    • 研究期間 (年度)
      1989 – 1990
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      航空宇宙工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  光散乱を利用した運動転位のその場観察研究代表者

    • 研究代表者
      片岡 俊彦
    • 研究期間 (年度)
      1988 – 1989
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      大阪大学
  •  超電導マグネット用極低温構造材料の破壊強度特性とその評価

    • 研究代表者
      岸田 敬三
    • 研究期間 (年度)
      1986
    • 研究種目
      エネルギー特別研究(核融合)
    • 研究機関
      大阪大学
  •  極低温および高ひずみ速度下での材料の微視的変形・破壊機構に関する基礎研究

    • 研究代表者
      岸田 敬三
    • 研究期間 (年度)
      1986 – 1987
    • 研究種目
      一般研究(C)
    • 研究分野
      機械材料工学
    • 研究機関
      大阪大学
  •  セラミックスの強度と格子欠陥

    • 研究代表者
      鈴木 敬愛
    • 研究期間 (年度)
      1985 – 1987
    • 研究種目
      総合研究(A)
    • 研究分野
      金属物性
    • 研究機関
      東京大学

すべて 2008 2007 2006 2005 2004

すべて 雑誌論文 産業財産権

  • [雑誌論文] Numerical Reconstruction of Wavefront in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer by Digital Holography2008

    • 著者名/発表者名
      Toshiaki Matsuura, Satoru Okagaki, Yasushi Oshikane, Haruyuki Inoue, Motohiro Nakano, Toshihiko Kataoka
    • 雑誌名

      Surface and Inter face Analysis Vol. 40

      ページ: 1028-1032

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360066
  • [雑誌論文] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-繰り返し発光特性の評価-2007

    • 著者名/発表者名
      中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 井上晴行, 押鐘 寧, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会学術講演会 講演論文集

      ページ: 773-774

    • NAID

      130005028703

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] Measurement Accuracy in Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers2007

    • 著者名/発表者名
      Toshiaki MATSUURA, Satoru OKAGAKI, Takaaki NAKAMURA, Yasushi OSHIKANE, Haruyuki INOUE, Motohiro NAKANO, andToshihiko KATAOKA
    • 雑誌名

      Optical Review Vol. 14

      ページ: 401-405

    • NAID

      10020010020

    • 査読あり
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-19360066
  • [雑誌論文] ファイバ型PS-PDI装置(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)の開発-光ファイバからの回折球面波同士の干渉計測による精度の検証-2007

    • 著者名/発表者名
      松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      2007年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

    • NAID

      130005028613

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] ファイバ型PS/PDIによる大口径ミラーの計測2007

    • 著者名/発表者名
      松浦敏晋, 岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      第54回応用物理学関経連合講演会講演予稿集

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma-Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006

    • 著者名/発表者名
      T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology

      ページ: 133-134

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)を用いた絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006

    • 著者名/発表者名
      中村崇亮, 岡垣覚, 松浦敏晋, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
    • 雑誌名

      精密工学会2006年度関西地方定期学術講演会講演論文集

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] FOW(Fiber Optic Window)投影面を用いた大口径ミラー絶対形状計測用ファイバ型PS-PDI(Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer)装置の開発2006

    • 著者名/発表者名
      岡垣覚, 中村崇亮, 松浦敏晋, 片岡俊彦, 押鐘寧, 井上晴行, 中野元博
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集

      ページ: 161-161

    • NAID

      130004658297

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] Development of High Performance EUV Light Source by Laser Produced Plasma -Target Design and Evaluation of EUV Conversion Efficiency-2006

    • 著者名/発表者名
      T.Yoshikawa, Y.Otani, M.Nakano, T.Kataoka, H.Inoue, Y.Oshikane
    • 雑誌名

      Extended Abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology

      ページ: 133-134

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] 高性能レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット構造とEUV変換効率の評価-2006

    • 著者名/発表者名
      中野元博, 吉川隆弥, 大谷祐子, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘 寧
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集

      ページ: 585-586

    • NAID

      130004658236

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] ナノ秒レーザ誘起円錐孔アプレーション・プラズマの発光計測2006

    • 著者名/発表者名
      中野元博, 細谷明弘, 吉川隆弥, 大谷祐子, 山内良昭, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会春季大会学術講演論文集

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] 高輝度レーザプラズマEUV(Extreme-ultraviolet)光源の開発-ターゲット設計と特性評価-2006

    • 著者名/発表者名
      吉川隆弥, 大谷祐子, 中野元博, 片岡俊彦, 井上晴行, 押鐘 寧
    • 雑誌名

      2006年度精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集

      ページ: 73-74

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] Absolute surface profiling of large diameter mirror by point diffraction interferometer2006

    • 著者名/発表者名
      S.Okagaki, T.Nakamura, T.Matsuura, Y.0shikane, T.Kataoka, H.Inoue, M.Nakanao
    • 雑誌名

