平井義彦 HIRAI YOSHIHIKO

研究者番号	50285300
外部サイト
所属 (現在)	2025年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科 , 客員教授
所属 (過去の研究課題情報に基づく) *注記	2022年度 – 2023年度: 大阪公立大学, 大学院工学研究科, 客員研究員 2019年度 – 2021年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 2017年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 2013年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 2011年度 – 2013年度: 大阪府立大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 … もっと見る 2008年度: 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 教授 2005年度 – 2008年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 教授 2004年度: 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 教授 2003年度: 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 助教授 2002年度 – 2003年度: 大阪府立大学, 工学研究科, 助教授 1998年度: 大阪府立大学, 工学部, 助教授隠す
審査区分/研究分野	研究代表者機械力学・制御研究代表者以外電子デバイス・電子機器 / 小区分28050:ナノマイクロシステム関連 / 小区分28010:ナノ構造化学関連 / マイクロ・ナノデバイス / 電子・電気材料工学 / 原子力学
キーワード	研究代表者 atomic force microscopy / living material / cell / visco-eleastic / 表面粘性 / 表面剛性 / フォースモジュレーション法 / カンチレバー / AFM / 生体 … もっと見る / 細胞 / 粘弾性 / リソグラフィ / 量子ドット / インプリンティング … もっと見る研究代表者以外分子動力学法 / 分子動力学 / カーボンナノチューブ / 照射効果 / モンテカルロ法 / carbon nanotube / 電子顕微鏡 / MEMS / 三次元 / 最適化 / デザインルール / シードパターン / 3次元リソグラフィ / ３次元構造 / フォトマスク / 位相振幅 / ３次元リソグラフィ / 一括露光 / ３次元結像 / ビルトインレンズマスク / 三次元結像 / 複素透過率 / マスク / 複素振幅 / 波面 / 3次元加工 / フォトリソグラフィ / 荷電粒子ビーム / 計算物理 / ナノプロセス / 荷電粒子 / 分子シミュレーション / 電子線照射 / イオン照射 / 加工プロセス / 表面物理 / 二次元材料 / 半導体リソグラフィ / マルチスケール解析 / 確率論的シミュレーション / レジスト分子 / スケール境界領域 / マルチスケールシミュレーション / ナノインプリント / 極端紫外線リソグラフィ / 電子線リソグラフィ / パターン形成 / electron irradiation damage / electron irradiation effect / Monte Carlo method / molecular dynamics / nanocarbon / electron beam fabrication / 照射損傷 / 電子ビーム / 電子線照射損傷 / 電子線照射効果 / ナノカーボン / 電子ビーム加工 / sliding / Transmission electron microscope / manipulator / motor / Carbon nanotube / モータ / 滑り / 透過電子顕微鏡 / マニピュレータ / NEMS / モーター / junction formation / plastic deformation / sublimation / molecular dynamics calculation / current induced process / electron microscope / manipulation / 分光 / ピンセット / 蒸発 / 過剰通電 / 接合 / 塑性変形 / 昇華 / 分子動力学計算 / 通電加工 / マニピュレーション / 効率 / ナノモールディング / 放射線 / 結晶化 / ナノ構造 / 測定 / X線 / 有機半導体 / 原子力計測・放射線物理 / 離型 / リソグラフィレス / 移植法 / 微小質量計測 / 薄膜カンチレバー / 微細プロセス技術隠す

三次元フォトリソグラフィ
- 研究代表者
  
  笹子勝
- 研究期間 (年度)
  2020 – 2023
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分28050:ナノマイクロシステム関連
- 研究機関
  大阪公立大学
   大阪府立大学
化学反応場における二次元材料を対象とした荷電粒子プロセスシミュレータの開発
- 研究代表者
  
  多田和広
- 研究期間 (年度)
  2019 – 2021
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 審査区分
  
  小区分28010:ナノ構造化学関連
- 研究機関
  富山高等専門学校
スケール境界領域におけるパターン形成技術に関する理論的研究
- 研究代表者
  
  安田雅昭
- 研究期間 (年度)
  2015 – 2017
- 研究種目
  
  挑戦的萌芽研究
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪府立大学
素子のナノ構造化・単結晶化による新型有機半導体放射線検出器の開発
- 研究代表者
  
