秦 誠一  Hata Seiichi

Japanese Journal of Applied Physics

巻: - 号: SD ページ: SD1027-SD1027

10.35848/1347-4065/ac5d12

Japanese Journal of Applied Physics

巻: - 号: 6 ページ: 065507-065507

10.35848/1347-4065/ac6a97

Journal of Medical Devices

巻: 15 号: 3 ページ: 31011-31011

10.1115/1.4051516

Japanese Journal of Applied Physics

巻: 60 号: SC ページ: SCCB01-SCCB01

10.35848/1347-4065/abe683

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

巻: 141 号: 9 ページ: 304-309

10.1541/ieejsmas.141.304

130008082227

Precision Engineering

巻: 62 ページ: 106-112

10.1016/j.precisioneng.2019.11.006

Journal of Microelectromechanical Systems

巻: 28 号: 2 ページ: 279-289

10.1109/jmems.2019.2895164

電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）

巻: 137 号: 1 ページ: 15-22

10.1541/ieejsmas.137.15

130005188436

International Journal of Automation Technology

巻: 9 号: 6 ページ: 646-654

10.20965/ijat.2015.p0646

130007673922

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering

巻: Vol.8,No2 号: 2 ページ: 199-205

10.1002/tee.21840

Materials Science and Engineering : A

巻: Vol.541 ページ: 8-13

10.1016/j.msea.2012.01.075

IEICE Electronics Express

巻: 9 号: 5 ページ: 403-409

10.1587/elex.9.403

130001922362

Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｓｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｊａｐａｎ

巻: 54 号: 11 ページ: 559-564

10.3131/jvsj2.54.559

130002116999

Japanese Journal of Applied Physics

巻: vol.50 号: 6R ページ: 066601-066601

10.1143/jjap.50.066601

210000070642

Applied Physics Express

巻: 50 号: 5R ページ: 055601-055601

10.1143/jjap.50.055601

40018812643

Precision Engineering

巻: vol.35No.4 号: 4 ページ: 537-546

10.1016/j.precisioneng.2011.05.004

Applied Physics Express

巻: 3 号: 12 ページ: 125601-125601

10.1143/apex.3.125601

10027618627

Applied Physics Express

巻: 3 ページ: 1256011-3

10027618627

Applied Physics Express 3

ページ: 125601-125601

Materials Science Forum

巻: 654-656 ページ: 2426-2429

Journal Solid Mechanics and Materials Engineering 4

ページ: 1742-1753

130000421002

Journal Solid Mechanics and Materials Engineering

巻: 4 ページ: 1742-1753

130000421002

Key Eng.Mater.

巻: 447-448 ページ: 661-665

Materials Science Forum

巻: 654-656 ページ: 1066-1069

Jpn.J.Appl.Phys.

巻: 49 ページ: 0766011-7

Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 3

ページ: 1022-1032

130000127309

Applied Physics Express 2(in press)

10025085461

Precision Engineering (Available online)

Applied Physics Express 2

ページ: 36501-36501

10025085461

材料 58

ページ: 821-826

130000133210

機械の研究 61

ページ: 331-335

40016483276

Applied Physics Express

巻: vol.2 ページ: 036501-036501

10.1143/apex.2.036501

Jpn. J. Appl. Phys. 48

精密工学会誌 74

ページ: 252-263

Materials Science & Engineering B 148

ページ: 149-153

Materials Science & Engineering B 148

ページ: 179-182

化学工業 59

ページ: 73-77

Materials Science & Engineering B 148

ページ: 149-153

Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering 3

ページ: 387-395

130000667672

日本機械学会論文集C編 74

ページ: 1020-1025

110006655873

Applied Surface Science 254

ページ: 720-724

Jpn. J. Appl. Phys 46

ページ: 1590-1595

Applied Surface Science 254

ページ: 738-742

Jpn.J.Appl.Phys. 45・4A

40007227498

Jpn.J.Appl.Phys. 45・4A

40007227498

Proceedings of 2006 fall meeting of JSPE

ページ: 925-926

2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

ページ: 927-928

130005027682

2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

ページ: 925-926

130005027681

Microelectronic Engineering 83,[4-9]

ページ: 1646-1650

Microelectronic Engineering 83, [4-9]

ページ: 1646-1650

2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

ページ: 927-928

130005027682

Proceedings of 2006 fall meeting of JSPE

ページ: 927-928

日本機械学会関東支部山梨ブロック山梨講演会講演論文集

ページ: 213-214

Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005)

ページ: 622-623

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 14,[2]

