井上尚三 Inoue Shozo

研究者番号	50193587
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所属 (現在)	2025年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 特任教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2019年度 – 2022年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 2016年度 – 2017年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 2015年度: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2012年度 – 2013年度: 兵庫県立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2008年度 – 2011年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 … もっと見る 2010年度: 兵庫県立大学, 大学院・工学研究科, 教授 2004年度: 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 2003年度: 姫路工業大学, 工学研究科, 教授 2002年度: 姫路工業大学, 工学研究科, 助教授 1998年度 – 2001年度: 姫路工業大学, 工学部, 助教授 1996年度 – 1997年度: 姫路工業大学, 工学部, 講師 1990年度 – 1993年度: 姫路工業大学, 工学部, 助手隠す
審査区分/研究分野	研究代表者機械材料・材料力学 / 機械材料・材料力学 / 小区分18010:材料力学および機械材料関連 / ナノ材料工学研究代表者以外機械材料・材料力学 / 機械材料工学
キーワード	研究代表者スパッタリング / 薄膜 / 多層薄膜 / TiC / ステンレス鋼 / SUS304ステンレス鋼 / 相変態 / SUS304鋼ステンレス / 自己伝播発熱反応 / multilayer films … もっと見る / magnetron sputtering / carbide films / 炭化物薄膜 / Zr基金属ガラス / コンビナトリアル / 金属ガラス / ダイヤフラム型デバイス / 通電加熱 / マイクロアクチュエータ / 形状記憶合金 / イオン照射 / 分光分析 / プロセス制御 / 反応性スパッタリング / 窒化チタン … もっと見る研究代表者以外窒化物薄膜 / Fe-Pd alloy / magnetron sputtering / スパッタリング / 薄膜 / 強磁性形状記憶合金 / composition / 高周波反応性スパッタリング / 窒化チタン / 高周波反応性スパッタリング法 / martensitic transformation / thin films / ferromagnetic shape memory alloy / マルテンサイト変態 / Fe-Pd合金 / martensite transformation / ferromagnetic shape memory / 組成制御 / plasma emission monitoring / hardness / nitride films / reactive sputtering / dual source sputtering / 分光分析 / プロセス制御 / 組成 / プラズマ発光分光 / 硬度 / 反応性スパッタリング / 二源スパッタリング / Anodic polarization curve / Pinhole defect / R.f.reactive sputtering / Titanium nitride film / 分極曲線 / ピンホール欠陥 / Auger Electron Spectroscopy / mass spectroscopy / optical emission spectra / functionally gradient films / rf reactive sputtering / X線回折 / Al-AlN系傾斜機能薄膜 / オージェ電子分光法 / 質量分析 / 発光分光 / 傾斜機能薄膜 / Alminum Nitride / Titanium Nitride / Oxidation Behavior / rf Reactive Sputtering / Nitride Films / グロ-放電発光分光分析 / 窒化アルミニウム / 酸化挙動隠す

相変態を利用した２次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜研究代表者
- 研究代表者
  
  井上尚三
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2022
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分18010:材料力学および機械材料関連
- 研究機関
  兵庫県立大学
発熱特性を制御できる金属-酸化物多層自己伝播発熱材料の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  井上尚三
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  ナノ材料工学
- 研究機関
  兵庫県立大学
ＭＥＭＳ構造材料への展開を目指したバルク金属ガラス薄膜の材料探索研究代表者
- 研究代表者
  
  井上尚三
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  兵庫県立大学
高速応答形状記憶合金マイクロアクチュエータ材料の開発とそのマイクロ加工技術の確立研究代表者
- 研究代表者
  
  井上尚三
- 研究期間 (年度)
  2008 – 2010
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  兵庫県立大学
強磁性形状記憶合金薄膜による磁場動作型マイクロアクチュエーターの開発
- 研究代表者
  
  小寺澤啓司
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  兵庫県立大学
   姫路工業大学
固体炭素源を用いた2源スパッタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長研究代表者
- 研究代表者
  