  高田英治
- 研究期間 (年度)
  2011 – 2013
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  原子力学
- 研究機関
  富山高等専門学校
ディスポーザブルなマイクロマシン作製プロセス開発
- 研究代表者
  
  川田博昭
- 研究期間 (年度)
  2007 – 2008
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪府立大学
電子ビームプロセシングにおける材料のナノダイナミクス
- 研究代表者
  
  安田雅昭
- 研究期間 (年度)
  2006 – 2007
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  電子デバイス・電子機器
- 研究機関
  大阪府立大学
ナノチューブを用いたkTモーターに関する研究
- 研究代表者
  
  中山喜萬
- 研究期間 (年度)
  2005 – 2006
- 研究種目
  
  基盤研究(B)
- 研究分野
  
  マイクロ・ナノデバイス
- 研究機関
  大阪大学
   大阪府立大学
カーボンナノチューブエンジニアリングの基礎と電子デバイス構築
- 研究代表者
  
  中山喜萬
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2004
- 研究種目
  
  基盤研究(A)
- 研究分野
  
  電子・電気材料工学
- 研究機関
  大阪府立大学
生きた動物細胞の粘弾性分布の走査型プローブ顕微鏡による定量的評価法の開発研究代表者
- 研究代表者
  
  平井義彦
- 研究期間 (年度)
  2002 – 2003
- 研究種目
  
  基盤研究(C)
- 研究分野
  
  機械力学・制御
- 研究機関
  大阪府立大学
ナノ・インプリンティングによる量子ドット形成に関する研究研究代表者
- 研究代表者
  
  平井義彦
- 研究期間 (年度)
  1998
- 研究種目
  
  特定領域研究(A)
- 研究機関
  大阪府立大学

[雑誌論文] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023
- 著者名/発表者名
  Hirai Yoshihiko、Osumi Tomoaki、Tanaka Toshiaki、Yasuda Masaaki、Sasago Masaru
- 雑誌名
  
  Proceedings of SPIE Advanced Lithography + Patterning
  
  巻: 12497 ページ: 1-7
- DOI
  10.1117/12.2658128
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[雑誌論文] Automatic design of the build-in lens mask for three-dimensional photo lithography2021
- 著者名/発表者名
  Osumi Tomoaki、Sasago Masaru、Yasuda Masaaki、Hirai Yoshihiko
- 雑誌名
  
  Proceedings Volume 11908, Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology
  
  巻: 11908 ページ: 1-5
- DOI
  10.1117/12.2598156
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[雑誌論文] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021
- 著者名/発表者名
  Osumi Tomoaki、Misaka Akio、Sato Kousuke、Yasuda Masaaki、Sasago Masaru、Hirai Yoshihiko
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 34 号: 2 ページ: 123-126
- DOI
  10.2494/photopolymer.34.123
- NAID
  130008119664
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 年月日
  2021-06-11
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[雑誌論文] Stochastic Simulation of the UV Curing Process in Nanoimprint Lithography: Pattern Size and Shape Effects in Sub-50 nm Lithography2017
- 著者名/発表者名
  M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: 35 号: 6
- DOI
  10.1116/1.4997295
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[雑誌論文] Computational Study on UV Curing Characteristics in Nanoimprint Lithography: Stochastic Simulation2017
- 著者名/発表者名
  M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics
  
  巻: 56 号: 6S1 ページ: 06GL03-06GL03
- DOI
  10.7567/jjap.56.06gl03
- NAID
  210000147920
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[雑誌論文] Multiscale Simulation of the Development Process in Electron Beam Lithography2017
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, S. Hitomi, H. Kawata and Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 30 号: 2 ページ: 205-209
- DOI
  10.2494/photopolymer.30.205
- NAID
  130005950259
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 言語
  英語
- 査読あり / オープンアクセス
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[雑誌論文] Multiscale simulation of resist pattern shrinkage during scanning electron microscope observations2015
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, Y. Furukawa, H. Kawata and Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Journal of Vacuum Science and Technology B
  