ページ: 243-253

Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005

ページ: 479-482

Proc. of 22nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems

ページ: 357-361

Proc. of 2005 MRS Fall Metting (CD-ROM)

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

Proceedings of 2005 spring meeting of JSPE

ページ: 955-956

130004657259

Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005

ページ: 479-482

2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集

ページ: 18-19

Proceedings of 2005 spring meeting of JSPE

ページ: 477-478

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 14・2

ページ: 31-42

2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

Proc. of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

Proc. of 18th International Congress of Mechanical Engineering (CD-ROM)

日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集

ページ: 18-19

2005年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

ページ: 477-478

130004657459

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

Proc.of 18th International Congress of Mechanical Engineering (CD-ROM)

Proceedings of the Japan Society of Mechanical Engineers Kanto branch Yamanashi block Yamanashi meeting

ページ: 213-214

Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)

ページ: 622-623

The 11th young scientist forum of the Iron and Steel Institute of Japan

ページ: 18-19

Proc.of 22nd Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems

ページ: 357-361

Proc. IPACK2005 (CD-ROM)

2005年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

ページ: 955-956

130004657259

日本鉄鋼協会第11回ヤングサイエンティストフォーラム講演論文集

ページ: 18-19

Proc.of 18th International Congress of Mechanical Engineering (COBEM 2005) (CD-ROM)

Proc.IPACK2005 (CD-ROM)

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (CD-ROM)

IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 14, [2]

ページ: 243-253

Proceedings of 2005 Autumn JSAP annual meeting

2005年秋季 第66回応用物理学会学術講演会予稿集

Proceedings of 2005 Autumn JSAP annual meeting

Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005)

ページ: 12-13

2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

ページ: 887-888

130004655810

2004年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

ページ: 555-556

130004655626

Proceedings of 2004 fall meeting of JSPE

ページ: 555-556

Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)

ページ: 15-16

130004656508

Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

ページ: 15-16

130004656508

Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology

ページ: 9-10

Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)

ページ: 9-10

Proceedings of 2004 fall meeting of JSPE

ページ: 877-888

130004655810

Proc.Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems CD-ROM

Proc. of SPIE Micro- and Nanotechnology : Materials, Processes, Packaging, and Systems II

ページ: 260-267

Proc. Smart Materials, Nano- and Micro-Smart Systems (CD-ROM)

光アライアンス 15

ページ: 19-26

40006431706

Proceedings of 2004 spring meeting of JSPE

ページ: 1129-1130

130004656508

2004年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

ページ: 1129-1130

Proceedings of International Symposium on Smart Actuators and Sensors

ページ: 1-8

Jpn.J.Appl.Phys. 42

ページ: 2190-2192

10010801393

日本金属学会講演概要

ページ: 541-541

Jpn. J. Appl. Phys 42

ページ: 2190-2192

10010801393

Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE

ページ: 576-576

Proceedings of JMRS

ページ: 541-541

Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE

ページ: 575-575

2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

ページ: 576-576

130005026972

2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

ページ: 391-391

130005026769

Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (CD-ROM)

Micro System Technology 2003

ページ: 180-187

Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology 5276

ページ: 240-248

130005026972

2003年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集

ページ: 575-575

130005026971

Proceedings of 2003 fall meeting of JSPE

ページ: 391-391

Proceedings of International Symposium on Smart Actuators and Sensors

ページ: 1-8

Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE2005) (2005.9 Vienna, Austria)

ページ: 12-13

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (in press)

10019289577

Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology (2003.12.Perth, Australia) vol.5276

ページ: 240-248

130005026972

Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004) (2004.6.Glasgow, Scotland)

ページ: 9-10

Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004) (2004.6.Glasgow, Scotland)

ページ: 15-16

130004656508

Micro System Technology 2003 (MST '03) (2003.10.7-8 Munich, Germany)

ページ: 180-187

Abstracts of 31st International Conference on Micro- and Nano-Engineering 2005 (MNE2005) (2005.9 Vienna, Austria)

ページ: 622-623

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)

Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005 (2005.1. Miami, USA)

ページ: 479-482

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines (in press)

10017600546

Proc.of SPIE Micro- and Nanotechnology : Materials, Processes, Packaging, and Systems II (2004.12. Sydney, Australia)

ページ: 260-267

Jpn. J. Appl. Phys. (in press)

Proc.of 2005 MRS Fall Meeting (2005.11, Boston, MA, USA)

Proceedings of International Conference on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM'03) (2003.9.10-12 Nagoya, Japan) (CD-ROM)

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. (in press)

10017600546

Jpn.J.Appl.Phys. (in press)

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. (in press)

10019289577

Proc.IPACK2005 (2005.6. San Francisco, USA) (CD-ROM)