  井上尚三
- 研究期間 (年度)
  2001 – 2002
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  姫路工業大学
非平衡マグネトロンスパッタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製
- 研究代表者
  
  小寺澤啓司
- 研究期間 (年度)
  2000 – 2001
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  姫路工業大学
反応性スパッタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール
- 研究代表者
  
  小寺沢啓司 (小寺澤啓司)
- 研究期間 (年度)
  1998 – 1999
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  姫路工業大学
磁場印加反応性スパッタリング法による高品位硬質窒化物薄膜の高速成長研究代表者
- 研究代表者
  
  井上尚三
- 研究期間 (年度)
  1997 – 1998
- 研究種目
  
  奨励研究(A)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  姫路工業大学
TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価
- 研究代表者
  
  内田仁
- 研究期間 (年度)
  1996 – 1997
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料・材料力学
- 研究機関
  姫路工業大学
金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
- 研究代表者
  
  小寺澤啓司
- 研究期間 (年度)
  1992 – 1993
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料工学
- 研究機関
  姫路工業大学
超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
- 研究代表者
  
  小寺澤啓司
- 研究期間 (年度)
  1990 – 1991
- 研究種目
  
  一般研究(C)
- 研究分野
  
  機械材料工学
- 研究機関
  姫路工業大学

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すべて雑誌論文学会発表

[雑誌論文] Effect of Cu content on the shapememory behavior of Ti-Ni-Cu alloy thinfilms prepared by triple-source dcmagnetron sputtering, Thin Solid2010
- 著者名/発表者名
  K. Hori, T.Namazu, S.Inoue
- 雑誌名
  
  Films Vol.518
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[雑誌論文] Shape Memory Behavior of Ti-Ni-X (X=Pd,Cu) Ternary Alloy Thin Films Prepared by Triple-Source DC Magnetron Sputtering2010
- 著者名/発表者名
  S.Inoue
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum
  
  巻: 638-642 ページ: 2068-2073
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[雑誌論文] Shape Memory Behavior of Ti-Ni-X (X= Pd, Cu) Ternary Alloy Thin Films Prepared by Triple-Source DC Magnetron Sputtering2010
- 著者名/発表者名
  S.Inoue, K. Hori, N. Sawada, N. Nakamoto, T.Namazu
- 雑誌名
  
  Materials Science Forum Vol.638-642
  
  ページ: 2068-2073
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[雑誌論文] 非平衡スパッタリング法によるTi-Ni形状記憶合金薄膜の作製とその通電加熱に伴う形状記憶挙動2008
- 著者名/発表者名
  井上尚三
- 雑誌名
  
  Journal of the Vacuum Society of Japan 51巻
  
  ページ: 312-315
- NAID
  10021157442
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[雑誌論文] 非平衡スパッタリング法によるTi-Ni 形状記憶合金薄膜の作製とその通電加熱に伴う形状記憶挙動2008
- 著者名/発表者名
  井上尚三, 生津資大, 小寺澤啓司
- 雑誌名
  
  J.Vac.Soc.Jpn. Vol.51
  
  ページ: 312-315
- NAID
  10021157442
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[雑誌論文] Shape memory behavior of Fe-Pd alloy thin films prepared by dc magnetron sputtering2003
- 著者名/発表者名
  S.Inoue, K.Inoue, K.Koterazawa, K.Mizuuchi
- 雑誌名
  
  Mater.Sci.Eag.A 339
  
  ページ: 29-34
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350061
[雑誌論文] Fe-Pd Ferromagnetic Shape Meomory Alloy Thin Films Made by Dual Source DC Magnetron Sputtering2003
- 著者名/発表者名
  S.Inoue, K.Inoue, S.Fujita, K.Koterazawa
- 雑誌名
  
  Mater.Trans.JIM 44
  
  ページ: 298-304
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350061
[雑誌論文] Shape memory behavior of Fe-Pd alloy thin films prepared by dc magnetron sputtering2003
- 著者名/発表者名
  S.Inoue, K.Inoue, K.Koterazawa, K.Mizuuchi
- 雑誌名
  
  Mater.Sci.Eng.A 339
  
  ページ: 29-34
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350061
[雑誌論文] Deposition of Fe-Pd Ferromagnetic Shape Memory Alloy Thin Films by Sputtering and Their Shape Memory Behavior2003
- 著者名/発表者名
  S.Inoue, T.Namazu, S.Fujita, K.Koterazawa, K.Inoue
- 雑誌名
  
  Mater.Sci.Forum 426-432
  
  ページ: 2213-2218
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14350061
[学会発表] SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態2022
- 著者名/発表者名
  朝田昂大、大路利菜、井上尚三
- 学会等名
  2022年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04094
[学会発表] SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の塑性変形挙動2021
- 著者名/発表者名
  髙田大路、高瀬凌、井上尚三
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04094
[学会発表] Cu薄膜基板上でのSUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の結晶成長2021
- 著者名/発表者名
  朝田昂大、倉本慎一、井上尚三
- 学会等名
  2021年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04094
[学会発表] SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長相におよぼす不純物元素の影響2020
- 著者名/発表者名
  髙田大路、倉本慎一、井上尚三
- 学会等名
  2020年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04094
[学会発表] Effect of deposition condition on the crystal phase of 18-8 stainless steel films prepared by dc magnetron sputtering2019
- 著者名/発表者名
  S. Inoue, Y. Fujiwara, N. Zahira and N. Umada
- 学会等名
  The 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, ISSP2019
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19K04094
[学会発表] Ti-SiOx多層薄膜の自己伝播発熱反応におよぼす酸素濃度の影響2017
- 著者名/発表者名
  水谷光克, 井上敬太, 吉木啓介, 生津資大, 井上尚三
- 学会等名
  2017年度精密工学会秋季大会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04626
[学会発表] Self-propagating exothermic reaction behavior of Ti/SiOx multilayer films2017
- 著者名/発表者名
  S. Inoue, M. Mizutani, K. Inoue, K. Yoshiki and T. Namazu
- 学会等名
  The 14th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, ISSP2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04626
[学会発表] 多源スパッタ法により作製したTi-SiOx多層薄膜の自己伝播発熱反応挙動2016
- 著者名/発表者名
  井上尚三，井上敬太，金築俊介，三宅修吾，生津資大
- 学会等名
  2016年度精密工学会秋季大会学術講演会
- 発表場所
  茨城大学水戸キャンパス（茨城県）
- 年月日
  2016-09-06
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04626
[学会発表] Ti/SiOおよびTi/Siスパッタ多層膜の発熱性能比較2015
- 著者名/発表者名
  井上敬太，金築俊介，三宅修吾，井上尚三，生津資大
- 学会等名
  日本機械学会2015年度年次大会
- 発表場所
  北海道大学札幌キャンパス（北海道札幌市）
- 年月日
  2015-09-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04626
[学会発表] Self-propagating exothermic reaction behavior of Ti/Si multilayer films2015
- 著者名/発表者名
  S. Inoue, S. Minamibata, K. Yoshiki and T. Namazu
- 学会等名
  The 13th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes, ISSP2015
- 発表場所
  京都リサーチパーク（京都府京都市）
- 年月日
  2015-07-08
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K04626
[学会発表] ZrNiAl系金属ガラス薄膜の機械的性質の評価2013
- 著者名/発表者名
  清水実結,船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2013年度春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学
- 年月日
  2013-03-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560095
[学会発表] 合金ターゲットのスパッタリングによって作製したZrCuNiAl金属ガラス薄膜の機械的性質の評価2013
- 著者名/発表者名
  船越政伸,西祐一,吉木啓介,生津資大,井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2013年度秋季学術講演会
- 発表場所
  関西大学
- 年月日
  2013-09-12
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560095
[学会発表] 合金ターゲットを用いたスパッタ法によるZrCuNiAl金属ガラス薄膜の作製2012
- 著者名/発表者名
  船越政伸,吉木啓介,生津資大,井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2012年度秋季学術講演会
- 発表場所
  九州工業大学
- 年月日
  2012-09-14
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560095
[学会発表] Ti-Ni-Cu 合金薄膜をアクチュエータとして用いたマイクロデバイスの作製とその動作評価2011
- 著者名/発表者名
  森野勝, 工藤史明, 陣内耕太, 吉木啓介, 生津資大, 井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2011年度春季学術講演会
- 発表場所
  東洋大学(ただし、東日本大震災のため中止)
- 年月日
  2011-03-16
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[学会発表] Effect of Substrate Temperature on the Shape Memory Behavior of Ti-Ni-Cu Ternary Alloy Sputtered Films2011
- 著者名/発表者名
  井上尚三, 森野勝, 吉木啓介, 生津資大
- 学会等名
  Thermec '2011
- 発表場所
  Quebec, Canada(Invited)(Accepted)
- 年月日
  2011-08-04
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[学会発表] コンビナトリアルスパッタリング法によるZrNiAl金属ガラス薄膜の組成探索2011
- 著者名/発表者名
  清水実結,吉木啓介,生津資大,井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2011年度秋季学術講演会
- 発表場所
  金沢大学
- 年月日
  2011-09-21
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23560095
[学会発表] Ti-Ni-Cu スパッタ薄膜の結晶性と形状記憶挙動におよぼす成膜時の基板温度の影響2010
- 著者名/発表者名
  森野勝也, 吉木啓介, 生津資大, 井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2010 年度秋季学術講演会
- 発表場所
  名古屋大学
- 年月日
  2010-09-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[学会発表] Shape Memory Behavior of Ti-Ni-X(X=Pd, Cu)Ternary Alloy Thin Films Prepared by Triple-Source dc Magnetron Sputtering2009
- 著者名/発表者名
  S.Inoue(invited)
- 学会等名
  Thermec '2009
- 発表場所
  Maritim Hotel, Berlin
- 年月日
  2009-08-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[学会発表] Ti-Ni 系形状記憶合金薄膜の抵抗加熱によるアクチュエータ特性の評価2009
- 著者名/発表者名
  中本直希, 澤田直樹, 堀晃輔, 生津資大,井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2009年度春季学術講演会
- 発表場所
  中央大学
- 年月日
  2009-03-11
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083
[学会発表] Ti-Ni-Cu合金スパッタ薄膜の形状記憶特性に及ぼすCu 組成の影響2008
- 著者名/発表者名
  堀晃輔, 生津資大, 井上尚三
- 学会等名
  精密工学会2008年度秋季学術講演会
- 発表場所
  東北大学
- 年月日
  2008-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20560083