  巻: 33 号: 6
- DOI
  10.1116/1.4935956
- 査読あり / 謝辞記載あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978, KAKENHI-PROJECT-25249052
[雑誌論文] Ordered P3HT/PCBM Heterostructured Organic Photodiode for Radiation Detection using Direct Nanoimprint Lithography2013
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Fujii, K. Uemura, K. Tomohiro and Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Journal of Photopolymer Science and Technology
  
  巻: 26 号: 1 ページ: 79-82
- DOI
  10.2494/photopolymer.26.79
- NAID
  130004464995
- ISSN
  0914-9244, 1349-6336
- 言語
  英語
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography2009
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics (掲載確定) 48(印刷中)
- NAID
  210000066988
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Fabrication of Cantilevers by Two-Step Transfer Process without Lithography2009
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.48(掲載決定)
- NAID
  210000066988
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics 47
  
  ページ: 5248-5251
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Cantilever Fabrication by Force-Free Release Transfer2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda, Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Japanese Journal of Applied Physics vol.47
  
  ページ: 5248-5251
- 査読あり
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[雑誌論文] Molecular dynamics study of electron-irradiation effects in single-walled carbon nanotubes2007
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, Y. Kimoto, K. Tada, H. Mori, S. Akita, Y. Nakayama, and Y. Hirai
- 雑誌名
  
  Phys. Rev. B 75
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310084
[雑誌論文] 分子動力学法による単層カーボンナノチューブの電子線照射損傷の解析2006
- 著者名/発表者名
  安田雅昭, 多田和広, 木元慶久, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第53回応用物理学会関係連合講演会予稿集(東京) 2
  
  ページ: 755-755
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-17310084
[雑誌論文] Molecular Dynamics Study on Double-walled Carbon Nanotube (DWNT) for Nano Mechanical Manipulation2005
- 著者名/発表者名
  Y.Kimoto, H.Mori, T.Mikami, S.Akita, Y.Nakayama, K.Higashi, Y.Hirai
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 44
  
  ページ: 1641-1647
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Molecular Dynamics Study on Double-walled Carbon Nanotube (DWNT) for Nano Mechanical Manipulation2005
- 著者名/発表者名
  Y.Kimoto, H.Mori, T.Mikami, S.Akita, Y.Nakayama, K.Higashi, Y.Hirai
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 44[4A]
  
  ページ: 1641-1647
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Chiral Dependence of Large Deformation in Carbon Nanotubes2005
- 著者名/発表者名
  H.Mori, Y.Hirai, S.Akita, Y.Nakayama
- 雑誌名
  
  The 6th International Conference on the Science and Application of Nanotubes (Goteborg, July 2005) (発表予定)
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Molecular Dynamics Study on Carbon Nano-Bearing2004
- 著者名/発表者名
  Y.Kimoto, K.Okada, H.Mori, S.Akita, Y.Nakayama, K.Higashi, Y.Hirai
- 雑誌名
  
  Proc.of 2004 Int.Microprocesses and Nanotechnology Conf.
  
  ページ: 186-187
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Molecular Dynamics Study on Carbon Nano-Bearing2004
- 著者名/発表者名
  Y.Kimoto, K.Okada, H.Mori, S.Akita, Y.Nakayama, K.Higashi, Y.Hirai
- 雑誌名
  
  Proc.of 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (Osaka)
  
  ページ: 186-187
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Tensile Testing Simulation of Single-Walled Nanotubes2004
- 著者名/発表者名
  H.Mori, S.Ogawa, Y.Hirai, S.Akita, Y.Nakayama
- 雑誌名
  
  Proc.of 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (Osaka)
  
  ページ: 188-189
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 二層障壁カーボンナノチューブによるナノベアリングの分子動力学解析2004
- 著者名/発表者名
  木元慶久, 森英喜, 岡田佳, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第51回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2
  
  ページ: 1042-1042
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 二層障壁カーボンナノチューブによるナノベアリングの分子動力学解析2004
- 著者名/発表者名
  木元慶久, 森英喜, 岡田佳, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第51回応用物理学関係連合講演会予稿集 2
  
