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虫明 基  MUSHIAKI Motoi

ORCIDORCID連携する *注記
研究者番号 50122453
外部サイト
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記 1999年度 – 2000年度: 川崎医科大学, 情報科学2, 講師
1993年度 – 1995年度: 川崎医科大学, 物理教室, 助手
審査区分/研究分野
研究代表者以外
表面界面物性
キーワード
研究代表者以外
イオンポンプ / Out Gases / Plasma Parameter / Partial Pressure / Oxygen / Sputter Discharge / LaB6 / Reactive Cathode / Ion Pump / 排気特性 … もっと見る / リサイクリング / ガス放出・吸収挙動解析 / ボロン系薄膜 / スパッタ放電 / 六硼化ランタン陰極 / 酸素反応性 / Ultra high vacuum / Plasma parameter / XPS measurement / QMS measurement / Sputter pump / Water pumping / Wide pressure range / LaB6 Cathode / クリーン真空 / 膜評価 / 四重極質量分析計 / 六ほう化ランタン / グロー放電 / プラズマシース / 水の排気 / LaB_6陰極 / 超高真空 / プラズマパラメータ / XPS測定 / QMS測定 / スパッタポンプ / 水排気 / 広圧力帯域 / LaB6陰極 隠す
  • 研究課題

    (2件)
  • 共同研究者

    (8人)
  •  反応性陰極スパッタ放電による酸素系ガス吸入イオンポンプへの応用研究

    • 研究代表者
      船戸 康幸
    • 研究期間 (年度)
      1999 – 2000
    • 研究種目
      基盤研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      鈴鹿工業高等専門学校
  •  広圧力帯域用スパッタイオンポンプの試作研究

    • 研究代表者
      船戸 康幸
    • 研究期間 (年度)
      1993 – 1995
    • 研究種目
      試験研究(B)
    • 研究分野
      表面界面物性
    • 研究機関
      鈴鹿工業高等専門学校
  • 1.  船戸 康幸 (10005358)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 2.  赤石 憲也 (90023720)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 3.  長嶋 孝好 (30237515)
    共同の研究課題数: 2件
    共同の研究成果数: 0件
  • 4.  久保田 雄輔 (50023726)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 5.  平野 武範 (80249804)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 6.  桑原 裕史 (30043326)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 7.  ITOH Akira (40259883)
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件
  • 8.  高木 望
    共同の研究課題数: 1件
    共同の研究成果数: 0件

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