1. 小寺澤啓司 (50047594)

共同の研究課題数: 7件

共同の研究成果数: 4件
2. 内田仁 (30047633)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 0件
3. 生津資大 (90347526)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 13件

井上 尚三 Inoue Shozo

研究課題

研究成果

共同研究者

相変態を利用した２次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

発熱特性を制御できる金属-酸化物多層自己伝播発熱材料の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ＭＥＭＳ構造材料への展開を目指したバルク金属ガラス薄膜の材料探索研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

高速応答形状記憶合金マイクロアクチュエータ材料の開発とそのマイクロ加工技術の確立研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

強磁性形状記憶合金薄膜による磁場動作型マイクロアクチュエーターの開発

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

固体炭素源を用いた2源スパッタリング法による硬質炭化物薄膜の高速成長研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

非平衡マグネトロンスパッタリング法による強磁性形状記憶合金薄膜の作製

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

反応性スパッタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

磁場印加反応性スパッタリング法による高品位硬質窒化物薄膜の高速成長研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

[雑誌論文] Effect of Cu content on the shapememory behavior of Ti-Ni-Cu alloy thinfilms prepared by triple-source dcmagnetron sputtering, Thin Solid2010

著者名/発表者名

雑誌名

データソース

井上尚三 Inoue Shozo