  ページ: 1042-1042
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 多層カーボンナノチューブによる回転-直線運動変換機構の分子動力学解析2004
- 著者名/発表者名
  岡田佳, 木元慶久, 多田和広, 安田雅昭, 森英喜, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第65回応用物理学会学術講演会予稿集 2
  
  ページ: 849-849
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] カーボンナノチューブの引っ張り解析2004
- 著者名/発表者名
  森英喜, 緒方成信, 平井義彦, 秋田成司, 中山喜萬
- 雑誌名
  
  第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 2
  
  ページ: 848-848
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 多層カーボンナノチューブによる回転-直線運動変換機構の分子動力学解析2004
- 著者名/発表者名
  岡田佳, 木元慶久, 多田和広, 安田雅昭, 森英喜, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第65回応用物理学会学術講演会講演予稿集 2
  
  ページ: 849-849
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] カーボンナノチューブの引っ張り解析2004
- 著者名/発表者名
  森英喜, 緒方成信, 平井義彦, 秋田成司, 中山喜萬
- 雑誌名
  
  第65回応用物理学会学術講演会予稿集 2
  
  ページ: 848-848
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Tensile Testing Simulation of Single-Walled Nanotubes2004
- 著者名/発表者名
  K.Mori, S.Ogawa, Y.Hirai, S.Akita, Y.Nakayama
- 雑誌名
  
  Proc.of 2004 Int.Microprocesses and Nanotechnology Conf.
  
  ページ: 188-189
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Molecular Dynamics Studies on Mechanical Properties of Carbon Nano Tubes with Pinhole Defects2003
- 著者名/発表者名
  Y.Hirai, S.Nishimaki, H.Mori, Y.Kimoto, S.Akita, Y.Nakayama, Y.Tanaka
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 42[6B]
  
  ページ: 4120-4123
- NAID
  10011257950
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 欠陥のあるカーボンナノチューブの分子動力学法による強度計算2003
- 著者名/発表者名
  平井義彦, 森英喜, 西牧悟, 木元慶久, 中山喜萬, 秋田成司, 田中芳雄
- 雑誌名
  
  第50回応用物理学関係連合関連会講演予稿集 3
  
  ページ: 1579-1579
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 分子動力学法によるカーボンナノチューブのアニールによる構造変化の解析2003
- 著者名/発表者名
  森英喜, 木元慶久, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集 2
  
  ページ: 861-861
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] 分子動力学法による二重障壁カーボンナノチューブの引き抜き特性の解析2003
- 著者名/発表者名
  木元慶久, 森英喜, 岡田佳, 成瀬直行, 秋田成司, 中山喜萬, 平井義彦
- 雑誌名
  
  第64回応用物理学会学術講演会講演予稿集 2
  
  ページ: 861-861
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Molecular Dynamics Studies on Mechanical Properties of Carbon Nano Tubes with Pinhole Defects2003
- 著者名/発表者名
  Y.Hirai, S.Nishimaki, H.Mori, Y.Kimoto, S.Akita, Y.Nakayama, Y.Tanaka
- 雑誌名
  
  Jpn.J.Appl.Phys. 42
  
  ページ: 4120-4123
- NAID
  10011257950
- 説明
  「研究成果報告書概要(和文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[雑誌論文] Chiral Dependence of Large Deformation in Carbon Nanotubes
- 著者名/発表者名
  H.Mori, Y.Hirai, S.Akita, Y.Nakayama
- 雑誌名
  
  The 6th International Conference on the Science and Application of Nanotubes (Goteborg, July 2005) (to be presented)
- 説明
  「研究成果報告書概要(欧文)」より
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-14205048
[学会発表] ビルトインレンズマスクを用いた三次元フォトリソグラフィによるパターン形成2024
- 著者名/発表者名
  田中敏章, 安田雅昭，笹子勝, 平井義彦
- 学会等名
  第71回応用物理学会春季学術講演会(3月,2024,東京)
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Novel 3-dimensional photo lithography using modulated complex index mask2024
- 著者名/発表者名
  Yoshihiko Hirai
- 学会等名
  International workshop on micro-systems and matrials (March, 2024, XI'an)
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023
- 著者名/発表者名
  Hirai Yoshihiko、Osumi Tomoaki、Tanaka Toshiaki、Yasuda Masaaki、Sasago Masaru
- 学会等名
  SPIE Advanced Lithography + Patterning
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Optimization of the Built-in Lens Mask for Three-Dimensional Photo Lithography2021
- 著者名/発表者名
  T. Osumi, M. Sasago, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  The 64th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2021),
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021
- 著者名/発表者名
  T. Osumi, A. Misaka, K. Sato, M. Yasuda, M. Sasago, Y. Hirai,
- 学会等名
  The 38th International Conference of Photopolymer Science and Technology (ICPST-38)
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ2021
- 著者名/発表者名
  大住　知暉, 安田　雅昭，笹子　勝, 平井義彦
- 学会等名
  応用物理学会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] ビルトインレンズマスクによる三次元フォトリソグラフィ(マスクパターンの最適化検討)2021
- 著者名/発表者名
  大住知暉、安田雅昭、笹子勝、平井義彦、
- 学会等名
  68回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] Automatic Design of the Built-in Lens Mask for ThreeDimensional Photo Lithography2021
- 著者名/発表者名
  T. Osumi, M. Sasago, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  Photomask Japan 2021: XXVII Symposium on Photomask and Next-Generation Lithography Mask Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-20K05289
[学会発表] 電子線リソグラフィにおけるパターン形成の確率論的シミュレーション2018
- 著者名/発表者名
  香山真範、白井正充、川田博昭、平井義彦、安田雅昭
- 学会等名
  第65回応用物理学会春季学術講演会
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Multiscale Simulation of Development Process in Electron Beam Lithography2017
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, S. Hitomi, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  34th International Conference of Photopolymer Science and Technology
- 招待講演 / 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Stochastic simulation of UV-curing process in nanoimprint lithography: Pattern size and shape effects in sub-50 nm2017
- 著者名/発表者名
  M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 学会等名
  61st Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Computational study of pattern formation in electron beam lithography for negative type resists2017
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  43rd Int. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2017
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Impact of Mold Cavity Size on Resist Pattern Shape in Nanoimprint Lithography: Molecular Dynamics Study2017
- 著者名/発表者名
  R. Sakata, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 学会等名
  16th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] ナノインプリントにおけるレジスト分子挙動の理論解析2017
- 著者名/発表者名
  安田雅昭，平井義彦
- 学会等名
  第64回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  パシフィコ横浜（神奈川県横浜市）
- 年月日
  2017-03-15
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] UVナノインプリントにおけるレジスト硬化の確率論的シミュレーション2017
- 著者名/発表者名
  安田雅昭、香山真範、白井正充、川田博昭、平井義彦
- 学会等名
  次世代リソグラフィワークショップ 2017
- 招待講演
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] EUVリソグラフィの分子シミュレーション2016
- 著者名/発表者名
  岩井瑛規，川田博昭，平井義彦, 安田雅昭
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-20
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Multiscale Simulation of Pattern Formation in Electron Beam Lithography2016
- 著者名/発表者名
  S. Hitomi, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 学会等名
  23rd Symposium on Photomask and NGL Mask Technology
- 発表場所
  Pachifico Yokohama, Yokohama, Japan
- 年月日
  2016-04-07
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Molecular Dynamics Study of Pattern Formation in Extreme Ultraviolet Lithography2016
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, A. Iwai, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  42nd Int. Conf. on Micro- and Nano-Engineering
- 発表場所
  Reed Messe Wien, Wien, Austria
- 年月日
  2016-09-20
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Early Stages of Development Process in Electron-Exposed Resists: A Molecular Dynamics Study2016
- 著者名/発表者名
  S. Hitomi, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 学会等名
  2016 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.
- 発表場所
  ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto, Japan
- 年月日
  2016-11-10
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] SEM観察における有機高分子レジスト収縮の理論解析2016
- 著者名/発表者名
  香山真範, 古川雄基，川田博昭，平井義彦, 安田雅昭
- 学会等名
  第63回応用物理学会春季学術講演会
- 発表場所
  東京工業大学（東京都目黒区）
- 年月日
  2016-03-19
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] 電子線リソグラフィにおけるパターン形成のマルチスケール解析2016
- 著者名/発表者名
  人見洋，川田博昭，平井義彦, 安田雅昭
- 学会等名
  マルチスケール材料力学シンポジウム
- 発表場所
  富山大学（富山県富山市）
- 年月日
  2016-05-27
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Molecular Dynamics Study of Pattern Edge Structures in Extreme Ultraviolet Lithography2016
- 著者名/発表者名
  A. Iwai, H. Kawata, Y. Hirai and M. Yasuda
- 学会等名
  2016 Int. Symp. on Extreme Ultraviolet Lithography
- 発表場所
  International Conference Center Hiroshima, Hiroshima, Japan
- 年月日
  2016-10-24
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Molecular Dynamics Study of Line Edge Roughness in Nanoimprint Lithography2015
- 著者名/発表者名
  N. Iwata, M. Yasuda, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology
- 発表場所
  Silverado Resort and Spa, Napa, USA
- 年月日
  2015-10-23
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Molecular Dynamics Study on Line Width Roughness and Critical Dimensional Error in Nanoimprint Lithography2015
- 著者名/発表者名
  N. Iwata, M. Yasuda, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  2015 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.
- 発表場所
  Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
- 年月日
  2015-11-12
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Computational study on template release process for peeling (rotating) release method2015
- 著者名/発表者名
  T. Tochino, T. Iida, M. Yasuda, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  41st Int. Conf. on Micro- and Nano-Engineering 2015
- 発表場所
  World Forum, Hague, Netherlands
- 年月日
  2015-09-22
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Computational Study of Pattern Formation in Extreme Ultra Violet Lithography2015
- 著者名/発表者名
  M. Yasuda, A. Iwai, S. Hitomi, H. Kawata and Y. Hirai
- 学会等名
  2015 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.
- 発表場所
  Toyama International Conference Center, Toyama, Japan
- 年月日
  2015-11-13
- 国際共著/国際学会である
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-15K13978
[学会発表] Heterostructured Organic Photodiode for radiation detection with Nanoimprinted Structure2013
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Uemura, K. Fujii, H. Noma, H. Kawata, Y. Hirai
- 学会等名
  1th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Technology
- 発表場所
  Hotel Fira Palace （Barcelona）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[学会発表] Sensitivity improvement of heterostructured organic photodiode for radiation detection using nanoimprint lithography2013
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Uemura, K. Fujii, H. Noma, H. Kawata, Y. Hirai
- 学会等名
  2013 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.
- 発表場所
  ロイトン札幌（札幌）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[学会発表] Nanoimprinted organic photodiode for radiation detection2013
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Tomohiro, K. Fujii, Y. Masuyama and Y. Hirai
- 学会等名
  Int. Conf. on Materials for Advanced Technologies 2013
- 発表場所
  Suntec Singapore International Convention & Exhibition Centre （Singapore）
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[学会発表] Heterostructured Organic Photodiode for radiation detection with Nanoimprinted Structure2013
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Uemura, K. Fujii, H. Noma, H. Kawata, Y. Hirai
- 学会等名
  Digest of Papers of 11th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Technology
- 発表場所
  Barcelona, Spain
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[学会発表] Sensitivity improvement of heterostructured organic photodiode for radiation detection using nanoimprint lithography2013
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Uemura, K. Fujii, H. Noma, H. Kawata, Y. Hirai
- 学会等名
  Digest of Papers of 2013 Int. Microprocesses and Nanotechnology
- 発表場所
  Hokkaido, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[学会発表] Novel Organic Radiation Detector with Nanoimprinted Structure2012
- 著者名/発表者名
  K. Tada, E. Takada, K. Tomohiro, K. Fujii, Y. Masuyama and Y. Hirai
- 学会等名
  Digest of Papers of 2012 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf
- 発表場所
  Kobe, Japan
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-23561017
[学会発表] Cantilever fabrication by use of two step transfer printing process2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Kubo, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  34th International Conference on Micro and Nano Engineering (NME2008)
- 発表場所
  アテネ, ギリシャ
- 年月日
  2008-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発2008
- 著者名/発表者名
  流郷謙一, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-06-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Fabrication of cantilevers by two step transfer process without Lithography2008
- 著者名/発表者名
  K. Ryugou, S. Kubo, H. Kawata, M. Yasuda and Y. Hirai
- 学会等名
  2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. (MNC2008)
- 発表場所
  Fukuoka(Japan)
- 年月日
  2008-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Fabrication of cantilevers by two step transfer process without lithography2008
- 著者名/発表者名
  K. Ryugou, S. Kubo, H. Kawata, M. Yasuda, Y. Hirai
- 学会等名
  2008 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf, (MNC2008)
- 発表場所
  福岡
- 年月日
  2008-10-28
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Cantilever fabrication by use of two step transfer printing process2008
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Kubo, M. Yasuda and Y. Hirai
- 学会等名
  34th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE2008)
- 発表場所
  Athens (Greece)
- 年月日
  2008-09-17
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 2段階移植法によるリソグラフィレスでのカンチレバー作製2008
- 著者名/発表者名
  川田博昭, 流郷謙一, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  第69回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  春日井
- 年月日
  2008-09-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 移植法によるリソグラフイレスマイクロマシン作製プロセスの開発2008
- 著者名/発表者名
  流郷謙一, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
- 発表場所
  仙台
- 年月日
  2008-06-13
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス2007
- 著者名/発表者名
  川田博昭, 新甫純也, 安田雅昭, 平井義彦
- 学会等名
  センサー・マイクロマシン準部門総合研究会
- 発表場所
  筑波
- 年月日
  2007-07-02
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] 離型力を要しない移植法によるカンチレバー作製2007
- 著者名/発表者名
  川田博昭、安田雅昭、平井義彦
- 学会等名
  第68回応用物理学会学術講演会
- 発表場所
  札幌
- 年月日
  2007-09-05
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349
[学会発表] Cantilever Fabrication by Force Free Release Transfer Prooess2007
- 著者名/発表者名
  H. Kawata, K. Ryugou, S. Ohta, M. Yasuda and Y. Hirai
- 学会等名
  2007 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf.(NMC2007)
- 発表場所
  京都
- 年月日
  2007-11-08
- データソース
  KAKENHI-PROJECT-19560349

1. 川田博昭 (90186099)

共同の研究課題数: 3件

共同の研究成果数: 14件
2. 多田和弘 (90579731)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 6件
3. 田中芳雄 (60081246)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
4. 中山喜萬 (20128771)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 0件
5. 秋田成司 (60202529)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 21件
6. 安田雅昭 (30264807)

共同の研究課題数: 2件

共同の研究成果数: 21件
7. 高田英治 (00270885)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 6件
8. 浅井圭介 (60231859)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
9. 潘路軍 (50326279)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
10. 菊田久雄 (10214743)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
11. 芳賀永 (00292045)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
12. 川端和重 (20261274)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
13. 笹子勝 (40727145)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 9件
14. 村田顕二 (30029079)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
15. 小寺正敏 (40170279)

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
16. 村田一夫

共同の研究課題数: 1件

共同の研究成果数: 0件
17. 中山喜万

共同の研究課題数: 0件

共同の研究成果数: 21件

平井 義彦 HIRAI YOSHIHIKO

研究課題

研究成果

共同研究者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

審査区分

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

生きた動物細胞の粘弾性分布の走査型プローブ顕微鏡による定量的評価法の開発研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究分野

研究機関

ナノ・インプリンティングによる量子ドット形成に関する研究研究代表者

研究代表者

研究期間 (年度)

研究種目

研究機関

[雑誌論文] Computational study of 3-dimensional photo lithography on limitations and possibility for novel structures2023

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Automatic design of the build-in lens mask for three-dimensional photo lithography2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask2021

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

NAID

ISSN

年月日

言語

データソース

[雑誌論文] Stochastic Simulation of the UV Curing Process in Nanoimprint Lithography: Pattern Size and Shape Effects in Sub-50 nm Lithography2017

著者名/発表者名

雑誌名

DOI

データソース

[雑誌論文] Computational Study on UV Curing Characteristics in Nanoimprint Lithography: Stochastic Simulation2017

平井義彦 HIRAI YOSHIHIKO