      Extended abstracts of International 21st Century COE Symposium on Atomistic Fabrication Technology

      ページ: 121-122

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] 光ファイバ型点光源を2つ用いたPDI干渉計による大口径ミラーの形状計測2005

    • 著者名/発表者名
      押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 岡垣覚, 中野元博, 井上晴行
    • 雑誌名

      第66回応用物理学会学術講演会講演予稿集

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] 大口径ミラーの絶対形状評価のためのファイバ型2光源PDI干渉計測装置の開発-ミラー保持方法の改良とノイズの低減-2005

    • 著者名/発表者名
      岡垣覚, 中村崇亮, 押鐘寧, 片岡俊彦, 井上晴行, 中野元博
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集

    • NAID

      130004657236

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005

    • 著者名/発表者名
      井上晴行, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      光アライアンス Vol.16,No.2

      ページ: 36-41

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16029206
  • [雑誌論文] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005

    • 著者名/発表者名
      押鐘 寧, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      光アライアンス Vol.16,No.1

      ページ: 49-55

    • NAID

      40006560304

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16029206
  • [雑誌論文] EUV光源開発のためのパルスレーザーによる高密度プラズマ生成と発光計測2005

    • 著者名/発表者名
      細谷明弘, 吉川隆弥, 中野元博, 山内良昭, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      2005年度精密工学会秋季大会学術講演論文集

    • NAID

      130004656964

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • [雑誌論文] 光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-2005

    • 著者名/発表者名
      押鐘 寧, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      光アライアンス Vol.16, No.1

      ページ: 49-55

    • NAID

      40006560304

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] レーザー光散乱法によるSiウエハ表面の微小欠陥計測2005

    • 著者名/発表者名
      井上晴行, 片岡俊彦
    • 雑誌名

      光アライアンス Vol.16, No.2

      ページ: 36-41

    • NAID

      40006601718

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004

    • 著者名/発表者名
      押鐘寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 井上晴行, 中野元博
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会学術講演会 講演論文集

    • NAID

      130004655911

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004

    • 著者名/発表者名
      押鐘 寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集

      ページ: 1069-1070

    • NAID

      130004655911

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16029206
  • [雑誌論文] ファイバ光源を利用したPDI計測装置による大口径ミラーの絶対形状計測2004

    • 著者名/発表者名
      押鐘 寧, 片岡俊彦, 中村崇亮, 中野元博, 井上晴行
    • 雑誌名

      2004年度精密工学会秋季大会 学術講演会講演論文集

      ページ: 1069-1070

    • NAID

      130004655911

    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-16360067
  • [産業財産権] レーザプラズマ光源2007

    • 発明者名
      中野元博, 片岡俊彦
    • 権利者名
      大阪大学
    • 産業財産権番号
      2007-213321
    • 出願年月日
      2007-08-20
    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
    • データソース
      KAKENHI-PROJECT-17360161
  • 1.  遠藤 勝義 (90152008)
    共同の研究課題数: 16件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  押鐘 寧 (40263206)
    共同の研究課題数: 14件
    共同の研究成果数: 13件
  • 3.  井上 晴行 (30304009)
    共同の研究課題数: 9件
    共同の研究成果数: 12件
  • 4.  中野 元博 (40164256)
    共同の研究課題数: 7件
    共同の研究成果数: 17件
  • 5.  森 勇藏 (00029125)
    共同の研究課題数: 6件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  岸田 敬三 (00029068)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  山内 和人 (10174575)
    共同の研究課題数: 5件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  山内 良昭 (00252619)
    共同の研究課題数: 3件
    共同の研究成果数: 2件
  • 9.  山村 和也 (60240074)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 10.  松浦 敏晋 (60525145)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 2件
  • 11.  広瀬 喜久治 (10073892)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 12.  芳井 熊安 (30029152)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 13.  森田 瑞穂 (50157905)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 14.  鈴木 敬愛 (70013208)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 15.  前田 康二 (10107443)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 16.  藤田 広志 (30028930)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 17.  横山 隆 (60093944)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 18.  大津 元一 (70114858)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 19.  中村 收 (90192674)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 20.  楠見 明弘 (50169992)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 21.  腰原 伸也 (10192056)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 22.  前川 一郎 (70018464)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 23.  庄子 哲雄 (80091700)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 24.  山田 朝治 (80028919)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 25.  佐野 泰久 (40252598)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 26.  青野 正和 (10184053)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 27.  安武 潔 (80166503)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 28.  吉永 日出男 (40005856)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 29.  角野 浩二 (50005849)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 30.  石田 洋一 (60013108)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 31.  TAKEUCHI Shin (60013512)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 32.  IMURA Toru (50022968)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 33.  島本 進
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

URL: 

この研究者とORCID iDの連携を行いますか?
※ この処理は、研究者本人だけが実行できます。

Are you sure that you want to connect your ORCID iD to this researcher?
* This action can be performed only by the researcher themselves.

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi